JP2010151476A - 可変コンデンサの機械的位置検出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】可変コンデンサの動作制御の基準となる前記コンデンサのシャフト回転の原点を正確に且つコンデンサにストレスを与えることなく検出する。
【解決手段】可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置まで前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。
【選択図】図1
【解決手段】可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置まで前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。
【選択図】図1
Description
この発明は可変コンデンサの機械的位置の検出技術、具体的にはRFマッチに用いられる可変コンデンサのシャフト回転の原点出しを行うための技術に関する。
半導体製造技術にはウエハーの表面処理やエッチング技術の一つとしてプラズマ処理法が用いられている。ウエハーが格納されたチャンバー内にプラズマを生じさせるためには高電圧で例えば13.56MHzの高周波電力を与えることが必要である。この高周波電力はRF電源と呼ばれる電源装置から供給される。RF電源は一般的に低圧で出力が数kWである。したがって、RF電源をチャンバーに直接繋いでも必要な電力を供給できない。RF電源から電力を供給するにはRF電源と負荷のインピーダンスを一定値例えば50Ωにすること(マッチング)が必要である。チャンバーのインピーダンスは処理の内容で変化する。同じ処理の内容でもプラズマは常に変化するのでインピーダンスは常に変化する。このインピーダンスを制御する装置としてRFマッチがある。RFマッチはRF電源からみた負荷インピーダンスが常に一定となるように制御してチャンバーに効率よく電力を供給する装置である。RFマッチはチャンバーに必要な高電圧と電流を供給するためにRF電源とチャンバーの間に設置される。
図5はRFマッチを備えた半導体プロセス装置を例示した概略構成図である。RFマッチ4はRF電源(例えば13.56MHz)5とチャンバー6との間に接続されて使用される。RFマッチ4は図示していない電圧電流及び位相の検出回路でインピーダンスを計測し可変コンデンサC1とC2の容量を変えることでインピーダンスをマッチングさせている。
可変コンデンサC1,C2は図6のように筒体の中に図示しない電極を備えコンデンサC1,C2のシャフトを回転することで容量を変える構造となっている。例えば、時計方向を下限方向として下限値100pF、反時計方向を上限方向として上限値1000pF、全ストローク12回転とすると下限から反時計方向に12回転すると回転数に比例して100pFから1000pFまで連続的に容量を可変できるようになっている。
可変コンデンサC1,C2の容量は図6のように可変コンデンサC1,C2のシャフトにカップリング7を介して接続されたモータ8を回転することにより前記シャフトを回転させて可変できるようになっている。図6に示されたカップリング7とモータ8との間に配置されたスリット板9はモータ8の回転数を検出するための部材である。図7に例示されたスリット板9は薄い円板に光照射式の検出手段の光を透過させる同形の複数のスリット90がスリット板9の円周方向に沿って均等に配置されてなる。そして、図示しないフォトセンサなどの光照射式の検出手段によってスリットの有無が検出されることでモータ8が回転したときに通過するスリット90の数によって算出された回転数からコンデンサC1,C2のシャフト回転の原点位置が検出されるようになっている(特許文献1〜4等参照)。
特開昭60−259909号公報
特開昭61−112922号公報
特開昭62−2123号公報
特開平10−62205号公報
ここで問題になるのは可変コンデンサC1,C2の機械的な原点(シャフト回転の原点)をどう探すかである。すなわち、例えば下限の位置の検出である。人の手によって可変コンデンサC1,C2のシャフトを回して下限を探すことは容易であるが、電気的には可変コンデンサC1,C2の最初の位置を把握できないので下限を検出するのは簡単ではない。下限の位置を検出する方法として以下の1)〜3)の方法がある。
1)可変コンデンサC1,C2内に機械的リミットスイッチを設ける。
2)スリット板9のスリット90の位置に絶対値エンコーダを設ける。
3)モータ8が時計方向に動作して下限に達することで、図示しないモータドライブ装置の電流が増加すること、モータがストールすること、または回転指令を与えても回転センサからの検出が無くなることなどを利用して、下限と判断しその点を可変コンデンサC1,C2のシャフト回転の原点とする。
1)の方法はコンデンサの構造が複雑になりコストアップになる。また、可変コンデンサの内部につけるため品質低下になる。
2)の方法は1)の方法に比べると構造は簡単で信頼性も維持できるが、絶対値エンコーダの価格が高いうえ、寸法も大きく図6のスリット板の位置に取り付けることができないこともあり、そのときはモータの反直結側に取り付けることになり全体の寸法が大きくなる。
3)の方法は1)及び2)の方法に比べて構造も簡単で寸法も小さくスリットの価格も安いことから一番よく採用されている。しかし、コンデンサの機械的下限位置は回転トルクの大きさで僅かではあるが、回転角で10度から20度程度差が生じる。したがって、モータを回転させて下限に達したとき弱いトルクで到達させると経年変化、周囲温度などによる摩擦トルクの変化で下限の検出精度が悪くなる。反対に強いトルクで下限に到達させると検出精度はよくなるが、コンデンサに機械的ストレスを与える。あるいは機械的に下限位置に食い込みモータを反対方向に回そうとしたとき回転トルクが不足し動かないなどの不具合が発生する。
そこで、前記課題を解決するための請求項1の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置で前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。
請求項2の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、請求項1の検出方法において、前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。
請求項3の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、請求項1または2の検出方法において、前記スリット板には開口幅の異なる複数のスリットが形成され、これらのスリットは開口幅の寸法順に前記スリット板の円周方向に沿って配置されている。
請求項4の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、請求項1または2の検出方法において、前記スリット板には同一開口面積の複数のスリットが前記スリット板の半径方向に複数形成され、これらのスリットは前記スリット板の円周方向に沿って順次異なるように配置されている。
請求項5の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、請求項1または2の検出方法において、スリット板には全長の異なる複数のスリットが形成され、これらのスリットは前記スリット板の円周方向に沿って全長順に配置されている。
請求項6の可変コンデンサの機械的位置検出方法は、請求項1から5のいずれかの検出方法において、前記スリットの開口部には前記検出手段の照射光を受ける反射板が設けられている。
以上の発明によれば可変コンデンサの動作制御の基準となる前記コンデンサのシャフト回転の原点を正確に且つコンデンサにストレスを与えることなく検出できる。
図1は発明の実施形態に係る位置検出方法のタイムチャートを示す。図2は発明の実施形態に係る位置検出方法におけるモータトルク指令のタイムチャートを示す。図3及び図4は発明に係る位置検出方法に用いられるスリット板の実施形態を示した平面図である。
従来のスリット板は図7に例示されたスリット板9のように同じ幅のスリットが均等に配置されるように形成されている。これに対して図3に例示された本実施形態のスリット板1は開口幅が一定幅または円周方向に沿って順次比率幅で狭くなるスリット10が均等に配置されている。具体的にはスリット板1には開口幅の異なる複数のスリット10が形成されている。これらのスリット10は開口幅の寸法順にスリット板1の円周方向に沿って配置されている。このような構成のスリット板1によれば1回転における可変コンデンサのシャフト回転の原点位置を検出できる。
スリット板1は図6に示されたスリット板9のようにカップリング7とモータ8を連結するシャフトに取り付けられる。図6に示されたスリット板の位置は一例であるので、可変コンデンサC1,C2とカップリング7との間に配置してもよい。カップリング7と共用でもよい。モータ8の反直結側に配置してもよい。そして、原点合わせ指令でモータ8を限界方向例えば下限方向(上限方向でもよい)に運転し前述の背景技術の動作と同じ様に下限に到達させる。但し、原点出しのときモータ8のトルクは可変コンデンサC1,C2に機械的ストレスを与えない程度に小さくする。この場合、当然、前述のように10度から20度程度の誤差が生じる。そこで、次の工程で下限の位置から反対方向にモータを運転し、このときのスリットの幅を光照射式のセンサによって計測する。これにより可変コンデンサC1,C2の機械的位置すなわち可変コンデンサC1,C2のシャフト回転の原点を計測できる。前記センサは既知の光照射式の検出装置を適用すればよい。
図1及び図2を参照しながら発明の実施形態の位置検出方法について具体的に説明する。
図1のタイムスケジュールに示したように可変コンデンサC1,C2のシャフト回転の原点出し指令でモータ8を逆転させる。前記シャフトが下限位置に達したときモータ8を停止させる。次に正転指令を与えモータ8を低速で正転させる。そして、前記センサでスリットの幅を検出し所定の幅になったあるいは幅の急変を検出してその位置を前記シャフト回転の原点とし電気的に記憶する。
原点出しのとき下限に到達させるためのトルクは出来るだけ小さくしてコンデンサのストレスを小さくすることが好ましい。そうすることでコンデンサ自身のストレスも小さいし、下限に達したときの機械的強度も小さくてよいコストダウンにつながる。
原点出しのときのトルクである原点出しトルクはできるだけ小さくするために最大負荷トルクと動摩擦トルクの和に余裕係数(例えば1.1程度)を掛けた値に設定される。但し、始動時は負荷トルクに加えて静止摩擦トルクと加速トルクが必要である。
したがって、図2のタイムスケジュールのように前記原点出しトルクに静止摩擦トルクと加速トルクを加算した始動トルクで回転したことが検出された後に原点出しトルクに切り替えられる。
また、最大負荷トルクや静止摩擦トルクは可変コンデンサC1,C2の構造やそのシャフトに用いられているグリスの種類に応じて適宜に設定される。さらに、コンデンサC1,C2の構造によっては上限方向と下限方向に回転するトルクが異なることがあるのでその場合は小さい方向を原点出しの基準にするほうが原点出しトルクを小さくできるのでより好ましい。原点に達したときに可変コンデンサC1,C2にかかるトルクTは次式のようになりJ(dω/dt)大きくので原点出しの回転速度は小さいほうが望ましい。但し、前記回転速度が小さすぎると原点出しに時間を要するので1/10程度の速度が妥当である。
T=(原点出しトルク)−(実際の負荷トルク)+J(dω/dt)
J:コンデンサとモータとカップリングその他の合計慣性モーメント
ω:角速度(ω=2πf=πN/30)
f:1秒間当たりの回転数(s-1)
N:1分間当たりの回転数(min-1)
d/dt:微分演算子
可変コンデンサのシャフトの可変範囲は下限上限全範囲で使うことはなく、一般的にはそれぞれ10%から90%以内の範囲で使用されており、始動トルクで下限に押し付けることがない。したがって、本実施形態では可変コンデンサのシャフト回転の原点が最初から下限位置にあるときは運転しても回転しないので始動トルクで下限に押し付けることを懸念する必要ない。
J:コンデンサとモータとカップリングその他の合計慣性モーメント
ω:角速度(ω=2πf=πN/30)
f:1秒間当たりの回転数(s-1)
N:1分間当たりの回転数(min-1)
d/dt:微分演算子
可変コンデンサのシャフトの可変範囲は下限上限全範囲で使うことはなく、一般的にはそれぞれ10%から90%以内の範囲で使用されており、始動トルクで下限に押し付けることがない。したがって、本実施形態では可変コンデンサのシャフト回転の原点が最初から下限位置にあるときは運転しても回転しないので始動トルクで下限に押し付けることを懸念する必要ない。
以上のように発明の実施形態に係る検出方法によれば可変コンデンサの動作制御の基準となるシャフト回転の原点を正確に且つ可変コンデンサにストレスを与えることなく検出できる。特に、前記原点出しの運転を始動時には原点出しトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから原点出しトルクに切り替えられることで確実に原点出しの始動が行なえ且つ機械的に下限に達したときにも可変コンデンサにストレスを与えない。
また、本実施形態の検出方法では図3に例示されたスリット10の幅が円周方向に配置されたスリット板1が適用されることで可変コンデンサのシャフト1回転の原点位置検出、すなわち360度内の位置を検出できる。または図4に例示された全長の異なる複数のスリット30を全長順に円周に沿って配置されたスリット板3が適用されても、360度内の位置を検出できる。
スリットの配置はスリット板1,3の他に、図4に例示されたスリット板2のように同じ幅同士を複数(例えば4個)並べてスリット20の幅を検出してから同じ幅のスリット数をカウントして位置を検出してもよい。例えば、可変コンデンサの機械的な下限の最大のずれ幅が90度以下であれば、360度を4等分して90度間だけスリット幅を変え、90度間と同じ配置のスリットを90〜180度、180〜270度、270〜360度に配置してもよい。スリット板2は同一開口面積の複数のスリット20がスリット板2の半径方向に複数形成されている。スリット20の数はスリット板2の円周方向に沿って順次異なるように設定される。例示された形態では配置されるスリット20は90度の回転角毎に配置数が異なるように形成されている。
尚、360度範囲の機械的位置を検出できればよいのでスリット板1,2,3のスリット10,20,30の開口部には検出手段の照射光を受ける反射板が設けられたスリット板も適用できる。
1,2,3…スリット板
10,20,30…スリット
4…RFマッチ
5…RF電源
6…チャンバー
7…カップリング
8…モータ
C1,C2…可変コンデンサ
10,20,30…スリット
4…RFマッチ
5…RF電源
6…チャンバー
7…カップリング
8…モータ
C1,C2…可変コンデンサ
Claims (6)
- 可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置で前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出することを特徴とする可変コンデンサの機械的位置検出方法。
- 前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられること
を特徴とする請求項1に記載の可変コンデンサの機械的位置検出方法。 - 前記スリット板には開口幅の異なる複数のスリットが形成され、これらのスリットは開口幅の寸法順に前記スリット板の円周方向に沿って配置されたこと
を特徴とする請求項1または2に記載の可変コンデンサの機械的位置検出方法。 - 前記スリット板には同一開口面積の複数のスリットが前記スリット板の半径方向に複数形成され、これらのスリットは前記スリット板の円周方向に沿って順次異なるように配置されたこと
を特徴とする請求項1または2に記載の可変コンデンサの機械的位置検出方法。 - スリット板には全長の異なる複数のスリットが形成され、これらのスリットは前記スリット板の円周方向に沿って全長順に配置されたこと
を特徴とする請求項1または2に記載の可変コンデンサの機械的位置検出方法。 - 前記スリットの開口部には前記検出手段の照射光を受ける反射板が設けられたこと
を特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の可変コンデンサの機械的位置検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008327342A JP2010151476A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 可変コンデンサの機械的位置検出方法 |
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JP2008327342A JP2010151476A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 可変コンデンサの機械的位置検出方法 |
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ID=42570766
Family Applications (1)
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JP2008327342A Pending JP2010151476A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 可変コンデンサの機械的位置検出方法 |
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Cited By (5)
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JP2013193826A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Konica Minolta Inc | 画像形成装置 |
KR20140137965A (ko) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 유도 결합 플라즈마 처리 장치 및 그 제어방법 |
KR101468657B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-12-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 유도 결합 플라즈마 처리 장치 |
US9024567B2 (en) | 2011-06-06 | 2015-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus, camera platform apparatus and lens apparatus including the driving apparatus, and driving method of controlling the driving apparatus |
CN114910827A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-08-16 | 滁州市技术监督检测中心 | 用于检测锁紧对可变电容器电容量影响的装置 |
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2008
- 2008-12-24 JP JP2008327342A patent/JP2010151476A/ja active Pending
Cited By (8)
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US9024567B2 (en) | 2011-06-06 | 2015-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus, camera platform apparatus and lens apparatus including the driving apparatus, and driving method of controlling the driving apparatus |
JP2013193826A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Konica Minolta Inc | 画像形成装置 |
US8929799B2 (en) | 2012-03-19 | 2015-01-06 | Konica Minolta, Inc. | Image forming apparatus |
KR101468657B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-12-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 유도 결합 플라즈마 처리 장치 |
KR20140137965A (ko) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 유도 결합 플라즈마 처리 장치 및 그 제어방법 |
KR102124940B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2020-06-22 | 인베니아 주식회사 | 유도 결합 플라즈마 처리 장치 및 그 제어방법 |
CN114910827A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-08-16 | 滁州市技术监督检测中心 | 用于检测锁紧对可变电容器电容量影响的装置 |
CN114910827B (zh) * | 2022-05-13 | 2023-04-14 | 滁州市技术监督检测中心 | 用于检测锁紧对可变电容器电容量影响的装置 |
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