JP2010140746A - Electric discharge electrode unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric discharge electrode and an electric discharge electrode unit for a corona discharge which realize a maintenance of excellent discharging characteristics for a long period by enabling to easily remove foreign materials even if the foreign materials stick firm on a tip end of a sharp point. <P>SOLUTION: The electric discharge electrode 1 is provided with a needle-shaped electrode 1a formed of a conductive body and a sliding body 1b having a hole part 1e into which the needle-shaped electrode 1a is inserted by running fit. The electric discharge electrode unit 100 is configured so the above electric discharge electrode 1 as to be in free movement. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、コロナ放電用の放電電極、および、この放電電極を支持する放電電極ユニットに関する。   The present invention relates to a discharge electrode for corona discharge, and a discharge electrode unit that supports the discharge electrode.

コロナ放電用の放電電極の従来技術として、例えば、特許文献１（特開２００７−１３４１４１号公報，発明の名称，イオン化装置の電極針ユニットおよびイオン化装置）に記載された発明が知られている。
特許文献１に記載の従来技術において、電極針は、電極針の基部に近い側の一部で支持部材により支持され、電極針の先端部周囲をエアが流れるようにしている。これにより、電極針の先端付近にある埃・ごみ等がエアにより吹き飛ばされることとなり、埃・ごみ等が付着しないようにしている。 As a prior art of a discharge electrode for corona discharge, for example, an invention described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2007-134141, title of invention, electrode needle unit of ionizer and ionizer) is known.
In the prior art described in Patent Document 1, the electrode needle is supported by a support member at a part near the base of the electrode needle so that air flows around the tip of the electrode needle. As a result, dust, dust, and the like near the tip of the electrode needle are blown away by the air, so that dust, dust, etc. are prevented from adhering.

また、他の従来技術として、例えば、特許文献２（特開平８−８８０７４号公報，発明の名称，イオン発生装置用放電電極）に記載された発明が知られている。
さらにまた、他の従来技術として、例えば、特許文献３（特開２００４−２４７１０７号公報，発明の名称，ノズル型放電電極）に記載された発明が知られている。
これら特許文献２，３に記載の従来技術において、ノズル先端を針状に形成し、ノズル中央から吹き出される高速の風にイオンを載せて遠距離までイオンを搬送する、というものである。これら特許文献２，３に記載の従来技術の放電電極でも、風により埃・ごみ等が付着しにくくなるという効果が見込める。 As another conventional technique, for example, an invention described in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 8-88074, title of invention, discharge electrode for ion generator) is known.
Furthermore, as another prior art, for example, an invention described in Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-247107, title of invention, nozzle-type discharge electrode) is known.
In the prior arts described in Patent Documents 2 and 3, the nozzle tip is formed in a needle shape, and ions are transported to a long distance by placing ions on a high-speed wind blown from the center of the nozzle. Even in the conventional discharge electrodes described in Patent Documents 2 and 3, it is expected that dust, dust, and the like are less likely to adhere to the wind.

特開２００７−１３４１４１号公報（段落番号［００５５］，図１）JP 2007-134141 A (paragraph number [0055], FIG. 1) 特開平８−８８０７４号公報（図１，図２）JP-A-8-88074 (FIGS. 1 and 2) 特開２００４−２４７１０７号公報（図１，図２）Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-247107 (FIGS. 1 and 2)

特許文献１，２，３に記載の従来技術では、電極針の先端に異物が強固に付着した場合にエアの流れだけでは異物が除去できないことがあった。この点について説明する。風により埃・ごみ等を吹き飛ばすようにしても、電極針の針先端に埃、ごみ、シロキサン等（以下、異物という）が少しずつ堆積して巨大化することがあった。特にシリコン樹脂製品に含まれる低分子シロキサンが揮発してガス状のシロキサンが発生し、このガス状のシロキサンが堆積して付着してなる異物（シロキサン）の場合には、半導体用シリコンウェハーなどを製造しているクリーンルームにおいては電気回路の表面にこの異物が付着すると接点障害が引き起こされるため、確実に除去する必要があった。   In the prior arts described in Patent Documents 1, 2, and 3, when foreign matter firmly adheres to the tip of the electrode needle, the foreign matter may not be removed only by the air flow. This point will be described. Even if dust, dust, etc. are blown off by the wind, dust, dust, siloxane, etc. (hereinafter referred to as foreign matter) may gradually accumulate on the tip of the electrode needle and become enormous. In particular, in the case of foreign matter (siloxane) in which low-molecular siloxane contained in silicon resin products volatilizes and gaseous siloxane is generated and this gaseous siloxane accumulates and adheres, silicon wafers for semiconductors, etc. In a clean room that is being manufactured, contact of this foreign matter on the surface of the electric circuit causes a contact failure, so that it must be reliably removed.

また、特許文献１，２，３に記載の従来技術では、エア流が流れないようなイオナイザでは適用できないため、エアにより吹き飛ばす以外の除去手法も選択できるようにする必要があった。
さらに特許文献２，３に記載の従来技術では、電極が尖り先ではないため、針状の電極と比較して放電特性が良好ではないという問題もあった。 In addition, the conventional techniques described in Patent Documents 1, 2, and 3 cannot be applied to an ionizer that does not allow an air flow to flow. Therefore, it is necessary to be able to select a removal method other than blowing off with air.
Furthermore, in the prior arts described in Patent Documents 2 and 3, since the electrode is not a sharp point, there is a problem that the discharge characteristics are not good as compared with the needle-like electrode.

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、先端の尖り先において異物が強固に付着しても異物を除去できるようにし、良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極や放電電極ユニットを提供することにある。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and the object of the present invention is to enable removal of foreign matter even when the foreign matter is firmly attached at the tip of the tip, and to provide a long-term discharge characteristic. An object of the present invention is to provide a discharge electrode and a discharge electrode unit for corona discharge that can maintain the above.

本発明の請求項１に係る放電電極は、
導電体で形成される針状電極と、
はめあいをすきまばめとして前記針状電極が挿入される孔部、および、この孔部に連通する開口部が形成される先端部、を有する摺動体と、
を備えることを特徴とする。 The discharge electrode according to claim 1 of the present invention is:
A needle-like electrode formed of a conductor;
A sliding body having a hole portion into which the needle electrode is inserted as a clearance fit, and a tip portion in which an opening communicating with the hole portion is formed;
It is characterized by providing.

また、本発明の請求項２に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であることを特徴とする。 A discharge electrode according to claim 2 of the present invention is
The discharge electrode according to claim 1, wherein
The sliding body is a cylindrical body.

また、本発明の請求項３に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であって尖り先の先端部を有することを特徴とする。 A discharge electrode according to claim 3 of the present invention is
The discharge electrode according to claim 1, wherein
The sliding body is a cylindrical body having a pointed tip.

また、本発明の請求項４に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であって開口部の直径と比較して長い直径を有する空間部が内部に形成されており、この空間部に孔部が連通することを特徴とする。 A discharge electrode according to claim 4 of the present invention is
The discharge electrode according to claim 1, wherein
The sliding body is a cylindrical body, and a space portion having a diameter longer than the diameter of the opening portion is formed therein, and a hole portion communicates with the space portion.

また、本発明の請求項５に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、リング体であることを特徴とする。 A discharge electrode according to claim 5 of the present invention is
The discharge electrode according to claim 1, wherein
The sliding body is a ring body.

また、本発明の請求項６に係る放電電極は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の放電電極において、
前記摺動体は、導電体で形成されており、
前記針状電極と前記摺動体とが電気的に接続されることを特徴とする。 A discharge electrode according to claim 6 of the present invention is
In the discharge electrode according to any one of claims 1 to 5,
The sliding body is formed of a conductor,
The needle electrode and the sliding body are electrically connected.

本発明の請求項７に係る放電電極ユニットは、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の放電電極を含む放電電極ユニットであって、
前記針状電極を支持する電極支持部と、
前記摺動体を支持する摺動体支持部と、
前記電極支持部および前記摺動体支持部を付勢する付勢部と、
を備え、前記針状電極と前記摺動体とを相対的に移動させるように支持することを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 7 of the present invention is
A discharge electrode unit comprising the discharge electrode according to any one of claims 1 to 6,
An electrode support for supporting the needle-shaped electrode;
A sliding body support for supporting the sliding body;
A biasing portion that biases the electrode support portion and the sliding body support portion;
And supporting the needle electrode and the sliding body so as to move relative to each other.

また、本発明の請求項８に係る放電電極ユニットは、
請求項７に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記針状電極と前記摺動体とを相対的に移動させる動力を与える駆動源を備えることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 8 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to claim 7,
A drive source for supplying power for moving the needle-like electrode and the sliding body relative to each other is provided.

また、本発明の請求項９に係る放電電極ユニットは、
請求項８に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記駆動源は発音体または超音波振動子であることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 9 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to claim 8,
The drive source is a sounding body or an ultrasonic vibrator.

また、本発明の請求項１０に係る放電電極ユニットは、
請求項８に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記駆動源は振動モータであることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 10 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to claim 8,
The drive source is a vibration motor.

また、本発明の請求項１１に係る放電電極ユニットは、
請求項７〜請求項１０の何れか一項に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記電極支持部における前記針状電極の取り付け位置を調整する調整部を備えることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 11 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to any one of claims 7 to 10,
It has an adjustment part which adjusts the attachment position of the acicular electrode in the electrode support part.

また、本発明の請求項１２に係る放電電極ユニットは、
請求項７〜請求項１１の何れか一項に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極は複数であり、
前記電極支持部は複数の針状電極を支持し、
前記摺動体支持部は複数の摺動体を支持する、
ことを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 12 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to any one of claims 7 to 11,
The discharge electrode is plural,
The electrode support portion supports a plurality of needle electrodes,
The sliding body support portion supports a plurality of sliding bodies;
It is characterized by that.

また、本発明の請求項１３に係る放電電極ユニットは、
請求項１２に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極が一列に並べられることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 13 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to claim 12,
The discharge electrodes are arranged in a line.

また、本発明の請求項１４に係る放電電極ユニットは、
請求項１２に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極が複数行複数列に並べられることを特徴とする。 A discharge electrode unit according to claim 14 of the present invention is
In the discharge electrode unit according to claim 12,
The discharge electrodes are arranged in a plurality of rows and columns.

以上のような本発明によれば、先端の尖り先において異物が強固に付着しても異物を除去できるようにし、良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極や放電電極ユニットを提供することができる。   According to the present invention as described above, a discharge electrode or discharge for corona discharge that enables removal of foreign matter even when the foreign matter is firmly attached at the tip of the tip, and realizes long-term maintenance of good discharge characteristics. An electrode unit can be provided.

続いて、本発明を実施するための最良の形態について図に基づいて説明する。図１は本形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図１（ａ）は放電電極先端の拡大図、図１（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図１（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。放電電極１は、図１（ａ）で示すように、針状電極１ａ、摺動体１ｂを備えている。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram of a discharge electrode and a discharge electrode unit of this embodiment, FIG. 1 (a) is an enlarged view of the tip of the discharge electrode, FIG. 1 (b) is a configuration diagram of the discharge electrode unit, and FIG. It is operation | movement explanatory drawing of a discharge electrode unit. As shown in FIG. 1A, the discharge electrode 1 includes a needle electrode 1a and a sliding body 1b.

針状電極１ａは、導電体で形成されており、先端部が尖り先として形成される針状体である。
摺動体１ｂは、円筒体として形成され、さらに先端部１ｃ、開口部１ｄ、孔部１ｅを備える。先端部１ｃは円環状に形成される。開口部１ｄは孔部１ｅの両側に形成されており、開口部１ｄと孔部１ｅとは同一直径として形成される。孔部１ｅは直線状の孔である。 The needle-like electrode 1a is a needle-like body that is formed of a conductor and has a tip portion formed as a pointed tip.
The sliding body 1b is formed as a cylindrical body, and further includes a tip 1c, an opening 1d, and a hole 1e. The tip 1c is formed in an annular shape. The opening 1d is formed on both sides of the hole 1e, and the opening 1d and the hole 1e are formed to have the same diameter. The hole 1e is a straight hole.

このような針状電極１ａは、摺動体１ｂの孔部１ｅ内に挿入される。摺動体１ｂの孔部１ｅの断面直径は、針状電極１ａの断面直径より大きく形成されてはめあいをすきまばめとしており、針状電極１ａに沿って摺動体１ｂが容易に移動するようになされている。また、摺動体１ｂに沿って針状電極１ａが移動するともいえるものであり、これら針状電極１ａと摺動体１ｂとは相対的に移動するというものである。   Such a needle-like electrode 1a is inserted into the hole 1e of the sliding body 1b. The cross-sectional diameter of the hole 1e of the sliding body 1b is formed to be larger than the cross-sectional diameter of the needle-like electrode 1a so that the fit is a clearance fit, and the sliding body 1b easily moves along the needle-like electrode 1a. ing. Further, it can be said that the needle-like electrode 1a moves along the sliding body 1b, and the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b move relatively.

続いてこの放電電極１による異物除去原理について説明する。特に、図１（ａ）で示すように、針状電極１ａの最先端に絶縁性を有するシロキサン等の異物Ｄが付着したような場合、摺動体１ｂを異物Ｄ側に向けて矢印ａ方向に移動させると、先端部１ｃが異物Ｄに当接してこの異物Ｄを矢印ａ側に押送し、異物Ｄを除去する、というものである。放電電極１の構成はこのようなものである。   Next, the principle of foreign matter removal by the discharge electrode 1 will be described. In particular, as shown in FIG. 1 (a), when a foreign substance D such as siloxane having an insulating property adheres to the tip of the needle-like electrode 1a, the sliding body 1b faces the foreign substance D side in the direction of arrow a. When it is moved, the tip 1c comes into contact with the foreign matter D, and the foreign matter D is pushed to the arrow a side to remove the foreign matter D. The structure of the discharge electrode 1 is such.

続いて、このような放電電極１を含む放電電極ユニット１００について説明する。
放電電極ユニット１００は、図１（ｂ）に示すように、放電電極１、電極支持部１０、摺動体支持部２０、ばね３０を備えている。このうち放電電極１には電圧供給線４０が電気的に接続され、イオン生成用の高電圧が供給される。 Next, the discharge electrode unit 100 including such a discharge electrode 1 will be described.
As shown in FIG. 1B, the discharge electrode unit 100 includes a discharge electrode 1, an electrode support portion 10, a sliding body support portion 20, and a spring 30. Among these, the voltage supply line 40 is electrically connected to the discharge electrode 1 and supplied with a high voltage for ion generation.

続いて、このような放電電極ユニット１００の構成について説明する。
電極支持部１０は、絶縁体を材料として形成されており、針状電極１ａを支持する。
摺動体支持部２０は、絶縁体を材料として形成されており、摺動体１ｂを支持する。
ばね３０は、本発明の付勢部の一具体例であり、電極支持部１０および摺動体支持部２０を付勢する。この付勢力は、図１（ｃ）で示した状態から図１（ｂ）で示した状態となるように圧縮する付勢力である。このような放電電極ユニット１００では針状電極１ａと摺動体１ｂとを相対的に移動させるようにしている。 Next, the configuration of such a discharge electrode unit 100 will be described.
The electrode support portion 10 is made of an insulator and supports the needle electrode 1a.
The sliding body support portion 20 is made of an insulating material and supports the sliding body 1b.
The spring 30 is a specific example of the urging portion of the present invention, and urges the electrode support portion 10 and the sliding body support portion 20. This urging force is an urging force that compresses the state shown in FIG. 1C so that the state shown in FIG. 1B is obtained. In such a discharge electrode unit 100, the needle electrode 1a and the sliding body 1b are relatively moved.

続いて、このような放電電極ユニット１００の動作について説明する。
例えば、電極支持部１０が図示しない筐体に取り付けられて針状電極１ａが所定位置にあるように固定されており、針状電極１ａに対して摺動体１ｂが相対的に動くものとして説明する。この場合、図１（ｂ）で示すように、異物Ｄが針状電極１ａの先端に付着しているものとする。そして、例えば、手動により摺動体１ｂ（あるいは摺動体支持部２０）を移動させると先端部１ｃが異物Ｄに当たって、図１（ｃ）で示すようにこの異物Ｄを矢印ａ側に押送し、異物Ｄを除去する。除去後に摺動体１ｂ（あるいは摺動体支持部２０）を手離すとばね３０の付勢力（圧縮力）により図１（ｂ）で示すような元の位置に戻る、というものである。放電電極ユニット１００の構成はこのようなものである。 Next, the operation of such a discharge electrode unit 100 will be described.
For example, it is assumed that the electrode support 10 is attached to a housing (not shown) and fixed so that the needle electrode 1a is in a predetermined position, and the sliding body 1b moves relative to the needle electrode 1a. . In this case, as shown in FIG. 1B, it is assumed that the foreign matter D is attached to the tip of the needle electrode 1a. For example, when the sliding body 1b (or the sliding body support portion 20) is moved manually, the tip 1c hits the foreign matter D, and the foreign matter D is pushed toward the arrow a as shown in FIG. Remove D. When the sliding body 1b (or the sliding body support portion 20) is released after the removal, the urging force (compression force) of the spring 30 returns to the original position as shown in FIG. The structure of the discharge electrode unit 100 is such.

このような本形態の放電電極１や放電電極ユニット１００によれば、簡易な機械的構成を追加しこの機械構成を動作させるだけで、異物を除去することができるようになり、放電電極１の長期間にわたる良好な放電特性の維持が可能となり、加えてシロキサン等の異物を予め除去することで被除電物に異物を噴射するおそれもなくなり、被除電物に対して除電のみを確実に行う。   According to the discharge electrode 1 and the discharge electrode unit 100 of this embodiment, foreign matters can be removed simply by adding a simple mechanical configuration and operating this mechanical configuration. Good discharge characteristics can be maintained over a long period of time, and in addition, foreign matters such as siloxane can be removed in advance, so that there is no risk of injecting foreign matter onto the object to be discharged, and only the charge removal is reliably performed on the object to be discharged.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図２は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図２（ａ）は放電電極先端の拡大図、図２（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図２（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。放電電極２は、図２（ａ）で示すように、針状電極２ａ、摺動体２ｂを備えている。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 2 (a) is an enlarged view of the tip of the discharge electrode, FIG. 2 (b) is a configuration diagram of the discharge electrode unit, and FIG. 2 (c). These are operation | movement explanatory drawing of a discharge electrode unit. As shown in FIG. 2A, the discharge electrode 2 includes a needle electrode 2a and a sliding body 2b.

針状電極２ａは、導電体で形成されており、先端部が尖り先として形成される針状体である。
摺動体２ｂは、円筒体として形成され、さらに先端部２ｃ、開口部２ｄ、傾斜部２ｅ、孔部２ｆを備える。摺動体２ｂの先端は傾斜部２ｅを斜面とする台形円錐状の尖り先が形成され、その最先端では先端部２ｃが円環状になっている。開口部２ｄは孔部２ｆの両側に形成されており、開口部２ｄと孔部２ｆとは同一直径として形成される。孔部２ｆは直線状の孔である。 The needle-like electrode 2a is a needle-like body that is formed of a conductor and has a tip portion formed as a pointed tip.
The sliding body 2b is formed as a cylindrical body, and further includes a distal end portion 2c, an opening portion 2d, an inclined portion 2e, and a hole portion 2f. The tip of the sliding body 2b has a trapezoidal conical point with an inclined portion 2e as an inclined surface, and the tip 2c has an annular shape at the tip. The opening 2d is formed on both sides of the hole 2f, and the opening 2d and the hole 2f are formed to have the same diameter. The hole 2f is a straight hole.

このような針状電極２ａは、摺動体２ｂの孔部２ｆ内に挿入される。摺動体２ｂの孔部２ｆの断面直径が針状電極２ａの断面直径より大きく形成されてはめあいをすきまばめとしており、針状電極２ａに沿って摺動体２ｂが容易に移動するようになされている。また、摺動体２ｂに沿って針状電極２ａが移動するともいえるものであり、これら針状電極２ａと摺動体２ｂとは相対的に移動するというものである。   Such a needle-like electrode 2a is inserted into the hole 2f of the sliding body 2b. The cross-sectional diameter of the hole 2f of the sliding body 2b is formed to be larger than the cross-sectional diameter of the needle-like electrode 2a so that the fit is a clearance fit. The sliding body 2b is easily moved along the needle-like electrode 2a. Yes. Further, it can be said that the needle-like electrode 2a moves along the sliding body 2b, and the needle-like electrode 2a and the sliding body 2b move relatively.

続いてこの放電電極２による異物除去原理について説明する。特に、図２（ａ）で示すように、針状電極２ａの最先端に絶縁性を有するシロキサン等の異物Ｄが付着したような場合、摺動体２ｂを異物Ｄ側に向けて矢印ｃ方向に移動させると、先端部２ｃが異物Ｄに当接してこの異物Ｄを矢印ｃ側に押送し、異物Ｄを除去する、というものである。放電電極２の構成はこのようなものである。   Next, the principle of foreign matter removal by the discharge electrode 2 will be described. In particular, as shown in FIG. 2A, when a foreign substance D such as insulating siloxane adheres to the tip of the needle electrode 2a, the sliding body 2b faces the foreign substance D side in the direction of the arrow c. When moved, the tip 2c comes into contact with the foreign matter D, pushes the foreign matter D to the arrow c side, and removes the foreign matter D. The structure of the discharge electrode 2 is such.

続いて、このような放電電極２を含む放電電極ユニット２００について説明する。
放電電極ユニット２００は、図２（ｂ）に示すように、放電電極２、電極支持部１０、摺動体支持部２０、ばね３０を備えている。このうち放電電極２には電圧供給線４０が電気的に接続され、イオン生成用の高電圧が供給される。 Next, the discharge electrode unit 200 including such a discharge electrode 2 will be described.
As shown in FIG. 2B, the discharge electrode unit 200 includes a discharge electrode 2, an electrode support portion 10, a sliding body support portion 20, and a spring 30. Among these, the voltage supply line 40 is electrically connected to the discharge electrode 2 and supplied with a high voltage for ion generation.

続いて、このような放電電極ユニット２００の構成について説明する。
電極支持部１０は、絶縁体を材料として形成されており、針状電極２ａを支持する。
摺動体支持部２０は、絶縁体を材料として形成されており、摺動体２ｂを支持する。
ばね３０は、本発明の付勢部の一具体例であり、電極支持部１０および摺動体支持部２０を付勢する。この付勢力は、図２（ｃ）で示した状態から図２（ｂ）で示した状態となるように圧縮する付勢力である。このような放電電極ユニット２００では針状電極２ａと摺動体２ｂとを相対的に移動させるようにしている。 Next, the configuration of such a discharge electrode unit 200 will be described.
The electrode support part 10 is formed using an insulator as a material, and supports the needle-like electrode 2a.
The sliding body support portion 20 is made of an insulating material and supports the sliding body 2b.
The spring 30 is a specific example of the urging portion of the present invention, and urges the electrode support portion 10 and the sliding body support portion 20. This urging force is an urging force that compresses the state shown in FIG. 2C so that the state shown in FIG. 2B is obtained. In such a discharge electrode unit 200, the needle electrode 2a and the sliding body 2b are moved relatively.

続いて、このような放電電極ユニット２００の動作について説明する。
例えば、電極支持部１０が図示しない筐体に取り付けられて針状電極２ａが所定位置にあるように固定されており、針状電極２ａに対して摺動体２ｂが相対的に動くものとして説明する。この場合、図２（ｂ）で示すように、異物Ｄが針状電極２ａの先端に付着しているものとする。そして、例えば、手動により摺動体２ｂを移動させると先端部２ｃが異物Ｄに当たって、図２（ｃ）で示すようにこの異物Ｄを矢印ｄ側に押送し、異物Ｄを除去する。除去後に摺動体２ｂを手離すとばね３０の付勢力（圧縮力）により図２（ｂ）で示すような元の位置に戻る、というものである。放電電極ユニット２００の構成はこのようなものである。 Next, the operation of such a discharge electrode unit 200 will be described.
For example, it is assumed that the electrode support 10 is attached to a housing (not shown) and the needle electrode 2a is fixed so as to be in a predetermined position, and the sliding body 2b moves relative to the needle electrode 2a. . In this case, as shown in FIG. 2B, it is assumed that the foreign matter D is attached to the tip of the needle electrode 2a. Then, for example, when the sliding body 2b is moved manually, the tip 2c hits the foreign matter D, and the foreign matter D is pushed to the arrow d side as shown in FIG. When the sliding body 2b is released after the removal, the urging force (compression force) of the spring 30 returns to the original position as shown in FIG. The configuration of the discharge electrode unit 200 is as described above.

このような本形態の放電電極２や放電電極ユニット２００によれば、簡易な機械的構成を追加しこの機械構成を動作させるだけで、異物を除去することができるようになり、放電電極２の長期間にわたる良好な放電特性の維持が可能となり、加えてシロキサン等の異物を予め除去することで被除電物に異物を噴射するおそれもなくなり、被除電物に対して除電のみを確実に行う。
また、特に本形態では、放電電極２が尖り先となっているため、例えばラミナフローなどのエア流が傾斜部２ｅに沿って先端へ流れるため、ガス状のシロキサンもエア流により到達しにくくなっており、異物自体を付着しにくくする等の効果も見込める。 According to the discharge electrode 2 and the discharge electrode unit 200 of this embodiment, foreign matters can be removed simply by adding a simple mechanical configuration and operating the mechanical configuration. Good discharge characteristics can be maintained over a long period of time, and in addition, foreign matters such as siloxane can be removed in advance, so that there is no risk of injecting foreign matter onto the object to be discharged, and only the charge removal is reliably performed on the object to be discharged.
In particular, in this embodiment, since the discharge electrode 2 has a sharp point, for example, an air flow such as laminar flow flows to the tip along the inclined portion 2e, so that gaseous siloxane is also difficult to reach by the air flow. In addition, the effect of making it difficult for the foreign matter itself to adhere can be expected.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図３は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図３（ａ）は放電電極先端の拡大図、図３（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図３（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。放電電極３は、図３（ａ）で示すように、針状電極３ａ、摺動体３ｂを備えている。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 3 (a) is an enlarged view of the tip of the discharge electrode, FIG. 3 (b) is a configuration diagram of the discharge electrode unit, and FIG. 3 (c). These are operation | movement explanatory drawing of a discharge electrode unit. As shown in FIG. 3A, the discharge electrode 3 includes a needle electrode 3a and a sliding body 3b.

針状電極３ａは、導電体で形成されており、先端部が尖り先として形成される針状体である。
摺動体３ｂは、円筒体として形成され、さらに先端部３ｃ、開口部３ｄ、孔部３ｅ、空間部３ｆを備える。先端部３ｃは円環状に形成される。開口部３ｄは孔部３ｅの両側に形成されており、開口部３ｄと孔部３ｅとは同一直径として形成される。孔部３ｅは直線状の孔である。空間部３ｆは孔部３ｅと連通しており、空間部３ｆの断面直径は孔部３ｅの断面直径よりも長くして形成される。空間部３ｆと孔部３ｅにより多段状の孔となる。なお、図示しないが孔部３ｅの中に針状電極３ａを支持する支持部を配置しても良い。 The needle-like electrode 3a is a needle-like body that is formed of a conductor and has a tip portion formed as a pointed tip.
The sliding body 3b is formed as a cylindrical body, and further includes a tip 3c, an opening 3d, a hole 3e, and a space 3f. The tip 3c is formed in an annular shape. The opening 3d is formed on both sides of the hole 3e, and the opening 3d and the hole 3e are formed to have the same diameter. The hole 3e is a straight hole. The space 3f communicates with the hole 3e, and the cross-sectional diameter of the space 3f is longer than the cross-sectional diameter of the hole 3e. The space 3f and the hole 3e form a multistage hole. In addition, although not shown in figure, you may arrange | position the support part which supports the acicular electrode 3a in the hole 3e.

このような針状電極３ａは、摺動体３ｂの孔部３ｅ内に挿入される。はめあいをすきまばめとしており、針状電極３ａに沿って摺動体３ｂが容易に移動するようになされている。また、摺動体３ｂに沿って針状電極３ａが移動するともいえるものであり、これら針状電極３ａと摺動体３ｂとは相対的に移動するというものである。   Such a needle-like electrode 3a is inserted into the hole 3e of the sliding body 3b. The fit is a clearance fit so that the sliding body 3b easily moves along the needle-like electrode 3a. Further, it can be said that the needle-like electrode 3a moves along the sliding body 3b, and the needle-like electrode 3a and the sliding body 3b move relatively.

続いてこの放電電極３による異物除去原理について説明する。特に、図３（ａ）で示すように、針状電極３ａの最先端に絶縁性を有するシロキサン等の異物Ｄが付着したような場合、摺動体３ｂを異物Ｄ側に向けて矢印ｆ方向に移動させると、先端部３ｃが異物Ｄに当接してこの異物Ｄを矢印ｆ側に押送し、異物Ｄを除去する、というものである。放電電極３の構成はこのようなものである。   Next, the principle of foreign matter removal by the discharge electrode 3 will be described. In particular, as shown in FIG. 3A, when foreign matter D such as insulating siloxane adheres to the tip of the needle-like electrode 3a, the sliding body 3b faces the foreign matter D side in the direction of the arrow f. When it is moved, the tip 3c comes into contact with the foreign substance D, the foreign substance D is pushed toward the arrow f side, and the foreign substance D is removed. The configuration of the discharge electrode 3 is as described above.

続いて、このような放電電極３を含む放電電極ユニット３００について説明する。
放電電極ユニット３００は、図３（ｂ）に示すように、放電電極３、電極支持部１０、摺動体支持部２０、ばね３０を備えている。このうち放電電極３には電圧供給線４０が電気的に接続され、イオン生成用の高電圧が供給される。 Next, the discharge electrode unit 300 including such a discharge electrode 3 will be described.
As shown in FIG. 3B, the discharge electrode unit 300 includes a discharge electrode 3, an electrode support portion 10, a sliding body support portion 20, and a spring 30. Among these, the voltage supply line 40 is electrically connected to the discharge electrode 3, and a high voltage for ion generation is supplied.

続いて、このような放電電極ユニット３００の構成について説明する。
電極支持部１０は、絶縁体を材料として形成されており、針状電極３ａを支持する。
摺動体支持部２０は、絶縁体を材料として形成されており、摺動体３ｂを支持する。
ばね３０は、本発明の付勢部の一具体例であり、電極支持部１０および摺動体支持部２０を付勢する。この付勢力は、図３（ｃ）で示した状態から図３（ｂ）で示した状態となるように圧縮する付勢力である。このような放電電極ユニット３００では針状電極３ａと摺動体３ｂとを相対的に移動させるようにしている。 Next, the configuration of such a discharge electrode unit 300 will be described.
The electrode support portion 10 is made of an insulator and supports the needle-like electrode 3a.
The sliding body support portion 20 is made of an insulating material and supports the sliding body 3b.
The spring 30 is a specific example of the urging portion of the present invention, and urges the electrode support portion 10 and the sliding body support portion 20. This urging force is a urging force that compresses the state shown in FIG. 3C so that the state shown in FIG. 3B is obtained. In such a discharge electrode unit 300, the needle-like electrode 3a and the sliding body 3b are relatively moved.

続いて、このような放電電極ユニット３００の動作について説明する。
例えば、電極支持部１０が図示しない筐体に取り付けられて針状電極３ａが所定位置にあるように固定されており、針状電極３ａに対して摺動体３ｂが相対的に動くものとして説明する。この場合、図３（ｂ）で示すように、異物Ｄが針状電極３ａの先端に付着しているものとする。そして、例えば、手動により摺動体３ｂを移動させると先端部３ｃが異物Ｄに当たって、図３（ｃ）で示すようにこの異物Ｄを矢印ｆ側に押送し、異物Ｄを除去する。除去後に摺動体３ｂを手離すとばね３０の付勢力（圧縮力）により図３（ｂ）で示すような元の位置に戻る、というものである。放電電極ユニット３００の構成はこのようなものである。 Next, the operation of such a discharge electrode unit 300 will be described.
For example, it is assumed that the electrode support 10 is attached to a housing (not shown) and fixed so that the needle electrode 3a is in a predetermined position, and the sliding body 3b moves relative to the needle electrode 3a. . In this case, as shown in FIG. 3B, it is assumed that the foreign matter D is attached to the tip of the needle electrode 3a. Then, for example, when the sliding body 3b is moved manually, the tip 3c hits the foreign matter D, and the foreign matter D is pushed to the arrow f side as shown in FIG. When the sliding body 3b is released after the removal, the urging force (compression force) of the spring 30 returns to the original position as shown in FIG. The configuration of the discharge electrode unit 300 is as described above.

このような本形態の放電電極３や放電電極ユニット３００によれば、簡易な機械的構成を追加しこの機械構成を動作させるだけで、異物を除去することができるようになり、放電電極３の長期間にわたる良好な放電特性の維持が可能となり、加えてシロキサン等の異物を予め除去することで被除電物に異物を噴射するおそれもなくなり、被除電物に対して除電のみを確実に行う。
また、空間部３ｆに流体系回路から洗浄ガスを流入させて孔部を介して開口部３ｄからこの洗浄ガスを噴射させるようにしても良い。空間部３ｆは流路として機能する。このような構成を採用しても良い。 According to the discharge electrode 3 and the discharge electrode unit 300 of this embodiment, foreign matters can be removed simply by adding a simple mechanical configuration and operating the mechanical configuration. Good discharge characteristics can be maintained over a long period of time, and in addition, foreign matters such as siloxane can be removed in advance, so that there is no risk of injecting foreign matter onto the object to be discharged, and only the charge removal is reliably performed on the object to be discharged.
Alternatively, the cleaning gas may be caused to flow into the space 3f from the fluid circuit, and the cleaning gas may be ejected from the opening 3d through the hole. The space 3f functions as a flow path. Such a configuration may be adopted.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図４は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図４（ａ）は放電電極先端の拡大図、図４（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図４（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。放電電極４は、図４（ａ）で示すように、針状電極４ａ、摺動体４ｂを備えている。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 4 (a) is an enlarged view of the tip of the discharge electrode, FIG. 4 (b) is a configuration diagram of the discharge electrode unit, and FIG. 4 (c). These are operation | movement explanatory drawing of a discharge electrode unit. As shown in FIG. 4A, the discharge electrode 4 includes a needle electrode 4a and a sliding body 4b.

針状電極４ａは、導電体で形成されており、先端部が尖り先として形成される針状体である。
摺動体４ｂは、リング体として形成され、さらに先端部４ｃ、開口部４ｄ、孔部４ｅを備える。先端部４ｃは円環状に形成される。開口部４ｄは孔部４ｅの両側に形成されており、開口部４ｄと孔部４ｅとは同一直径として形成される。孔部４ｅは直線状の孔である。 The needle-like electrode 4a is a needle-like body that is formed of a conductor and has a tip portion formed as a pointed tip.
The sliding body 4b is formed as a ring body, and further includes a distal end portion 4c, an opening portion 4d, and a hole portion 4e. The tip portion 4c is formed in an annular shape. The opening 4d is formed on both sides of the hole 4e, and the opening 4d and the hole 4e are formed to have the same diameter. The hole 4e is a straight hole.

このような針状電極４ａは、摺動体４ｂの孔部４ｅ内に挿入される。摺動体４ｂの孔部４ｅの断面直径は、針状電極４ａの断面直径よりも大きく形成されてはめあいをすきまばめとしており、針状電極４ａに沿って摺動体４ｂが容易に移動するようになされている。また、摺動体４ｂに沿って針状電極４ａが移動するともいえるものであり、これら針状電極４ａと摺動体４ｂとは相対的に移動するというものである。   Such a needle-like electrode 4a is inserted into the hole 4e of the sliding body 4b. The cross-sectional diameter of the hole 4e of the sliding body 4b is larger than the cross-sectional diameter of the needle-like electrode 4a so that the fit is a clearance fit, so that the sliding body 4b can easily move along the needle-like electrode 4a. Has been made. It can also be said that the needle-like electrode 4a moves along the sliding body 4b, and the needle-like electrode 4a and the sliding body 4b move relatively.

続いてこの放電電極４による異物除去原理について説明する。特に、図４（ａ）で示すように、針状電極４ａの最先端に絶縁性を有するシロキサン等の異物Ｄが付着したような場合、摺動体４ｂを異物Ｄ側に向けて矢印ｇ方向に移動させると、先端部４ｃが異物Ｄに当接してこの異物Ｄを矢印ｈ側に押送し、異物Ｄを除去する、というものである。放電電極４の構成はこのようなものである。   Next, the principle of foreign matter removal by the discharge electrode 4 will be described. In particular, as shown in FIG. 4A, when foreign matter D such as insulating siloxane adheres to the tip of the needle-like electrode 4a, the sliding body 4b is directed toward the foreign matter D in the direction of the arrow g. When moved, the tip 4c contacts the foreign substance D, pushes the foreign substance D to the arrow h side, and removes the foreign substance D. The configuration of the discharge electrode 4 is as described above.

続いて、このような放電電極４を含む放電電極ユニット４００について説明する。
放電電極ユニット４００は、図４（ｂ）に示すように、放電電極４、電極支持部１０、摺動体支持部２０、ばね３０を備えている。このうち放電電極４には電圧供給線４０が電気的に接続され、イオン生成用の高電圧が供給される。 Next, the discharge electrode unit 400 including such a discharge electrode 4 will be described.
As shown in FIG. 4B, the discharge electrode unit 400 includes the discharge electrode 4, the electrode support portion 10, the sliding body support portion 20, and the spring 30. Among these, the voltage supply line 40 is electrically connected to the discharge electrode 4, and a high voltage for ion generation is supplied.

続いて、このような放電電極ユニット４００の構成について説明する。
電極支持部１０は、絶縁体を材料として形成されており、針状電極４ａを支持する。
摺動体支持部２０は、絶縁体を材料として形成されており、摺動体４ｂを支持する。
ばね３０は、本発明の付勢部の一具体例であり、電極支持部１０および摺動体支持部２０を付勢する。この付勢力は、図４（ｃ）で示した状態から図４（ｂ）で示した状態となるように圧縮する付勢力である。このような放電電極ユニット４００では針状電極４ａと摺動体４ｂとを相対的に移動させるようにしている。 Next, the configuration of such a discharge electrode unit 400 will be described.
The electrode support portion 10 is made of an insulator and supports the needle-like electrode 4a.
The sliding body support portion 20 is made of an insulating material and supports the sliding body 4b.
The spring 30 is a specific example of the urging portion of the present invention, and urges the electrode support portion 10 and the sliding body support portion 20. This urging force is an urging force that compresses the state shown in FIG. 4C so that the state shown in FIG. 4B is obtained. In such a discharge electrode unit 400, the needle electrode 4a and the sliding body 4b are relatively moved.

続いて、このような放電電極ユニット４００の動作について説明する。
例えば、電極支持部１０が図示しない筐体に取り付けられて針状電極４ａが所定位置にあるように固定されており、針状電極４ａに対して摺動体４ｂが相対的に動くものとして説明する。この場合、図４（ｂ）で示すように、異物Ｄが針状電極４ａの先端に付着しているものとする。そして、例えば、手動により摺動体４ｂを移動させると先端部４ｃが異物Ｄに当たって、図４（ｃ）で示すようにこの異物Ｄを矢印ｈ側に押送し、異物Ｄを除去する。除去後に摺動体４ｂを手離すとばね３０の付勢力（圧縮力）により図４（ｂ）で示すような元の位置に戻る、というものである。放電電極ユニット４００の構成はこのようなものである。 Next, the operation of the discharge electrode unit 400 will be described.
For example, it is assumed that the electrode support portion 10 is attached to a housing (not shown) and the needle-like electrode 4a is fixed at a predetermined position, and the sliding body 4b moves relative to the needle-like electrode 4a. . In this case, as shown in FIG. 4B, it is assumed that the foreign matter D is attached to the tip of the needle electrode 4a. For example, when the sliding body 4b is moved manually, the tip 4c hits the foreign matter D, and the foreign matter D is pushed to the arrow h side as shown in FIG. When the sliding body 4b is released after the removal, the urging force (compression force) of the spring 30 returns to the original position as shown in FIG. The configuration of the discharge electrode unit 400 is such.

このような本形態の放電電極１や放電電極ユニット４００によれば、簡易な機械的構成を追加しこの機械構成を動作させるだけで、異物を除去することができるようになり、放電電極４の長期間にわたる良好な放電特性の維持が可能となり、加えてシロキサン等の異物を予め除去することで被除電物に異物を噴射するおそれもなくなり、被除電物に対して除電のみを確実に行う。
特に本形態の摺動体４ｂは上下方向に短いリング体であり、通常のイオン生成時には可能な限り針状電極４ａの先端から離れた位置に配置して電界形成に影響を与えないような構成とすることができる。 According to the discharge electrode 1 and the discharge electrode unit 400 of this embodiment, foreign matters can be removed simply by adding a simple mechanical configuration and operating the mechanical configuration. Good discharge characteristics can be maintained over a long period of time, and in addition, foreign matters such as siloxane can be removed in advance, so that there is no risk of injecting foreign matter onto the object to be discharged, and only the charge removal is reliably performed on the object to be discharged.
In particular, the sliding body 4b of the present embodiment is a ring body that is short in the vertical direction, and is arranged as far as possible from the tip of the needle-like electrode 4a during normal ion generation so as not to affect the electric field formation. can do.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図５は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図５（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 5 (a) is an explanatory view of an improved form of the first discharge electrode and discharge electrode unit, and FIG. 5 (b) is a second view. FIG. 5C is an explanatory view of an improved form of the discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 5C is an explanatory view of an improved form of the third discharge electrode and discharge electrode unit, and FIG. 5D is a fourth discharge electrode and discharge electrode unit. It is explanatory drawing of this improvement form.

放電電極１は、図５（ａ）で示すように、針状電極１ａと導電体からなる摺動体１ｂとを電気的に接続する接続部５０をさらに備えた構成を採用した。接続部５０は針状電極１ａと摺動体１ｂとの移動量と比較して十分な長さのリード線を採用しており、移動により接続部５０が切断するという事態が発生しないようにしている。また、このような接続部５０をさらに備える放電電極１を搭載した放電電極ユニット１００とした。
仮に摺動体１ｂが絶縁体であるものと仮定すると、針状電極１ａに高電圧が印加されると静電誘導により摺動体１ｂが局所帯電し、針状電極１ａによって形成される電界が不安定になる。そこで、針状電極１ａと導電体からなる摺動体１ｂとを電気的に接続することで局所帯電の発生をなくし、針状電極１ａによって形成される電界を安定化している。このように接続部５０をさらに設けることで性能、特に放電特性の向上に寄与する。 As shown in FIG. 5A, the discharge electrode 1 has a configuration further including a connection portion 50 that electrically connects the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b made of a conductor. The connecting portion 50 employs a lead wire having a sufficient length compared to the amount of movement between the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b, so that the situation where the connecting portion 50 is disconnected due to the movement does not occur. . Moreover, it was set as the discharge electrode unit 100 carrying the discharge electrode 1 further provided with such a connection part 50. FIG.
Assuming that the sliding body 1b is an insulator, when a high voltage is applied to the needle electrode 1a, the sliding body 1b is locally charged by electrostatic induction, and the electric field formed by the needle electrode 1a is unstable. become. Therefore, by electrically connecting the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b made of a conductor, the occurrence of local charging is eliminated, and the electric field formed by the needle-like electrode 1a is stabilized. Thus, by providing the connection part 50 further, it contributes to the improvement of performance, especially a discharge characteristic.

また、図５（ｂ）で示すように、先に図２（ａ）を用いて説明した放電電極２の針状電極２ａと摺動体２ｂとを接続部５０を介して電気的に接続することで、放電電極２や放電電極ユニット２００でも性能、特に放電特性の向上を実現することができる。
さらにまた、図５（ｃ）で示すように、先に図３（ａ）を用いて説明した放電電極３の針状電極３ａと摺動体３ｂとを接続部５０を介して電気的に接続することで、放電電極３や放電電極ユニット３００でも性能、特に放電特性の向上を実現することができる。
さらにまた、図５（ｄ）で示すように、先に図４（ａ）を用いて説明した放電電極４の針状電極４ａと摺動体４ｂとを接続部５０を介して電気的に接続することで、放電電極４や放電電極ユニット４００でも性能、特に放電特性の向上を実現することができる。 Further, as shown in FIG. 5 (b), the needle-like electrode 2a of the discharge electrode 2 and the sliding body 2b described above with reference to FIG. 2 (a) are electrically connected via the connecting portion 50. Thus, the discharge electrode 2 and the discharge electrode unit 200 can also improve the performance, particularly the discharge characteristics.
Furthermore, as shown in FIG. 5C, the acicular electrode 3a of the discharge electrode 3 and the sliding body 3b described above with reference to FIG. As a result, the discharge electrode 3 and the discharge electrode unit 300 can also improve the performance, particularly the discharge characteristics.
Furthermore, as shown in FIG. 5D, the acicular electrode 4a of the discharge electrode 4 and the sliding body 4b described above with reference to FIG. Thus, the discharge electrode 4 and the discharge electrode unit 400 can also improve performance, particularly discharge characteristics.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図６は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図６（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 6 (a) is an explanatory view of an improved form of the first discharge electrode and discharge electrode unit, and FIG. 6 (b) is a second view. FIG. 6C is an explanatory view of an improved form of the discharge electrode and the discharge electrode unit, FIG. 6C is an explanatory view of an improved form of the third discharge electrode and the discharge electrode unit, and FIG. 6D is a fourth discharge electrode and the discharge electrode unit. It is explanatory drawing of this improvement form.

放電電極１は、図６（ａ）で示すように、針状電極１ａ、摺動体１ｂを電気的に接続する接続部５０を備える構成を採用した。そして、このような放電電極１を搭載し、さらに針状電極１ａと摺動体１ｂとを相対的に移動させる動力を与える駆動源６０を備える放電電極ユニット１００とした。なお、接続部５０による機能・効果は上記したように電界の安定化や放電特性の向上であり、重複する説明を省略し、駆動源６０について説明する。   As shown in FIG. 6A, the discharge electrode 1 has a configuration including a connection portion 50 that electrically connects the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b. Then, the discharge electrode unit 100 including the discharge electrode 1 and further including a drive source 60 that gives power to move the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b relatively is provided. Note that the function and effect of the connection unit 50 is to stabilize the electric field and improve the discharge characteristics as described above, and a redundant description will be omitted, and the drive source 60 will be described.

駆動源６０は、発音体である。具体的にはブザーのような素子を採用する。ブザー音が鳴ると同時に発音により振動し、駆動源６０が設置されている電極支持部１０を加振する。これにより、針状電極１ａやばね３０に振動が伝わって摺動体１ｂが矢印ｉ方向に振動する。これにより、針状電極１ａの先端にある異物に摺動体１ｂが当たって異物を除去するというものである。   The drive source 60 is a sounding body. Specifically, an element such as a buzzer is employed. At the same time as the buzzer sounds, it vibrates by sounding and vibrates the electrode support 10 on which the drive source 60 is installed. Thereby, vibration is transmitted to the needle-like electrode 1a and the spring 30, and the sliding body 1b vibrates in the arrow i direction. Thereby, the sliding body 1b hits the foreign substance at the tip of the needle electrode 1a to remove the foreign substance.

また、駆動原６０はブザーに代えて他の発音体である小型スピーカとしても良い。小型スピーカはアンプの出力端子に接続され、さらにこのアンプの入力端子には周波数発信器が接続される。この周波数発信器により所望の周波数や低周波から高周波まで連続する周波数をスイープさせつつ所定の音量で発音させることで摺動体１ｂを異物まで確実に到達させるような任意の振動を付与することも可能となる。また、針状電極１ａ自体も振動して異物が揺れ落ちる作用も見込める。   The driving source 60 may be a small speaker as another sounding body instead of the buzzer. The small speaker is connected to the output terminal of the amplifier, and a frequency oscillator is connected to the input terminal of the amplifier. It is also possible to apply an arbitrary vibration that reliably causes the sliding body 1b to reach a foreign object by generating a sound with a predetermined volume while sweeping a desired frequency or a continuous frequency from a low frequency to a high frequency by this frequency transmitter. It becomes. In addition, the needle-like electrode 1a itself can also vibrate, and an effect of the foreign matter shaking can be expected.

さらにまた、駆動源６０は発音体に代えて超音波振動子としても良い。可聴域を超える周波数を付与して電極支持部１０を加振し、摺動体１ｂを異物まで確実に到達させるような任意の振動を付与することも可能となる。また、針状電極１ａ自体も振動して異物が揺れ落ちる作用も見込める。   Furthermore, the drive source 60 may be an ultrasonic transducer instead of the sounding body. It is also possible to apply an arbitrary vibration that vibrates the electrode support portion 10 by applying a frequency exceeding the audible range so that the sliding body 1b reliably reaches a foreign object. In addition, the needle-like electrode 1a itself can also vibrate, and an effect of the foreign matter shaking can be expected.

さらにまた、駆動源６０は発音体・超音波振動子に代えて加振モータとしても良い。近年では携帯電話でマナーモード時の着信を通知する加振などに使用されているが、所定の振動を加えて電極支持部１０を加振し、摺動体１ｂを異物まで確実に到達させるような任意の振動を付与することも可能となる。また、針状電極１ａ自体も振動して異物が揺れ落ちる作用も見込める。   Furthermore, the drive source 60 may be a vibration motor instead of the sounding body / ultrasonic vibrator. In recent years, it has been used for vibrations to notify incoming calls in the manner mode on mobile phones. However, the electrode support unit 10 is vibrated by applying predetermined vibrations so that the sliding body 1b can reliably reach foreign objects. Arbitrary vibrations can be applied. In addition, the needle-like electrode 1a itself can also vibrate, and an effect of the foreign matter shaking can be expected.

また、図６（ｂ）で示すように、さきに図２（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット２００に駆動源６０を電極支持部１０に設けることで、放電電極ユニット２００でも異物の除去効果を増進することができる。
さらにまた、図６（ｃ）で示すように、さきに図３（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット３００に駆動源６０を電極支持部１０に設けることで、放電電極ユニット３００でも異物の除去効果を増進することができる。
さらにまた、図６（ｄ）で示すように、さきに図４（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット４００に駆動源６０を電極支持部１０に設けることで、放電電極ユニット４００でも異物の除去効果を増進することができる。
また、図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）では接続部５０、駆動源６０を備えているが駆動源６０のみ備える形態を採用しても良い。実情に応じて適宜選択される。 Further, as shown in FIG. 6B, the discharge electrode unit 200 described above with reference to FIG. 2A is provided with the drive source 60 in the electrode support portion 10 so that the discharge electrode unit 200 can also remove foreign matters. The effect can be improved.
Further, as shown in FIG. 6C, the discharge electrode unit 300 described with reference to FIG. The removal effect can be enhanced.
Furthermore, as shown in FIG. 6 (d), the discharge electrode unit 400 described above with reference to FIG. The removal effect can be enhanced.
6 (a), 6 (b), 6 (c), and 6 (d) include the connection unit 50 and the drive source 60, the embodiment may include only the drive source 60. It is appropriately selected according to the actual situation.

続いて、本発明を実施するための他の形態について図に基づいて説明する。図７は他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図７（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。   Next, another embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is an explanatory view of another form of discharge electrode and discharge electrode unit, FIG. 7 (a) is an explanatory view of an improved form of the first discharge electrode and discharge electrode unit, and FIG. 7 (b) is a second view. FIG. 7C is an explanatory view of an improved form of the discharge electrode and the discharge electrode unit, FIG. 7C is an explanatory view of an improved form of the third discharge electrode and the discharge electrode unit, and FIG. 7D is a fourth discharge electrode and the discharge electrode unit. It is explanatory drawing of this improvement form.

放電電極１は、図７（ａ）で示すように、針状電極１ａ、摺動体１ｂを電気的に接続する接続部５０を備える構成を採用した。そして、このような放電電極１を搭載し、さらに針状電極１ａと摺動体１ｂとを相対的に移動させる動力を与える駆動源６０と、電極支持部１０おける針状電極１ａの取り付け位置を調整する調整部７０と、を備える放電電極ユニット１００とした。なお、接続部５０による機能・効果は上記したように電界の安定化や放電特性の向上であり、また、駆動部６０による機能・効果は上記したように加振であり、重複する説明を省略し、調整部７０について説明する。   As shown in FIG. 7A, the discharge electrode 1 has a configuration including a connection portion 50 that electrically connects the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b. Then, such a discharge electrode 1 is mounted, and further, a drive source 60 that gives power to move the needle-like electrode 1a and the sliding body 1b relatively, and an attachment position of the needle-like electrode 1a in the electrode support portion 10 are adjusted. The discharge electrode unit 100 is provided with the adjusting unit 70 to be operated. Note that the function and effect of the connection unit 50 are stabilization of the electric field and improvement of discharge characteristics as described above, and the function and effect of the drive unit 60 is excitation as described above, and redundant description is omitted. The adjustment unit 70 will be described.

調整部７０は、フランジ体であって、例えば中央の孔部に針状電極１ａが固定されている。このような調整部７０の外周面にはおねじ部が設けられており、電極支持部１０のめねじ部に螺挿されている。調整部７０を回転させると、調整部７０は電極支持部１０に対して矢印ｊ方向に移動し、その結果、針状電極１ａも矢印ｊ方向に移動する。特に針状電極１ａが劣化により短くなった場合に、調整部７０を回転させて針状電極１ａを伸ばすようにして針状電極１ａの先端を一定位置にあるようにすることができる。これにより形成される電界が一定となるように調整できる。   The adjustment part 70 is a flange body, and the needle electrode 1a is fixed to, for example, a central hole. An external thread portion is provided on the outer peripheral surface of the adjusting portion 70 and is screwed into the female thread portion of the electrode support portion 10. When the adjustment unit 70 is rotated, the adjustment unit 70 moves in the arrow j direction with respect to the electrode support unit 10, and as a result, the needle-like electrode 1a also moves in the arrow j direction. In particular, when the needle-like electrode 1a is shortened due to deterioration, the tip of the needle-like electrode 1a can be positioned at a certain position by rotating the adjusting unit 70 to extend the needle-like electrode 1a. Thereby, the electric field formed can be adjusted to be constant.

また、図７（ｂ）で示すように、さきに図２（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット２００に調整部７０を設けることで、放電電極ユニット２００でも形成される電界が一定となるように調整できる。
さらにまた、図７（ｃ）で示すように、さきに図３（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット３００に調整部７０を設けることで、放電電極ユニット３００でも形成される電界が一定となるように調整できる。
さらにまた、図７（ｄ）で示すように、さきに図４（ａ）を用いて説明した放電電極ユニット４００に調整部７０を設けることで、放電電極ユニット４００でも形成される電界が一定となるように調整できる。
また、図７では接続部５０、駆動源６０、調整部７０を備えているが、調整部７０のみ備える形態、接続部５０と調整部７０とを備える形態、駆動源６０と調整部７０とを備える形態の何れかを採用しても良い。実情に応じて適宜選択される。 Further, as shown in FIG. 7B, by providing the adjustment unit 70 in the discharge electrode unit 200 described above with reference to FIG. 2A, the electric field formed also in the discharge electrode unit 200 becomes constant. Can be adjusted as follows.
Furthermore, as shown in FIG. 7C, by providing the adjustment unit 70 in the discharge electrode unit 300 described with reference to FIG. 3A, the electric field formed in the discharge electrode unit 300 is constant. Can be adjusted.
Furthermore, as shown in FIG. 7D, by providing the adjustment unit 70 in the discharge electrode unit 400 described above with reference to FIG. 4A, the electric field formed in the discharge electrode unit 400 is constant. Can be adjusted.
7 includes the connection unit 50, the drive source 60, and the adjustment unit 70. However, the embodiment includes only the adjustment unit 70, the embodiment includes the connection unit 50 and the adjustment unit 70, and the drive source 60 and the adjustment unit 70. Any of the forms may be adopted. It is appropriately selected according to the actual situation.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図８は他の形態の放電電極ユニットの説明図である。
先に説明した放電電極ユニット１００，２００，３００，４００では、何れも放電電極１，２，３，４を一本のみ備える構成であった。しかしながら、図８で示すように、本形態の放電電極ユニット５００は、放電電極１（図１（ａ）参照）を複数本（本形態で例示的に４本としている）備える構成とした。そして放電電極１が一列に配置される構成とした。例えば、バータイプのイオナイザへの搭載が可能となる。このように構成しても良い。なお、放電電極１に代えて、図２（ａ）で示した放電電極２、図３（ａ）で示した放電電極３、図４（ａ）で示した放電電極４、を採用しても良い。また、図８では接続部５０、駆動源６０、調整部７０を備えているが、接続部５０のみ備える形態、駆動源６０のみ備える形態、調整部７０のみ備える形態、接続部５０と駆動源６０とを備える形態、接続部５０と調整部７０とを備える形態、駆動源６０と調整部７０とを備える形態の何れかを採用しても良い。実情に応じて適宜選択される。 Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is an explanatory view of another form of discharge electrode unit.
Each of the discharge electrode units 100, 200, 300, and 400 described above has a configuration including only one discharge electrode 1, 2, 3, and 4. However, as shown in FIG. 8, the discharge electrode unit 500 of this embodiment is configured to include a plurality of discharge electrodes 1 (see FIG. 1A) (four in this embodiment). The discharge electrodes 1 are arranged in a line. For example, it can be mounted on a bar type ionizer. You may comprise in this way. In place of the discharge electrode 1, the discharge electrode 2 shown in FIG. 2A, the discharge electrode 3 shown in FIG. 3A, and the discharge electrode 4 shown in FIG. 4A may be adopted. good. 8 includes the connection unit 50, the drive source 60, and the adjustment unit 70. However, the configuration including only the connection unit 50, the configuration including only the drive source 60, the configuration including only the adjustment unit 70, the connection unit 50 and the drive source 60. Or a configuration including the connection unit 50 and the adjustment unit 70 and a configuration including the drive source 60 and the adjustment unit 70 may be employed. It is appropriately selected according to the actual situation.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図９は他の形態の放電電極ユニットの説明図である。
先に説明した放電電極ユニット５００では、複数（図８では４本）の放電電極１を一列に並べた構成であった。しかしながら、図９で示すように、複数行複数列（図９では２行２列）というようにマトリクス状に放電電極１を並べる構成を採用しても良い。なお、放電電極１に代えて、図２（ａ）で示した放電電極２、図３（ａ）で示した放電電極３、図４（ａ）で示した放電電極４、を採用しても良い。また、図８では接続部５０、駆動源６０、調整部７０を備えているが、接続部５０のみ備える形態、駆動源６０のみ備える形態、調整部７０のみ備える形態、接続部５０と駆動源６０とを備える形態、接続部５０と調整部７０とを備える形態、駆動源６０と調整部７０とを備える形態の何れかを採用しても良い。実情に応じて適宜選択される。 Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is an explanatory diagram of another form of discharge electrode unit.
The discharge electrode unit 500 described above has a configuration in which a plurality (four in FIG. 8) of discharge electrodes 1 are arranged in a line. However, as shown in FIG. 9, a configuration in which the discharge electrodes 1 are arranged in a matrix such as a plurality of rows and a plurality of columns (2 rows and 2 columns in FIG. 9) may be employed. In place of the discharge electrode 1, the discharge electrode 2 shown in FIG. 2A, the discharge electrode 3 shown in FIG. 3A, and the discharge electrode 4 shown in FIG. 4A may be adopted. good. 8 includes the connection unit 50, the drive source 60, and the adjustment unit 70. However, the configuration including only the connection unit 50, the configuration including only the drive source 60, the configuration including only the adjustment unit 70, the connection unit 50 and the drive source 60. Or a configuration including the connection unit 50 and the adjustment unit 70 and a configuration including the drive source 60 and the adjustment unit 70 may be employed. It is appropriately selected according to the actual situation.

以上各形態の放電電極や放電電極ユニットについて説明した。このような構成を採用したため、異物をエアにより吹き飛ばす以外の除去手法も選択できるようになった。また、電極を尖り先としたため、放電特性を良好にした。その結果、先端の尖り先において異物が強固に付着しても異物を除去できるようにし、良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極や放電電極ユニットとすることができる。このような放電電極や放電電極ユニットはガンタイプのイオナイザ、ファン型のイオナイザ、バータイプのイオナイザに適用が可能である。   The discharge electrode and discharge electrode unit of each form have been described above. Since such a configuration is employed, it is possible to select a removal method other than blowing off foreign matter with air. Moreover, since the electrode was pointed, the discharge characteristics were improved. As a result, the foreign matter can be removed even if the foreign matter adheres firmly at the tip of the tip, and a discharge electrode or discharge electrode unit for corona discharge that realizes long-term maintenance of good discharge characteristics can be obtained. . Such discharge electrodes and discharge electrode units can be applied to gun-type ionizers, fan-type ionizers, and bar-type ionizers.

本発明を実施するための最良の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図１（ａ）は放電電極先端の拡大図、図１（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図１（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the discharge electrode and discharge electrode unit of the best form for implementing this invention, Fig.1 (a) is an enlarged view of a discharge electrode front-end | tip, FIG.1 (b) is a block diagram of a discharge electrode unit, figure 1 (c) is an operation explanatory view of the discharge electrode unit. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図２（ａ）は放電電極先端の拡大図、図２（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図２（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode of another form, and a discharge electrode unit, FIG.2 (a) is an enlarged view of a discharge electrode front-end | tip, FIG.2 (b) is a block diagram of a discharge electrode unit, FIG.2 (c) is a discharge electrode. It is operation | movement explanatory drawing of a unit. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図３（ａ）は放電電極先端の拡大図、図３（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図３（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode of another form, and a discharge electrode unit, Fig.3 (a) is an enlarged view of a discharge electrode front-end | tip, FIG.3 (b) is a block diagram of a discharge electrode unit, FIG.3 (c) is a discharge electrode. It is operation | movement explanatory drawing of a unit. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図４（ａ）は放電電極先端の拡大図、図４（ｂ）は放電電極ユニットの構成図、図４（ｃ）は放電電極ユニットの動作説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode of another form, and a discharge electrode unit, Fig.4 (a) is an enlarged view of a discharge electrode front-end | tip, FIG.4 (b) is a block diagram of a discharge electrode unit, FIG.4 (c) is a discharge electrode. It is operation | movement explanatory drawing of a unit. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図５（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図５（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode and discharge electrode unit of another form, Fig.5 (a) is explanatory drawing of the improved form of a 1st discharge electrode and a discharge electrode unit, FIG.5 (b) is 2nd discharge electrode and FIG. 5C is an explanatory diagram of an improved form of the third discharge electrode and the discharge electrode unit, and FIG. 5D is an improved form of the fourth discharge electrode and the discharge electrode unit. It is explanatory drawing of. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図６（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図６（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode of another form, and a discharge electrode unit, Fig.6 (a) is explanatory drawing of the improved form of a 1st discharge electrode and a discharge electrode unit, FIG.6 (b) is 2nd discharge electrode and FIG. 6C is an explanatory diagram of an improved form of the third discharge electrode and the discharge electrode unit, and FIG. 6D is an improved form of the fourth discharge electrode and the discharge electrode unit. It is explanatory drawing of. 他の形態の放電電極および放電電極ユニットの説明図であり、図７（ａ）は第１の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｂ）は第２の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｃ）は第３の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図、図７（ｄ）は第４の放電電極および放電電極ユニットの改良形態の説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode and discharge electrode unit of another form, FIG.7 (a) is explanatory drawing of the improved form of a 1st discharge electrode and a discharge electrode unit, FIG.7 (b) is 2nd discharge electrode and FIG. 7C is an explanatory diagram of an improved form of the third discharge electrode and the discharge electrode unit, and FIG. 7D is an improved form of the fourth discharge electrode and the discharge electrode unit. It is explanatory drawing of. 他の形態の放電電極ユニットの説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode unit of another form. 他の形態の放電電極ユニットの説明図である。It is explanatory drawing of the discharge electrode unit of another form.

符号の説明Explanation of symbols

１：放電電極
１ａ：針状電極
１ｂ：摺動体
１ｃ：先端部
１ｄ：開口部
１ｅ：孔部
２：放電電極
２ａ：針状電極
２ｂ：摺動体
２ｃ：先端部
２ｄ：開口部
２ｅ：傾斜部
２ｆ：孔部
３：放電電極
３ａ：針状電極
３ｂ：摺動体
３ｃ：先端部
３ｄ：開口部
３ｅ：孔部
３ｆ：空間部
４：放電電極
４ａ：針状電極
４ｂ：摺動体
４ｃ：先端部
４ｄ：開口部
４ｅ：孔部
１００，２００，３００，４００，５００，６００：放電電極ユニット
１０：電極支持部
２０：摺動体支持部
３０：ばね 1: discharge electrode 1a: needle electrode 1b: sliding body 1c: tip 1d: opening 1e: hole 2: discharge electrode 2a: needle electrode 2b: sliding body 2c: tip 2d: opening 2e: inclined portion 2f: Hole 3: Discharge electrode 3a: Needle electrode 3b: Slider 3c: Tip 3d: Opening 3e: Hole 3f: Space 4: Discharge electrode 4a: Needle electrode 4b: Slide 4c: Tip 4d: Opening 4e: Hole 100, 200, 300, 400, 500, 600: Discharge electrode unit 10: Electrode support 20: Slider support 30: Spring

Claims (14)

導電体で形成される針状電極と、
はめあいをすきまばめとして前記針状電極が挿入される孔部、および、この孔部に連通する開口部が形成される先端部、を有する摺動体と、
を備えることを特徴とする放電電極。 A needle-like electrode formed of a conductor;
A sliding body having a hole portion into which the needle electrode is inserted as a clearance fit, and a tip portion in which an opening communicating with the hole portion is formed;
A discharge electrode comprising: 請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であることを特徴とする放電電極。 The discharge electrode according to claim 1, wherein
The discharge electrode according to claim 1, wherein the sliding body is a cylindrical body. 請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であって尖り先の先端部を有することを特徴とする放電電極。 The discharge electrode according to claim 1, wherein
The discharge electrode according to claim 1, wherein the sliding body is a cylindrical body and has a pointed tip. 請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、円筒体であって開口部の直径と比較して長い直径を有する空間部が内部に形成されており、この空間部に孔部が連通することを特徴とする放電電極。 The discharge electrode according to claim 1, wherein
The discharge electrode is characterized in that the sliding body is a cylindrical body, and a space portion having a diameter longer than the diameter of the opening portion is formed therein, and a hole portion communicates with the space portion. 請求項１に記載の放電電極において、
前記摺動体は、リング体であることを特徴とする放電電極。 The discharge electrode according to claim 1, wherein
The discharge electrode according to claim 1, wherein the sliding body is a ring body. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の放電電極において、
前記摺動体は、導電体で形成されており、
前記針状電極と前記摺動体とが電気的に接続されることを特徴とする放電電極。 In the discharge electrode according to any one of claims 1 to 5,
The sliding body is formed of a conductor,
The discharge electrode, wherein the needle electrode and the sliding body are electrically connected. 請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の放電電極を含む放電電極ユニットであって、
前記針状電極を支持する電極支持部と、
前記摺動体を支持する摺動体支持部と、
前記電極支持部および前記摺動体支持部を付勢する付勢部と、
を備え、前記針状電極と前記摺動体とを相対的に移動させるように支持することを特徴とする放電電極ユニット。 A discharge electrode unit comprising the discharge electrode according to any one of claims 1 to 6,
An electrode support for supporting the needle-shaped electrode;
A sliding body support for supporting the sliding body;
A biasing portion that biases the electrode support portion and the sliding body support portion;
A discharge electrode unit comprising: a needle electrode and a sliding body supported so as to move relative to each other. 請求項７に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記針状電極と前記摺動体とを相対的に移動させる動力を与える駆動源を備えることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to claim 7,
A discharge electrode unit comprising a drive source for providing power for moving the needle-like electrode and the sliding body relatively. 請求項８に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記駆動源は発音体または超音波振動子であることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to claim 8,
The discharge electrode unit, wherein the driving source is a sounding body or an ultrasonic transducer. 請求項８に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記駆動源は振動モータであることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to claim 8,
The discharge electrode unit, wherein the drive source is a vibration motor. 請求項７〜請求項１０の何れか一項に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記電極支持部における前記針状電極の取り付け位置を調整する調整部を備えることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to any one of claims 7 to 10,
A discharge electrode unit comprising an adjustment unit for adjusting an attachment position of the needle electrode in the electrode support unit. 請求項７〜請求項１１の何れか一項に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極は複数であり、
前記電極支持部は複数の針状電極を支持し、
前記摺動体支持部は複数の摺動体を支持する、
ことを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to any one of claims 7 to 11,
The discharge electrode is plural,
The electrode support portion supports a plurality of needle electrodes,
The sliding body support portion supports a plurality of sliding bodies;
A discharge electrode unit characterized by that. 請求項１２に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極が一列に並べられることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to claim 12,
A discharge electrode unit, wherein the discharge electrodes are arranged in a line. 請求項１２に記載の放電電極ユニットにおいて、
前記放電電極が複数行複数列に並べられることを特徴とする放電電極ユニット。 In the discharge electrode unit according to claim 12,
A discharge electrode unit, wherein the discharge electrodes are arranged in a plurality of rows and columns.
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