CN102268647A - 旋转靶用驱动端头装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种旋转靶用驱动端头装置，包括有基座，特点是：基座上安装有十字轴，十字轴顶端设置有小齿轮，该小齿轮的驱动端连接有转接套，转接套外围设置有六角轴套，六角轴套上安装有大齿轮；转接套内设置有驱动组件。由此，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过十字轴与转接套的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
Description
技术领域
本发明涉及一种驱动端头装置，尤其涉及一种旋转靶用驱动端头装置。
背景技术
目前生产镀膜玻璃的设备中大多采用平面溅射阴极靶材，其工作原理是：将需镀膜的玻璃送入真空镀膜室内，真空镀膜室内通入一定量的高纯工艺气体一如氧气、氮气或氩气，在电磁场及游离电子的作用下工艺气体形成带正电的等离子体，等离子体在载有高负电压的阴极的吸引下，在磁场的控制下，按照一定的轨迹和力度轰击固定安装在真空镀膜室内的平面阴极靶材上的镀膜用材料，镀膜材料被气体分子碰撞出来，按照一定方向沉积在玻璃上形成一定厚度的膜层。
但是，现有的设备驱动端头构造复杂，在需要替换靶材的时候往往会导致衔接出现缝隙，影响后续的使用。并且，现有的设备驱动端头固定不可旋转调节，不能适应不同型号的靶材，提高了生产成本。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种旋转靶用驱动端头装置。
为实现本发明的目的旋转靶用驱动端头装置，包括有基座，其中：所述的基座上安装有十字轴，所述的十字轴顶端设置有小齿轮，所述小齿轮的驱动端连接有转接套，所述的转接套外围设置有六角轴套，所述的六角轴套上安装有大齿轮；所述的转接套内设置有驱动组件。
进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的驱动组件包括有封头螺母，所述封头螺母的顶端设置有过渡轴，所述的过渡轴顶端设置有轴头，所述的轴头外围分布有六角主轴。
更进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的过渡轴外围设置有铜套。
更进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的十字轴底部与基座的接触部分设置有调整垫片。
更进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的十字轴外围设置有O型圈。
更进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的O型圈顶端设置有骨架式油封组件。
再进一步地，上述的旋转靶用驱动端头装置，其中，所述的转接套外围夹设有轴承。
采用本发明技术方案，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过十字轴与转接套的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
本发明的目的、优点和特点，将通过下面优先实施例的非限制性说明进行图示和解释，这些实施例是参照附图仅作为例子给出的。
附图说明
图1是旋转靶用驱动端头装置的构造示意图。
具体实施方式
如图1所示的旋转靶用驱动端头装置，包括有基座1，其与众不同之处在于：本发明所采用的基座1上安装有十字轴2，在十字轴2顶端设置有小齿轮3。并且，为了提升小齿轮3的顺畅运转，在小齿轮3的驱动端连接有转接套4，该转接套4外围设置有六角轴套5，在六角轴套5上安装有大齿轮6。并且，在转接套4内设置有驱动组件。
结合本发明一较佳的实施方式来看，为了便于驱动运转的正确传到，本发明采用的驱动组件包括有封头螺母7，该封头螺母7的顶端设置有过渡轴8。同时，在过渡轴8顶端设置有轴头9，轴头9外围分布有六角主轴10。
进一步来看，为了提升运转的顺畅程度，在过渡轴8外围设置有铜套11。并且，考虑到适应不同靶材加装的需要，十字轴2底部与基座1的接触部分设置有调整垫片12。
再进一步来看，为了提升整体的密封效果，在十字轴2外围设置有O型圈13。同时，在O型圈13顶端设置有骨架式油封组件14。当然，考虑到各个零部件之间的顺畅运转，在转接套4外围夹设有轴承15。
通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本发明后，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过十字轴与转接套的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
当然，以上仅是本发明的具体应用范例，对本发明的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本发明还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明所要求保护的范围之内。
Claims (7)
1.旋转靶用驱动端头装置，包括有基座，其特征在于：所述的基座上安装有十字轴，所述的十字轴顶端设置有小齿轮，所述小齿轮的驱动端连接有转接套，所述的转接套外围设置有六角轴套，所述的六角轴套上安装有大齿轮；所述的转接套内设置有驱动组件。
2.根据权利要求1所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的驱动组件包括有封头螺母，所述封头螺母的顶端设置有过渡轴，所述的过渡轴顶端设置有轴头，所述的轴头外围分布有六角主轴。
3.根据权利要求2所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的过渡轴外围设置有铜套。
4.根据权利要求1所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的十字轴底部与基座的接触部分设置有调整垫片。
5.根据权利要求1所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的十字轴外围设置有O型圈。
6.根据权利要求5所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的O型圈顶端设置有骨架式油封组件。
7.根据权利要求1所述的旋转靶用驱动端头装置，其特征在于：所述的转接套外围夹设有轴承。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201110177139A CN102268647A (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 旋转靶用驱动端头装置 |
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Publications (1)
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|---|---|
| CN102268647A true CN102268647A (zh) | 2011-12-07 |
Family
ID=45051096
Family Applications (1)
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| CN201110177139A Pending CN102268647A (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 旋转靶用驱动端头装置 |
Country Status (1)
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- 2011-06-28 CN CN201110177139A patent/CN102268647A/zh active Pending
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20111207 |