CN202576552U - 用于旋转靶的水电端头连接装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于旋转靶的水电端头连接装置，包括有座芯，特点是：座芯上分别安装有水管与导电杆，座芯连接有壳体组件。并且，壳体组件一端设置有轴用挡圈，壳体组件另一端设置有封盖。在轴用挡圈尾端设置有骨架式油封组件。同时，骨架式油封组件外围套设有导电杆头。这样，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过轴用挡圈与基座合件的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种端头连接装置，尤其涉及一种用于旋转靶的水电端头连接装置。
背景技术
目前生产镀膜玻璃的设备中大多采用平面溅射阴极靶材，其工作原理是：将需镀膜的玻璃送入真空镀膜室内，真空镀膜室内通入一定量的高纯工艺气体一如氧气、氮气或氩气，在电磁场及游离电子的作用下工艺气体形成带正电的等离子体，等离子体在载有高负电压的阴极的吸引下，在磁场的控制下，按照一定的轨迹和力度轰击固定安装在真空镀膜室内的平面阴极靶材上的镀膜用材料，镀膜材料被气体分子碰撞出来，按照一定方向沉积在玻璃上形成一定厚度的膜层。
但是，现有的水电端头结构复杂，无法适应不同靶材替换需要，不能进行有效的旋转调整。这样，一旦替换靶材后容易出现衔接不稳定，影响后期的维护与产品的镀膜质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种用于旋转靶的水电端头连接装置。
为实现本实用新型的目的用于旋转靶的水电端头连接装置，包括有座芯，其中：所述的座芯上分别安装有水管与导电杆；所述的座芯连接有壳体组件；所述的壳体组件一端设置有轴用挡圈，所述的壳体组件另一端设置有封盖；所述的轴用挡圈尾端设置有骨架式油封组件；所述骨架式油封组件外围套设有导电杆头。
进一步地，上述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其中，所述的座芯外围设置有基座合件。
更进一步地，上述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其中，所述的导电杆顶端设置有线卡。
更进一步地，上述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其中，所述的导电杆外围分布有套管，所述导电杆与套管之间设置有弹性缓冲组件。
更进一步地，上述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其中，所述的弹性缓冲组件为弹簧。
再进一步地，上述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其中，所述的轴用挡圈外围设置有轴承。
采用本实用新型技术方案，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过轴用挡圈与基座合件的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优先实施例的非限制性说明进行图示和解释，这些实施例是参照附图仅作为例子给出的。
附图说明
图1是用于旋转靶的水电端头连接装置的构造示意图。
具体实施方式
如图1所示的用于旋转靶的水电端头连接装置，包括有座芯1，其与众不同之处：本实用新型所采用的座芯1上分别安装有水管2与导电杆3。同时，在座芯1连接有壳体组件4，该壳体组件4一端设置有轴用挡圈5，并且壳体组件4另一端设置有封盖6。并且，在轴用挡圈5尾端设置有骨架式油封组件7，骨架式油封组件7外围套设有导电杆头8。
结合本实用新型一较佳的实施方式来看，为了提升整体的牢固程度，在座芯1外围设置有基座合件9。并且，为了便于对电线线束的有效梳理，便于导电杆3的正常运行，在导电杆3顶端设置有线卡10。
进一步来看，考虑到能够加强导电杆3的整体强度，适应后续靶材的运转与替换，本实用新型在导电杆3外围分布有套管11。同时，在导电杆3与套管11之间设置有弹性缓冲组件。当然，为了加工制造的便捷，弹性缓冲组件为弹簧12。这样，可以有效提升导电杆3的使用寿命。
再者，为了便于水电端头连接装置配合靶材的安装需要进行适当的唯一调整，在轴用挡圈5外围设置有轴承13。
通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本实用新型后，在靶材替换的时候，能够有效减少拆装步骤。更为重要的是，通过轴用挡圈与基座合件的相互配合，可以有效传递驱动的旋转力，有利于靶材的顺利工作。
当然，以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本实用新型还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型所要求保护的范围之内。
Claims (6)
1.用于旋转靶的水电端头连接装置，包括有座芯，其特征在于：所述的座芯上分别安装有水管与导电杆；所述的座芯连接有壳体组件；所述的壳体组件一端设置有轴用挡圈，所述的壳体组件另一端设置有封盖；所述的轴用挡圈尾端设置有骨架式油封组件；所述骨架式油封组件外围套设有导电杆头。
2.根据权利要求1所述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其特征在于：所述的座芯外围设置有基座合件。
3.根据权利要求1所述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其特征在于：所述的导电杆顶端设置有线卡。
4.根据权利要求1所述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其特征在于：所述的导电杆外围分布有套管，所述导电杆与套管之间设置有弹性缓冲组件。
5.根据权利要求1所述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其特征在于：所述的弹性缓冲组件为弹簧。
6.根据权利要求1所述的用于旋转靶的水电端头连接装置，其特征在于：所述的轴用挡圈外围设置有轴承。
Priority Applications (1)
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| CN 201120222594 CN202576552U (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 用于旋转靶的水电端头连接装置 |
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Publications (1)
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| CN202576552U true CN202576552U (zh) | 2012-12-05 |
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Family Applications (1)
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2011
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Granted publication date: 20121205 Termination date: 20140628 |
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