JP2010147363A - 板状電極と電極との接続構造 - Google Patents

板状電極と電極との接続構造 Download PDF

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Abstract

【課題】板状電極とこれに接続する電極の間の接合強度を高めることが可能な板状電極と電極との接続構造の提供。
【解決手段】板状電極11と電極12との接続構造であって、電極12上面に凹部13aを有する突起部13を設けると共に、板状電極11にバーリング11aを有する丸孔11bを設け、板状電極11の丸孔11bが電極12上面の突起部13を間隔をおいて囲むように電極12上面に板状電極11下面としてのバーリング11aの先端部を対向配置し、凹部13aに保持された棒状半田14を局所加熱することにより、少なくとも電極12上面、突起部13の外周面、及び丸孔11bの内周面との間を半田接合させる。
【選択図】図1

Description

この発明は、板状電極と電極との接続構造に関する。
特許文献1で開示された従来技術においては、パワー素子上に半田付けされる上部電極に、突起部と半田注入口を形成し、この突起部をパワー素子上に接触するように配置することにより、上部電極とパワー素子との間に溶融半田の供給空間を形成する。そして、その溶融半田の供給空間に対し半田注入口から溶融半田を供給して、上部電極をパワー素子に半田接合させる。このため、突起部によって形成された溶融半田の供給空間に対し、上部電極の側方からではなく、半田注入口を介して溶融半田を供給することができ、パワー素子の側面に半田が付着することを防止できるとしている。
特開2004−134445号公報(第5〜7頁、図1〜図2)
しかし、特許文献1で開示された従来技術においては、半田注入口を介して溶融半田の供給空間に供給された半田により対向する上部電極のフラットな下面とパワー素子のフラットな上面との間が半田接合されるので、接合強度が弱いという問題がある。このため、例えば、振動が加わった場合には、半田とフラットな下面及び半田とフラットな上面との間の面接合部が剥離してしまう恐れがある。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、板状電極とこれに接続する電極の間の接合強度を高めることが可能な板状電極と電極との接続構造の提供にある。
上記課題を達成するため、請求項1記載の発明は、板状電極と電極との接続構造であって、前記電極上面に突起部を設けると共に、前記板状電極に孔を設け、前記孔が前記突起部を間隔をおいて囲むように前記電極上面に前記板状電極下面を配置し、少なくとも前記突起部と前記孔とを半田接合させることを特徴とする。
請求項1記載の発明によれば、電極の突起部を囲むように間隔をおいて板状電極の孔を配置されているので、突起部と孔との間に半田を供給し少なくとも突起部と孔とを半田接合させることが可能である。従って、突起部の外周面と孔とが半田接合されるので、接合部が突起部の中心軸と孔の中心軸との軸方向にも広がるために接合部の表面積が大となり、従来技術のような半田とフラットな下面及び半田とフラットな上面での半田接合に比べて半田接合強度のアップが可能である。また、突起部上の半田が盛り上がってフィレットが形成されるので、半田の接合寿命が長くなる。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記突起部は前記電極上面から前記板状電極上面まで突出する高さを有することを特徴とする。
請求項2記載の発明によれば、突起部と孔との軸方向の接合距離を充分確保することができる。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記突起部は、半田を保持することを特徴とする。
請求項3記載の発明によれば、突起部にて半田を保持させて半田を加熱溶融させればよいので、接合作業を簡単に行うことができる。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記突起部は凹部を有することを特徴とする。
請求項4記載の発明によれば、凹部に半田を保持させて半田を加熱溶融させればよいので、接合作業を簡単に行うことができると共に、凹部内の半田も溶けて半田接合されるので、接合部の表面積がさらに大となり接合強度を一層高めることができる。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記突起部は、パイプ状に形成されていることを特徴とする。
請求項5記載の発明によれば、パイプ状孔に棒状半田又はペレット状半田を立てて接合作業を行うことができる。
請求項6記載の発明は、請求項1〜5のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記突起部は、前記電極と一体形成されていることを特徴とする。
請求項6記載の発明によれば、突起部は電極と一体形成することができるので、部品点数と製造工数を削減可能である。
請求項7記載の発明は、請求項1〜6のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記板状電極の孔は、バーリングにより形成されていることを特徴とする。
請求項7記載の発明によれば、突起部の外周面と半田接合されるバーリング孔の内周面の接合面積を増大できると共に、くさび型の半田によるアンカー効果により接合強度を更に向上できる。
請求項8記載の発明は、請求項1〜7のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造において、前記板状電極はバスバーであり、前記電極は半導体素子上に設けられたヒートマスであることを特徴とする。
請求項8記載の発明によれば、板状電極はバスバーなので、例えば、バスバー電極を介して半導体素子と外部電極とを接続させることができ、大電流を供給可能である。また、電極は半導体素子上に設けられたヒートマスなので、突起部の形成が容易である。
本発明によれば、板状電極に形成された孔に電極の突起部を配置して突起部と孔とを半田接合すればよいので、板状電極とこれに接続する電極の間の接合強度を高めることが可能である。
(第1の実施形態)
以下、本発明の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造について、図1〜図2に基づいて説明する。
図1に示すように、この接続構造を有する接続部10は薄板状の板状電極11とブロック体状の電極12を備えている。
板状電極11には、下向きにバーリング11aが施された丸孔11bが形成されている。バーリング加工は板状電極11に下孔をあけプレス加工を行うことによりなされ、下方に突出する円筒状のバーリング11aを有する丸孔11bが形成される。板状電極11の材料としては、例えば、銅、アルミニウム、又はこれらの合金等を含んだ金属材料が用いられている。
電極12上面にはメッキ処理が施されており、パイプ状の突起部13が半田接合されている。突起部13は外周径が板状電極11の丸孔11bの孔径より小さく形成されている。突起部13の中心部に形成された丸孔状の凹部13aは、板状電極11と電極12とを接合させるときに半田を保持するものである。電極12及び突起部13の材料としては、例えば、銅、アルミニウム、又はこれらの合金等を含んだ金属材料が用いられている。
板状電極11の丸孔11bが電極12上面の突起部13を間隔をおいて囲むように電極12上面に板状電極11下面としてのバーリング11aの先端部を対向配置し、凹部13aに保持された固形半田を別途設けられた加熱手段により溶融させることにより、電極12上面、突起部13の外周面、及び丸孔11bとが半田Hにより接合されている。
このように、板状電極11と電極12とは、板状電極11のフラットな下面と電極12のフラットな上面とを半田接合させる場合と比較して、半田Hと各電極11、12との導通面積を大きくとることができるとともに、接合強度を高めることが可能である。
なお、バーリング11aの先端部と電極12上面との間には、溶融した半田が漏れない程度に若干の隙間が形成されている。これは、板状電極11と電極12とが接触することにより接触部に応力がかることによる不具合の発生を防止するためである。この隙間は、予め製造工程における寸法公差(バラツキ)を考慮して設定されている。また、突起部13は電極12上面から板状電極11上面まで突出する高さを有している。
上記のような構成を有する板状電極11と電極12との接続部10について、図2の製造工程を説明するための断面図に基づきその動作説明を行う。
図2(a)に示すように、電極12上の突起部13を囲むように間隔をおいて板状電極11の丸孔11bを配置し、板状電極11のバーリング11aの先端部と電極12上面との間に若干の隙間が形成された状態で、板状電極11及び電極12を図示しない支持手段(例えば、ロボットアーム又は、固定部材)により支持させる。そして、突起部13の凹部13aに固形の棒状半田14をセットする。なお、このとき突起部13の中心軸と丸孔11bの中心軸とはほぼ重なった状態にある。
次に、図2(b)に示すように、突起部13の上方に局所加熱手段15を移動させて、棒状半田14を局所加熱により溶融させる。局所加熱手段15は、レーザー方式やハロゲンランプ式やIH加熱式(誘導加熱式)などを用いることができる。
加熱により溶融された半田は溶け広がり、丸孔11bと突起部13との間を通って、下方に侵入し電極12の上面まで到達する。そして、丸孔11bと突起部13との間が溶融半田で満たされると、突起部13の上方にも溶融半田が盛り上がってフィレットが形成される。バーリング11aの先端部と電極12上面との間には若干の隙間が形成された状態にあるが、溶融半田の有する粘性と表面張力により、溶融半田はこの隙間から外部に漏れることはない。また、棒状半田14の容量は、突起部13と丸孔11bとの間を半田接合させるのに充分な量となるように予め設定されている。
次に、図2(c)に示すように、溶融した半田Hは自然冷却により硬化し、板状電極11の丸孔11bと電極12の突起部13との間が半田Hにより接合される。図2(c)は、この半田接合された状態を示している。
突起部13の外周面とバーリング11aが施された丸孔11bの内周面と電極12上面とが半田接合されると共に、突起部13の凹部13a内の半田も溶けて半田接合されるので、硬化した半田Hはくさび形状となり、いわゆるアンカー効果により引っ張り応力に対する接合強度を高めることができる。また、突起部13上の半田Hが盛り上がってフィレットが形成された状態にあるので、半田Hの接合寿命を長くすることが可能である。
第1の実施形態に係る板状電極と電極との接続部10によれば以下の効果を奏する。
(1)電極12上の突起部13を囲むように間隔をおいて板状電極11の丸孔11bを配置し、凹部13aに保持された棒状半田14を局所加熱手段15により溶融させることにより、突起部13と丸孔11bとの間が半田Hにより接合されている。従って、突起部13の外周面とバーリング11aが施された丸孔11bの内周面と電極12上面とが半田接合されると共に、突起部13の凹部13a内の半田も溶けて半田接合されるので、硬化した半田Hはくさび形状となり、いわゆるアンカー効果により引っ張り応力に対する接合強度を高めることができる。また、突起部13上の半田Hが盛り上がってフィレットが形成された状態にあるので、半田Hの接合寿命を長くすることが可能である。
(2)突起部13は電極12上面から板状電極11上面まで突出する高さを有しており、
突起部13の外周面と丸孔11bの内周面との間の半田接合部が突起部13の中心軸と丸孔11bの中心軸との軸方向にも広がるために接合部の表面積が大となり、従来技術のような半田とフラットな下面及び半田とフラットな上面での半田接合に比べて半田接合強度のアップが可能である。
(3)凹部13aで棒状半田14を保持させて半田を加熱溶融させればよいので、棒状半田14を保持するための把持手段を特別に設ける必要がなく、半田接合作業を簡単に行うことができる。
(4)局所加熱手段15により凹部13aに保持された棒状半田14を加熱し溶融させるが、加熱時においては棒状半田14のみならず周囲の突起部13、電極12及び板状電極11のバーリング11aなども同時に温度上昇し、半田Hが各部と強固に接合させることができる。
(5)バーリング11aの先端部と電極12上面との間には、若干の隙間が形成された状態で板状電極11と電極12とは接合されている。従って、電極12高さがばらついても残留応力なく半田接合を行えるので信頼性の向上を図れる。また、板状電極11と電極12との間に接触による応力が加わることなく確実に半田接合可能である。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態に係る板状電極とブロック状電極との接続構造について、図3及び図4に基づいて説明する。
この実施形態は、第1の実施形態における接続構造を半導体装置に適用したものであり、基本的な構成及び製造工程は共通である。
従って、ここでは説明の便宜上、先の説明で用いた符号を一部共通して用い、共通する構成及び工程についてはその説明を省略し、変更した個所のみ説明を行う。
図3に示すように、半導体装置20は本体部21とハウジング部22とにより構成されている。
本体部21は、絶縁性の回路基板23を備え、回路基板23上に設けられた金属層24上に半導体素子としての複数のIGBT25及びダイオード26がそれぞれ半田により接合されている。
IGBT25及びダイオード26上には、IGBT25及びダイオード26で発生した熱を一時的に吸収して、その後放出する直方体状のヒートマス27、28がそれぞれ半田で接合されている。ヒートマス27、28は電極に相当し、ヒートマス27、28には、その上面にパイプ状の突起部33、34がそれぞれ半田接合されている。
回路基板23は金属製のベースプレート29に裏面側の金属層30を介して接合されている。
ハウジング部22は、樹脂製のハウジング31と、該ハウジング31に一体成形されて
一部が埋め込まれた金属製で薄板状のバスバー32とを備えている。バスバー32は板状電極に相当し、バスバー32には、裏面側に突出してバーリング32a、32bが施された複数の丸孔32c、32dが形成されている。なお、丸孔32c、32dは突起部33、34に対応する位置に形成されている。
ハウジング部22は、本体部21に上方から取り付けられ接着されて一体化されている。
図4(a)、(b)は、半導体装置20の製造工程を説明するための模式図である。
図4(a)に示すように、本体部21に上方からハウジング部22が取り付けられ一体化される。このとき、バスバー32の丸孔32c、32dは、ヒートマス27、28上の突起部13をそれぞれ囲むように間隔をおいて配置され、バーリング32a、32bの先端部とヒートマス27、28上面との間には、若干の隙間が形成された状態にある。
次に、突起部33、34に設けられた凹部33a、34aに棒状半田14がセットされ、突起部33、34の上方に局所加熱手段15を順次移動させて、棒状半田14を局所過熱により溶融させる。なお、図4(a)では、バスバー32の丸孔32c、ヒートマス27、バーリング32a、丸孔32c、突起部33、凹部33aの箇所のみを図示している。
図4(a)は、突起部33の凹部33aにセットされた棒状半田14を局所加熱手段15により溶融させるときの状態を示している。
加熱により溶融された半田は、丸孔32cと突起部33との間を通って、下方に侵入しヒートマス27の上面まで到達する。そして、丸孔32cと突起部33との間が溶融半田で満たされると突起部33の上方にも溶融半田が盛り上がってフィレットが形成される。
上記棒状半田14の加熱溶融の操作が各丸孔32c、32dに対してなされて、各丸孔32c、32dと各突起部33、34との間に溶融半田が供給される。
次に、自然冷却により半田Hが硬化し、バスバー32の各丸孔32c、32dとヒートマス27、28の各突起部33、34とがそれぞれ半田接合される。図4(b)は、半田接合された状態を示している。
ところで、ヒートマス27、28はIGBT25及びダイオード26の電極を兼ねており、IGBT25の場合には上面側にエミッタ電極パッドがあり、ヒートマス27はエミッタ電極パッドと半田にて接合されてエミッタ電極になり、ダイオード26の場合には上面側にアノード電極パッドがあり、ヒートマス28はアノード電極パッドと半田にて接合されてアノード電極になる。
エミッタ電極及びアノード電極としてのヒートマス27、28はバスバー32を介して外部電源等に接続され、IGBT25及びダイオード26の作動時には、電源側からバスバー32及びヒートマス27、28を通じてIGBT25及びダイオード26に電流が供給され、この電流は、例えば電動モータ用の駆動電流としてIGBT25及びダイオード26から出力される。
この実施形態においては、電極としてのヒートマス27、28は板状電極としてのバスバー32を介して外部電源等に接続され、電源側からバスバー32及びヒートマス27、28を通じてIGBT25及びダイオード26に電流が供給されるが、バスバー32の各丸孔32c、32dとヒートマス27、28上の各突起部33、34とがそれぞれ半田接合されることにより電気的に接続されているので、接触部の表面積を大きくして電気抵抗を小さくすることができる。また、各丸孔32c、32dと各突起部33、34との間に侵入した半田Hのアンカー効果によりバスバー32とヒートマス27、28との接合強度を高めることができる。
また、バスバー32のバーリング32a、32bの先端部とヒートマス27、28上面との間は若干の隙間が形成された状態で組み付けが行われているので、バスバー32とヒートマス27、28とが接触することでIGBT25及びダイオード26へ応力がかかることが防止されるため、IGBT25及びダイオード26の破損を防ぐことができる。
さらに、半田を局所的に加熱して接合を行うために、リフロー炉等に入れて全体的に加熱させる場合と比較して、IGBT25、ダイオード26及び回路基板23などへの加熱による熱的ストレスを軽減することが可能である。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造について、図5に基づいて説明する。
この実施形態は、第1の実施形態における突起部13を電極12と一体形成したものであり、その他の構成及び製造工程は共通である。
従って、ここでは説明の便宜上、先の説明で用いた符号を一部共通して用い、共通する構成及び工程についてはその説明を省略し、変更した個所のみ説明を行う。
図5に示すように、この接続構造を有する接続部40は板状電極11とブロック体状の電極41を備え、電極41上面に円柱状の突起部41aが電極41と一体形成され、突起部41aには有底丸孔状の凹部41bが形成されている。突起部41aは外周径が板状電極11の丸孔11bの孔径より小さく形成されている。突起部41aに形成された凹部41bは、板状電極11と電極41とを接合させるときに棒状半田14を保持するものである。
電極41上面の突起部41aを囲むように間隔をおいて板状電極11の丸孔11bを配置し、凹部41bに保持された二点鎖線で示す棒状半田14を別途設けられた局所加熱手段により溶融させることにより、突起部41aと丸孔11bとの間が半田Hにより接合されている。
この実施形態においては、突起部41aは電極41と一体形成することができるので、部品点数と製造工数を削減可能である。
それ以外の作用効果については第1の実施形態と同様なので説明を省略する。
(第4の実施形態)
次に、第4の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造について、図6に基づいて説明する。
この実施形態は、第1の実施形態における突起部13の形状を変更したものであり、その他の構成及び製造工程は共通である。
従って、ここでは説明の便宜上、先の説明で用いた符号を一部共通して用い、共通する構成及び工程についてはその説明を省略し、変更した個所のみ説明を行う。
図6に示すように、この接続構造を有する接続部50は板状電極11と電極12を備え
、電極12上面には円柱状の複数の突起部51が半田接合されている。この実施形態では、突起部51は3個からなり丸孔11bの円周方向に等間隔で配置されている。3個の突起部51の内側に囲まれた空間が凹部52に相当し、この凹部52で図6に二点鎖線でしめす棒状半田14が保持される。
電極12上面の複数の突起部51を囲むように間隔をおいて板状電極11の丸孔11bを配置し、凹部52に保持された棒状半田14を別途設けられた局所加熱手段により溶融させることにより、突起部51と丸孔11bとの間が半田Hにより接合されている。
この実施形態では、突起部51と突起部51との間の空間にも溶融半田が供給されて半田接合されるので、接触する表面積をより大きくできると共に、アンカー効果を一層高めることができる。
それ以外の作用効果については第1の実施形態と同様なので説明を省略する。
(第5の実施形態)
次に、第5の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造について、図7に基づいて説明する。
この実施形態は、第1の実施形態における板状電極11の形状を変更したものであり、その他の構成及び製造工程は共通である。
従って、ここでは説明の便宜上、先の説明で用いた符号を一部共通して用い、共通する構成及び工程についてはその説明を省略し、変更した個所のみ説明を行う。
図7に示すように、この接続構造を有する接続部60は板状電極61と電極12を備え、電極12上面には突起部13が半田接合されている。
板状電極61には、所定の厚さを持った金属材料で形成されるワッシャ62を嵌め込み固定するための丸孔63が設けられている。ワッシャ62は円筒部62aを有し、円筒部62aが板状電極61の裏面側より丸孔63に嵌め込まれる。円筒部62aの内径は突起部13の外径より大きく形成されている。ワッシャ62は、第1の実施形態におけるバーリング11a及び丸孔11bに代えて用いるものである。
電極12上面の突起部13を囲むように間隔をおいて板状電極61の円筒部62aを配置し、ワッシャ62の下面と電極12上面との間には若干の隙間を形成した状態で、凹部13aに保持された二点鎖線で示す棒状半田14を別途設けられた局所加熱手段により溶融させることにより、電極12上面、突起部13の外周面、及び円筒部62aの内周面とが半田Hにより接合されている。
この実施形態では、バーリング11a及び丸孔11bに代えて円筒部62aが形成されたワッシャ62を板状電極61の丸孔63に嵌め込めばよい。バーリングの突出高さは板状電極の板厚により制限を受けるが、ワッシャ62の場合には、任意の厚さに設定可能である。従って、板状電極の板厚が薄い場合には特に有効である。また、バーリング加工の場合には、突出高さの加工精度が余りよくないが、ワッシャ62の場合には、突出高さの精度を向上でき、ワッシャ62の下面と電極12の上面との間の隙間の寸法精度を高めることができる。
それ以外の作用効果については第1の実施形態と同様なので説明を省略する。
(第6の実施形態)
次に、第6の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造について、図8に基づいて説明する。
この実施形態は、第1の実施形態における突起部13の形状を変更したものであり、その他の構成及び製造工程は共通である。
従って、ここでは説明の便宜上、先の説明で用いた符号を一部共通して用い、共通する構成及び工程についてはその説明を省略し、変更した個所のみ説明を行う。
図8に示すように、この接続構造を有する接続部70は板状電極11と電極12を備え
、電極12上面には円柱状の突起部71が半田接合されている。この実施形態では、突起部71には凹部が形成されていない。棒状半田72は図8に二点差線で示すように、棒状半田72に形成された凹部72aを突起部71に嵌め込むことにより保持されている。なお、棒状半田72の外径は少なくとも突起部71の外径よりも大きく、丸孔11bの内径よりも小さい。
電極12上面の突起部71を囲むように間隔をおいて板状電極11の丸孔11bを配置し、突起部71に保持された棒状半田72を別途設けられた局所加熱手段により溶融させることにより、突起部71と丸孔11bとの間が半田Hにより接合されている。
この実施形態では、突起部71に凹部が形成されていないので、凹部を形成するための製造工数を削減可能である。
それ以外の作用効果については第1の実施形態と同様なので説明を省略する。
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、次のように変更しても良い。
○ 第1の実施形態〜第5の実施形態では、使用される半田を棒状半田14として説明したが、棒状半田14に代えてペレット状半田としても良い。また、クリーム半田、シート半田又は、溶融半田を使用しても良い。クリーム半田又は、シート半田の場合には、板状電極の丸孔と電極上面の突起部との間に注入若しくは配設し、リフロー加熱炉に入れて半田を溶融させればよい。また、溶融半田の場合には、板状電極の丸孔と電極上面の突起部との間に直接溶融半田を供給して硬化させればよい。
○ 第1の実施形態〜第6の実施形態では、板状電極にバーリング加工或いはワッシャの嵌め込みにより丸孔を形成するとして説明したが、板状電極の板厚が厚い場合にはバーリング加工或いはワッシャの嵌め込みを行わないで丸孔だけを形成しても良い。
○ 第2の実施形態では、電極を半導体素子上に設けられたヒートマス27、28とし、ヒートマス27、28上に突起部33、34を設けるとして説明したが、電極を半導体素子とし半導体素子上に直接突起部を設けても良い。
○ 第1、第2、第4〜第6の実施形態では、突起部を電極上面に半田接合させるとして説明したが、溶接により接合させてもよい。
○ 突起部に形成される凹部は、丸孔に限定されずに、半田を保持することが可能であれば長丸孔、矩形孔その他どのような形状でも構わない。
○ 第4の実施形態では、電極12上面に形成される突起部51を3個として説明したが、3個以上であればいくらでも良い。
第1の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造を説明するための断面図である。 第1の実施形態に係る接続構造の製造工程を説明するための断面図である。(a)板状電極を電極上に配置した状態、(b)半田の局所加熱工程、(c)加熱後硬化した状態。 第2の実施形態に係る半導体装置の分解斜視図である。 第2の実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明するための図3のA−A線断面図である。(a)バスバーをヒートマス上に配置し半田の局所加熱の状態、(b)加熱硬化した状態。 第3の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造を説明するための断面図である。 第4の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造を説明するための斜視図である。 第5の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造を説明するための断面図である。 第6の実施形態に係る板状電極と電極との接続構造を説明するための断面図である。
符号の説明
10 接続部
11 板状電極
11a バーリング
11b 丸孔
12 電極
13 突起部
13a 凹部
14 棒状半田
H 半田

Claims (8)

  1. 板状電極と電極との接続構造であって、
    前記電極上面に突起部を設けると共に、前記板状電極に孔を設け、
    前記孔が前記突起部を間隔をおいて囲むように前記電極上面に前記板状電極下面を配置し、
    少なくとも前記突起部と前記孔とを半田接合させることを特徴とする板状電極と電極との接続構造。
  2. 前記突起部は前記電極上面から前記板状電極上面まで突出する高さを有することを特徴とする請求項1に記載の板状電極と電極との接続構造。
  3. 前記突起部は、半田を保持することを特徴とする請求項1又は2に記載の板状電極と電極との接続構造。
  4. 前記突起部は凹部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造。
  5. 前記突起部は、パイプ状に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造。
  6. 前記突起部は、前記電極と一体形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造。
  7. 前記板状電極の孔は、バーリングにより形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造。
  8. 前記板状電極はバスバーであり、前記電極は半導体素子上に設けられたヒートマスであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の板状電極と電極との接続構造。
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JPWO2019167102A1 (ja) * 2018-02-27 2020-04-09 新電元工業株式会社 半導体装置及び半導体装置の製造方法

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