JP2010150051A - Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit - Google Patents

Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit Download PDF

Info

Publication number
JP2010150051A
JP2010150051A JP2008327088A JP2008327088A JP2010150051A JP 2010150051 A JP2010150051 A JP 2010150051A JP 2008327088 A JP2008327088 A JP 2008327088A JP 2008327088 A JP2008327088 A JP 2008327088A JP 2010150051 A JP2010150051 A JP 2010150051A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vol
glass
mol
composition
ferrite material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2008327088A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinari Oba
佳成 大場
Kiyoto Ono
清人 小野
Yoshio Matsuo
良夫 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FDK Corp
Original Assignee
FDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FDK Corp filed Critical FDK Corp
Priority to JP2008327088A priority Critical patent/JP2010150051A/en
Publication of JP2010150051A publication Critical patent/JP2010150051A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Ceramics (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrode material for low temperature sintering which can be sintered at a low temperature of about 800-850°C, can form a fine thin film which can be used even in a high frequency zone of about 1 GHz, and can be formed by blending components pulverized to a relatively low degree of fineness. <P>SOLUTION: The composition is formed by mixing a ferrite material composed of 40-50 mol% of Fe<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, 15-25 mol% of NiO, 5-20 mol% of CuO, and 15-25 mol% of ZnO with 40-79 vol% of glass and 20-50 vol.% of quartz. The glass includes 70-85 wt.% of SiO<SB>2</SB>, 12-25 wt.% of B<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, 1-5 wt.% of K<SB>2</SB>O, and 0-8 wt.% of Al<SB>2</SB>O<SB>3</SB>. The magnetic composition has a high content of glass, which aids in sintering at a low temperature and maintaining a stable value of the dielectric constant to a high frequency zone of 1 GHz or more. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気組成物及びインダクタ並びに電子回路用基板に関するもので、より具体的には、特に高周波の電子部品の使用に適したものに関する。   The present invention relates to a magnetic composition, an inductor, and an electronic circuit board, and more particularly to a particularly suitable one for use in high-frequency electronic components.

たとえば、積層コンデンサ,積層インダクタ等のチップ部品は、フェライト等で形成される絶縁膜と、導電性ペーストを用いて所定パターンに形成される導体パターンとを適宜の順に積層することにより、内部に所望の導体パターンからなる内部導体を内蔵するチップ体を製造する。その後、そのチップ体を焼成してチップ部品が形成される。   For example, a chip component such as a multilayer capacitor or a multilayer inductor has a desired internal structure by laminating an insulating film formed of ferrite or the like and a conductive pattern formed in a predetermined pattern using a conductive paste in an appropriate order. A chip body incorporating an internal conductor made of a conductive pattern is manufactured. Thereafter, the chip body is fired to form a chip component.

導電性ペーストをAgあるいはAg合金から形成した場合、Agの融点(961.93℃)以下で焼成する必要がある。そこで、特許文献1等に開示された発明のように、フェライト材料にガラス材料を添加することで、焼成温度を低温(特許文献1では、930℃)にすることができることが報告されている。
特開2002−2521094号公報
When the conductive paste is formed from Ag or an Ag alloy, it is necessary to fire at a melting point of Ag (961.93 ° C.) or lower. Therefore, it has been reported that the firing temperature can be lowered (930 ° C. in Patent Document 1) by adding a glass material to the ferrite material as in the invention disclosed in Patent Document 1 and the like.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-2521094

ところで、近年の電子機器に実装される電子回路における使用周波数帯域が高周波数化するのに伴い、高い周波数帯域で使用可能な材料の開発が望まれている。しかし、従来のフェライト材料を用いたチップ部品では、磁気共鳴ピークが数MHz程度となり、それ以上の高い周波数帯での使用に適していない。また、その磁気共鳴ピークに対応して比誘電率μも、低い周波数帯域では、ある程度の高い値となるものの、100MHz程度を超えると急激に低下してしまい、目的のμを得られないという問題もある。   By the way, the development of materials that can be used in a high frequency band is desired as the frequency band used in electronic circuits mounted on electronic devices in recent years increases. However, a conventional chip component using a ferrite material has a magnetic resonance peak of about several MHz, and is not suitable for use in a higher frequency band. In addition, the relative dielectric constant μ corresponding to the magnetic resonance peak also has a certain high value in the low frequency band, but suddenly decreases when it exceeds about 100 MHz, and the target μ cannot be obtained. There is also.

さらに、上記の特許文献1に開示された発明では、焼成温度は930℃程度となり、Agの融点よりは低温にすることができる。しかし、焼成温度をさらに低くしたいという要求があり、係る要求には十分に応えることができなかった。   Furthermore, in the invention disclosed in Patent Document 1, the firing temperature is about 930 ° C., which can be lower than the melting point of Ag. However, there has been a demand for further lowering the firing temperature, and such a demand could not be fully met.

この発明は上記した課題を解決するもので、その目的は、積層タイプのチップ部品の絶縁層等に使用することができ、1GHz付近に磁気共鳴ピークを持ち、1GHz近くの高い周波数帯域まで、安定して一定のμを持つ磁気組成物及び電子部品を提供することを目的とする。さらに、焼成温度を880℃より好ましくは850℃以下にして低温焼結を可能とすることを副次的な目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems, and its purpose is to be used for an insulating layer of a laminated type chip component, and has a magnetic resonance peak in the vicinity of 1 GHz and is stable up to a high frequency band near 1 GHz. An object of the present invention is to provide a magnetic composition and an electronic component having a constant μ. Furthermore, a secondary object is to enable low-temperature sintering by setting the firing temperature to 880 ° C. or more preferably 850 ° C. or less.

上記した目的を達成するために、本発明に係る磁気組成物は、(1)40〜50mol%のFe,15〜25mol%のNiO,5〜20mol%のCuO,15〜25mol%のZnOからなるフェライト材料に、下記組成のガラスを40〜79vol%と、石英を20〜50vol%を混合して形成される組成とし、当該ガラス成分は、SiOを70wt%〜85wt%,Bを12wt%〜25wt%,KOを1wt%〜5wt%,Alを0〜8wt%という関係を満たす組成配分とした。本発明では、フェライト材料と、ガラスと、石英を所望の比率で混合して構成される。従って、仮に、ガラスの成分量が最小の40vol%の場合、石英は最大50vol%、つまり、20〜50vol%の範囲のいずれの値もとることができる。一方、ガラスの成分量が最大の79vol%の場合、石英は最小の20vol%とするとフェライト材料が1vol%となり、これも本発明の範囲内となる。ただし、石英の成分量が21vol%となると、ガラスと石英とで100vol%になってしまいフェライト材料を混合することができなくなる。従って、係る場合、石英の成分量は21vol%未満になるように設定する。また、実際には、フェライト材料は少なくとも1vol%混合するようにするため、上記の場合は石英の成分量は20vol%となる。もちろん、ガラス成分が40vol%より多く、79vol%未満の範囲内の場合、フェライト材料の成分量が所定量含むように石英の成分量の上限が規定される。 In order to achieve the above object, the magnetic composition according to the present invention comprises (1) 40 to 50 mol% Fe 2 O 3 , 15 to 25 mol% NiO, 5 to 20 mol% CuO, and 15 to 25 mol%. A ferrite material made of ZnO has a composition formed by mixing 40 to 79 vol% of glass having the following composition and 20 to 50 vol% of quartz, and the glass component contains 70 wt% to 85 wt% of SiO 2 and B 2. O 3 to 12wt% ~25wt%, 1wt% ~5wt % of K 2 O, and a composition distribution satisfying the relationship of 0~8Wt% of Al 2 O 3. In the present invention, a ferrite material, glass, and quartz are mixed at a desired ratio. Therefore, if the glass component amount is 40 vol%, which is the minimum, quartz can take any value in the range of 50 vol% at the maximum, that is, 20-50 vol%. On the other hand, when the glass component amount is 79 vol% at the maximum, if the minimum amount of quartz is 20 vol%, the ferrite material is 1 vol%, which is also within the scope of the present invention. However, when the amount of the quartz component is 21 vol%, the glass and quartz become 100 vol%, and the ferrite material cannot be mixed. Therefore, in such a case, the component amount of quartz is set to be less than 21 vol%. In practice, at least 1 vol% of the ferrite material is mixed, and in this case, the amount of the quartz component is 20 vol%. Of course, when the glass component is more than 40 vol% and less than 79 vol%, the upper limit of the component amount of quartz is defined so that the component amount of the ferrite material includes a predetermined amount.

従来の、フェライト材料に対して焼結助剤としてガラス材料を少量添加といった技術思想を転換し、ガラス材料の混合比率を多くした。これにより、磁気共鳴ピークを1GHz付近の高い周波数帯に移動することができる。係る効果を得るためには、フェライト材料に対するガラスの存在が同等以上になる必要がある。そして、本発明では、石英を20vol%以上含むため、ガラスが40vol%以上あれば係るガラスがフェライト材料以上存在することになる。そしてフェライト材料にガラスを混合して焼成すると、ガラスの軟化点付近で融解し、液相焼結化する。このとき、ガラスが50vol%以上になると、ガラスの表面張力により緻密化が促進されるので、上記の効果が発揮する。   The conventional technical idea of adding a small amount of glass material as a sintering aid to the ferrite material was changed, and the mixing ratio of the glass material was increased. Thereby, the magnetic resonance peak can be moved to a high frequency band near 1 GHz. In order to obtain such an effect, the presence of glass with respect to the ferrite material needs to be equal to or higher. And in this invention, since it contains 20 vol% or more of quartz, if glass is 40 vol% or more, the glass will exist more than a ferrite material. When the ferrite material is mixed with glass and fired, it is melted near the softening point of the glass and liquid phase sintered. At this time, if the glass is 50 vol% or more, the above effect is exhibited because densification is promoted by the surface tension of the glass.

一方、フェライト材料と、上記の組成比からなるガラスを混合(石英なし)する場合、がガラスが80vol%以上になると、表面張力によりチップ体等を形成した場合に角部が丸みを帯びてしまい、矩形状等の所望の形状に形成することができなくなると共に、内部に発泡が生じてしまう。そこで、本発明では、石英をあわせて混合することで、ガラスと石英を合わせた成分量が、80vol%以上、つまり、フェライト材料が20vol%未満にすることが可能となる。これは、石英(結晶化したSiO)は融点が1500℃と高く、本発明が想定する焼成温度(たとえば、Agの融点以下の低温度である900℃程度、さらには850〜800℃)では発泡や溶解しない。そのため、石英(結晶化したSiO)が骨材の役割を果たし、フェライト材料の成分量が20vol%未満となってもチップの変形(角部の丸み)が生じない。また、ガラスの成分量は79vol%以下であるので、焼成時に発泡も生じない。なお、発泡すると密度が低下するので、理想状態の密度に対する実際の密度の比である相対密度を求め、相対密度が一定値(たとえば90%)以上のものが、効果があると判断することができる。また、相対密度90%以上であれば、材料の耐吸湿性や強度が向上し、実用化に支障がないためである。さらに、ガラスの存在比率が増すことも相まって、焼成温度を低くすることができ、800〜850℃程度にすることもできる。もちろん、焼成温度は、上記の温度範囲以上で焼成することを妨げない。 On the other hand, when the ferrite material and the glass having the above composition ratio are mixed (without quartz), if the glass is 80 vol% or more, the corners are rounded when the chip body is formed by the surface tension. Further, it cannot be formed into a desired shape such as a rectangular shape, and foaming occurs inside. Therefore, in the present invention, by combining quartz together, it is possible to make the combined amount of glass and quartz 80% by volume or more, that is, the ferrite material is less than 20% by volume. This is because quartz (crystallized SiO 2 ) has a high melting point of 1500 ° C., and the firing temperature assumed by the present invention (for example, about 900 ° C., which is a low temperature below the melting point of Ag, further 850 to 800 ° C.). Does not foam or dissolve. Therefore, quartz (crystallized SiO 2 ) plays the role of an aggregate, and even if the amount of the ferrite material is less than 20 vol%, chip deformation (corner roundness) does not occur. Further, since the glass component amount is 79 vol% or less, foaming does not occur during firing. Since the density decreases when foamed, the relative density, which is the ratio of the actual density to the ideal density, is obtained, and it can be determined that a relative density of a certain value (for example, 90%) or more is effective. it can. Further, if the relative density is 90% or more, the moisture absorption resistance and strength of the material are improved, and there is no hindrance to practical use. Furthermore, combined with an increase in the glass abundance ratio, the firing temperature can be lowered and the temperature can be set to about 800 to 850 ° C. Of course, the firing temperature does not prevent firing at the above temperature range.

そして、ガラス,石英並びにフェライト材料の組成比を適宜変更して製造した磁気組成物を実際に焼成した結果、上記の範囲が有効であることが確認できた。さらに、各組成についての上下限値の臨界的な意味は、以下の通りと思われる。   And as a result of actually baking the magnetic composition manufactured by changing the composition ratio of glass, quartz and ferrite materials as appropriate, it was confirmed that the above range was effective. Furthermore, the critical meaning of the upper and lower limits for each composition seems to be as follows.

(2)また、前記フェライト材料は、10vol%以上添加するものとするとよい。すなわち、上述したように、フェライト材料は、少しでも添加されていれば、添加していないものに比べると高い一定の比誘電率を持つ。そして、その比誘電率は、1GHz以上の高周波領域においてもほぼ同じ値を保つので、本発明では添加されていればよいが、より好ましくは、フェライト材料の成分量が10vol%以上とすることである。このようにすると、比誘電率は、1.2〜1.3程度となる。よって、インダクタンスに適用することが可能となり、使用可能な対象製品・利用分野が広くなるので好ましい。   (2) Further, the ferrite material is preferably added at 10 vol% or more. That is, as described above, if a ferrite material is added even a little, the ferrite material has a constant dielectric constant that is higher than that of a ferrite material that is not added. And since the relative dielectric constant maintains substantially the same value even in a high frequency region of 1 GHz or higher, it may be added in the present invention, but more preferably, the amount of the ferrite material is 10 vol% or higher. is there. In this way, the relative dielectric constant is about 1.2 to 1.3. Therefore, it is possible to apply to inductance, and it is preferable because usable target products and application fields are widened.

(3)本発明に係るインダクタ並びに電子回路用基板は、上記の(1)または(2)に記載の磁気組成物を用いて構成される。ここでインダクタは、積層インダクタ(積層チップインダクタ)であり、導体パターンからなるコイルを内蔵するチップ体に用いられる。このチップ体は、シート状の磁気組成物を積層して構成される。また、電子回路用基板は、たとえば、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)多機能性基板等として実現することができる。   (3) The inductor and the electronic circuit board according to the present invention are configured using the magnetic composition described in the above (1) or (2). Here, the inductor is a multilayer inductor (multilayer chip inductor), and is used for a chip body incorporating a coil made of a conductor pattern. This chip body is configured by laminating sheet-like magnetic compositions. Further, the electronic circuit substrate can be realized as, for example, a LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic) multifunctional substrate.

本発明では、1GHz付近に磁気共鳴ピークを持ち、1GHz近くの高い周波数帯域まで、安定して一定の透磁率を持たせることができる。さらに、焼成温度を850℃以下にすることができる。しかも、フェライト材料の成分量が、20vol%未満といったまで少なくすることができ、それに伴い、磁気共鳴ピーク(透磁率が低下し始める周波数)をより高い周波数に位置させることができる。   In the present invention, a magnetic resonance peak is provided in the vicinity of 1 GHz, and a constant magnetic permeability can be stably provided up to a high frequency band near 1 GHz. Furthermore, the firing temperature can be 850 ° C. or lower. Moreover, the amount of the ferrite material component can be reduced to less than 20 vol%, and accordingly, the magnetic resonance peak (frequency at which the magnetic permeability starts to decrease) can be positioned at a higher frequency.

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本発明に係る磁気組成物は、所定のフェライト材料と、を40〜79vol%のガラスと、20〜50vol%の石英とを混合して形成される。フェライト材料は、40〜50mol%のFe,15〜25mol%のNiO,5〜20mol%のCuO,15〜25mol%のZnOの組成範囲内のものを用いる。また、ガラスは、SiOを70wt%〜85wt%,Bを12wt%〜25wt%,KOを1wt%〜5wt%,Alを0〜8wt%という関係を満たす組成配分とする。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. The magnetic composition according to the present invention is formed by mixing a predetermined ferrite material with 40 to 79 vol% glass and 20 to 50 vol% quartz. Ferrite material, 40~50mol% of Fe 2 O 3, 15~25mol% of NiO, 5 to 20 mol% of CuO, using those within the composition range of 15 to 25% of ZnO. Further, the glass has a composition distribution satisfying the relationship of 70 wt% to 85 wt% of SiO 2 , 12 wt% to 25 wt% of B 2 O 3 , 1 wt% to 5 wt% of K 2 O, and 0 to 8 wt% of Al 2 O 3. And

この磁気組成物は、たとえば以下に示す工程により製造することができる。すなわち、上記のフェライト材料の各原料成分を所定量秤量し、公知のフェライト材料の製造工程に従い仮焼きする。この仮焼き後のフェライト材料(上記の組成範囲内となっている)と、上記の組成範囲で形成されたガラス並びに石英をボールミルポットに混合する。このとき、ガラスが40〜79vol%で石英が20〜50vol%(ただし、両者を合計して100vol%未満、好ましくは、99vol%以下でより好ましくは)となるように秤量する。   This magnetic composition can be manufactured, for example, by the steps shown below. That is, a predetermined amount of each raw material component of the ferrite material is weighed and calcined according to a known ferrite material manufacturing process. This calcined ferrite material (within the above composition range), glass and quartz formed in the above composition range are mixed in a ball mill pot. At this time, the glass is weighed so as to be 40 to 79 vol% and quartz is 20 to 50 vol% (however, the total of both is less than 100 vol%, preferably 99 vol% or less).

次いで、エタノール等のアルコールを所定量秤量し、上記のフェライト材料とガラスと石英を混合投入したボールミルポット内に投入する。そして、そのボールミルにて、20時間程度混合粉砕する。粉砕後の粉体の粒径(D50)は、0.8μm程度となる。この粉体を乳鉢等でさらに解砕する。この解砕した粉体と、エチルセルロース等のバインダを混ぜ、シート成形を行うことで、シート状の磁気組成物が製造される。   Next, a predetermined amount of alcohol such as ethanol is weighed and put into a ball mill pot into which the above ferrite material, glass and quartz are mixed and charged. Then, it is mixed and ground for about 20 hours in the ball mill. The particle size (D50) of the powder after pulverization is about 0.8 μm. This powder is further pulverized with a mortar or the like. A sheet-like magnetic composition is produced by mixing the pulverized powder and a binder such as ethyl cellulose and performing sheet forming.

本発明に係る電子部品(積層インダクタ)の一実施形態としては、上記のようにして形成されたシート状の磁気組成物を用い、製造することができる。すなわち、上記のシート状の磁気組成物を所定枚数積層する。この積層工程の途中で、そのとき露出しているシート状の磁気組成物の表面に対してコイルを構成するための導体パターンを印刷する。これにより、内部に所定の巻数からなるコイルを有する積層体が形成される。   As one embodiment of the electronic component (multilayer inductor) according to the present invention, it can be manufactured using the sheet-like magnetic composition formed as described above. That is, a predetermined number of the sheet-like magnetic compositions are laminated. During this lamination process, a conductor pattern for forming a coil is printed on the surface of the sheet-like magnetic composition exposed at that time. Thereby, the laminated body which has a coil which consists of predetermined number of turns inside is formed.

この積層体を、所望温度(たとえば、50℃程度)の温度で加熱しながら、所望の圧力(たとえば、1t/cm)で加圧し、積層した磁気組成物からなるシートを圧着する。その後、所定の形状に切断することで、チップ体を製造する。このチップ体を所定温度で焼成し、得られた焼結体の表面をバレル研磨し、所定部位に外部の端子電極を付け、焼き付けを行うことで、積層インダクタが製造される。もちろん、他の製造方法によって製造することも可能である。また、チップ体を焼成する際の焼成温度であるが、800から850℃とすることができる。もちろん、それよりも高い温度(880℃等)で焼成することも問題ない。 While heating this laminated body at a desired temperature (for example, about 50 ° C.), the laminated body is pressurized at a desired pressure (for example, 1 t / cm 2 ), and a sheet made of the laminated magnetic composition is pressure-bonded. Thereafter, the chip body is manufactured by cutting into a predetermined shape. The chip body is fired at a predetermined temperature, the surface of the obtained sintered body is barrel-polished, an external terminal electrode is attached to a predetermined portion, and baking is performed, whereby a multilayer inductor is manufactured. Of course, it can also be manufactured by other manufacturing methods. Moreover, although it is a calcination temperature at the time of baking a chip body, it can be set to 800 to 850 degreeC. Of course, firing at a higher temperature (such as 880 ° C.) is not a problem.

図1,図2は、上記の製造プロセスに従って製造した積層チップインダクタのインダクタンス値とQの周波数特性を測定した。製造した試料のチップサイズは、0.6×0.3×0.3mmとした。また、本発明品の実施形態の試料の成分量は、フェライト材料が7.5vol%,ガラスが42.5vol%,石英が42.5vol%とした。また、フェライト材料の組成比は、
Fe:50mol%
NiO:25mol%
CuO:5mol%
ZnO:20mol%
で、ガラスの組成比は、
SiO:70mol%
:18mol%
O:4mol%
Al:8mol%
とした。また、比較例としての試料は、一般にインダクタ用の誘電体材料として用いられるアルミナ・センダストを使用した(寸法形状は同じ)。
1 and 2, the inductance value and Q frequency characteristic of the multilayer chip inductor manufactured according to the above manufacturing process were measured. The chip size of the manufactured sample was 0.6 × 0.3 × 0.3 mm. The component amounts of the sample of the embodiment of the present invention were 7.5 vol% for the ferrite material, 42.5 vol% for the glass, and 42.5 vol% for the quartz. The composition ratio of ferrite material is
Fe 2 O 3 : 50 mol%
NiO: 25 mol%
CuO: 5 mol%
ZnO: 20 mol%
And the composition ratio of glass is
SiO 2 : 70 mol%
B 2 O 3 : 18 mol%
K 2 O: 4 mol%
Al 2 O 3 : 8 mol%
It was. Moreover, the sample as a comparative example used the alumina sendust generally used as a dielectric material for inductors (the dimension shape is the same).

図1に示すように、インダクタンス値(L値)は、本発明品の方が15%程度高いことがわかる。なお、図2に示すように、Q値については、比較例の誘電体材料のものが10%程度高い値を示している。よって、これらの特徴を考慮して、適宜の部品等に適用すると良い。   As shown in FIG. 1, the inductance value (L value) is about 15% higher in the product of the present invention. As shown in FIG. 2, the Q value of the dielectric material of the comparative example is about 10% higher. Therefore, in consideration of these characteristics, it may be applied to an appropriate part or the like.

また、本発明による磁気組成物の用途としては、この積層インダクタに限ることはなく、使用する高周波数域での誘電率が使用に満たせば、他のものに適用することができるのはもちろんである。さらには、この磁気組成物は、焼成温度が低く、また、高周波数域まで安定した比誘電率を有することから、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)多機能性基板の材料として使用することもできる。つまり、電子部品として、いわゆるインダクタやコンデンサ等の電子回路を構成するための素子のみならず、このような電子回路を構成するための基板等に適用できる。   In addition, the use of the magnetic composition according to the present invention is not limited to this multilayer inductor, and it can be applied to other applications as long as the dielectric constant in the high frequency range to be used is satisfied. is there. Furthermore, since this magnetic composition has a low firing temperature and a stable dielectric constant up to a high frequency range, it can also be used as a material for LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic) multifunctional substrates. it can. That is, the present invention can be applied not only to elements for configuring electronic circuits such as so-called inductors and capacitors as electronic components, but also to substrates for configuring such electronic circuits.

次に、本発明の効果を実証するため、組成を変更して複数の試料を製造し、それら各試料について透磁率μと、相対密度を求めた。各試料は、上述した磁気組成物の製造プロセスに従ってシート状に成形した後、そのシートを所定枚数積層して、積層体を形成する。この実験では、磁気組成物自体の評価を行うため、上述した電子部品のように導体パターンの印刷は行わない。そして、この積層体を、所望温度(たとえば、50℃程度)の温度で加熱しながら、所望の圧力(たとえば、1t/cm)で加圧し、積層した磁気組成物からなるシートを圧着する。次いで、その圧着した積層体をリング状に切り出した後、所定温度で焼成した。この焼成温度は、800℃とした。リング状の磁気組成物の焼結体に対し、巻線を10ターン施し、μ′やμ″等を測定した。 Next, in order to verify the effect of the present invention, a plurality of samples were manufactured by changing the composition, and the magnetic permeability μ and the relative density were obtained for each sample. Each sample is formed into a sheet according to the above-described manufacturing process of the magnetic composition, and then a predetermined number of the sheets are laminated to form a laminate. In this experiment, since the magnetic composition itself is evaluated, the conductor pattern is not printed as in the electronic component described above. And while heating this laminated body at the temperature of desired temperature (for example, about 50 degreeC), it pressurizes with a desired pressure (for example, 1 t / cm < 2 >), and crimps | bonds the sheet | seat which consists of the laminated | stacked magnetic composition. Next, the pressure-bonded laminate was cut into a ring shape and then fired at a predetermined temperature. The firing temperature was 800 ° C. Winding was applied to the sintered body of the ring-shaped magnetic composition for 10 turns, and μ ′, μ ″ and the like were measured.

試料は、表1に示すA〜Lの12種類のフェライト材料と、表2に示すA〜Mの13種類のガラスを適宜組み合わせて作成した。   Samples were prepared by appropriately combining 12 types of ferrite materials A to L shown in Table 1 and 13 types of glasses A to M shown in Table 2.

Figure 2010150051
Figure 2010150051

Figure 2010150051
Figure 2010150051

(実施例1〜11)
試料は表3に示すように、組成を適宜変更した11種類の試料を用意した。この11種類の試料は、各原料の少なくとも1つが、本発明の組成比の範囲を規定する境界点(境界点付近)をとるものとしたが、いずれの場合も、相対密度は90%以上となった。もちろん、試料であるリング状の焼結体のエッジ(角部)にも丸みは生じていない。また、透磁率μは、初期透磁率である。この測定は、巻線を施したリング状の磁気組成物のインダクタンス値と直列抵抗値をインピーダンスアナライザにて測定し、その測定値からμ′,μ″を算出して求めた。
(Examples 1 to 11)
As shown in Table 3, 11 types of samples with appropriate changes in composition were prepared. In these 11 types of samples, at least one of the raw materials has a boundary point (near the boundary point) that defines the range of the composition ratio of the present invention. In either case, the relative density is 90% or more. became. Of course, the edge (corner part) of the ring-shaped sintered body as a sample is not rounded. Further, the magnetic permeability μ is an initial magnetic permeability. In this measurement, the inductance value and series resistance value of the ring-shaped magnetic composition with the windings were measured with an impedance analyzer, and μ ′ and μ ″ were calculated from the measured values.

また、後述するように、本発明を構成する組成比の範囲内の磁気組成物は、磁気共鳴ピークが1GHz程度となり、その透磁率の周波数特性は、1GHz程度の高周波帯域まで初期透磁率の値をほぼ維持するので、表3に記載した初期透磁率の値は、そのまま高周波数域における実際の使用環境下における透磁率と推定することができる。   As will be described later, the magnetic composition within the composition ratio range constituting the present invention has a magnetic resonance peak of about 1 GHz, and the frequency characteristic of the magnetic permeability is the value of the initial magnetic permeability up to a high frequency band of about 1 GHz. Therefore, the value of the initial permeability described in Table 3 can be estimated as the permeability under the actual use environment in the high frequency range as it is.

Figure 2010150051
Figure 2010150051

(比較例1〜21)
一方、比較例として、各原料の少なくとも1つが、本発明の組成比の範囲を規定する境界点を外れた値(境界点付近)をとるものを用意した。本発明の範囲を外れた試料(比較例)は、相対密度が90%未満となり、試料のエッジに丸みを生じてしまう。よって、電子部品としての使用に適さないことが確認できた。
(Comparative Examples 1-21)
On the other hand, as a comparative example, at least one of the raw materials was prepared having a value (near the boundary point) that deviates from the boundary point that defines the range of the composition ratio of the present invention. A sample out of the scope of the present invention (comparative example) has a relative density of less than 90% and rounds the edge of the sample. Therefore, it was confirmed that it is not suitable for use as an electronic component.

また、表には記載していないが、さらに別の組み合わせからなる試料についても作成し、評価したところ、同様の傾向が見られた。   Moreover, although not described in the table, a sample consisting of another combination was prepared and evaluated, and the same tendency was observed.

本発明品並びに比較例におけるチップインダクタのインダクタンス値についての周波数特性を示すグラフである。It is a graph which shows the frequency characteristic about the inductance value of the chip inductor in this invention goods and a comparative example. 本発明品並びに比較例におけるチップインダクタのQ値についての周波数特性を示すグラフである。It is a graph which shows the frequency characteristic about Q value of the chip inductor in this invention goods and a comparative example.

Claims (4)

40〜50mol%のFe,15〜25mol%のNiO,5〜20mol%のCuO,15〜25mol%のZnOからなるフェライト材料に、下記組成のガラスを40〜79vol%と、石英を20〜50vol%を混合して形成される組成とし、
当該ガラス成分は、SiOを70wt%〜85wt%,Bを12wt%〜25wt%,KOを1wt%〜5wt%,Alを0〜8wt%という関係を満たす組成配分であることを特徴とする磁気組成物。
A ferrite material composed of 40-50 mol% Fe 2 O 3 , 15-25 mol% NiO, 5-20 mol% CuO, 15-25 mol% ZnO, 40-79 vol% glass having the following composition, and 20 quartz. A composition formed by mixing ˜50 vol%,
The glass component has a composition distribution satisfying a relationship of 70 wt% to 85 wt% of SiO 2 , 12 wt% to 25 wt% of B 2 O 3 , 1 wt% to 5 wt% of K 2 O, and 0 to 8 wt% of Al 2 O 3. A magnetic composition characterized in that
前記フェライト材料は、10vol%以上添加するものであることを特徴とする請求項1に記載の磁気組成物。   The magnetic composition according to claim 1, wherein the ferrite material is added in an amount of 10 vol% or more. 請求項1または2に記載の磁気組成物を用いて構成されるインダクタ。   The inductor comprised using the magnetic composition of Claim 1 or 2. 請求項1または2に記載の磁気組成物を用いて構成される電子回路用基板。   An electronic circuit board configured using the magnetic composition according to claim 1.
JP2008327088A 2008-12-24 2008-12-24 Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit Withdrawn JP2010150051A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008327088A JP2010150051A (en) 2008-12-24 2008-12-24 Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008327088A JP2010150051A (en) 2008-12-24 2008-12-24 Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010150051A true JP2010150051A (en) 2010-07-08

Family

ID=42569574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008327088A Withdrawn JP2010150051A (en) 2008-12-24 2008-12-24 Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010150051A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106699159A (en) * 2016-12-15 2017-05-24 东莞华晶粉末冶金有限公司 Ferrite powder and preparation method and application thereof
JP2017210389A (en) * 2016-05-26 2017-11-30 株式会社村田製作所 Glass-ceramic-ferrite composition and electronic component
JP2019099400A (en) * 2017-11-29 2019-06-24 株式会社村田製作所 Glass-ceramic-ferrite composition and electronic component

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017210389A (en) * 2016-05-26 2017-11-30 株式会社村田製作所 Glass-ceramic-ferrite composition and electronic component
CN107434407A (en) * 2016-05-26 2017-12-05 株式会社村田制作所 Glass ceramics ferrite composition and electronic unit
CN106699159A (en) * 2016-12-15 2017-05-24 东莞华晶粉末冶金有限公司 Ferrite powder and preparation method and application thereof
JP2019099400A (en) * 2017-11-29 2019-06-24 株式会社村田製作所 Glass-ceramic-ferrite composition and electronic component

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101839204B1 (en) Composite ferrite composition and electronic component
JP5790702B2 (en) Composite ferrite composition and electronic component
JP5786878B2 (en) Dielectric porcelain composition, electronic component and composite electronic component
JP2010235327A (en) Dielectric ceramic composition
JP2013166687A (en) Dielectric ceramic and electronic component using the same
JP5126616B2 (en) Magnetic ceramic, ceramic electronic component, and method of manufacturing ceramic electronic component
JP2008069056A (en) Dielectric porcelain composition
JP2010150051A (en) Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit
JP2011216521A (en) Ceramic electronic component and method of manufacturing ceramic electronic component
JP5527053B2 (en) Dielectric porcelain, dielectric porcelain manufacturing method, and electronic component
WO2013115064A1 (en) Magnetic body material and wound coil component provided with core formed using same
JP2010150050A (en) Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit
JP4412266B2 (en) Dielectric ceramic composition and manufacturing method thereof
JPH0891919A (en) Magnetic oxide material composition, its production and inductor, laminated chip inductor and composite laminated part
JP2009132579A (en) Dielectric porcelain composition
JP2004002110A (en) Magnetic ceramic sintered compact and its forming process
JP2006104044A (en) Dielectric material and its production method
JP4556668B2 (en) Ferrite material and inductor element
JP2010228928A (en) Dielectric ceramic composition and electronic component using the same
JP2010235325A (en) Dielectric ceramic composition
JP2010150104A (en) Magnetic composition, inductor, and substrate for electronic circuit
CN115010488B (en) Low-firing low-dielectric high-Q high-stability microwave porcelain for capacitor
JP2004123404A (en) Spinel ferrite sintered compact for high-frequency band, spinel ferrite particle powder and green sheet using the same
JP2009227483A (en) Dielectric ceramic composition
JP2007076985A (en) LOW LOSS Ni-Cu-Zn-BASED FERRITE

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120306