JP2010150579A5 - - Google Patents

Description

上記課題の少なくとも１つを解決するため、本発明に係るスパッタリング装置は、ターゲットが取り付けられる回転自在な回転部材と、前記ターゲットと電気的に接続され、前記回転部材の回転軸に沿った方向の前記回転部材の端部に配置された接続端子と、回転軸方向に往復移動可能に構成され、前記接続端子を介して前記ターゲットに電力を供給する給電端子と、を有し、前記給電端子を前記往復移動させることにより、前記給電端子を前記接続端子と接触または離間させ、前記給電端子と前記接続端子との導通または絶縁を切り替え可能に構成される。

Claims (7)

1. ターゲットが取り付けられる回転自在な回転部材と、
   前記ターゲットと電気的に接続され、前記回転部材の回転軸に沿った方向の前記回転部材の端部に配置された接続端子と、
   回転軸方向に往復移動可能に構成され、前記接続端子を介して前記ターゲットに電力を供給する給電端子と、を有し、
   前記給電端子を前記往復移動させることにより、前記給電端子を前記接続端子と接触または離間させ、前記給電端子と前記接続端子との導通または絶縁を切り替え可能なことを特徴とするスパッタリング装置。
2. 前記給電端子と前記接続端子との少なくとも一方が、前記回転部材の回転方向に沿って延びている、請求項１に記載のスパッタリング装置。
3. 前記回転部材は前記ターゲットを複数取り付け可能に構成されており、
   前記回転部材の前記端部には、前記ターゲットのそれぞれと接続される前記接続端子が配置されており、
   それぞれの前記接続端子は、前記回転部材の回転方向に並べられている、請求項１又は２に記載のスパッタリング装置。
4. 前記回転部材の回転にともなって、前記給電端子と接続される前記接続端子が切り替わる、請求項１から３のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
5. 前記回転部材に取り付けられている前記ターゲットの表面に磁束を発生させるマグネットが、前記回転部材の内部に配されている、請求項１から４のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
6. 前記回転部材が少なくとも２つ設置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
7. 前記回転部材の、前記ターゲットが取り付けられる面に対向して配置され、処理を行う基体を保持するホルダーをさらに備える、請求項１から６のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。