CN102268648A - 易换靶材组件式旋转靶装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，加工箱体底部设置有底板，其特点是：底板的一侧安装有驱动端头组件，底板的另一侧安装有水电端头组件。同时，驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱动端头组件与水电端头组件之间的靶材组件安装间距。由此，能够有效适应各种规格程度不同靶材组件进行安装。亦可以通过调整间距，令靶材组件安装到位，提升其使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及一种旋转靶装置，尤其涉及一种易换靶材组件式旋转靶装置。
背景技术
目前生产镀膜玻璃的设备中大多采用平面溅射阴极靶材，其工作原理是：将需镀膜的玻璃送入真空镀膜室内，真空镀膜室内通入一定量的高纯工艺气体一如氧气、氮气或氩气，在电磁场及游离电子的作用下工艺气体形成带正电的等离子体，等离子体在载有高负电压的阴极的吸引下，在磁场的控制下，按照一定的轨迹和力度轰击固定安装在真空镀膜室内的平面阴极靶材上的镀膜用材料，镀膜材料被气体分子碰撞出来，按照一定方向沉积在玻璃上形成一定厚度的膜层。
但是，现有的装置间距固定，无法适应不同型号长度的靶材组件替换使用，同时，会导致靶材安装位置出现间隙，影响加工效果和使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种易换靶材组件式旋转靶装置。
为实现本发明的目的易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，所述的加工箱体底部设置有底板，其特征在于：所述底板的一侧安装有驱动端头组件，所述底板的另一侧安装有水电端头组件；所述驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。
进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述的驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端均设置有伸缩式轴用挡圈。
更进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述水电端头组件的输出端设置有独立的导电杆与水输送管。
再进一步地，上述的易换靶材组件式旋转靶装置，其中，所述的驱动端头组件与底板的衔接端设置基座合件；所述水电端头组件与底板的衔接端亦设置有基座合件。
采用本发明技术方案，通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱动端头组件与水电端头组件之间的靶材组件安装间距。由此，能够有效适应各种规格程度不同靶材组件进行安装。同时，亦可以通过调整间距，令靶材组件安装到位，提升其使用寿命。
本发明的目的、优点和特点，将通过下面优先实施例的非限制性说明进行图示和解释，这些实施例是参照附图仅作为例子给出的。
附图说明
图1是易换靶材组件式旋转靶装置的构造示意图。
具体实施方式
如图1所示的易换靶材组件5式旋转靶装置，包括有加工箱体1，该加工箱体1底部设置有底板2，其特别之处在于：本发明所采用的底板2一侧安装有驱动端头组件3。与之对应的是，在底板2的另一侧安装有水电端头组件4。所述驱动端头组件3与水电端头组件4的工作衔接端中安装有靶材组件5。
结合本发明一较佳的实施方式来看，为了适应不同长度和型号的靶材组件5能够令其稳固安装在驱动端头组件3与水电端头组件4的工作衔接端中，在驱动端头组件3与水电端头组件4的工作衔接端均设置有伸缩式轴用挡圈6。这样，在实际使用时，可以调整伸缩式轴用挡圈6的伸缩长短，配合靶材组件5的安装。
进一步来看，考虑到能够实现装配人员的组装便捷，水电端头组件4的输出端设置有独立的导电杆7与水输送管8。由此，免去以往水电混合结构过于复杂，容易出现漏水或是漏电的缺陷。
再进一步来看，为了提升驱动端头组件3与水电端头组件4与加工箱体1上的底板2的连接稳定程度，在驱动端头组件3与底板2的衔接端设置基座合件9。同样的，在水电端头组件4与底板2的衔接端亦设置有基座合件9。
通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本发明后，通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱动端头组件与水电端头组件之间的靶材组件安装间距。由此，能够有效适应各种规格程度不同靶材组件进行安装。同时，亦可以通过调整间距，令靶材组件安装到位，提升其使用寿命。
当然，以上仅是本发明的具体应用范例，对本发明的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本发明还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明所要求保护的范围之内。
Claims (4)
1.易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，所述的加工箱体底部设置有底板，其特征在于：所述底板的一侧安装有驱动端头组件，所述底板的另一侧安装有水电端头组件；所述驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。
2.根据权利要求1所述的易换靶材组件式旋转靶装置，其特征在于：所述的驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端均设置有伸缩式轴用挡圈。
3.根据权利要求1所述的易换靶材组件式旋转靶装置，其特征在于：所述水电端头组件的输出端设置有独立的导电杆与水输送管。
4.根据权利要求1所述的易换靶材组件式旋转靶装置，其特征在于：所述的驱动端头组件与底板的衔接端设置基座合件；所述水电端头组件与底板的衔接端亦设置有基座合件。
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| CN201110177151A CN102268648A (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 易换靶材组件式旋转靶装置 |
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| CN201110177151A CN102268648A (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 易换靶材组件式旋转靶装置 |
Publications (1)
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| CN201110177151A Pending CN102268648A (zh) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 易换靶材组件式旋转靶装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115896725A (zh) * | 2022-12-23 | 2023-04-04 | 南通成泰磁材科技有限公司 | 一种磁控溅射旋转靶 |
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| CN202201958U (zh) * | 2011-06-28 | 2012-04-25 | 黄峰 | 易换靶材组件式旋转靶装置 |
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2011
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