JP4385599B2 - Maintenance method for droplet discharge head, cleaning device for maintenance cap, droplet discharge device including the same, and method for manufacturing electro-optical device - Google Patents

Maintenance method for droplet discharge head, cleaning device for maintenance cap, droplet discharge device including the same, and method for manufacturing electro-optical device Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、保全キャップにより、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面を気密に封止する液滴吐出ヘッドの保全方法、保全キャップのクリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、多数のノズルをノズル面に有するインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、ノズルから吐出するインク滴の飛行曲がりを防止するべく、ノズル孔廻りおよびノズル面を共析メッキ層等により撥インク処理されている（例えば、特許文献１参照。）。
一方、インクジェットプリンタに代表される液滴吐出装置では、稼動時におけるノズル詰り（ドット抜け）を防止・解消するために、インクジェットヘッドのノズル面に保全キャップを気密に密着させ、保全キャップを介してノズルからインクを強制的に吸引する吸引処理が適宜行われている。また、非稼動時には、インクジェットヘッドに保全キャップを気密に密着させることで、ノズル孔を飽和状態に保ち、ノズル孔からのインク乾燥を防止する保管処理が行われている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−３１４６９４号公報（第２−４頁、第５図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カラーフィルタや有機ＥＬデバイスなどの各種成膜部の形成に供する液滴吐出装置では、インクとしてハロゲンイオンを多く含む溶剤など、特殊な機能液を用いる場合がある。
従来のように保全キャップにより液滴吐出ヘッドを封止すると、保全キャップのシール部位（通常、ゴム材料）に機能液が予め付着している場合には、ノズル面に機能液が付着してしまう。このため、機能液の性状やノズル面の表面処理の態様によっては、共析メッキ層が劣化して、ノズル面の撥インク性が悪化し、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をおよぼす問題があった。
また、保全キャップを保管処理に加えて吸引処理にも兼用している場合には、保全キャップ内には機能液が残存しているため、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを封止すると、その封止空間は機能液の略飽和気体で満たされることになる。この状態が長時間続くと、上記同様に機能液の性状等によっては、ノズル面の撥インク性の悪化を促進する要因となっていた。
【０００５】
本発明は、保全キャップに付着して残る機能液のノズル面への影響に着目して為されたものであり、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる液滴吐出ヘッドの保全方法、保全キャップのクリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出ヘッドの保全方法は、機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、液滴吐出ヘッドに保全キャップを密着する封止工程に先立って、且つノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの描画動作中に、保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、少なくともシール部位に付着した機能液を洗い落とす洗浄工程を、有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、保全キャップのシール部位に機能液が付着していたとしても、キャップ表面を封止してなる封止空間に洗浄液を通液して、少なくともシール部位を洗浄してから、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。このため、封止時におけるノズル面には、きれいなシール部位が密着し機能液が付着した状態とならない。これにより、機能液の性状等に関らず、保全時におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【０００８】
この場合、洗浄工程は、封止空間に洗浄液を通液して、シール部位および保全キャップの内部に付着した機能液を一括して洗い落とすことが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、封止空間に通液した洗浄液により、シール部位に加えて保全キャップの内部も洗浄される。これにより、保全キャップ内を、機能液の略飽和気体で満たすことなく、常に、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができる。このため、ノズル面が機能液の飽和気体に曝されることがなく、機能液の性状等に関らず、液滴吐出ヘッドを保全キャップにより長時間に亘って安定に且つ適切に封止することができる。
【００１０】
この場合、洗浄液の通液は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドであって、シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞するキャップシール部位を有するものを用いて行われ、洗浄工程は、保全キャップのキャップ表面に対し、キャップシール部位を介してダミーヘッドにより封止するキャップ封止工程と、ダミーヘッドと保全キャップとの間の封止空間に、ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、保全キャップに密着させたダミーヘッドから、この封止空間に洗浄液を通液するが、ダミーヘッドは、液滴吐出ヘッドが本来密着する保全キャップのシール部位には非接触で、キャップシール部位を介してシール部位を囲繞するように密着する。そしてこの封止状態で洗浄液が通液することから、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、シール部位および保全キャップの内部を一括して洗浄することができる。
【００１２】
本発明の他の液滴吐出ヘッドの保全方法は、機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、液滴吐出ヘッドに保全キャップを密着する封止工程に先立って、且つノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの描画動作中に、保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を押し付けてシール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り工程を、有することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、保全キャップのシール部位に機能液が付着していたとしても、これを拭取り部材で拭き取ってから、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。このため、封止時におけるノズル面には、きれいなシール部位が密着し機能液が付着した状態とならない。これにより、機能液の性状等に関らず、保全時（封止時）におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００１４】
この場合、封止工程に先立ち、保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、保全キャップの内部に付着した機能液を洗い落とすキャップ内洗浄工程を、更に有することが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、封止空間に洗浄液を通液すると、保全キャップの内部が洗浄される。このため、仮にフラッシングや吸引処理により捨て吐出した機能液が保全キャップ内に残存していても、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができる。これにより、液滴吐出ヘッドを保全キャップにより長時間に亘って封止しても、ノズル面と保全キャップとにより構成される封止空間に機能液の飽和気体が存在しないため、ノズル面に悪影響をおよぼすことがない。
【００１６】
この場合、キャップ内洗浄工程は、拭取り工程に先行して行われることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、洗浄後に拭取るようにしているため、シール部位廻りに付着して残り得る機能液を確実に除去できる。また、シール部位には液体が一切付着しない状態になるため、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をきたすことが一切ない。
【００１８】
これらの場合、キャップ内洗浄工程は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドにより保全キャップのキャップ表面を封止するキャップ封止工程と、ダミーヘッドと保全キャップとの間の封止空間に、ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ダミーヘッドを用いているため、保全キャップのキャップ表面（のシール部位）を適切に封止することができると共に、その封止空間にダミーヘッドから洗浄液を通液して、保全キャップの内部を洗浄することができる。
【００２０】
これらの場合、通液工程は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液工程と、洗浄液給液工程に連続し、保全キャップ内の洗浄液を排液する排液工程と、から成ることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かって封止空間に洗浄液を通液させることで、保全キャップ内に機能液を一切残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００２２】
この場合、排液工程は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で終了することが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに（ノズル面に接液しない程度に）残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになる。これにより、その封止空間は洗浄液の略飽和気体で満たされるため、ノズル面に悪影響をおよぼさないことはもとより、ノズル孔からの機能液溶剤の気化を抑制する（保湿する）ことができ、いわゆるノズル孔からの機能液乾燥が防止される。
【００２４】
これらの場合、保全キャップは吸引手段に接続されており、洗浄液給液工程および排液工程のうち、少なくとも排液工程は、吸引手段を駆動することにより行われることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液することができる。また、洗浄液給液工程においても吸引手段を用いれば、機能液等の排液と同時に、封止空間への洗浄液の給液もできる。すなわち、給液と排液とを連続して行うことができ、短時間で洗浄を行うことができる。
【００２６】
これらの場合、保全キャップは、吸引手段に接続され、液滴吐出ヘッドの全ノズルから機能液を吸引する吸引処理用のキャップ部材を兼ねていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、保全キャップを有効活用することができるため、吸引処理用の保全キャップを別個独立して設ける場合に比して、部品点数を削減することができる。また、吸引処理により保全キャップは機能液で汚染し得るが、液滴吐出ヘッドの保管処理に際しては、拭取り或いは洗浄した保全キャップで液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。なお、吸引処理の直後に、上記の拭取り工程あるいは洗浄工程を行えば、保全キャップに付着した機能液が乾燥して固化するのを防止することができる。
【００２８】
本発明の保全キャップのクリーニング装置は、機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、キャップ表面のシール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、少なくともシール部位を洗浄する通液洗浄手段と、保全キャップに対し封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、通液洗浄手段および封止用移動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの描画動作中に、キャップ表面の封止および洗浄を実施させることを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、保全キャップのクリーニングを行う場合には、その位置に封止部材を相対的に臨ませ、通液洗浄手段を駆動する。すると、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液が通液され、少なくともシール部位に付着して残る機能液は洗い落とされる。これにより、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には洗浄後のシール部位が密着するため、機能液の性状等の如何に関らず、保全時におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００３０】
この場合、封止部材は、シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞し、キャップ表面に密着するキャップシール部位を有し、通液洗浄手段は、封止空間に洗浄液を通液し、シール部位および保全キャップの内部を洗浄することが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、封止部材は、液滴吐出ヘッドが本来密着する保全キャップのシール部位には非接触で、キャップシール部位を介してシール部位を囲繞するように保全キャップを封止する。そしてこの封止状態で洗浄液が通液されることから、シール部位に加えて、保全キャップの内部もこれに付着した機能液が洗い落とされる。これにより、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、常に、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の飽和気体で満たすことができるため、液滴吐出ヘッドの保管処理を長時間に亘って安定に且つ適切に行うことができる。
【００３２】
この場合、封止部材は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、通液洗浄手段は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、保全キャップ内の洗浄液を保全キャップから排液する排液手段と、を有することが、好ましい。
【００３３】
この構成によれば、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かって封止空間に洗浄液を通液させることで、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、且つ保全キャップ内に機能液を残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００３４】
この場合、排液手段は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することが、好ましい。
【００３５】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになる。これにより、その封止空間は洗浄液の略飽和状態となるため、ノズル面に悪影響をおよぼすことがないと共に、ノズル孔を適切に保湿することができる。
【００３６】
これらの場合、保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、吸引手段は、洗浄液給液手段および排液手段を兼ねていることが、好ましい。
【００３７】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、封止空間への洗浄液の給液と同時に、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液できるため、短時間で洗浄を行うことができる。
【００３８】
本発明の保全キャップのクリーニング装置は、機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、シール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を相対的に押し付けて、シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り手段と、保全キャップに対し拭取り手段を相対的に臨ませる拭取り用移動手段と、拭取り手段および拭取り用移動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの描画動作中に、拭取りを実施させることを特徴とする。
【００３９】
この構成によれば、保全キャップのクリーニングを行う場合には、その位置に拭取り手段を相対的に臨ませ、拭取り手段を駆動する。すると、拭取り部材に押し付けられたシール部位は、これに付着して残る機能液を拭き取られる。これにより、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には常にきれいなシール部位が密着するため、機能液の性状等の如何に関らず、ノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００４０】
この場合、保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、保全キャップの内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段と、保全キャップに対し封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００４１】
この構成によれば、封止部材を保全キャップの位置に相対的に臨ませ、これでキャップ表面を封止した状態で、この封止空間に洗浄液を通液することで、保全キャップの内部に付着した機能液が洗い落とされる。これにより、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができ、ヘッド保全処理を長時間に亘って安定して行うことができる。
【００４２】
この場合、拭取り手段は、キャップ内通液洗浄手段の駆動停止後、駆動を開始することが、好ましい。
【００４３】
この構成によれば、洗浄後に拭取るようにしているため、シール部位廻りに付着して残り得る機能液を確実に除去できる。また、シール部位には液体が一切付着しない状態になるため、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をきたすことが一切ない。
【００４４】
これらの場合、封止部材は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、キャップ内通液洗浄手段は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、保全キャップ内の洗浄液を保全キャップから排液する排液手段と、を有することが、好ましい。
【００４５】
この構成によれば、ダミーヘッドを用いているため、保全キャップのキャップ表面（のシール部位）を適切に封止することができるため、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かう洗浄液の通液により、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、且つ保全キャップ内に機能液を残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００４６】
この場合、排液手段は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することが、好ましい。
【００４７】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになるため、上記同様に、ノズル面に悪影響をおよぼさず、しかもノズル孔を適切に保湿することができる。
【００４８】
これらの場合、保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、吸引手段は、洗浄液給液手段および排液手段を兼ねていることが、好ましい。
【００４９】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、封止空間への洗浄液の給液と同時に、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液できる。また、構造を単純にすることができる。
【００５０】
これらの場合、拭取り部材は、シート状の部材からなり、拭取り手段は、拭取り部材を繰出し自在に巻回した繰出し手段と、拭取り部材の拭取り済み部分を巻き取って回収する巻取り手段と、繰出し手段および巻取り手段の間に設けられ、繰り出した拭取り部材を保全キャップのシール部位に相対的に押し付ける押付け機構と、を有することが、好ましい。
【００５１】
この構成によれば、拭取り部材は、押付け機構によりシール部位に相対的に押し付けられて機能液を拭き取った後、巻取り手段に巻き取られる。これにより、使用済みの拭取り部材を適切に回収でき、併せて、次の拭取りの準備も完了するため、常にきれいな拭取り部材をシール部位に供することができる。
【００５２】
本発明の液滴吐出装置は、上記した本発明の保全キャップのクリーニング装置と、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるヘッド移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【００５３】
この構成によれば、非稼働時等において液滴吐出ヘッドを適切に保全することができるため、ヘッド移動機構を駆動する稼働時において、液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液を適切に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズル面の劣化を抑制できるため、劣化による液滴吐出ヘッドの交換頻度が減り、装置の信頼性および生産性を高めることができる。なお、ワークには、後述するカラーフィルタなどの各種基板の他、単票紙などの記録媒体も含まれる。
【００５５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
【００５６】
この構成によれば、基板に対する機能液滴の吐出が確実に行われる液滴吐出装置を用いての製造であるため、電気光学装置の歩留まりを向上することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００５９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬデバイス等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドからフィルタ材料や発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。また、液滴吐出装置には、保全キャップのクリーニング装置が備えられており、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができるようになっている。
【００６０】
図１ないし図４に示すように、液滴吐出装置１は、図６に示す液滴吐出ヘッド２０を有し機能液を吐出する吐出手段２と、液滴吐出ヘッド２０の保全処理を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド２０に機能液を供給すると共に不要となった機能液などの液体を回収する機能液供給手段４と、機能液供給手段４など各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、これら各手段・装置を統括制御する制御手段６（図８、図９参照）と、を備えている。
【００６１】
液滴吐出装置１は、石定盤１３を上部に固定した架台１１と、架台１１に添設した機台１２とを有している。石定盤１３の上には吐出手段２が配設され、上方の液滴吐出ヘッド２０に対応して、下方に液滴対象物となるワークＷ（基板、図４参照）がセットされている。ワークＷは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。
【００６２】
機台１２は、機能液供給手段４のメインタンク５２等のタンク類（図３参照）を収容する手前側の大収容室１４と、エアー供給手段５の主要部を収容する奥側の小収容室１５と、小収容室１５の上に設置され、メインタンク５２に対しサブタンクとして機能する機能液供給手段４の給液サブタンク５３を載置するタンクベース１６と、大収容室１４の上に設置され、機台１２の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在に支持された移動テーブル１７と、で構成されている。移動テーブル１７上には、メンテナンス手段３の各種ユニットを載置する共通ベース１８が固定されている。
【００６３】
吐出手段２は、複数の液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を搭載したメインキャリッジ２２と、メインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１をワークＷに対しＸ・Ｙ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。Ｘ・Ｙ移動機構２３（ヘッド移動機構）は、石定盤１３上に配設されており、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２５と、Ｘ軸テーブル２５に直交してメインキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル２６とで構成され、Ｙ軸テーブル２６はＸ軸テーブル２５を跨ぐようにしてその上方に配設されている。
【００６４】
Ｘ軸テーブル２５は、移動系の主体をリニアモータにより構成され、ワークＷを吸着載置した吸着テーブル２７（図４参照）を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸テーブル２６は、移動系の主体をボールねじで構成され、メインキャリッジ２２を吊り下げるように固定したブリッジプレート２８を介して液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動させる。
【００６５】
吐出手段２による一連の動作では、Ｘ軸テーブル２５によるワークＷの主走査方向（Ｘ軸方向）への移動に同期して、複数の液滴吐出ヘッド２０が選択的に吐出駆動する。すなわち、液滴吐出ヘッド２０のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２５によるワークＷの往復動動作により行われ、これに対応していわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２６による液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。このように、Ｘ・Ｙ移動機構２３により液滴吐出ヘッド２０をワークＷに対し相対的に主走査および副走査することで、ワークＷの所定位置に機能液を吐出する描画動作を、制御手段６に記憶するデータに基づいて実行している。
【００６６】
なお、液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）に対し、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００６７】
ヘッドユニット２１は、図５および図６に示すように、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド２０を搭載するサブキャリッジ２９を有し、サブキャリッジ２９の部分でメインキャリッジ２２に固定されている。１２個の液滴吐出ヘッド２０は、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド２０は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド２０は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド２０のノズル４９が連続（一部重複）するようになっている。
【００６８】
液滴吐出ヘッド２０は、図６に示すように、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４２の下方（同（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド２０は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成されている。
【００６９】
各接続針４１は、配管アダプタ５１を介して給液サブタンク５３に接続されており、機能液導入部４２は、各接続針４１から機能液の供給を受けるようになっている。すなわち、機能液は、エアー供給手段５によりメインタンク５２から給液サブタンク５３に圧力供給されると共に、この給液サブタンク５３で圧力的に縁切りされ、給液サブタンク５３から分岐して各液滴吐出ヘッド２０に供給される。
【００７０】
ヘッド本体４４は、平坦なノズル面４５を有するノズル形成プレート４６と、ノズル形成プレート４６に連なる直方体形状の２連のポンプ部４７とで構成されている。液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体４４がサブキャリッジ２９の下面から突出しており、ヘッド本体４４の下面、すなわちワークＷに平行に対峙するノズル面４５には、２本のノズル列４８が相互に平行に形成されている。
【００７１】
各ノズル列４８は、略主走査方向に延在しており、例えば１８０個のノズル４９が等ピッチで並べられて構成されている。そして液滴吐出ヘッド２０は、ポンプ部４７の作用により各ノズル４９のノズル孔から機能液滴をドット状に吐出する。特に図示しないが、ノズル孔の周囲の部分およびノズル面４５は、撥機能液性を有するように表面処理され、例えば共析メッキ層が被膜されている。
【００７２】
メンテナンス手段３は、液滴吐出ヘッド２０を保全処理して、液滴吐出ヘッド２０が機能液を適切に吐出できるようにするためのものであり、特に図４に示すように、架台１１側にはフラッシングボックス７１が配置され、機台１２側には図示紙面の下側からワイピングユニット７２、吸引ユニット７３、重量測定ユニット７４およびキャップクリーニングユニット７５が配設されている。
【００７３】
この場合、ワイピングユニット７２、吸引ユニット７３および重量測定ユニット７４は、移動テーブル１７上の共通ベース１８に搭載されており、移動テーブル１７により、メンテナンス位置に移動したヘッドユニット２１に臨むようになっている。一方、キャップクリーニングユニット７５は、機台１２上に直接載置されており、後述する自身の保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、吸引ユニット７３に臨むようになっている。
【００７４】
フラッシングボックス７１は、吸着テーブル２７を挟んで一対のものがＸ軸テーブル２５に固定されており、各フラッシングボックス７１は、複数の液滴吐出ヘッド２０のフラッシング（予備吐出：全ノズル４９からの機能液滴の捨て吐出）を受ける。具体的には、フラッシングボックス７１は、描画動作中に使用されるものであり、主走査時にワークＷと共に液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）に向かって移動し、フラッシングボックス７１に臨んだ液滴吐出ヘッド２０からフラッシングが順次（列ごとに）、定期的に行われる。
【００７５】
ワイピングユニット７２は、図１、図３および図４に示すように、移動テーブル１７を介してＸ軸方向にスライド自在に構成されている。ワイピングユニット７２は、液滴ミストが付着して汚れた各液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５をワイピングシート（図示省略）により拭き取るものであり、このワイピング処理は、基本的に吸引ユニット７３による液滴吐出ヘッド２０の吸引処理の後で行われる。
【００７６】
例えば、液滴吐出ヘッド２０の吸引処理が完了すると、ワイピングユニット７２は移動テーブル１７により液滴吐出ヘッド２０に臨む位置まで移動する。そして、ワイピングユニット７２は、ロール状のワイピングシートを繰り出し、これを液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５に摺接させてノズル面４５を拭き取り、拭き取り後のワイピングシートを巻き取る。
【００７７】
重量測定ユニット７４は、液滴吐出ヘッド２０の液滴吐出量（重量）をヘッド単位で測定することにより、液滴吐出ヘッド２０における駆動電圧の適正化に資するものである。重量測定ユニット７４は、１２個の液滴吐出ヘッド２０に対応して設けた１２個の液滴受け容器７８と、１２個の液滴受け容器７８を載置する共に共通ベース１８に固定された載置台７９と、を有している。
【００７８】
そして、重量測定に際しては、重量測定ユニット７４の直上部に臨む各液滴吐出ヘッド２０から各液滴受け容器７８に向けて所定回数液滴を吐出させる。その後、各液滴受け容器７８を図外の電子天秤に移載して、各液滴受け容器７８内の液滴の重量を測定する。
【００７９】
吸引ユニット７３は、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５に密着する保全キャップ９１を有している。吸引ユニット７３は、液滴吐出装置１の稼働時やマニュアル操作により、液滴吐出ヘッド２０のノズル詰まり（ドット抜け）を防止・解消するために、保全キャップ９１を介して液滴吐出ヘッド２０から機能液を強制的に吸引する吸引処理（ヘッドクリーニング処理）を行う。また、吸引ユニット７３は、非稼働時における液滴吐出ヘッド２０のノズル孔からの機能液乾燥を防止するために、保全キャップ９１により液滴吐出ヘッド２０のノズル孔を気密に封止する保管処理を行う。
【００８０】
吸引ユニット７３は、図７に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド２０に対応する１２個の保全キャップ９１をベースプレート９２に組み込んだキャップユニット９３と、キャップユニット９３を昇降させる昇降機構９４と、保全キャップ９１を介して機能液の吸引を行う吸引ポンプ９５と、各保全キャップ９１と吸引ポンプ９５とを接続する吸引用チューブ９６と、を有している。
【００８１】
保全キャップ９１は、キャップ本体１０１と、キャップ本体１０１をベースプレート９２に固定するキャップホルダ１０２と、で構成されている。図８に簡略的に示すように、保全キャップ９１は、キャップ本体１０１内の底部に敷設した吸収材１０３と、吸収材１０３を押える枠状の吸収材押え１０６と、キャップ本体１０１の底部に形成した小孔１０４と、キャップ本体１０１の上端周縁部に取り付けたシールパッキン１０５と、を有している。小孔１０４は吸引用チューブ９６に連通している。
【００８２】
シールパッキン１０５は、保全キャップ９１のキャップ表面に位置し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５の周縁部に密着可能に構成され、これを封止する。すなわち、シールパッキン１０５が液滴吐出ヘッド２０に対する保全キャップ９１のシール部位となり、保全キャップ９１とノズル面４５とにより封止空間が構成され、液滴吐出ヘッド２０のノズル孔が気密に封止される。
【００８３】
吸引ポンプ９５は、制御手段６に接続されている。昇降機構９４は、エアーシリンダにより構成されており、制御手段６に接続されている。昇降機構９４は、保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０に密着させる封止位置と、保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０から離間させる退避位置との間で、キャップユニット９３を昇降（離接）させる。
【００８４】
なお、昇降機構９４を、吸引処理を行うキャップユニット９３の比較的高い封止位置のほかに、保全キャップ９１が液滴吐出ヘッド２０から僅かに離間する比較的低い上昇位置にキャップユニット９３を停止可能に構成することで、吸引ユニット７３をフラッシングボックスとして機能させることもできる。
【００８５】
液滴吐出ヘッド２０の保管処理および吸引処理ではいずれも、保全キャップ９１を封止位置に移動させ、シールパッキン１０５を介して保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０に密着した状態で行われる。この状態で、保管処理では吸引ポンプ９５の駆動を待機状態とするが、吸引処理では吸引ポンプ９５を駆動する。吸引ポンプ９５を駆動すると、小孔１０４や封止空間を介して液滴吐出ヘッド２０には負圧がかかり、液滴吐出ヘッド２０から機能液が吸引される。吸引した機能液は、吸収材１０３から吸引用チューブ９６および排液用チューブ１１１から、排液タンク１１２に導かれる。なお、排液タンク１１２は、上記の大収容室１４に収容されている（図３参照）。
【００８６】
詳細は後述するが、少なくとも保管処理の実行前には、キャップクリーニングユニット７５による保全キャップ９１のクリーニング処理が実行されるようになっている。また、このクリーニング処理は、保管処理および吸引処理のヘッド保全処理と同様に、保全キャップ９１が封止位置に移動した状態で行われる。
【００８７】
キャップクリーニングユニット７５は、吸引処理等により保全キャップ９１に付着して残る機能液を除去するために、保全キャップ９１に対し、通液洗浄処理と拭取り処理とから成るクリーニング処理を行うものである。
【００８８】
キャップクリーニングユニット７５は、図４に示すように、封止位置の保全キャップ９１を封止するダミーヘッド１２１と（図８参照）、ダミーヘッド１２１を介して保全キャップ９１内に洗浄液を通液してその内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段１２２と（図８参照）、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に付着した機能液を拭き取るキャップ拭取り手段１２３（図９参照）と、ダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３を一括保持するユニットキャリッジ１２４と、ユニットキャリッジ１２４を介してダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３をＸ・Ｙ軸方向に移動させる保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５と、を有している。
【００８９】
保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５は、図４に示すように、機台１２上に設置されており、上記のＸ・Ｙ移動機構２３と同様に、保全用Ｘ軸テーブル８５と、これに直交する保全用Ｙ軸テーブル８６とで構成されている。保全用Ｘ軸テーブル８５は、ユニットキャリッジ１２４を搭載し、これをＸ軸方向に移動させる。保全用Ｙ軸テーブル８６は、保全用Ｘ軸テーブル８５の一方の端部を搭載し、保全用Ｘ軸テーブル８５を介してユニットキャリッジ１２４をＹ軸方向に移動させる。
【００９０】
このように、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５は、ユニットキャリッジ１２４を介してダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３をそれぞれ、保全キャップ９１の直上部に臨ませることができる。すなわち、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５が、請求項にいう封止用移動手段および拭取り用移動手段を構成している。
【００９１】
ダミーヘッド１２１（封止部材）は、液滴吐出ヘッド２０の特にヘッド本体４４の形状を模して形成されており、ヘッド本体４４のノズル面４５に相当する下面が、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に密着可能に構成されている。すなわち、液滴吐出ヘッド２０と保全キャップ９１との封止関係と同様に、ダミーヘッド１２１に対する保全キャップ９１のシール部位はシールパッキン１０５となり、ダミーヘッド１２１と保全キャップ９１との間には封止空間が構成される（図８（ａ）参照）。
【００９２】
ダミーヘッド１２１の下面は、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に密着する密着面１３１と、保全キャップ９１の内部すなわち封止空間に面する封止面１３２と、で構成されている。封止面１３２には、その周縁部に沿って環状に、封止空間に洗浄液を給液する複数の洗浄ノズル１３３が形成されている（同図（ｂ）参照）。このため、複数の洗浄ノズル１３３から封止空間に給液される洗浄液は、保全キャップ９１の（キャップ本体１０１の）内部の隅々まで行き渡るようになっている。洗浄液により、保全キャップ９１の内部は、これに付着する機能液を洗い落とされる。
【００９３】
キャップ内通液洗浄手段１２２は、図８に示すように、ダミーヘッド１２１から封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段１４１と、保全キャップ９１内の洗浄液を保全キャップ９１から排液する排液手段１４２とを有している。
【００９４】
洗浄液給液手段１４１は、洗浄液を大量に貯留した洗浄液タンク１４３と、洗浄液タンク１４３とダミーヘッド１２１とを接続する洗浄用チューブ１４４と、を有している。洗浄用チューブ１４４は、ダミーヘッド１２１の上部に繋ぎこまれている。洗浄液タンク１４３は、上記の大収容室１４に収容され（図３参照）、ダミーヘッド１２１よりも低い位置に配置されている。これにより、自然状態におけるダミーヘッド１２１からの洗浄液の垂れが防止されている。
【００９５】
排液手段１４２は、主として、保全キャップ９１に接続した上記の吸引ポンプ９５が兼ねており、吸引ポンプ９５の駆動により、保全キャップ９１内の洗浄液を吸引用チューブ９６等を介して排液タンク１１２に導く。そして、ダミーヘッド１２１を保全キャップ９１に密着した状態で吸引ポンプ９５を駆動すると、封止空間を介してダミーヘッド１２１には負圧がかかり、ダミーヘッド１２１から吸引される洗浄液が、封止空間に給液されるようになっている。
【００９６】
すなわち、保全キャップ９１を組み込んだキャップユニット９３を封止位置に上昇させてダミーヘッド１２１に密着させた後、吸引ポンプ９５を駆動することで、保全キャップ９１とダミーヘッド１２１との間の封止空間には、洗浄用チューブ１４４を介して洗浄液タンク１４３の洗浄液が給液されてゆく。またこれと同時に、保全キャップ９１内の洗浄液は、吸引用チューブ９６を介して保全キャップ９１から排液タンク１１２に排液されてゆく。
【００９７】
このように、吸引ポンプ９５を所定時間駆動することで、封止空間には、洗浄液がダミーヘッド１２１から保全キャップ９１の排液側に向かって通液するようになっている。この通液により、保全キャップ９１内は洗浄され、キャップ本体１０１の内壁に付着した機能液が洗い落とされることはもとより、吸収材１０３に含浸している機能液も、洗浄液と共に排液される。
【００９８】
この場合、保全キャップ９１内に洗浄液を僅かに残した状態で、すなわち吸収材１０３に洗浄液を含浸させた状態で、吸引ポンプ９５の駆動を停止するようにしている。これにより、その後のヘッド保全処理において、保全キャップ９１と液滴吐出ヘッド２０との間の封止空間を洗浄液の略飽和気体で満たすことができるため、特に保管処理における封止時間に関らず、ノズル孔からの機能液の気化を適切に抑制することができ、ノズル孔からの機能液乾燥を好適に防止することができる。
【００９９】
１２個の保全キャップ９１に対する一連の通液洗浄処理では、先ず保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、ダミーヘッド１２１を一つ目の保全キャップ９１の直上部に臨ませる。このとき、ダミーヘッド１２１の下面は、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５と同一の高さレベルに位置しているが、ここで昇降機構９４を駆動して、保全キャップ９１を封止位置に上昇させ、ダミーヘッド１２１の下面に密着させる。その後、吸引ポンプ９５を駆動して、封止空間に洗浄液を通液させて、保全キャップ９１内を洗浄する。
【０１００】
一つ目の保全キャップ９１の通液洗浄処理後、昇降機構９４を駆動して保全キャップ９１を下降させると共に、次の保全キャップ９１の位置にダミーヘッド１２１を臨ませて、同様に昇降機構９４および吸引ポンプ９５を駆動させることで、二つ目の保全キャップ９１の通液洗浄処理が終わる。そしてこの動作を保全キャップ９１の数分（１２回）繰り返すことで、全ての保全キャップ９１の通液洗浄処理が終了する。
【０１０１】
なお、上記の通液洗浄処理は、吐出手段２の駆動中（描画動作）に行われるため、ワーク処理のタクトタイムに影響を与えることはない。このため、本実施形態では、一つのダミーヘッド１２１を用いて、１２個の保全キャップ９１を１個ずつ順に通液洗浄処理している。もっとも、１２個の保全キャップ９１に対応して１２個のダミーヘッド１２１および洗浄用チューブ１４４を用意し、１２個の保全キャップ９１を一括して通液洗浄処理してもよい。これによれば、昇降機構９４および吸引ポンプ９５の制御を簡単にすることができる。
【０１０２】
また、吸引ポンプ９５で洗浄液給液手段１４１をも兼ねる本実施形態の構成に代えて、洗浄液タンク１４３内を加圧する洗浄液加圧機構を設け、洗浄液タンク１４３内の洗浄液を洗浄用チューブ１４４を介してダミーヘッド１２１に加圧送液するようにしてもよい。あるいは、開閉制御される開閉バルブを洗浄用チューブ１４４に介設すると共に、洗浄液タンク１４３をダミーヘッド１２１よりも高い位置に設け、洗浄液の供給時に開閉バルブを開放することにより、高さ水頭圧で洗浄液をダミーヘッド１２１に送液するようにしてもよい。この場合、洗浄液タンク１４３を上記のユニットキャリッジ１２４に搭載してもよい。
【０１０３】
キャップ拭取り手段１２３は、図９に示すように、柔軟性を有する布製の拭取りシート１５１と、拭取りシート１５１を保全キャップ９１のシールパッキン１０５に押し付けるシート押付け機構１５２と、拭取りシート１５１を繰出し自在に供給する繰出し機構１５３と、繰り出した拭取りシート１５１を巻き取って回収する巻取り機構１５４と、を有している。繰出し機構１５３は、ロール状の拭取りシート１５１を繰出し自在に巻回した繰出リール１５５と、繰出リール１５５に軸着されこれを制動回転させるトルクリミッタ１５６と、を有している。
【０１０４】
巻取り機構１５４は、拭取りシート１５１を巻き取る巻取りリール１５７と、巻取りリール１５７を回転駆動させる巻取りモータ１５８とを有し、巻取りモータ１５８は、上記の制御手段６に接続されている。巻取りモータ１５８の回転により、拭取りシート１５１は、繰出リール１５５から繰り出されて走行を開始し、走行経路上のシート押付け機構１５２を経て、巻取りリール１５７に巻き取られる。すなわち、巻取り機構１５４は、拭取りシート１５１を走行経路に沿って送るシート送り機構を兼ねている。
【０１０５】
シート押付け機構１５２は、繰出し機構１５３と巻取り機構１５４との間に設けられ、拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける押付け部材１６１と、押付け部材１６１を昇降させるエアーシリンダなどのアクチュエータ１６２と、アクチュエータ１６２の動力を押付け部材１６１に伝達する動力伝達部１６３とを備えている。アクチュエータ１６２は制御手段６に接続されている。
【０１０６】
押付け部材１６１は、保全キャップ９１を包含する十分な押付け面１６１ａを有し、保全キャップ９１との間で拭取りシート１５１を挟み込むようにして、拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける。これにより、拭取りシート１５１は、シールパッキン１０５に付着して残る機能液を拭き取り、機能液の汚染のないきれいなシールパッキン１０５となる。
【０１０７】
キャップ拭取り手段１２３による一連の拭取り処理は、基本的に、上記の通液洗浄処理後に行われるが、先ず保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、キャップ拭取り手段１２３を保全キャップ９１に臨ませる。ここでアクチュエータ１６２を駆動して押付け部材１６１を下降させ、送り停止状態の拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける。拭取り後、押付け部材１６１を上昇させ、拭取りシート１５１を保全キャップ９１から離間させたところで、巻取りモータ１５８を駆動する。巻取りモータ１５８を駆動すると、拭取り済み部分が巻取りリール１５７に回収されると共に、押付け部材１６１の直下には、次の拭取り処理に供される未使用の拭取りシート１５１が臨む。
【０１０８】
なお、本実施形態では、１つ目の保全キャップ９１の拭取り処理後には、次の保全キャップ９１の拭取り処理のために、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりキャップ拭取り手段１２３を次の位置に移動させるものであるが、複数の保全キャップ９１に対応して複数の押付け部材１６１を用意して、複数の保全キャップ９１を一括して拭取り処理を行うようにしてもよい。
【０１０９】
また、本実施形態のように、保全キャップを１つずつ順に通液洗浄処理および拭取り処理する場合にあっては、これら両処理を併行して行ってもよい。すなわち、洗浄された１つ目の保全キャップ９１に対し拭取り処理を実行するのに併行して、２つ目の保全キャップに対し通液洗浄処理を実行するようにしてもよい。
【０１１０】
制御手段６は、ＣＰＵを有して各手段の動作を制御する制御部を備えており、制御部は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御手段６は、上記した各手段と接続されて液滴吐出装置１全体を制御している。
【０１１１】
例えば、ワークＷに対して描画作業を行う場合に、制御手段６は、複数の液滴吐出ヘッド２０の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、Ｘ・Ｙ移動機構２３によりワークＷおよびヘッドユニット２１の相対的な移動動作を制御する。また描画作業中には、メンテナンス手段３の吸引ユニット７３やワイピングユニット７２により、液滴吐出ヘッド２０に対して吸引処理やワイピング処理が適宜行われる一方、この吸引処理の直後には、保全キャップ９１に対してクリーニング処理が行われる。
【０１１２】
具体的には、保全キャップ９１のクリーニング処理は、上述のように、キャップクリーニングユニット７５と吸引ユニット７３との協働により行われるが、先ず、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりダミーヘッド１２１を移動させて、全ての保全キャップ９１を通液洗浄処理する。次いで、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりキャップ拭取り手段１２３を移動させて、全ての保全キャップ９１を拭取り処理する。
【０１１３】
したがって、液滴吐出ヘッド２０の吸引処理によって機能液で汚染された保全キャップ９１を、きれいにすることができるため、さらに液滴吐出ヘッド２０を吸引処理する場合においては、保全キャップ９１の状態が液滴吐出ヘッド２０に影響をおよぼすことがない。また、描画作業終了後の待機中に行われる液滴吐出ヘッド２０の保管処理においても、保全キャップ９１により、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５を洗浄液の略飽和気体に曝してノズル孔を保湿できるため、液滴吐出ヘッド２０を適切に且つ安定して保管することができる。
【０１１４】
なお、吸引処理の頻度にもよるが、保全キャップ９１のクリーニング処理は基本的に吸引処理後に行うことが好ましい。もっとも、吸引処理後においては、保全キャップ９１のクリーニング処理を行うのに併行して、液滴吐出ヘッド２０により描画作業が実行されている。
【０１１５】
次に、本発明の第２実施形態について、図１０を参照して第１実施形態と異なる点を中心に説明する。第２実施形態では、保全キャップ９１およびダミーヘッド１２１の構成が、第１実施形態のものと一部異なっている。保全キャップ９１のキャップ表面は、液滴吐出ヘッド２０に密着するシールパッキン１０５が取り付けられていると共に、シールパッキン１０５の外側に位置する部分が、ダミーヘッド１２１に密着する枠状のキャップ密着面１７１となっている。
【０１１６】
ダミーヘッド１２１の下面は、シールパッキン１０５に対し非接触状態でこれを囲繞し、キャップ密着面１７１に密着するキャップシール１７２（キャップシール部位）を有している。このため、同図（ｂ）に示すように、ダミーヘッド１２１がキャップシール１７２を介して保全キャップ９１に密着すると、ダミーヘッド１２１と保全キャップ９１との間には封止空間が構成されると共に、複数の洗浄ノズル１３３を形成したダミーヘッド１２１の封止面１３２が、シールパッキン１０５および保全キャップ９１の内部に非接触状態で臨むことになる。この場合、複数の洗浄ノズル１３３は、シールパッキン１０５の直上部に位置し且つシールパッキン１０５の外側まで位置するように、封止面１３２の周縁部に沿って環状に形成されている。
【０１１７】
本実施形態によれば、吸引ポンプ９５を駆動すると、保全キャップ９１とダミーヘッド１２１との封止空間に洗浄液が通液するが、このとき、保全キャップ９１の内部の洗浄を行えると共に、洗浄液がシールパッキン１０５に直接流れ込むため、シールパッキン１０５の洗浄も同時に行うことができる。
【０１１８】
すなわち、キャップ内通液洗浄手段１２２が請求項にいう通液洗浄手段として機能し、保全キャップ９１のクリーニング処理をシールパッキン１０５も含めて一括して行うことができる。このため、効率良く保全キャップ９１をクリーニングすることができる一方、図９に示したキャップ拭取り手段１２３を省略することもできる。もっとも、最終処理として補完的に、キャップ拭取り手段１２３による拭取り処理を行ってもよい。
【０１１９】
なお、通液洗浄処理する際のダミーヘッド１２１や保全キャップ９１の移動動作や、保全キャップ９１内に洗浄液を僅かに残した状態で通液洗浄処理を終了することなどは、第１実施形態と同様であることはいうまでもない。また、いずれの実施形態も、複数の洗浄ノズル１３３の配置を限定するものでもない。
【０１２０】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【０１２１】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、簡単に説明する。
【０１２２】
図１１は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【０１２３】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【０１２４】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド２０により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２０により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。
【０１２５】
同様に、図１２を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【０１２６】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【０１２７】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド２０に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。
【０１２８】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出ヘッドの保全方法によれば、保全キャップのシール部位に付着し得る機能液を、拭取り部材による拭き取り後にあるいは洗浄液による洗浄後に、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。したがって、保全時において、保全キャップを介してノズル面に機能液が付着することがなく、ノズル面の撥機能液性を悪化させるなどの、液滴吐出ヘッドの吐出特性に悪影響をきたすことなく、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。
【０１２９】
本発明の保全キャップのクリーニング装置によれば、封止部材で保全キャップを封止し、その封止空間に洗浄液を通液させてシール部位を洗浄し、あるいは拭取り部材をシール部位に押し付けてこれに付着した機能液を拭き取ることができるため、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には洗浄後あるいは拭取り後のシール部位が密着する。したがって、ヘッド保全処理において、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。
【０１３０】
本発明の液滴吐出装置によれば、上記の保全キャップのクリーニング装置を備えているため、非稼働時等において液滴吐出ヘッドを適切に保全することができ、その稼働時において、液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液を適切に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドの劣化を極力抑えることができるため、装置の信頼性および生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の正面図である。
【図３】実施形態に係る液滴吐出装置の右側面図である。
【図４】実施形態に係る液滴吐出装置の一部を省略した平面図である。
【図５】実施形態に係るヘッドユニットの平面図である。
【図６】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図７】実施形態に係る保全ユニットのヘッド保全機構の斜視図である。
【図８】（ａ）は、実施形態に係る保全ユニット（のヘッド保全機構およびキャップ内通液洗浄手段）を模式的に示す正面図であり、（ｂ）は矢印Ａ方向から見たダミーヘッドの平面図である。
【図９】実施形態に係る保全ユニットの拭取り手段を模式的に示す正面図である。
【図１０】第２実施形態に係るダミーヘッドおよび保全キャップを模式的に示す正面図である。
【図１１】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１２】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１ 液滴吐出装置
２ 吐出手段
３ メンテナンス手段
６ 制御手段
２０ 液滴吐出ヘッド
２３ Ｘ・Ｙ移動機構
４５ ノズル面
４９ ノズル
７３ 吸引ユニット
７５ キャップクリーニングユニット
９１ 保全キャップ
９５ 吸引ポンプ（吸引手段）
１２１ ダミーヘッド
１２２ キャップ内通液洗浄手段
１２３ キャップ拭取り手段
１２５ 保全用Ｘ・Ｙ移動機構（拭取り用移動手段、封止用移動手段）
１４１ 洗浄液供給手段
１４２ 排液手段
１５１ 拭取りシート（拭取り部材）
１５２ シート押付け機構
１５３ 繰出し機構
１５４ 巻取り機構
１７２ キャップシール部位[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a maintenance method for a droplet discharge head that hermetically seals the nozzle surface of an inkjet droplet discharge head with a maintenance cap, a cleaning device for a maintenance cap, a droplet discharge device including the same, To How to make a gas optical device To the law It is related.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, an inkjet head (droplet discharge head) having a large number of nozzles on the nozzle surface is ink repellent around the nozzle holes and the nozzle surface with a eutectoid plating layer or the like in order to prevent flying bends of ink droplets discharged from the nozzles. (For example, refer to Patent Document 1).
On the other hand, in a droplet discharge device typified by an ink jet printer, in order to prevent or eliminate nozzle clogging (dot missing) during operation, a maintenance cap is tightly adhered to the nozzle surface of the ink jet head and is passed through the maintenance cap. A suction process for forcibly sucking ink from the nozzles is appropriately performed. Further, when not in operation, a storage process is performed in which a maintenance cap is tightly adhered to the inkjet head to keep the nozzle hole in a saturated state and prevent ink drying from the nozzle hole.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-7-314694 (page 2-4, FIG. 5)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in a droplet discharge apparatus used for forming various film forming units such as a color filter and an organic EL device, a special functional liquid such as a solvent containing a lot of halogen ions may be used as ink.
When the droplet discharge head is sealed with a maintenance cap as in the past, if the functional liquid is attached in advance to the seal portion (usually a rubber material) of the maintenance cap, the functional liquid will adhere to the nozzle surface. . For this reason, depending on the properties of the functional liquid and the surface treatment mode of the nozzle surface, the eutectoid plating layer deteriorates, the ink repellency of the nozzle surface deteriorates, and there is a problem that affects the discharge characteristics of the droplet discharge head. there were.
In addition, when the maintenance cap is also used for suction processing in addition to storage processing, functional liquid remains in the maintenance cap. The stop space is filled with the substantially saturated gas of the functional liquid. If this state continues for a long time, it becomes a factor that promotes the deterioration of the ink repellency of the nozzle surface depending on the properties of the functional liquid as described above.
[0005]
The present invention has been made by paying attention to the influence of the functional liquid remaining on the maintenance cap on the nozzle surface. Maintenance method of droplet discharge head that can be maintained, cleaning device for maintenance cap, droplet discharge device equipped with the same, array To How to make a gas optical device The law Its purpose is to provide.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The method for maintaining a droplet discharge head according to the present invention discharges a functional liquid. Inkjet method In a droplet discharge head maintenance method in which a maintenance cap is closely attached to a nozzle surface of a droplet discharge head and a nozzle hole is hermetically sealed by a seal portion of the maintenance cap, the droplet discharge head is maintained. Prior to the sealing process where the maintenance cap is closely attached to During the drawing operation of the droplet discharge head that discharges functional droplets from the nozzles The method further comprises a cleaning step of sealing the cap surface of the maintenance cap and passing the cleaning liquid through the sealing space to wash off at least the functional liquid adhering to the seal portion.
[0007]
According to this configuration, even if the functional liquid adheres to the sealing part of the maintenance cap, the cleaning liquid is passed through the sealing space formed by sealing the cap surface, and at least the sealing part is washed. The maintenance cap is in close contact with the nozzle surface of the droplet discharge head. For this reason, a clean seal portion is in close contact with the nozzle surface at the time of sealing, and the functional liquid does not adhere. Accordingly, it is possible to prevent the nozzle surface during maintenance from being adversely affected (for example, deterioration of the functional repellency) regardless of the properties of the functional liquid.
[0008]
In this case, it is preferable that in the cleaning process, the cleaning liquid is passed through the sealing space, and the functional liquid adhering to the inside of the seal portion and the maintenance cap is washed away.
[0009]
According to this configuration, the inside of the maintenance cap is cleaned in addition to the seal portion by the cleaning liquid that has passed through the sealing space. Accordingly, the maintenance cap can be always filled with substantially air (natural state) or substantially saturated gas of the cleaning liquid without being filled with the substantially saturated gas of the functional liquid. For this reason, the nozzle surface is not exposed to the saturated gas of the functional liquid, and the droplet discharge head is stably and appropriately sealed for a long time by the maintenance cap regardless of the properties of the functional liquid. be able to.
[0010]
In this case, the cleaning liquid is passed through a dummy head that imitates a droplet discharge head and has a cap seal part that surrounds the seal part in a non-contact state. Clean the cap surface of the maintenance cap by passing the cleaning liquid from the dummy head into the cap sealing process for sealing with the dummy head via the cap seal part and the sealing space between the dummy head and the maintenance cap. It is preferable to comprise a liquid passing step for performing
[0011]
According to this configuration, the cleaning liquid is passed through the sealing space from the dummy head that is in close contact with the maintenance cap. However, the dummy head is not in contact with the seal portion of the maintenance cap with which the droplet discharge head is originally in close contact. Then, the seal part is closely attached via the cap seal part. Since the cleaning liquid passes through in this sealed state, the seal part and the inside of the maintenance cap can be cleaned in a lump without causing a leakage of the cleaning liquid.
[0012]
Another droplet discharge head maintenance method of the present invention discharges a functional liquid. Inkjet method In a droplet discharge head maintenance method in which a maintenance cap is closely attached to a nozzle surface of a droplet discharge head and a nozzle hole is hermetically sealed by a seal portion of the maintenance cap, the droplet discharge head is maintained. Prior to the sealing process where the maintenance cap is closely attached to During the drawing operation of the droplet discharge head that discharges functional droplets from the nozzles The wiping process is characterized by having a wiping step of wiping the functional liquid adhering to the sealing portion by pressing the wiping member against the sealing portion of the maintenance cap.
[0013]
According to this configuration, even if the functional liquid adheres to the seal portion of the maintenance cap, the maintenance cap is adhered to the nozzle surface of the droplet discharge head after the functional liquid is wiped off by the wiping member. For this reason, a clean seal portion is in close contact with the nozzle surface at the time of sealing, and the functional liquid does not adhere. Accordingly, it is possible to prevent the nozzle surface during maintenance (sealing) from being adversely affected (for example, deterioration of functional repellency) regardless of the properties of the functional liquid.
[0014]
In this case, prior to the sealing step, the cap surface of the maintenance cap is sealed, and a cleaning process in the cap is further included in which the cleaning liquid is passed through the sealing space to wash off the functional liquid adhering to the inside of the maintenance cap. It is preferable.
[0015]
According to this configuration, when the cleaning liquid is passed through the sealed space, the inside of the maintenance cap is cleaned. For this reason, even if the functional liquid discarded and discharged by flushing or suction processing remains in the maintenance cap, the maintenance cap is not filled with the saturated gas of the functional liquid, and is substantially the air (natural state) or the cleaning liquid. Can be filled with a saturated gas. As a result, even if the droplet discharge head is sealed with the maintenance cap for a long time, the saturated liquid of the functional liquid does not exist in the sealing space constituted by the nozzle surface and the maintenance cap. Will not be affected.
[0016]
In this case, the in-cap cleaning process is preferably performed prior to the wiping process.
[0017]
According to this structure, since it wipes off after washing | cleaning, the functional liquid which can adhere and remain around a seal | sticker site | part can be removed reliably. Further, since no liquid adheres to the seal portion, there is no influence on the discharge characteristics of the droplet discharge head.
[0018]
In these cases, the in-cap cleaning step includes a cap sealing step for sealing the cap surface of the maintenance cap with a dummy head that simulates a droplet discharge head, and a dummy space in the sealing space between the dummy head and the maintenance cap. It is preferable to include a liquid passing process in which a cleaning liquid is passed from the head to perform cleaning.
[0019]
According to this configuration, since the dummy head is used, the cap surface (the seal part) of the maintenance cap can be appropriately sealed, and the cleaning liquid is passed through the sealing space from the dummy head, The inside of the maintenance cap can be cleaned.
[0020]
In these cases, the liquid passing process includes a cleaning liquid supplying process for supplying the cleaning liquid from the dummy head to the sealing space, and a draining process for discharging the cleaning liquid in the maintenance cap, which is continuous with the cleaning liquid supplying process. It is preferable to consist.
[0021]
According to this configuration, by passing the cleaning liquid from the dummy head toward the liquid discharge side of the maintenance cap, the cleaning liquid can be efficiently cleaned without leaving any functional liquid in the maintenance cap. it can.
[0022]
In this case, it is preferable that the draining process is terminated with a slight amount of the cleaning liquid remaining in the maintenance cap.
[0023]
According to this configuration, at the time of head maintenance, the droplet discharge head is sealed with a slight amount of cleaning liquid remaining in the maintenance cap (so as not to come into contact with the nozzle surface). As a result, since the sealed space is filled with the substantially saturated gas of the cleaning liquid, it is possible to suppress (moisturize) the vaporization of the functional liquid solvent from the nozzle hole as well as not adversely affecting the nozzle surface. In other words, functional liquid drying from the so-called nozzle hole is prevented.
[0024]
In these cases, it is preferable that the maintenance cap is connected to the suction means, and at least the drainage process of the cleaning liquid supply process and the drainage process is performed by driving the suction means.
[0025]
According to this configuration, the cleaning liquid and the functional liquid remaining in the maintenance cap can be efficiently drained by driving the suction means. In the cleaning liquid supply process, if the suction means is used, the cleaning liquid can be supplied to the sealed space simultaneously with the drainage of the functional liquid or the like. That is, liquid supply and drainage can be performed continuously, and cleaning can be performed in a short time.
[0026]
In these cases, it is preferable that the maintenance cap also serves as a cap member for suction processing that is connected to the suction means and sucks the functional liquid from all the nozzles of the droplet discharge head.
[0027]
According to this configuration, since the maintenance cap can be used effectively, the number of parts can be reduced as compared with the case where the maintenance cap for suction processing is provided separately and independently. Further, although the maintenance cap may be contaminated with the functional liquid by the suction process, the droplet discharge head can be appropriately maintained with the wiped or cleaned maintenance cap in the storage process of the droplet discharge head. If the wiping process or the cleaning process is performed immediately after the suction process, the functional liquid attached to the maintenance cap can be prevented from drying and solidifying.
[0028]
The maintenance cap cleaning device of the present invention discharges a functional liquid. Inkjet method In a maintenance cap cleaning device that tightly adheres to the nozzle surface to maintain the droplet discharge head and hermetically seals the nozzle hole with a seal portion on the cap surface, a sealing member that seals the cap surface of the maintenance cap; , Liquid passing cleaning means for passing the cleaning liquid through the sealing space between the sealing member and the maintenance cap, and cleaning at least the sealing portion, and a sealing movement for facing the sealing member relative to the maintenance cap Means, Control means for controlling the liquid flow cleaning means and the sealing moving means; With The control means causes the cap surface to be sealed and cleaned during the drawing operation of the droplet discharge head that discharges the functional droplet from the nozzle. It is characterized by that.
[0029]
According to this configuration, when cleaning the maintenance cap, the sealing member is relatively faced at that position, and the liquid passing cleaning means is driven. Then, the cleaning liquid is passed through the sealing space between the sealing member and the maintenance cap, and at least the functional liquid remaining on the seal portion is washed away. As a result, when performing the head maintenance process in which the maintenance cap is in close contact with the droplet discharge head, the cleaned seal part is in close contact with the nozzle surface. Can be prevented from adversely affecting the nozzle surface (for example, deterioration of functional repellency).
[0030]
In this case, the sealing member has a cap seal part that surrounds the seal part in a non-contact state and is in close contact with the cap surface, and the liquid passing cleaning means passes the cleaning liquid into the sealing space to seal the seal part. It is preferred to clean the site and the interior of the security cap.
[0031]
According to this configuration, the sealing member seals the maintenance cap so as to surround the seal portion via the cap seal portion without contacting the seal portion of the maintenance cap to which the droplet discharge head originally adheres. Since the cleaning liquid is passed in this sealed state, the functional liquid attached to the inside of the maintenance cap is washed out in addition to the seal portion. As a result, the maintenance cap can always be filled with air (natural state) or with a saturated gas of the cleaning liquid without being filled with the saturated gas of the functional liquid. And can be performed stably and appropriately.
[0032]
In this case, the sealing member is a dummy head that simulates a droplet discharge head, and the liquid passing cleaning means includes a cleaning liquid supply means that supplies the cleaning liquid from the dummy head to the sealing space, and a cleaning liquid in the maintenance cap. It is preferable to have a draining means for draining from the maintenance cap.
[0033]
According to this configuration, the cleaning liquid is passed through the sealing space from the dummy head toward the drain side of the maintenance cap, so that the cleaning liquid does not leak and the functional liquid does not remain in the maintenance cap. This can be cleaned efficiently.
[0034]
In this case, it is preferable that the drainage means stops driving with a slight amount of the cleaning liquid remaining in the maintenance cap.
[0035]
According to this configuration, at the time of head maintenance, the liquid droplet ejection head is sealed with a slight amount of cleaning liquid remaining in the maintenance cap. As a result, the sealing space is substantially saturated with the cleaning liquid, and thus the nozzle surface is not adversely affected and the nozzle hole can be appropriately moisturized.
[0036]
In these cases, it is preferable to further have a suction means connected to the maintenance cap, and the suction means also serves as the cleaning liquid supply means and the drainage means.
[0037]
According to this configuration, by driving the suction means, the cleaning liquid and the functional liquid remaining in the maintenance cap can be efficiently discharged simultaneously with the supply of the cleaning liquid to the sealed space, so that cleaning is performed in a short time. be able to.
[0038]
The maintenance cap cleaning device of the present invention discharges a functional liquid. Inkjet method In a maintenance cap cleaning device that adheres closely to the nozzle surface to maintain the droplet discharge head and hermetically seals the nozzle hole with the seal portion, the wiping member is pressed relatively against the seal portion of the maintenance cap. A wiping means for wiping off the functional liquid adhering to the seal portion, a wiping moving means for facing the wiping means relative to the maintenance cap, Control means for controlling the wiping means and the wiping movement means; With The control means performs wiping during the drawing operation of the droplet discharge head that discharges functional droplets from the nozzles. It is characterized by that.
[0039]
According to this configuration, when cleaning the maintenance cap, the wiping means is relatively exposed to the position, and the wiping means is driven. Then, the seal part pressed against the wiping member is wiped off the functional liquid remaining on the seal part. As a result, when performing a head maintenance process in which the maintenance cap is in close contact with the droplet discharge head, a clean seal portion is always in close contact with the nozzle surface. It is possible to prevent adverse effects (for example, deterioration of the functional repellency).
[0040]
In this case, the in-cap liquid cleaning means for cleaning the interior of the maintenance cap by passing the cleaning liquid through the sealing member for sealing the cap surface of the maintenance cap, and the sealing space between the sealing member and the maintenance cap And a sealing moving means for relatively facing the sealing member with respect to the maintenance cap.
[0041]
According to this configuration, the sealing member is relatively faced to the position of the maintenance cap, and with the cap surface sealed, the cleaning liquid is passed through the sealing space, so that the inside of the maintenance cap can be obtained. The adhered functional fluid is washed away. As a result, the maintenance cap can be filled with substantially air (natural state) or substantially saturated gas of the cleaning liquid without being filled with the saturated gas of the functional liquid, and the head maintenance process can be performed stably over a long period of time. Can do.
[0042]
In this case, it is preferable that the wiping unit starts driving after the driving of the in-cap liquid passing cleaning unit is stopped.
[0043]
According to this structure, since it wipes off after washing | cleaning, the functional liquid which can adhere and remain around a seal | sticker site | part can be removed reliably. Further, since no liquid adheres to the seal portion, there is no influence on the discharge characteristics of the droplet discharge head.
[0044]
In these cases, the sealing member is a dummy head that simulates a droplet discharge head, and the liquid passing cleaning means in the cap includes a cleaning liquid supply means that supplies cleaning liquid from the dummy head to the sealing space, and a maintenance cap. It is preferable to have a draining means for draining the cleaning liquid from the maintenance cap.
[0045]
According to this configuration, since the dummy head is used, the cap surface (seal part) of the maintenance cap can be properly sealed, so that the cleaning liquid can flow from the dummy head toward the drain side of the maintenance cap. Thus, the cleaning liquid can be efficiently cleaned without causing leakage of the cleaning liquid and without leaving the functional liquid in the maintenance cap.
[0046]
In this case, it is preferable that the drainage means stops driving with a slight amount of the cleaning liquid remaining in the maintenance cap.
[0047]
According to this configuration, at the time of head maintenance, since the liquid droplet ejection head is sealed with a slight amount of cleaning liquid remaining in the maintenance cap, similarly to the above, the nozzle surface is adversely affected. In addition, the nozzle hole can be appropriately moisturized.
[0048]
In these cases, it is preferable to further have a suction means connected to the maintenance cap, and the suction means also serves as the cleaning liquid supply means and the drainage means.
[0049]
According to this configuration, by driving the suction means, the cleaning liquid and the functional liquid remaining in the maintenance cap can be efficiently discharged simultaneously with the supply of the cleaning liquid to the sealed space. Also, the structure can be simplified.
[0050]
In these cases, the wiping member is a sheet-like member, and the wiping means is a winding means for winding the wiping member so that the wiping member can be freely fed, and a winding for winding and collecting the wiped portion of the wiping member. It is preferable to have a take-off means and a pressing mechanism that is provided between the take-out means and the take-up means and presses the drawn-off wiping member relatively to the seal portion of the maintenance cap.
[0051]
According to this configuration, the wiping member is relatively pressed against the seal portion by the pressing mechanism to wipe off the functional liquid, and is then wound around the winding means. As a result, the used wiping member can be properly collected, and at the same time, the preparation for the next wiping is completed, so that a clean wiping member can always be provided for the seal portion.
[0052]
The droplet discharge device of the present invention includes the above-described maintenance cap cleaning device of the present invention and a head moving mechanism for moving the droplet discharge head relative to the workpiece.
[0053]
According to this configuration, the droplet discharge head can be properly maintained during non-operation or the like, so that the functional liquid is appropriately discharged from the droplet discharge head to the workpiece during operation of driving the head moving mechanism. be able to. Moreover, since the deterioration of the nozzle surface of the droplet discharge head can be suppressed, the replacement frequency of the droplet discharge head due to the deterioration is reduced, and the reliability and productivity of the apparatus can be improved. The work includes a recording medium such as a cut sheet as well as various substrates such as a color filter described later.
[0055]
A method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the above-described droplet discharge device according to the present invention to discharge a functional liquid from a droplet discharge head to form a film forming portion on a substrate serving as a workpiece. And
[0056]
According to this configuration, since the manufacturing is performed using the droplet discharge device that reliably discharges the functional droplets to the substrate, the yield of the electro-optical device can be improved. Examples of the electro-optical device (device) include a liquid crystal display device, an organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron emission device, a PDP (Plasma Display Panel) device, and an electrophoretic display device. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) device. Furthermore, the electro-optical device includes devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like.
[0059]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a production line for flat panel displays such as organic EL devices, and by using an inkjet method, functional droplets such as filter materials and light emitting materials from a droplet discharge head to a substrate (work). Is selectively ejected to form a desired film forming portion on the substrate. Further, the droplet discharge device is provided with a maintenance cap cleaning device, and the droplet discharge head can be appropriately maintained by the maintenance cap.
[0060]
As shown in FIGS. 1 to 4, the droplet discharge device 1 includes a droplet discharge head 2 having the droplet discharge head 20 shown in FIG. 6, and maintenance for performing maintenance processing on the droplet discharge head 20. For driving / controlling each means such as the means 3, the function liquid supply means 4 for supplying the function liquid to the droplet discharge head 20 and collecting the liquid such as the function liquid that is no longer needed, and the function liquid supply means 4. An air supply means 5 for supplying compressed air and a control means 6 (see FIGS. 8 and 9) for comprehensively controlling these means and devices are provided.
[0061]
The droplet discharge device 1 includes a gantry 11 having a stone surface plate 13 fixed to the upper part and a machine gantry 12 attached to the gantry 11. Discharge means 2 is disposed on the stone surface plate 13, and a work W (substrate, see FIG. 4) serving as a droplet object is set below corresponding to the upper droplet discharge head 20. . The workpiece W is made of, for example, a glass substrate or a polyimide substrate.
[0062]
The machine base 12 has a large storage chamber 14 on the front side for storing tanks such as the main tank 52 of the functional liquid supply means 4 (see FIG. 3) and a small storage on the back side for storing the main part of the air supply means 5. Installed on the chamber 15, the tank base 16 on which the liquid supply sub-tank 53 of the functional liquid supply means 4 that functions as a sub-tank is installed on the small storage chamber 15 and on the large storage chamber 14. The movable table 17 is slidably supported in the longitudinal direction of the machine base 12 (that is, the X-axis direction). A common base 18 on which various units of the maintenance means 3 are placed is fixed on the moving table 17.
[0063]
The discharge means 2 includes a head unit 21 having a plurality of droplet discharge heads 20, a main carriage 22 on which the head unit 21 is mounted, and the head unit 21 with respect to the workpiece W via the main carriage 22 in the X and Y axis directions. And an X / Y moving mechanism 23 for relative movement. The X / Y moving mechanism 23 (head moving mechanism) is disposed on the stone surface plate 13, and an X-axis table 25 that moves the workpiece W in the X-axis direction, and a main carriage that is orthogonal to the X-axis table 25. The Y-axis table 26 moves the Y-axis 22 in the Y-axis direction, and the Y-axis table 26 is disposed above the X-axis table 25 so as to straddle it.
[0064]
The X-axis table 25 is composed mainly of a linear motor, and moves the workpiece W in the X-axis direction via a suction table 27 (see FIG. 4) on which the workpiece W is suction-mounted. The Y-axis table 26 is composed mainly of a ball screw as a moving system, and moves the droplet discharge head 20 in the Y-axis direction via a bridge plate 28 fixed so as to suspend the main carriage 22.
[0065]
In a series of operations by the discharge means 2, a plurality of droplet discharge heads 20 are selectively driven to discharge in synchronization with the movement of the workpiece W in the main scanning direction (X-axis direction) by the X-axis table 25. That is, so-called main scanning of the droplet discharge head 20 is performed by a reciprocating operation of the workpiece W by the X-axis table 25, and so-called sub-scanning is performed correspondingly to the Y of the droplet discharge head 20 by the Y-axis table 26. This is performed by a forward movement which is a pitch feed operation in the axial direction. In this way, the drawing operation for discharging the functional liquid to a predetermined position of the work W by performing the main scanning and the sub scanning of the droplet discharge head 20 relative to the work W by the X / Y moving mechanism 23 is performed by the control means. 6 based on the data stored in 6.
[0066]
Although the workpiece W is moved in the main scanning direction with respect to the droplet discharge head 20 (head unit 21), a configuration in which the droplet discharge head 20 is moved in the main scanning direction may be used. Alternatively, the work W may be fixed and the droplet discharge head 20 may be moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction.
[0067]
As shown in FIGS. 5 and 6, the head unit 21 has a sub-carriage 29 on which a plurality (12) of droplet discharge heads 20 are mounted, and is fixed to the main carriage 22 at the sub-carriage 29. . The twelve droplet discharge heads 20 are divided into two rows of six, and are arranged apart from each other in the main scanning direction (X-axis direction). Each droplet discharge head 20 is disposed at a predetermined angle with respect to the workpiece W in order to ensure a sufficient application density of functional droplets. Further, the droplet discharge heads 20 in one column and the other column are disposed so as to be displaced from each other with respect to the sub-scanning direction (Y-axis direction). The nozzles 49 are continuous (partially overlap).
[0068]
As shown in FIG. 6, the droplet discharge head 20 has a so-called double structure, and a functional liquid introduction section 42 having two connection needles 41, and a double head substrate 43 continuous with the functional liquid introduction section 42. And a head main body 44 which is connected to the lower side of the functional liquid introduction part 42 (upper side in FIG. 5A) and in which an in-head flow path filled with the functional liquid is formed. This type of ink jet type droplet discharge head 20 is configured by using a piezoelectric element (piezo element) as an energy generating element for driving ejection or using an electrothermal transducer.
[0069]
Each connection needle 41 is connected to the liquid supply sub tank 53 via a pipe adapter 51, and the functional liquid introduction part 42 receives supply of the functional liquid from each connection needle 41. That is, the functional liquid is pressure-supplied from the main tank 52 to the liquid supply subtank 53 by the air supply means 5, and is pressure-cut by the liquid supply subtank 53, and is branched from the liquid supply subtank 53 to discharge each droplet. It is supplied to the head 20.
[0070]
The head main body 44 includes a nozzle forming plate 46 having a flat nozzle surface 45 and two cuboid-shaped pump units 47 connected to the nozzle forming plate 46. In the droplet discharge head 20, the head main body 44 protrudes from the lower surface of the sub-carriage 29, and two nozzle rows 48 are mutually connected to the lower surface of the head main body 44, that is, the nozzle surface 45 facing the workpiece W in parallel. They are formed in parallel.
[0071]
Each nozzle row 48 extends substantially in the main scanning direction. For example, 180 nozzles 49 are arranged at an equal pitch. The liquid droplet ejection head 20 ejects functional liquid droplets from the nozzle holes of the respective nozzles 49 by the action of the pump unit 47. Although not particularly shown, the peripheral portion of the nozzle hole and the nozzle surface 45 are surface-treated so as to have a functional repellency, and for example, a eutectoid plating layer is coated.
[0072]
The maintenance means 3 is for maintaining the droplet discharge head 20 so that the droplet discharge head 20 can properly discharge the functional liquid. In particular, as shown in FIG. A flushing box 71 is disposed, and a wiping unit 72, a suction unit 73, a weight measurement unit 74, and a cap cleaning unit 75 are disposed on the machine base 12 side from the lower side of the drawing.
[0073]
In this case, the wiping unit 72, the suction unit 73, and the weight measurement unit 74 are mounted on the common base 18 on the moving table 17, and face the head unit 21 moved to the maintenance position by the moving table 17. Yes. On the other hand, the cap cleaning unit 75 is mounted directly on the machine base 12 and faces the suction unit 73 by its own maintenance X / Y moving mechanism 125 described later.
[0074]
A pair of flushing boxes 71 are fixed to the X-axis table 25 with the suction table 27 in between, and each flushing box 71 is flushed with a plurality of droplet discharge heads 20 (preliminary discharge: function from all nozzles 49). The liquid is discarded and discharged. Specifically, the flushing box 71 is used during a drawing operation, and moves along with the workpiece W toward the droplet discharge head 20 (head unit 21) during main scanning, and reaches the flushing box 71. Flushing is sequentially performed from the droplet discharge head 20 sequentially (for each column).
[0075]
As shown in FIGS. 1, 3, and 4, the wiping unit 72 is configured to be slidable in the X-axis direction via the moving table 17. The wiping unit 72 wipes the nozzle surface 45 of each droplet discharge head 20 contaminated by droplet mist with a wiping sheet (not shown). This wiping process is basically performed by a liquid by the suction unit 73. This is performed after the suction processing of the droplet discharge head 20.
[0076]
For example, when the suction process of the droplet discharge head 20 is completed, the wiping unit 72 moves to a position facing the droplet discharge head 20 by the moving table 17. Then, the wiping unit 72 feeds out the roll-shaped wiping sheet, makes the slidable contact with the nozzle surface 45 of the droplet discharge head 20, wipes the nozzle surface 45, and winds the wiped sheet after wiping.
[0077]
The weight measuring unit 74 contributes to optimization of the driving voltage in the droplet discharge head 20 by measuring the droplet discharge amount (weight) of the droplet discharge head 20 in units of heads. The weight measuring unit 74 has twelve droplet receiving containers 78 provided corresponding to the twelve droplet discharge heads 20 and twelve droplet receiving containers 78 and is fixed to the common base 18. And a mounting table 79.
[0078]
When measuring the weight, droplets are discharged a predetermined number of times from the droplet discharge heads 20 facing directly above the weight measurement unit 74 toward the droplet receiving containers 78. Thereafter, each droplet receiving container 78 is transferred to an electronic balance (not shown), and the weight of the droplet in each droplet receiving container 78 is measured.
[0079]
The suction unit 73 has a maintenance cap 91 that is in close contact with the nozzle surface 45 of the droplet discharge head 20. The suction unit 73 is disposed from the droplet discharge head 20 via the maintenance cap 91 in order to prevent or eliminate nozzle clogging (dot missing) of the droplet discharge head 20 during operation of the droplet discharge apparatus 1 or by manual operation. A suction process (head cleaning process) for forcibly sucking the functional liquid is performed. In addition, the suction unit 73 is a storage process in which the nozzle hole of the droplet discharge head 20 is hermetically sealed by the maintenance cap 91 in order to prevent the functional liquid from drying from the nozzle hole of the droplet discharge head 20 when not in operation. I do.
[0080]
As shown in FIG. 7, the suction unit 73 includes a cap unit 93 in which twelve maintenance caps 91 corresponding to twelve droplet discharge heads 20 are incorporated in a base plate 92, and a lifting mechanism 94 that moves the cap unit 93 up and down. , A suction pump 95 that sucks the functional liquid through the maintenance cap 91, and a suction tube 96 that connects each maintenance cap 91 and the suction pump 95.
[0081]
The maintenance cap 91 includes a cap body 101 and a cap holder 102 that fixes the cap body 101 to the base plate 92. As schematically shown in FIG. 8, the maintenance cap 91 is formed at the bottom of the cap body 101, the absorbent material 103 laid on the bottom of the cap body 101, the frame-shaped absorbent foot 106 for holding the absorbent material 103. The small hole 104 and the seal packing 105 attached to the peripheral edge of the upper end of the cap main body 101 are provided. The small hole 104 communicates with the suction tube 96.
[0082]
The seal packing 105 is located on the cap surface of the maintenance cap 91 and is configured to be able to be in close contact with the peripheral portion of the nozzle surface 45 of the droplet discharge head 20 to seal it. That is, the seal packing 105 serves as a seal portion of the maintenance cap 91 with respect to the droplet discharge head 20, and a sealing space is formed by the maintenance cap 91 and the nozzle surface 45, and the nozzle holes of the droplet discharge head 20 are hermetically sealed. The
[0083]
The suction pump 95 is connected to the control means 6. The elevating mechanism 94 is composed of an air cylinder and is connected to the control means 6. The elevating mechanism 94 moves the cap unit 93 up and down (separates) between a sealing position where the maintenance cap 91 is in close contact with the droplet discharge head 20 and a retreat position where the maintenance cap 91 is separated from the droplet discharge head 20. Let
[0084]
The elevating mechanism 94 is stopped at a relatively low raised position where the maintenance cap 91 is slightly separated from the droplet discharge head 20 in addition to the relatively high sealing position of the cap unit 93 that performs the suction process. The suction unit 73 can be made to function as a flushing box by configuring it as possible.
[0085]
In both the storage process and the suction process of the droplet discharge head 20, the maintenance cap 91 is moved to the sealing position and the maintenance cap 91 is in close contact with the droplet discharge head 20 via the seal packing 105. In this state, the suction pump 95 is set in a standby state in the storage process, but the suction pump 95 is driven in the suction process. When the suction pump 95 is driven, negative pressure is applied to the droplet discharge head 20 through the small hole 104 and the sealing space, and the functional liquid is sucked from the droplet discharge head 20. The sucked functional liquid is guided from the absorbent 103 to the drainage tank 112 through the suction tube 96 and the drainage tube 111. In addition, the drainage tank 112 is accommodated in said large accommodation chamber 14 (refer FIG. 3).
[0086]
Although details will be described later, at least before the storage process is executed, the cleaning process of the maintenance cap 91 by the cap cleaning unit 75 is executed. Further, this cleaning process is performed in a state where the maintenance cap 91 is moved to the sealing position, similarly to the head maintenance process of the storage process and the suction process.
[0087]
The cap cleaning unit 75 performs a cleaning process including a liquid flow cleaning process and a wiping process on the maintenance cap 91 in order to remove the functional liquid remaining on the maintenance cap 91 by a suction process or the like. .
[0088]
As shown in FIG. 4, the cap cleaning unit 75 has a dummy head 121 that seals the maintenance cap 91 at the sealing position (see FIG. 8), and passes the cleaning liquid into the maintenance cap 91 via the dummy head 121. In-cap liquid cleaning means 122 for cleaning the inside of the cap (see FIG. 8), cap wiping means 123 (see FIG. 9) for wiping off the functional liquid adhering to the seal packing 105 of the maintenance cap 91, dummy head 121, A unit carriage 124 that collectively holds the cap wiping means 123; and a maintenance X / Y moving mechanism 125 that moves the dummy head 121 and the cap wiping means 123 in the X / Y-axis directions via the unit carriage 124. is doing.
[0089]
As shown in FIG. 4, the maintenance X / Y moving mechanism 125 is installed on the machine base 12 and, like the X / Y moving mechanism 23 described above, the maintenance X-axis table 85 and orthogonal thereto. And a maintenance Y-axis table 86. The maintenance X-axis table 85 mounts the unit carriage 124 and moves it in the X-axis direction. The maintenance Y-axis table 86 is mounted with one end of the maintenance X-axis table 85 and moves the unit carriage 124 in the Y-axis direction via the maintenance X-axis table 85.
[0090]
As described above, the maintenance X / Y moving mechanism 125 can cause the dummy head 121 and the cap wiping means 123 to face each of the maintenance caps 91 directly via the unit carriage 124. That is, the maintenance X / Y moving mechanism 125 constitutes the sealing moving means and the wiping moving means described in the claims.
[0091]
The dummy head 121 (sealing member) is formed to imitate the shape of the head main body 44 of the droplet discharge head 20, and the lower surface corresponding to the nozzle surface 45 of the head main body 44 is a seal packing of the maintenance cap 91. 105 is configured to be able to be in close contact. That is, similarly to the sealing relationship between the droplet discharge head 20 and the maintenance cap 91, the sealing portion of the maintenance cap 91 with respect to the dummy head 121 becomes the seal packing 105, and the sealing between the dummy head 121 and the maintenance cap 91 is sealed. A space is formed (see FIG. 8A).
[0092]
The lower surface of the dummy head 121 includes a contact surface 131 that is in close contact with the seal packing 105 of the maintenance cap 91 and a sealing surface 132 that faces the inside of the maintenance cap 91, that is, the sealing space. A plurality of cleaning nozzles 133 for supplying a cleaning liquid to the sealing space are formed on the sealing surface 132 in an annular shape along the peripheral edge thereof (see FIG. 5B). For this reason, the cleaning liquid supplied to the sealing space from the plurality of cleaning nozzles 133 reaches every corner of the maintenance cap 91 (in the cap body 101). The functional liquid adhering to the inside of the maintenance cap 91 is washed away by the cleaning liquid.
[0093]
As shown in FIG. 8, the in-cap liquid cleaning means 122 drains the cleaning liquid supply means 141 for supplying the cleaning liquid from the dummy head 121 to the sealing space and the cleaning liquid in the maintenance cap 91 from the maintenance cap 91. And drainage means 142.
[0094]
The cleaning liquid supply unit 141 includes a cleaning liquid tank 143 that stores a large amount of cleaning liquid, and a cleaning tube 144 that connects the cleaning liquid tank 143 and the dummy head 121. The cleaning tube 144 is connected to the upper part of the dummy head 121. The cleaning liquid tank 143 is accommodated in the large accommodating chamber 14 (see FIG. 3) and is disposed at a position lower than the dummy head 121. Thereby, dripping of the cleaning liquid from the dummy head 121 in the natural state is prevented.
[0095]
The drainage means 142 mainly serves as the suction pump 95 connected to the maintenance cap 91. When the suction pump 95 is driven, the cleaning liquid in the maintenance cap 91 is discharged via the suction tube 96 or the like to the drainage tank 112. Lead to. When the suction pump 95 is driven in a state where the dummy head 121 is in close contact with the maintenance cap 91, negative pressure is applied to the dummy head 121 through the sealing space, and the cleaning liquid sucked from the dummy head 121 flows into the sealing space. The liquid is to be supplied.
[0096]
That is, the cap unit 93 incorporating the maintenance cap 91 is raised to the sealing position and brought into close contact with the dummy head 121, and then the suction pump 95 is driven to seal between the maintenance cap 91 and the dummy head 121. The cleaning liquid in the cleaning liquid tank 143 is supplied to the space via the cleaning tube 144. At the same time, the cleaning liquid in the maintenance cap 91 is drained from the maintenance cap 91 to the drainage tank 112 via the suction tube 96.
[0097]
In this way, by driving the suction pump 95 for a predetermined time, the cleaning liquid passes through the sealed space from the dummy head 121 toward the liquid discharge side of the maintenance cap 91. By this liquid passing, the inside of the maintenance cap 91 is washed, and the functional liquid adhering to the inner wall of the cap body 101 is washed away, and the functional liquid impregnated in the absorbent material 103 is also discharged together with the washing liquid.
[0098]
In this case, the driving of the suction pump 95 is stopped in a state where the cleaning liquid is left slightly in the maintenance cap 91, that is, in a state where the absorbent 103 is impregnated with the cleaning liquid. As a result, in the subsequent head maintenance process, the sealing space between the maintenance cap 91 and the droplet discharge head 20 can be filled with the substantially saturated gas of the cleaning liquid. The vaporization of the functional liquid from the nozzle hole can be appropriately suppressed, and the functional liquid drying from the nozzle hole can be suitably prevented.
[0099]
In a series of liquid cleaning processes for the 12 maintenance caps 91, first, the maintenance X / Y moving mechanism 125 causes the dummy head 121 to face directly above the first maintenance cap 91. At this time, the lower surface of the dummy head 121 is positioned at the same height level as the nozzle surface 45 of the droplet discharge head 20, but here, the lifting mechanism 94 is driven to bring the maintenance cap 91 into the sealing position. Raised and brought into close contact with the lower surface of the dummy head 121. Thereafter, the suction pump 95 is driven to allow the cleaning liquid to flow through the sealed space, and the inside of the maintenance cap 91 is cleaned.
[0100]
After the first maintenance cap 91 is passed through and washed, the lifting mechanism 94 is driven to lower the maintenance cap 91 and the dummy head 121 faces the position of the next maintenance cap 91. By driving the suction pump 95, the second cleaning process of the maintenance cap 91 is completed. Then, by repeating this operation for several minutes (12 times) of the maintenance cap 91, the liquid cleaning process for all the maintenance caps 91 is completed.
[0101]
Note that the liquid cleaning process described above is performed while the discharge unit 2 is being driven (drawing operation), and therefore does not affect the tact time of the work process. For this reason, in this embodiment, using the single dummy head 121, the 12 maintenance caps 91 are sequentially subjected to the liquid passing cleaning process. However, twelve dummy heads 121 and cleaning tubes 144 may be prepared corresponding to the twelve maintenance caps 91, and the twelve maintenance caps 91 may be collectively subjected to liquid cleaning treatment. According to this, control of the raising / lowering mechanism 94 and the suction pump 95 can be simplified.
[0102]
Further, instead of the configuration of the present embodiment in which the suction pump 95 also serves as the cleaning liquid supply means 141, a cleaning liquid pressurizing mechanism for pressurizing the cleaning liquid tank 143 is provided, and the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 143 is passed through the cleaning tube 144. The pressure may be fed to the dummy head 121. Alternatively, an opening / closing valve that is controlled to be opened / closed is provided in the cleaning tube 144, and the cleaning liquid tank 143 is provided at a position higher than the dummy head 121, and the opening / closing valve is opened when supplying the cleaning liquid. The cleaning liquid may be sent to the dummy head 121. In this case, the cleaning liquid tank 143 may be mounted on the unit carriage 124 described above.
[0103]
As shown in FIG. 9, the cap wiping means 123 includes a flexible cloth wiping sheet 151, a sheet pressing mechanism 152 that presses the wiping sheet 151 against the seal packing 105 of the maintenance cap 91, and a wiping sheet 151. A feed mechanism 153 that feeds the wiping sheet 151, and a winding mechanism 154 that winds and collects the wiping sheet 151 that has been fed. The feeding mechanism 153 includes a feeding reel 155 around which a roll-shaped wiping sheet 151 is wound so as to be freely fed, and a torque limiter 156 that is attached to the feeding reel 155 and brakes and rotates.
[0104]
The winding mechanism 154 includes a winding reel 157 that winds up the wiping sheet 151 and a winding motor 158 that rotates the winding reel 157, and the winding motor 158 is connected to the control unit 6. ing. By the rotation of the winding motor 158, the wiping sheet 151 is fed out from the feeding reel 155 and starts to travel, and is wound around the winding reel 157 via the sheet pressing mechanism 152 on the traveling path. That is, the winding mechanism 154 also serves as a sheet feeding mechanism that sends the wiping sheet 151 along the travel path.
[0105]
The sheet pressing mechanism 152 is provided between the feeding mechanism 153 and the winding mechanism 154, and includes a pressing member 161 that presses the wiping sheet 151 against the seal packing 105, an actuator 162 such as an air cylinder that moves the pressing member 161 up and down, And a power transmission unit 163 that transmits the power of the actuator 162 to the pressing member 161. The actuator 162 is connected to the control means 6.
[0106]
The pressing member 161 has a sufficient pressing surface 161 a including the maintenance cap 91, and presses the wiping sheet 151 against the seal packing 105 so as to sandwich the wiping sheet 151 between the pressing member 161 and the maintenance cap 91. As a result, the wiping sheet 151 wipes off the functional liquid remaining on the seal packing 105 and becomes a clean seal packing 105 free from contamination of the functional liquid.
[0107]
A series of wiping processes by the cap wiping means 123 is basically performed after the above-described liquid cleaning process. First, the maintenance XY movement mechanism 125 causes the cap wiping means 123 to face the maintenance cap 91. I will. Here, the actuator 162 is driven to lower the pressing member 161, and the wiping sheet 151 in the feed stop state is pressed against the seal packing 105. After wiping, the pressing member 161 is raised, and when the wiping sheet 151 is separated from the maintenance cap 91, the winding motor 158 is driven. When the take-up motor 158 is driven, the wiped portion is collected on the take-up reel 157, and an unused wiping sheet 151 used for the next wiping process faces immediately below the pressing member 161.
[0108]
In this embodiment, after the first wiping process of the maintenance cap 91, the wiping means 123 is moved to the next by the maintenance XY movement mechanism 125 for the wiping process of the next maintenance cap 91. However, a plurality of pressing members 161 corresponding to the plurality of maintenance caps 91 may be prepared, and the plurality of maintenance caps 91 may be collectively wiped.
[0109]
Further, when the maintenance cap is sequentially subjected to the liquid passing cleaning process and the wiping process one by one as in the present embodiment, both the processes may be performed in parallel. That is, the liquid passing cleaning process may be performed on the second maintenance cap in parallel with the wiping process being performed on the cleaned first maintenance cap 91.
[0110]
The control unit 6 includes a control unit that has a CPU and controls the operation of each unit. The control unit stores a control program and control data, and has a work area for performing various control processes. Have. And the control means 6 is connected with each above-mentioned means, and controls the droplet discharge apparatus 1 whole.
[0111]
For example, when a drawing operation is performed on the workpiece W, the control unit 6 controls the ejection driving of the plurality of droplet ejection heads 20 and controls the relative relationship between the workpiece W and the head unit 21 by the XY movement mechanism 23. The general movement behavior. During the drawing operation, the suction unit 73 and the wiping unit 72 of the maintenance unit 3 appropriately perform the suction process and the wiping process on the droplet discharge head 20. A cleaning process is performed.
[0112]
Specifically, the cleaning process of the maintenance cap 91 is performed in cooperation with the cap cleaning unit 75 and the suction unit 73 as described above. First, the dummy head 121 is moved by the maintenance X / Y moving mechanism 125. All the maintenance caps 91 are liquid-washed by being moved. Next, the cap wiping means 123 is moved by the maintenance X / Y moving mechanism 125 to wipe all the maintenance caps 91.
[0113]
Therefore, since the maintenance cap 91 contaminated with the functional liquid by the suction processing of the droplet discharge head 20 can be cleaned, when the droplet discharge head 20 is further suctioned, the state of the maintenance cap 91 is liquid. The droplet discharge head 20 is not affected. In the storage process of the droplet discharge head 20 that is performed during the standby after the drawing operation is completed, the nozzle hole 45 is moisturized by exposing the nozzle surface 45 of the droplet discharge head 20 to the substantially saturated gas of the cleaning liquid by the maintenance cap 91. Therefore, the droplet discharge head 20 can be stored appropriately and stably.
[0114]
Although it depends on the frequency of the suction process, the cleaning process of the maintenance cap 91 is preferably performed basically after the suction process. However, after the suction process, a drawing operation is performed by the droplet discharge head 20 in parallel with the cleaning process of the maintenance cap 91.
[0115]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with a focus on differences from the first embodiment with reference to FIG. In the second embodiment, the configuration of the maintenance cap 91 and the dummy head 121 is partially different from that of the first embodiment. On the cap surface of the maintenance cap 91, a seal packing 105 that is in close contact with the droplet discharge head 20 is attached, and a portion located outside the seal packing 105 is in a frame-like cap contact surface 171 that is in close contact with the dummy head 121. It has become.
[0116]
The lower surface of the dummy head 121 has a cap seal 172 (cap seal portion) that surrounds the seal packing 105 in a non-contact state and is in close contact with the cap contact surface 171. For this reason, as shown in FIG. 5B, when the dummy head 121 is in close contact with the maintenance cap 91 via the cap seal 172, a sealing space is formed between the dummy head 121 and the maintenance cap 91. The sealing surface 132 of the dummy head 121 in which the plurality of cleaning nozzles 133 are formed faces the seal packing 105 and the maintenance cap 91 in a non-contact state. In this case, the plurality of cleaning nozzles 133 are formed in an annular shape along the peripheral edge of the sealing surface 132 so as to be located immediately above the seal packing 105 and to the outside of the seal packing 105.
[0117]
According to this embodiment, when the suction pump 95 is driven, the cleaning liquid passes through the sealing space between the maintenance cap 91 and the dummy head 121. At this time, the cleaning cap 91 can be cleaned and the cleaning liquid Since it flows directly into the seal packing 105, the seal packing 105 can be cleaned at the same time.
[0118]
That is, the in-cap liquid passing cleaning means 122 functions as the liquid passing cleaning means described in the claims, and the cleaning process of the maintenance cap 91 including the seal packing 105 can be performed collectively. For this reason, while the maintenance cap 91 can be efficiently cleaned, the cap wiping means 123 shown in FIG. 9 can be omitted. However, as a final process, a wiping process by the cap wiping means 123 may be performed complementarily.
[0119]
Note that the movement operation of the dummy head 121 and the maintenance cap 91 during the liquid flow cleaning process, and the completion of the liquid flow cleaning process with a slight amount of the cleaning liquid remaining in the maintenance cap 91 are the same as in the first embodiment. It goes without saying that the same applies. In addition, any of the embodiments does not limit the arrangement of the plurality of cleaning nozzles 133.
[0120]
By the way, the droplet discharge device 1 of the present embodiment can be used for manufacturing various electro-optical devices (devices). That is, it can be applied to the manufacture of liquid crystal display devices, organic EL devices, PDP devices, electrophoretic display devices, and the like. Of course, the present invention can also be applied to the manufacture of color filters used in liquid crystal display devices and the like. As other electro-optical devices, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable. In addition, an electronic device including these electro-optical devices, for example, a mobile phone equipped with a flat panel display can be provided.
[0121]
Therefore, a manufacturing method using the droplet discharge device 1 will be briefly described by taking a manufacturing method of a liquid crystal display device and a manufacturing method of an organic EL device as examples.
[0122]
FIG. 11 is a cross-sectional view of the liquid crystal display device. As shown in the figure, the liquid crystal display device 450 is configured by combining a color filter 400 and a counter substrate 466 between upper and lower polarizing plates 462 and 467 and enclosing a liquid crystal composition 465 therebetween. Yes. In addition, alignment films 461 and 464 are formed between the color filter 400 and the counter substrate 466, and TFT (thin film transistor) elements (not shown) and pixel electrodes 463 are arranged in a matrix on the inner surface of the counter substrate 466. Is formed.
[0123]
The color filter 400 includes pixels (filter elements) arranged in a matrix, and the boundaries between the pixels are separated by banks 413. One of the filter materials (functional liquid) of red (R), green (G), and blue (B) is introduced into each pixel. That is, the color filter 400 includes a light-transmitting substrate 411 (work W) and a light-blocking bank 413. The portion where the bank 413 is not formed (removed) constitutes the pixel, and the filter material of each color introduced into the pixel constitutes the colored layer 421. Overcoat layers 422 and electrode layers 423 are formed on the top surfaces of the banks 413 and the colored layers 421.
[0124]
In the droplet discharge device 1 according to this embodiment, the R, G, and B functional liquids are selected for each colored layer formation region by the droplet discharge head 20 in the pixels formed by being partitioned by the bank 413. Is discharged. And the colored layer 421 used as the film-forming part is obtained by drying the applied functional liquid. In the droplet discharge device 1, various film forming portions such as the overcoat layer 422 are formed by the droplet discharge head 20.
[0125]
Similarly, an organic EL device and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIG. As shown in the figure, in the organic EL device 500, a circuit element unit 502 is laminated on a glass substrate 501 (work W), and an organic EL element 504 which is a main component is laminated on the circuit element unit 502. A sealing substrate 505 is formed above the organic EL element 504 with an inert gas space.
[0126]
In the organic EL element 504, a bank 512 is formed by an inorganic bank layer 512 a and an organic bank layer 512 b superimposed on the inorganic bank layer 512 a, and a matrix pixel is defined by the bank 512. In each pixel, a pixel electrode 511, a light emitting layer 510b of any one of R, G, and B and a hole injection / transport layer 510a are stacked from the bottom, and a plurality of thin films such as Ca and Al are formed as a whole. It is covered with the counter electrode 503 laminated over the entire area.
[0127]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the R, G, and B light emitting layers 510b and the hole injection / transport layer 510a are formed. In the droplet discharge device 1, after forming the hole injection / transport layer 510 a, the counter electrode 503 is formed using a liquid metal material such as Ca or Al as a functional liquid introduced into the droplet discharge head 20. Are equal.
[0128]
【The invention's effect】
According to the maintenance method for a droplet discharge head of the present invention, after the functional liquid that can adhere to the seal portion of the maintenance cap is wiped off by the wiping member or after cleaning with the cleaning liquid, the maintenance cap is placed on the nozzle surface of the droplet discharge head. It is in close contact. Therefore, at the time of maintenance, the functional liquid does not adhere to the nozzle surface through the maintenance cap, and the discharge characteristics of the droplet discharge head such as deteriorating the functional repellency of the nozzle surface are not adversely affected. Regardless of the properties of the functional liquid, the droplet discharge head can be properly maintained by the maintenance cap.
[0129]
According to the maintenance cap cleaning device of the present invention, the maintenance cap is sealed with the sealing member, the cleaning liquid is passed through the sealing space to clean the sealing portion, or the wiping member is pressed against the sealing portion. Since the functional liquid adhering thereto can be wiped off, when performing the head maintenance process in which the maintenance cap is brought into close contact with the droplet discharge head, the seal portion after cleaning or after wiping comes into close contact with the nozzle surface. Therefore, in the head maintenance process, the droplet discharge head can be properly maintained by the maintenance cap regardless of the properties of the functional liquid.
[0130]
According to the droplet discharge device of the present invention, since the above-described maintenance cap cleaning device is provided, the droplet discharge head can be properly maintained during non-operation or the like. The functional liquid can be appropriately discharged from the head to the workpiece. Further, since the deterioration of the droplet discharge head can be suppressed as much as possible, the reliability and productivity of the apparatus can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external perspective view of a droplet discharge device according to an embodiment.
FIG. 2 is a front view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 3 is a right side view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 4 is a plan view in which a part of the droplet discharge device according to the embodiment is omitted.
FIG. 5 is a plan view of a head unit according to the embodiment.
6A is a perspective view of a droplet discharge head according to an embodiment, and FIG. 6B is a cross-sectional view of a main part of the droplet discharge head.
FIG. 7 is a perspective view of a head maintenance mechanism of the maintenance unit according to the embodiment.
8A is a front view schematically showing the maintenance unit (the head maintenance mechanism and the in-cap liquid cleaning means) according to the embodiment, and FIG. 8B is a dummy head viewed from the direction of arrow A; FIG.
FIG. 9 is a front view schematically showing a wiping unit of the maintenance unit according to the embodiment.
FIG. 10 is a front view schematically showing a dummy head and a maintenance cap according to a second embodiment.
FIG. 11 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device manufactured by the droplet discharge device of the embodiment.
FIG. 12 is a cross-sectional view of an organic EL device manufactured by the droplet discharge device of the embodiment.
[Explanation of symbols]
1 Droplet ejection device
2 Discharge means
3 Maintenance means
6 Control means
20 Droplet discharge head
23 XY movement mechanism
45 Nozzle surface
49 nozzles
73 Suction unit
75 Cap cleaning unit
91 Maintenance cap
95 Suction pump (suction means)
121 dummy head
122 Means for cleaning liquid in cap
123 Cap Wiping Means
125 XY movement mechanism for maintenance (moving means for wiping, moving means for sealing)
141 Cleaning liquid supply means
142 Drainage means
151 Wiping sheet (wiping member)
152 Sheet pressing mechanism
153 Feeding mechanism
154 Winding mechanism
172 Cap seal part

Claims (25)

機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、当該保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで当該液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、
前記液滴吐出ヘッドに前記保全キャップを密着する封止工程に先立って、且つノズルから機能液滴を吐出する前記液滴吐出ヘッドの描画動作中に、
前記保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、少なくとも前記シール部位に付着した機能液を洗い落とす洗浄工程を、有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保全方法。Droplet discharge that maintains the droplet discharge head by tightly attaching a maintenance cap to the nozzle surface of an inkjet droplet discharge head that discharges functional liquid, and sealing the nozzle hole with the sealing portion of the maintenance cap In the head maintenance method,
What Sakiritsu the sealing step of close contact with the protection cap to the liquid drop ejecting head, and during the drawing operation of the droplet discharge head for discharging the functional liquid droplets from the nozzle,
The maintenance of the droplet discharge head, comprising: a cleaning step of sealing the cap surface of the maintenance cap and passing a cleaning liquid through the sealing space to wash off at least the functional liquid adhering to the seal portion. Method. 前記洗浄工程は、前記封止空間に洗浄液を通液して、前記シール部位および前記保全キャップの内部に付着した機能液を一括して洗い落とすことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。  2. The droplet discharge according to claim 1, wherein in the cleaning step, a cleaning liquid is passed through the sealing space, and the functional liquid adhering to the inside of the seal portion and the maintenance cap is collectively cleaned. Head maintenance method. 前記洗浄液の通液は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドであって、前記シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞するキャップシール部位を有するものを用いて行われ、
前記洗浄工程は、前記保全キャップのキャップ表面に対し、前記キャップシール部位を介して前記ダミーヘッドにより封止するキャップ封止工程と、
前記ダミーヘッドと前記保全キャップとの間の封止空間に、当該ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。The cleaning liquid flow is performed using a dummy head imitating the liquid droplet discharge head and having a cap seal part surrounding the seal part in a non-contact state,
The cleaning step is a cap sealing step of sealing the cap surface of the maintenance cap with the dummy head via the cap seal portion;
The liquid droplet ejection according to claim 2, further comprising: a liquid passing step of cleaning the liquid by passing a cleaning liquid from the dummy head into a sealing space between the dummy head and the maintenance cap. Head maintenance method. 機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、当該保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで当該液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、
前記液滴吐出ヘッドに前記保全キャップを密着する封止工程に先立って、且つノズルから機能液滴を吐出する前記液滴吐出ヘッドの描画動作中に、
前記保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を押し付けて当該シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り工程を、有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保全方法。Droplet discharge that maintains the droplet discharge head by tightly attaching a maintenance cap to the nozzle surface of an inkjet droplet discharge head that discharges functional liquid, and sealing the nozzle hole with the sealing portion of the maintenance cap In the head maintenance method,
What Sakiritsu the sealing step of close contact with the protection cap to the liquid drop ejecting head, and during the drawing operation of the droplet discharge head for discharging the functional liquid droplets from the nozzle,
A method for maintaining a droplet discharge head, comprising: a wiping step of wiping a functional liquid adhering to the sealing portion by pressing a wiping member against the sealing portion of the maintenance cap. 前記封止工程に先立ち、
前記保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、前記保全キャップの内部に付着した機能液を洗い落とすキャップ内洗浄工程を、更に有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。Prior to the sealing step,
The cap surface of the maintenance cap is further sealed, and a cleaning liquid is further passed through the sealing space to further wash off the functional liquid adhering to the inside of the maintenance cap. 5. A method for maintaining a droplet discharge head according to 4. 前記キャップ内洗浄工程は、前記拭取り工程に先行して行われることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。  The method for maintaining a droplet discharge head according to claim 5, wherein the in-cap cleaning step is performed prior to the wiping step. 前記キャップ内洗浄工程は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドにより前記保全キャップのキャップ表面を封止するキャップ封止工程と、
前記ダミーヘッドと前記保全キャップとの間の封止空間に、前記ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。The in-cap cleaning step includes a cap sealing step of sealing the cap surface of the maintenance cap with a dummy head imitating the droplet discharge head;
The liquid according to claim 5, further comprising: a liquid passing step of cleaning by passing a cleaning liquid from the dummy head into a sealing space between the dummy head and the maintenance cap. Maintenance method of the droplet discharge head. 前記通液工程は、前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液工程と、
前記洗浄液給液工程に連続し、前記保全キャップ内の洗浄液を排液する排液工程と、から成ることを特徴とする請求項３または７に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。The liquid passing process includes a cleaning liquid supply process for supplying a cleaning liquid from the dummy head to the sealed space;
The method for maintaining a droplet discharge head according to claim 3, further comprising a draining step of draining the cleaning liquid in the maintenance cap in succession to the cleaning liquid supply step. 前記排液工程は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で終了することを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。  9. The method of maintaining a droplet discharge head according to claim 8, wherein the draining step is completed with a slight amount of cleaning liquid remaining in the maintenance cap. 前記保全キャップは吸引手段に接続されており、
前記洗浄液給液工程および前記排液工程のうち、少なくとも前記排液工程は、前記吸引手段を駆動することにより行われることを特徴とする請求項８または９に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。The maintenance cap is connected to suction means;
The method for maintaining a droplet discharge head according to claim 8 or 9, wherein at least the draining step of the cleaning liquid supplying step and the draining step is performed by driving the suction means. . 前記保全キャップは、吸引手段に接続され、前記液滴吐出ヘッドの全ノズルから機能液を吸引する吸引処理用のキャップ部材を兼ねていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。  The said maintenance cap is connected to the suction means, and also serves as a cap member for suction processing that sucks the functional liquid from all nozzles of the droplet discharge head. Method for maintaining a liquid droplet ejection head. 機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、キャップ表面のシール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、
前記保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、
前記封止部材と前記保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、少なくとも前記シール部位を洗浄する通液洗浄手段と、
前記保全キャップに対し前記封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、
前記通液洗浄手段および前記封止用移動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、ノズルから機能液滴を吐出する前記液滴吐出ヘッドの描画動作中に、前記キャップ表面の封止および前記洗浄を実施させることを特徴とする保全キャップのクリーニング装置。In a maintenance cap cleaning device that tightly adheres to the nozzle surface to maintain an inkjet droplet discharge head that discharges a functional liquid and hermetically seals the nozzle hole with a seal portion on the cap surface.
A sealing member for sealing the cap surface of the maintenance cap;
A liquid passing cleaning means for passing a cleaning liquid through a sealing space between the sealing member and the maintenance cap, and cleaning at least the sealing portion;
A moving means for sealing that causes the sealing member to face the maintenance cap;
Control means for controlling the liquid flow cleaning means and the sealing moving means ,
The maintenance means cleaning device for sealing the cap surface and cleaning the cap surface during the drawing operation of the droplet discharge head for discharging functional droplets from nozzles . 前記封止部材は、前記シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞し、前記キャップ表面に密着するキャップシール部位を有し、
前記通液洗浄手段は、前記封止空間に洗浄液を通液し、前記シール部位および前記保全キャップの内部を洗浄することを特徴とする請求項１２に記載の保全キャップのクリーニング装置。The sealing member surrounds the seal part in a non-contact state and has a cap seal part that is in close contact with the cap surface;
The liquid passing the cleaning means, the passed through a cleaning liquid to the sealing space, the cleaning device of the preservation cap according to claim 12, characterized in that to clean the interior of the sealing part and the protection cap. 前記封止部材は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、
前記通液洗浄手段は、
前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、
前記保全キャップ内の洗浄液を当該保全キャップから排液する排液手段と、
を有することを特徴とする請求項１３に記載の保全キャップのクリーニング装置。The sealing member is a dummy head imitating the droplet discharge head,
The liquid flow cleaning means includes
Cleaning liquid supply means for supplying a cleaning liquid from the dummy head to the sealing space;
Drainage means for draining the cleaning liquid in the maintenance cap from the maintenance cap;
14. The maintenance cap cleaning device according to claim 13, further comprising: 前記排液手段は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することを特徴とする請求項１４に記載の保全キャップのクリーニング装置。  15. The maintenance cap cleaning device according to claim 14, wherein the draining means stops driving while a slight amount of cleaning liquid remains in the maintenance cap. 前記保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、
前記吸引手段は、前記洗浄液給液手段および前記排液手段を兼ねていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の保全キャップのクリーニング装置。Further comprising suction means connected to the maintenance cap;
16. The maintenance cap cleaning device according to claim 14 or 15, wherein the suction means also serves as the cleaning liquid supply means and the drainage means. 機能液を吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、シール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、
前記保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を相対的に押し付けて、当該シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り手段と、
前記保全キャップに対し前記拭取り手段を相対的に臨ませる拭取り用移動手段と、
前記拭取り手段および前記拭取り用移動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、ノズルから機能液滴を吐出する前記液滴吐出ヘッドの描画動作中に、前記拭取りを実施させることを特徴とする保全キャップのクリーニング装置。In a maintenance cap cleaning device that tightly adheres to the nozzle surface in order to maintain an inkjet droplet discharge head that discharges a functional liquid, and seals the nozzle hole in a hermetic manner by a seal portion,
A wiping means for wiping the functional liquid adhering to the sealing part by relatively pressing the wiping member against the sealing part of the maintenance cap;
Wiping moving means for relatively facing the wiping means with respect to the maintenance cap;
Control means for controlling the wiping means and the wiping movement means ,
An apparatus for cleaning a maintenance cap, wherein the control means causes the wiping to be performed during a drawing operation of the droplet discharge head that discharges functional droplets from nozzles . 前記保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、
前記封止部材と前記保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、当該保全キャップの内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段と、
前記保全キャップに対し前記封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１７に記載の保全キャップのクリーニング装置。A sealing member for sealing the cap surface of the maintenance cap;
In-cap liquid cleaning means for passing a cleaning liquid through a sealing space between the sealing member and the maintenance cap and cleaning the inside of the maintenance cap;
18. The maintenance cap cleaning device according to claim 17, further comprising sealing moving means for causing the sealing member to face the maintenance cap relatively. 前記拭取り手段は、前記キャップ内通液洗浄手段の駆動停止後、駆動を開始することを特徴とする請求項１８に記載の保全キャップのクリーニング装置。  The cleaning device for a maintenance cap according to claim 18, wherein the wiping means starts driving after the driving of the in-cap liquid passing cleaning means is stopped. 前記封止部材は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、
前記キャップ内通液洗浄手段は、前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、
前記保全キャップ内の洗浄液を当該保全キャップから排液する排液手段と、を有することを特徴とする請求項１８または１９に記載の保全キャップのクリーニング装置。The sealing member is a dummy head imitating the droplet discharge head,
The in-cap liquid passing cleaning means includes a cleaning liquid supply means for supplying a cleaning liquid from the dummy head to the sealing space;
20. The maintenance cap cleaning device according to claim 18 or 19, further comprising: a draining means for draining the cleaning liquid in the maintenance cap from the maintenance cap. 前記排液手段は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することを特徴とする請求項２０に記載の保全キャップのクリーニング装置。  21. The cleaning device for a maintenance cap according to claim 20, wherein the drainage means stops driving in a state where a little cleaning liquid remains in the maintenance cap. 前記保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、
前記吸引手段は、前記洗浄液給液手段および前記排液手段を兼ねていることを特徴とする請求項２０または２１に記載の保全キャップのクリーニング装置。Further comprising suction means connected to the maintenance cap;
The cleaning device for a maintenance cap according to claim 20 or 21, wherein the suction means also serves as the cleaning liquid supply means and the drainage means. 前記拭取り部材は、シート状の部材からなり、
前記拭取り手段は、
前記拭取り部材を繰出し自在に巻回した繰出し手段と、
前記拭取り部材の拭取り済み部分を巻き取って回収する巻取り手段と、
前記繰出し手段および前記巻取り手段の間に設けられ、繰り出した前記拭取り部材を前記保全キャップのシール部位に相対的に押し付ける押付け機構と、
を有することを特徴とする請求項１７ないし２２のいずれかに記載の保全キャップのクリーニング装置。The wiping member is a sheet-like member,
The wiping means
A feeding means wound around the wiping member so as to be freely fed;
A winding means for winding and collecting the wiped portion of the wiping member;
A pressing mechanism which is provided between the feeding means and the winding means, and presses the fed wiping member against the seal portion of the maintenance cap;
23. The maintenance cap cleaning device according to claim 17, further comprising: 請求項１２ないし２３のいずれかに記載の保全キャップのクリーニング装置と、
ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるヘッド移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 A maintenance cap cleaning device according to any one of claims 12 to 23;
A droplet discharge apparatus comprising: a head moving mechanism that moves the droplet discharge head relative to the workpiece . 請求項２４に記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、前記ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 Using the droplet discharge device according to claim 24,
A method of manufacturing an electro-optical device, wherein a functional liquid is discharged from the droplet discharge head to form a film forming portion on a substrate that is to be the workpiece .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4586485B2 (en) * 2004-02-13 2010-11-24 セイコーエプソン株式会社 Droplet ejection device, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2006136793A (en) * 2004-11-11 2006-06-01 Seiko Epson Corp Liquid droplet discharge device, suction method for discharge liquid in liquid droplet discharge device, manufacturing method for electrooptical device, electrooptical device and electronic device
JP4843369B2 (en) * 2006-05-01 2011-12-21 株式会社リコー Image forming apparatus
JP4935445B2 (en) * 2007-03-20 2012-05-23 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP5150129B2 (en) * 2007-04-20 2013-02-20 株式会社ミマキエンジニアリング Printer device
JP5347687B2 (en) * 2009-04-24 2013-11-20 株式会社リコー Image forming apparatus
JP2011079235A (en) * 2009-10-07 2011-04-21 Seiko Epson Corp Fluid jetting apparatus
JP5494941B2 (en) * 2009-12-17 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejector
JP5494940B2 (en) * 2009-12-17 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 Recording device
JP5407855B2 (en) * 2009-12-28 2014-02-05 株式会社リコー Image forming apparatus
JP5482270B2 (en) * 2010-02-12 2014-05-07 セイコーエプソン株式会社 Maintenance device, liquid ejecting apparatus, and maintenance method
JP2012116032A (en) * 2010-11-30 2012-06-21 Seiko Epson Corp Inkjet recording device
WO2012070455A2 (en) 2010-11-26 2012-05-31 Seiko Epson Corporation Inkjet recording device and nozzle surface wiping method for an inkjet recording device
JP5732828B2 (en) * 2010-11-26 2015-06-10 セイコーエプソン株式会社 Ink jet recording apparatus and ink nozzle surface wiping method of ink jet recording apparatus
JP5347208B2 (en) * 2012-11-29 2013-11-20 株式会社ミマキエンジニアリング Printer device
JP6184218B2 (en) * 2013-07-22 2017-08-23 ローランドディー．ジー．株式会社 Cap device cleaning mechanism
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