JP2010149166A - 真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 78
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 92
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 38
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 32
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 11
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 4
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 19
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 8
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 7
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 241001416181 Axis axis Species 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
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- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】搬送ロボットの製造方法において、アーム本体20を構成する上側板25、下側板26及び環状部材27と、関節軸を支持する各ブシュ21〜23とから中空構造のアーム5を組み立て、上側板25、下側板26及び環状部材27を互いに接合する接合部と、それらの部材と各ブシュ21〜23の接合部とにロウ材を付着させる工程と、組み立てられたアーム5を真空加熱して、ロウ付けする工程とを有する。
【選択図】図2
Description
要旨とする。
る。
また、図中左側の第3アーム13及び第4アーム16の高さ位置は、それらのアーム13,16に連結された各アーム5,8の高さ位置のため、図中右側の第3アーム13及び第4アーム16の高さ位置よりも、上方の位置となっている。従って、図中左側の各アーム13,16に連結された連結アーム19Aは、右側の各アーム13,16に連結された連結アーム19Aに対して高さ方向において上方の位置にある。このため、例えば、2枚の基板を搬送する場合にも、各連結アーム19に支持された基板の高さ位置が異なるので、各アームが伸縮又は回動しても基板を衝突させることなく搬送できる。また、これらの各アーム5,8,13,16が伸縮・回動等といった所定の動作を円滑に行うためには、アーム長、各回転軸の軸間距離等の精度が確保されていることが前提となる。
環状部材27は、高さHが一定の帯状に形成された各板状部材27E〜27Hの側端を仮留めすることによって環状に形成されている。本実施形態では、各板状部材27E〜27Hは、厚さが数ミリ(例えば1〜5ミリ)の板金から形成され、平板状の2つの板状部
材27E,27Fと、湾曲形成された2つの板状部材27G,27Hとを溶接接合することにより長尺状の楕円形状を形成している。
できる。ニッケル系のロウ材は、比較的低い融点を有するため、ロウ付けの際の加熱温度を比較的低く設定することが可能となり、上側板25、下側板26及び環状部材27、及び各ブシュ21〜23の熱膨張を抑制することができる。また、耐熱性及び耐食性が高く、錆びにくい利点を有し、第1アーム5に用いられる材質との濡れ性も優れている。
、ロウ付けが施された後の各ブシュ21〜23の位置精度が設計要件を満たさない場合(2次加工が必要となる場合)にのみ必要とされる。通常、各ブシュ21〜23とこれらに対応する貫通孔との間の嵌合隙間は1/100ミリ単位で保証されている。そのため上述した各ブシュ21〜23の位置精度は主にこれらの組み付け精度に左右されるものであるから、こうした組み付け精度さえ組み付け治具等により確保されていれば、当然ながら上述した切削代が不要となる。
(1)上記実施形態では、搬送ロボット1の各アーム5,8,13,16を製造する際に、アーム本体20を構成する複数の上側板25、下側板26及び環状部材27と、各ブシュ21〜23とから中空構造のアーム5,8,13,16を組み立て、それら部材を互いに接合する接合部にロウ材を付着させた。また、組み立てられたアームを真空加熱して、ロウ付けすることによって接合した。従って、各アーム5,8,13,16を中空構造にすることにより軽量化しつつ、溶接による接合のように部材を局所的に加熱しないので、アーム5,8,13,16の軸間距離等の精度を向上することができる。従って、軸間距離の調整等を目的とした、接合後の2次加工の負荷や工程数を軽減することができる。また、接合後の軸間距離等の変動が少ないので、各アーム5,8,13,16の精度を向上することができる。
成されている。また、各ブシュ21〜23と上側板25及び下側板26とには段差が設けられている。このため、これらの段差が設けられることにより、ロウ材による補強を容易に行うことができる。従って、ロウ材は、各部材の接合面を接合するだけでなく、その外側も接合するため、上側板25及び下側板26の下面及び上面と、環状部材27の外側面27Dとが面一になるように接合するよりも、各部材を強固に固定することができる。また、各ブシュ21〜23と、上側板25及び下側板26とを強固に固定することができ、軸間距離の精度等を向上することができる。
・上記実施形態では、ニッケル系のロウ材を用いたが、銀を主成分とするロウ材等、その他のロウ材を用いてもよい。また、ニッケル系のロウ材よりも溶融温度(融点)の低い半田を用いてもよい。
Claims (6)
- アームを備えた真空搬送装置の製造方法において、
複数の構成部材の接合部にロウ材を付着させて中空構造の前記アームを組み立てる工程と、
組み立てられた前記アームを真空加熱して、ロウ付けする工程とを有することを特徴とする真空搬送装置の製造方法。 - 請求項1に記載の真空搬送装置の製造方法において、
前記構成部材は、アーム本体を構成する複数のアーム部材と、関節軸を支持する関節部材であって、
前記アーム部材と前記関節部材とを、同種の材質から形成することを特徴とする真空搬送装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の真空搬送装置の製造方法において、
ニッケル鍍金が施された金属材からなる前記構成部材の前記接合部を、ニッケルを主成分とするロウ材により接合することを特徴とする真空搬送装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の真空搬送装置の製造方法において、
ステンレス材からなる前記構成部材の前記接合部を、ニッケルを主成分とするロウ材により接合することを特徴とする真空搬送装置の製造方法。 - 複数のアーム部材から構成されるアーム本体と、関節軸を支持する関節部材とを有する中空構造のアームを備え、
前記各アーム部材を互いに接合する接合部と、前記アーム部材と前記関節部材の接合部とがロウ材によって接合されていることを特徴とする真空搬送装置。 - 請求項5に記載の真空搬送装置において、
前記アームを構成する第1壁部と、該第1壁部に対して接合される第2壁部との接合部には、前記第1壁部と及び前記第2壁部との間をロウ材によって架橋するための段差が形成されていることを特徴とする真空搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008332080A JP5253145B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008332080A JP5253145B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010149166A true JP2010149166A (ja) | 2010-07-08 |
JP5253145B2 JP5253145B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=42568848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008332080A Active JP5253145B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5253145B2 (ja) |
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- 2008-12-26 JP JP2008332080A patent/JP5253145B2/ja active Active
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JP7475294B2 (ja) | 2020-04-02 | 2024-04-26 | 株式会社安川電機 | ロボット |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5253145B2 (ja) | 2013-07-31 |
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A621 | Written request for application examination |
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