KR20100006103A

KR20100006103A - Discharge electrode

Info

Publication number: KR20100006103A
Application number: KR1020090007424A
Authority: KR
Inventors: 가즈오 오카노
Original assignee: 가즈오 오카노
Priority date: 2008-07-08
Filing date: 2009-01-30
Publication date: 2010-01-18
Also published as: KR100990420B1; CN101626145A; CN101626145B; TWI332735B; JP4233058B1; JP2010020913A; TW201004078A

Abstract

PURPOSE: A discharge electrode is provided to maintain excellent discharge characteristic for a long time by suppressing the attachment of a foreign material to the device. CONSTITUTION: A discharge electrode comprises a gas part(110) and a tip-end part(120). The gas part is formed with a conductor. A gas flow path(111) is formed inside the gas part. The gas is applied to a gas flow path. The gas includes air, nitrogen gas, and an inert gas. A gas unit is formed with a tube having a certain length. The gas is flowed through the tube. At least one end of the tube is formed with a acuminate material of cone shape. The end of the tube excluding an acuminate material is cylinder. The end of the tube is formed with a plurality of small materials corresponding to the conductor.

Description

Discharge electrode {DISCHARGE ELECTRODE}

본 발명은, 코로나 방전용의 방전 전극에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge electrode for corona discharge.

코로나 방전용의 방전 전극의 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본 특허출원 공개번호 2007-134141호 공보, 발명의 명칭: 이온화 장치의 전극침 유닛 및 이온화 장치)에 기재된 발명이 알려져 있다.As the prior art of the discharge electrode for corona discharge, the invention described in patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-134141, name of invention: the electrode needle unit and ionizer of an ionizer) is known, for example. .

특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에 있어서, 전극침은, 전극침의 베이스부에 가까운 측의 일부에서 지지 부재에 의해 지지되고, 전극침의 선단부 주위를 에어가 흐르도록 하고 있다. 이로써, 전극침의 선단 부근에 있는 티끌이나 먼지 등이 에어에 의해 날아가 버리게 되어, 티끌이나 먼지 등이 부착되지 않도록 하고 있다.In the prior art described in Patent Literature 1, the electrode needle is supported by the support member at a portion near the base portion of the electrode needle, and air is allowed to flow around the tip portion of the electrode needle. As a result, dust, dust, and the like near the tip of the electrode needle are blown off by air, so that dust, dust, and the like do not adhere.

또한, 다른 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 2(일본 특허출원 공개번호 1996-88074호 공보, 발명의 명칭: 이온 발생 장치용 방전 전극)에 기재된 발명이 알려져 있다.Moreover, as another prior art, the invention described in patent document 2 (Unexamined-Japanese-Patent No. 1996-88074, the name of invention: the discharge electrode for ion generating apparatuses) is known, for example.

또한, 다른 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 3(일본 특허출원 공개번호 2004-247107호 공보, 발명의 명칭: 노즐형 방전 전극)에 기재된 발명이 알려져 있다.Moreover, as another prior art, the invention described in patent document 3 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-247107, the name of invention: nozzle type discharge electrode) is known, for example.

이들 특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술에 있어서, 노즐 선단을 침형으로 형성하고, 노즐 중앙으로부터 흡출되는 고속의 바람으로 이온을 탑재하여 원거리까지 이온을 반송(搬送)한다는 것이다. 이들 특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술의 방전 전극에서도, 바람에 의해 티끌이나 먼지 등이 쉽게 부착되지 않는다는 효과를 전망할 수 있다.In the prior arts described in these Patent Documents 2 and 3, the nozzle tip is formed in a needle shape, and the ions are loaded by high-speed wind drawn from the nozzle center to convey ions to a long distance. Also in the discharge electrodes of the prior art described in these patent documents 2 and patent documents 3, the effect that dust, dust, etc. do not adhere easily by wind can be anticipated.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 2007-134141호 공보(단락 번호[0055], 도 1)[Patent Document 1] Japanese Patent Application Publication No. 2007-134141 (paragraph number [0055], FIG. 1)

[특허 문헌 2] 일본 특허출원 공개번호 1996-88074호 공보(도 1, 도 2)[Patent Document 2] Japanese Patent Application Publication No. 1996-88074 (FIGS. 1 and 2)

[특허 문헌 3] 일본 특허출원 공개번호 2004-247107호 공보(도 1, 도 2)[Patent Document 3] Japanese Patent Application Publication No. 2004-247107 (Figs. 1 and 2)

특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에서는, 전극침의 선단 주위를 에어가 흐르는 공간으로 하고 있지만, 선단 부근에서 전극침이 뾰족하게 되어 있으므로, 에어가 흐르는 공간이 증대하여 감에 따라 에어가 분산되어 흘러가, 특히 선단 부근의 경사면에서는 에어의 분산이 현저해져 에어의 기세가 약해진다는 것이며, 만일 전극침의 침 선단의 경사면에 티끌, 먼지, 실록산 등(이하, 이물질이라고 함)이 부착되면, 에어로 제거하는 것은 용이하지 않고, 이물질이 약간은 퇴적될 우려가 있었다. 특히, 실리콘 수지 제품에 포함되는 저분자 실록산이 휘발한 가스 상태의 실록산이 퇴적되어 부착된 실록산이 이물질인 경우에는, 반도체용 실리콘 웨이퍼 등을 제조하고 있는 클린룸에 있어서는 전기 회로의 표면에 부착되면 접점 장해가 일 어나기 때문에 특히 문제가 있었다.In the prior art described in Patent Literature 1, air flows around the tip of the electrode needle, but since the electrode needle is pointed near the tip, the air flows increases and the air is dispersed and flows. In particular, on the inclined surface near the tip, the dispersion of air becomes remarkable and the force of the air is weakened.If dust, dust, siloxane or the like (hereinafter referred to as a foreign substance) adheres to the inclined surface of the needle tip of the electrode needle, the air is removed It was not easy, and there was a fear that foreign matters would be deposited slightly. Particularly, in the case where the siloxane in which the gaseous siloxane in which the low molecular siloxane contained in the silicone resin is volatilized is deposited and the attached siloxane is a foreign matter, in a clean room in which a silicon wafer for semiconductors or the like is attached, the contact is made on the surface of the electric circuit. There was a particular problem because of the failure.

특허 문헌 2, 특허 문헌 3에 기재된 종래 기술에서는, 전극침의 선단측에는 이물질이 부착될 우려를 낮게 하고 있지만, 전극침의 경사면이나 측면에 이물질이 부착되면, 에어가 흐르고 있지 않는 경우에는 이물질이 약간은 퇴적될 우려가 있었다. 또한, 전극이 앞이 뾰족하게 되어 있지 않으므로, 침형의 전극과 비교하여 방전 특성이 양호하지 않다는 문제도 있었다.In the prior arts described in Patent Documents 2 and 3, there is a low risk of foreign matter adhering to the tip side of the electrode needle, but when foreign matter adheres to the inclined surface or side surface of the electrode needle, the foreign matter is slightly present when air does not flow. There was a risk of depositing. Moreover, since the electrode was not sharp at the front, there was also a problem that the discharge characteristics were not good as compared with the needle-shaped electrode.

즉, 방전 전극의 경사면에서는 내측이나 외측의 어느 쪽에 에어류가 흐르고 있어도 이물질이 부착되기 쉬워 방전 특성이 열화될 우려가 있다는 문제가 있었다. 또한, 방전 전극을 앞이 뾰족하게 하여 침형의 방전 전극과 비교해도 뒤떨어지지 않는 방전 특성을 확보하려는 요청도 있었다.In other words, even if air flows on either the inside or the outside of the inclined surface of the discharge electrode, there is a problem that foreign matter easily adheres and the discharge characteristics may be deteriorated. In addition, there has been a request to secure the discharge characteristics that are inferior even when compared to the needle-shaped discharge electrodes by making the discharge electrodes sharp.

그래서, 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 선단의 뾰족한 끝에 있어서 이물질이 쉽게 부착되지 않고, 또한 부착되어도 날려가 버릴 수 있도록 하여, 이물질 부착을 억제하여 양호한 방전 특성의 장기간의 유지를 실현하는 코로나 방전용의 방전 전극을 제공하는 것에 있다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and its object is to prevent foreign matters from easily adhering at the pointed end of the tip and to blow off even when attached, thereby suppressing foreign matter adhesion and providing good discharge characteristics. Disclosed is a discharge electrode for corona discharge that realizes long term retention.

본 발명의 청구항 1에 관한 방전 전극은,The discharge electrode according to claim 1 of the present invention,

전기적인 도체(導體)로 형성되고, 내부에 가스 유로를 가지는 기체부(基體部)와,A gas part formed of an electrical conductor and having a gas flow path therein;

전기적인 도체로 형성되고, 일부가 첨두체(尖頭體)로서 이 첨두체의 경사면까지 연통되는 경사면 흡출(吸出) 유로를 내부에 가지는 선단부A tip portion formed in the form of an electrical conductor and having an inclined plane suction flow path therein, part of which is a peak body and communicates with the inclined plane of the peak body.

를 구비하고, And

선단부는, 기체부로부터 첨두체가 돌출된 상태로 기체부에 기계적으로 고정되고, 기체부와 전기적으로 접속되고, 또한 기체부의 가스 유로와 경사면 흡출 유로가 연통되는 것을 특징으로 한다.The front end portion is mechanically fixed to the base portion in a state where the peak body protrudes from the base portion, is electrically connected to the base portion, and the gas flow path of the base portion and the inclined surface suction flow passage are in communication with each other.

또한, 본 발명의 청구항 2에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 2 of the present invention,

청구항 1에 기재된 방전 전극에 있어서,In the discharge electrode according to claim 1,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 소물체(小物體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 소물체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion has a plurality of small objects formed by an electrical conductor, and is formed in a shape including a peak body, and an inclined surface suction passage is formed by a gap between the plurality of small objects. .

또한, 본 발명의 청구항 3에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 3 of the present invention,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중실(中實) 봉체(棒體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 직선 중실 봉체 사이의 간극에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion has a plurality of linear solid rods formed by electrical conductors and is formed in a shape including a peak, and the inclined plane suction flow path is formed by a gap between the plurality of linear solid rods. It is characterized by being formed.

또한, 본 발명의 청구항 4에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 4 of the present invention,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 복수개의 직선 중공(中空) 관체(管體)가 고착되어 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 복수개의 직선 중공 관체 사이의 간극 및 관내 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion has a shape in which a plurality of straight hollow tubular bodies formed by electrical conductors are fixed to include a peak body, and the inclined surface is sucked out by the gap between the plurality of straight hollow tubular bodies and the space in the tube. A flow path is formed.

또한, 본 발명의 청구항 5에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 5 of the present invention,

상기 선단부는, 가요성(可撓性)을 가지는 전기적인 도체로서 표면에 복수개의 철부(凸部)가 형성되는 시트체를 소용돌이형으로 감아서 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 인접하는 2개의 시트체와 철부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion is an electrical conductor having flexibility and is formed in a shape including a peak body by spirally winding a sheet body in which a plurality of convex portions are formed on the surface thereof. An inclined plane suction passage is formed by the gap space between the two sheet bodies and the convex portions.

또한, 본 발명의 청구항 6에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 6 of the present invention,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 한 개의 직선 중공 관체를 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion is formed in a shape including a peak body by fixing one straight hollow tube around the needle body formed by the electrical conductor, and an inclined plane suction passage is formed by the gap space between the needle body and the straight hollow tube. It is characterized by.

또한, 본 발명의 청구항 7에 관한 방전 전극은, In addition, the discharge electrode according to claim 7 of the present invention,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체의 주위에 반경이 상이한 복수개의 직선 중공 관체를 다중 원통형으로 되도록 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 직선 중공 관체의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The distal end portion is formed in a shape including a peak by fixing a plurality of linear hollow tubes having different radii around the needle body formed by the electrical conductor so as to have a multi-cylinder shape, and in the gap space between the needle body and the straight hollow tube body. It is characterized in that the inclined surface suction passage is formed.

또한, 본 발명의 청구항 8에 관한 방전 전극은,In addition, the discharge electrode according to claim 8 of the present invention,

상기 선단부는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체를 상기 기체부에 고정하여 첨두체를 포함하는 형상으로 형성되고, 침형체와 상기 기체부의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.The tip portion is formed in a shape including a peak by fixing the needle body formed by the electrical conductor to the base portion, characterized in that the inclined surface suction passage is formed by the gap space between the needle body and the base portion.

또한, 본 발명의 청구항 9에 관한 방전 전극은,In addition, the discharge electrode according to claim 9 of the present invention,

청구항 1~청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 방전 전극에 있어서,In the discharge electrode according to any one of claims 1 to 8,

상기 선단부의 첨두체는, 다각(多角) 추체(錐體) 또는 원추체(圓錐體)인 것을 특징으로 한다.The tip of the tip portion is characterized in that it is a polygonal cone or a cone.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 선단의 뾰족한 끝에 있어서 이물질이 쉽게 부착되지 않고, 또한 부착되어도 날려 버릴 수 있도록 하여, 이물질 부착을 억제하여 양호한 방전 특성의 장기간의 유지를 실현하는 코로나 방전용의 방전 전극을 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, a discharge electrode for corona discharge that realizes long-term maintenance of good discharge characteristics by preventing foreign matter from adhering easily at the pointed end of the tip and blowing out even when attached, thereby suppressing foreign material adhesion. Can be provided.

이어서, 본 발명을 실시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 1 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 1 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 1 (c)는 선단부의 일부 확대도이다. 방전 전극(100)은, 기체부(110), 선단부(120)를 구비하고 있다.Next, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. 1: is explanatory drawing of the discharge electrode of this form, FIG. 1 (a) is a perspective external view of a discharge electrode, FIG. 1 (b) is a top view of a discharge electrode, and FIG. 1 (c) is a partial enlarged view of a tip part. The discharge electrode 100 is provided with the base part 110 and the tip part 120.

기체부(110)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(111)를 가진다. 이 가스 유로(111)에는 가스가 통류(通流)한다. 그리고, 본 명세서 중의 가스란 에어(세정된 공기), 질소 가스 등의 비반응성 가스, 희(希)가스 등이며, 적어도 피제전물(被除電物)에 분사 가능한 기체를 말한다. 본 형태에서는 기체부(100)는 일정 길이를 가지는 원관체(圓管體)로서 형성되어 있고, 원관 체 내부의 중공 내부가 가스 유로(111)로 된다.The base unit 110 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 111 therein. Gas flows through this gas flow path 111. In addition, the gas in this specification is air (clean air), non-reactive gas, such as nitrogen gas, rare gas, etc., and means the gas which can be sprayed at least to an object to be charged. In this embodiment, the base part 100 is formed as a cylindrical body which has a fixed length, and the hollow inside of a cylindrical body becomes the gas flow path 111. As shown in FIG.

선단부(120)는 적어도 일부가 원추체인 첨두체(121)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(120)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(120)의 첨두체(121) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(111)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(120)는, 도 1 (c)에 나타낸 바와 같이, 전기적인 도체인 소물체(122)(본 형태에서는 금속 등의 전기적인 도체에 의한 구체)를 복수개 모아, 소물체(122)끼리의 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 구체(球體)인 소물체(122)의 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 선단부와 동일 형상의 구멍 부분 내에 복수개의 소물체(122)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시킨 후에 냉각하여 고착 형성한다. 방전 전극(100)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(120)는, 도 1 (a),(b),( c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되어 있고, 이 간극에 의해 첨두체(121)의 경사면(121a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(123)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(123)는 중단되지 않는 연속되는 공간이다.The tip portion 120 is formed as a peak body 121, at least part of which is a cone. In this embodiment, the tip portion 120 is formed in an inverted tower shape. In addition, the mounting portions of the remaining portions other than the peak body 121 of the tip portion 120 are formed in a cylindrical shape. This mounting portion corresponds to the shape and diameter of the gas flow path 111. Here, as shown in FIG. 1 (c), the tip portion 120 collects a plurality of small objects 122 (spheres made of electrical conductors such as metals) that are electrical conductors, and the small objects 122 ) It is an object formed by fixing only the contact surface of each other. This forms a film by soldering on the surface of the spherical body 122, and arranges the plurality of small bodies 122 in a hole portion of the same shape as the tip of the separately prepared jig, and then heats it to weld the solder. After cooling, it is cooled and fixed. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 100, it can be used as an electrode. In the tip portion 120 formed in this manner, a gap is formed as shown in FIGS. 1A, 1B, and 3C, and the inclined surface communicates with the inclined surface 121a of the peak body 121 by the gap. A suction passage 123 is formed therein. This inclined plane suction flow path 123 is a continuous space that is not interrupted.

그리고, 이 선단부(120) 중 첨두체(121)가 기체부(110)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(100)이 완성된다. 이로써, 기체부(110)와 선단부(120)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(110)의 가스 유로(111)와 선단부(120)의 경사면 흡출 유로(123)가 연통된다.In the state in which the peak body 121 protrudes from the base part 110 among these tip parts 120, for example, the discharge electrode 100 is completed by mechanically fixing by soldering. Thereby, the base part 110 and the tip part 120 are electrically connected, and the gas flow path 111 of the base part 110 and the inclined surface suction flow path 123 of the tip part 120 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(100)의 기체부(110)에 가스를 공급하면, 가스 유 로(111)를 통해 선단부(120)의 경사면 흡출 유로(123)로 가스가 도입되어 첨두부(120)의 경사면(121a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(100)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(121a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(121a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When the gas is supplied to the gas part 110 of the discharge electrode 100, the gas is introduced into the inclined plane suction passage 123 of the tip part 120 through the gas flow path 111 to incline the slope of the peak part 120. The gas is inject | poured in the substantially whole area | region of 121a. In such a discharge electrode 100, when the floating foreign matter approaches the inclined surface 121a, it is blown away by the injected gas, thereby significantly reducing the risk of foreign matter adhering to the entire surface of the inclined surface 121a. Doing.

그리고, 본 형태에서는 소물체(122)로서 구체를 상정하여 설명하였으나, 구체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 도전성을 가지는 재료로 형성된 타원체, 다각형체, 요철(凹凸)을 가지는 불특정 형상의 소물체 등을 사용할 수 있다.In addition, in this embodiment, although the sphere was assumed as the small object 122, it demonstrated, but is not limited to the sphere, For example, the ellipsoid formed from the material which has electroconductivity, a polygonal body, and the irregular shape which has an unevenness | corrugation, Small objects and the like can be used.

또한, 첨두체(121)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.The peak body 121 is not limited to the cone, but can be formed as, for example, a polygonal cone (triangular, hexagonal, etc.).

또한, 기체부(110)도 원관체에 한정되는 것은 아니고, 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(立體)(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.In addition, the base part 110 is not limited to a cylindrical body, You may employ | adopt the shape etc. which integrated the tubular body which has a polygonal hole, the tubular body, and other solids (fixed protrusions, etc.) of the outer peripheral surface. .

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(121)에서 코로나 방전에 의해 직류로 양이온 또는 음이온, 또한 교류로 양이온 및 음이온(이하, 직류와 교류를 고려한 후에 단지 이온이라고 함)이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.When a high voltage of direct current or alternating current is applied while supplying gas as described above, cations or anions from the peak body 121 to the direct current by corona discharge, and also the cations and anions to the alternating current (hereinafter, referred to as direct current only after being considered as ions) ) Is generated, and ions are injected to a distant place by gas injection to reach the object to be transferred.

이와 같은 방전 전극(100)에 의하면 거의 완전한 첨두체(121)임에도 불구하고 첨두체(121)의 경사면(121a)의 거의 전체면에서 가스 분사를 행하므로, 가스 분사에 의해 이물질, 특히 첨두체(121)의 경사면(121a)에 가스 상태의 실록산은 도달 할 수 없게 되어 절연성을 가지는 실록산 등의 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 전극의 장기간에 걸친 양호한 방전 특성의 유지가 가능해지고, 또한 실록산 등의 이물질이 피제전물에 분사될 염려도 없어져, 피제전물에 대하여 제전만을 확실하게 행한다. 또한, 생성된 이온을 경사면(121a)으로부터의 가스 분사에 의해 방전 전극(100)으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물의 표면에 확실하게 도달한다.According to such a discharge electrode 100, although the gas is sprayed on almost the entire surface of the inclined surface 121a of the peak 121 even though it is a nearly perfect peak 121, a foreign material, in particular, the peak ( The siloxane in the gas state cannot reach the inclined surface 121a of 121, and foreign substances such as siloxane having insulating properties do not adhere to each other, so that good discharge characteristics of the discharge electrode can be maintained over a long period of time. There is no fear that the foreign matter will be sprayed onto the object to be removed, and only static elimination is performed with respect to the object to be treated. In addition, since the generated ions are sent away from the discharge electrode 100 by gas injection from the inclined surface 121a, the ions reliably reach the surface of the object to be transferred.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 2는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 2 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 2 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 2 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 2 (d)는 다른 선단부의 평면 확대도이다. 방전 전극(200)은, 기체부(210), 선단부(220)를 구비하고 있다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. FIG. 2 is an explanatory view of another type of discharge electrode, FIG. 2A is a perspective view of the discharge electrode, FIG. 2B is a plan view of the discharge electrode, FIG. 2C is an enlarged plan view of the tip end, and FIG. 2 (d) is an enlarged plan view of another tip portion. The discharge electrode 200 is provided with the base part 210 and the tip part 220.

기체부(210)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(211)를 가진다. 이 가스 유로(211)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(210)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(211)로 된다.The base portion 210 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 211 therein. Gas flows through this gas flow path 211. In this embodiment, the base part 210 is formed as a cylindrical body, and the hollow inside of a pipe becomes the gas flow path 211.

선단부(220)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(221)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(220)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(220)의 첨두체(221) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(211)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(210)는 전기적인 도체인 직선 중실 봉체(222)(본 형태에서는 전기적인 도체에 의한 직선 환봉(丸棒))를 복수개 모아, 직선 중실 봉체(222)끼리의 접촉면만 고착하여 형성한 물체이 다. 이것은 직선 환봉인 직선 중실 봉체(222)의 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부(丸孔部) 내에 복수개의 직선 중실 봉체(222)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(200)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 또한, 선단을 절삭 가공하여 첨두체(221)를 형성한다. 이같이 하여 형성된 선단부(220)는, 도 2 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 직선 중실 봉체(222) 사이에 간극이 형성되고, 이 첨두체(221)의 경사면(221a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(223)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(223)는 주위 방향이나 반경 방향으로는 연속되지 않고, 상하 방향으로만 연속되는 직선형의 복수개의 공간이다.The tip portion 220 is formed as a peak 221 whose at least part is a cone. In this embodiment, the tip portion 220 is formed in an inverted tower shape. In addition, the mounting portions of the remaining portions other than the peak body 221 of the tip portion 220 are formed in a cylindrical shape. This mounting portion corresponds to the shape and diameter of the gas flow path 211. Here, the tip portion 210 collects a plurality of straight solid rods 222 (in this embodiment, a straight round bar by an electric conductor) as electrical conductors, and fixes only the contact surfaces between the straight solid rods 222. The object formed. This forms a film by soldering on the surface of the straight solid rod 222 which is a straight round bar, arranges a plurality of straight solid rods 222 in the annular hole of a separately prepared jig, and heats it to fuse the solder. To form. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 200, it can be used as an electrode. In addition, the tip is cut to form a peak body 221. In the tip portion 220 thus formed, a gap is formed between the straight solid rods 222 as shown in Figs. 2A, 2B, and 2C, and the inclined surface 221a of the peak 221 is formed. An inclined surface suction flow path 223 communicating therewith is formed therein. The inclined plane suction flow passage 223 is a plurality of linear spaces which are not continuous in the circumferential direction or the radial direction but are continuous only in the vertical direction.

그리고, 이 첨두체(221)가 기체부(210)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(200)이 완성된다. 이로써, 기체부(210)와 선단부(220)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(210)의 가스 유로(211)와 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(223)가 연통된다.And the peak body 221 is made to protrude from the base part 210, for example, is mechanically fixed by soldering, and the discharge electrode 200 is completed. Thereby, the base part 210 and the tip part 220 are electrically connected, and the gas flow path 211 of the base part 210 and the inclined surface suction flow path 223 of the tip part 220 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(200)의 기체부(210)에 가스를 공급하면, 가스 유로(211)를 통해 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(223)로 가스가 도입되어 경사면(221a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(200)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(221a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(221a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When gas is supplied to the gas unit 210 of the discharge electrode 200, the gas is introduced into the inclined plane suction flow path 223 of the tip portion 220 through the gas flow path 211, so that almost all of the inclined plane 221a is provided. The gas is injected. In such a discharge electrode 200, when the floating foreign matter approaches the inclined surface 221a, it is blown away by the injected gas, thereby significantly reducing the risk of foreign matter adhering to the entire surface of the inclined surface 221a. Doing.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두 체(221)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.When a high voltage of direct current or alternating current is applied while supplying gas as described above, ions are generated by the corona discharge from the peak body 221, and ions are injected far away by gas injection to reach the object to be transferred.

또한, 본 형태의 특징으로서 가스 분사의 방향이 아래쪽에 한정되므로, 가스 분사에 의해 아래쪽으로 이온이 분사되어 피제전물에 확실하게 도달한다.In addition, since the direction of the gas injection is limited to the lower side as a feature of this embodiment, ions are injected downward by the gas injection to reach the object to be reliably.

그리고, 본 형태에서는 직선 중실 봉체로서 환봉을 상정하여 설명하였으나, 환봉에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 타원봉, 다각형을 가지는 각봉 등을 사용할 수 있다.In the present embodiment, the round bar is assumed to be a straight solid bar. However, the present invention is not limited to the round bar. For example, an elliptical bar, an angle bar having a polygon, or the like can be used.

또한, 첨두체(221)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.The peak 221 is not limited to the cone but can be formed, for example, as a polygonal cone (triangular, hexagonal, etc.).

또한, 기체부(210)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.In addition, the base part 210 is not limited to a cylindrical body, You may employ | adopt the shape which integrated the tubular body which has a polygonal hole, a tubular body, and another three-dimensional (fixing protrusions, etc.).

이와 같은 방전 전극(200)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체(221)의 경사면(221a)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 양호한 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 경사면(221a)으로부터 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.According to such a discharge electrode 200, foreign matters do not adhere to the inclined surface 221a of the peak body 221, in particular, by gas injection, so that good discharge characteristics can be maintained. Further, since the generated ions are sent away from the discharge electrode by gas injection downward from the inclined surface 221a, the ions reliably reach the target object.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이 형태에서는 먼저 도 2를 참조하여 설명한 방전 전극(200) 중 환봉 등의 직선 중실 봉체 대신에 원관(圓管) 등의 직선 중공 관체를 채용한 선단부로 하는 것이며, 끝의 형 태를 개량하는 것이다. 이 방전 전극(200)에서는 기체부(210)는 앞의 설명과 같은 구성을 가지는 것이며, 중복되는 설명을 생략하고 상위점으로 되는 선단부(210)만 설명한다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. In this embodiment, instead of a straight solid rod such as a round bar, the discharge electrode 200 described with reference to FIG. 2 is used as a front end portion that employs a straight hollow tube such as a round tube to improve the shape of the tip. . In the discharge electrode 200, the base portion 210 has the same configuration as the above description, and only the tip portion 210 serving as an upper point will be described without overlapping description.

선단부(220)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(221)로서 형성된다. 본 형태에서는 선단부(220)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(220)의 첨두체(221) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(211)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(210)는 전기적인 도체인 직선 중공 관체(224)(본 형태에서는 전기적인 도체에 의한 직선형의 원관)를 복수개 모아 직선 중공 관체(224)끼리를 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 원관인 직선 중공 관체(224)의 외주 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부 내에 복수개의 직선 중공 관체(224)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(200)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 또한, 선단을 절삭 가공하여 첨두체(221)를 형성한다. 이같이 하여 형성된 선단부(220)는, 도 2 (d)에 나타낸 바와 같이 직선 중공 관체 사이에 형성되는 간극 및 관내 공간에 의해, 이 첨두체(221)의 경사면(221a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(225)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(225)는 주위 방향이나 반경 방향으로는 연속되지 않고, 상하 방향으로만 연속되는 직선형의 복수개의 공간이다.The tip portion 220 is formed as a peak 221 whose at least part is a cone. In this embodiment, the tip portion 220 is formed in an inverted tower shape. In addition, the mounting portions of the remaining portions other than the peak body 221 of the tip portion 220 are formed in a cylindrical shape. This mounting portion corresponds to the shape and diameter of the gas flow path 211. Here, the tip portion 210 is an object formed by collecting a plurality of linear hollow tubular bodies 224 (in this form, straight circular tubes formed by electrical conductors) that are electrical conductors, and fixing the linear hollow tubular bodies 224 with only contact surfaces. . This is formed by forming a film by soldering on the outer circumferential surface of the straight hollow tube body 224 which is a circular tube, arranging a plurality of straight hollow tube bodies 224 in the annular hole of a separately prepared jig, and then heating them to fuse the solder. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 200, it can be used as an electrode. In addition, the tip is cut to form a peak body 221. The tip end portion 220 formed in this manner is an inclined plane suction flow passage communicating with the inclined surface 221a of the peak 221 by the gap formed between the straight hollow tubular bodies and the tube space as shown in FIG. 225 is formed therein. The inclined plane suction flow path 225 is a plurality of linear spaces which are not continuous in the circumferential direction or the radial direction but are continuous only in the vertical direction.

그리고, 이 첨두체(221)가 기체부(210)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(200)이 완성된다. 이로써, 기 체부(210)와 선단부(220)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(210)의 가스 유로(211)와 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(225)가 연통된다.And the peak body 221 is made to protrude from the base part 210, for example, is mechanically fixed by soldering, and the discharge electrode 200 is completed. As a result, the gas part 210 and the tip part 220 are electrically connected to each other, and the gas flow path 211 of the gas part 210 and the inclined surface suction path 225 of the tip part 220 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(200)의 기체부(210)에 가스를 공급하면, 가스 유로(211)를 통해 선단부(220)의 경사면 흡출 유로(225)로 가스가 도입되어 경사면(221a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(200)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(221a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(221a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When gas is supplied to the gas unit 210 of the discharge electrode 200, the gas is introduced into the inclined plane suction flow path 225 of the tip portion 220 through the gas flow path 211, so that the gas is almost all over the inclined plane 221a. The gas is injected. In such a discharge electrode 200, when the floating foreign matter approaches the inclined surface 221a, it is blown away by the injected gas, thereby significantly reducing the risk of foreign matter adhering to the entire surface of the inclined surface 221a. Doing.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(221)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.When a high voltage of direct current or alternating current is applied while supplying gas as described above, ions are generated by the corona discharge from the peak body 221, and ions are injected to the distant object by gas injection.

또한, 본 형태의 특징으로서 가스 분사의 방향이 아래쪽에 한정되고, 또한 직선 원관(224)의 관내 공간에 의해 유로가 증가한 경사면 흡출 유로(225)를 통해 가스 분사가 확실하게 행해지게 되어, 가스 분사에 의해 아래쪽으로 이온이 분사되어 피제전물에 확실하게 도달한다.In addition, as a feature of this embodiment, the gas injection direction is limited to the lower side, and the gas injection is surely performed through the inclined plane suction flow path 225 in which the flow path is increased due to the inner space of the straight pipe 224. The ion is injected downward by the nozzle to reach the object to be reliably.

그리고, 본 형태에서는 직선 중공 관체(224)로서 원관체를 상정하여 설명하였으나, 원관체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 타원 관체, 다각형 구멍을 가지는 관 등을 사용할 수 있다.Incidentally, in this embodiment, the cylindrical body is assumed as the straight hollow tube 224. However, the present invention is not limited to the original tube. For example, an elliptic tube, a tube having a polygonal hole, or the like can be used.

또한, 기체부(210)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.In addition, the base part 210 is not limited to a cylindrical body, You may employ | adopt the shape etc. which integrated the tubular body which has a polygonal hole, the tubular body, and another three-dimensional (fixed protrusion etc.) of the outer peripheral surface.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 3은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 3 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 3 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 3 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 3 (d)는 선단부의 측단면도이다. 도 4는 선단부의 설명도로서, 도 4 (a)는 제조 전의 선단부의 평면도, 도 4 (b)는 제조 전의 선단부의 정면도, 도 4 (c)는 제조 전의 다른 선단부의 정면도이다. 방전 전극(300)은, 기체부(310), 선단부(320)를 구비하고 있다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. FIG. 3 is an explanatory view of another type of discharge electrode, FIG. 3A is a perspective view of the discharge electrode, FIG. 3B is a plan view of the discharge electrode, and FIG. 3 (d) is a sectional side view of the tip. 4: is explanatory drawing of a front end part, FIG. 4 (a) is a top view of the front end part before manufacture, FIG. 4 (b) is a front view of the front end part before manufacture, and FIG. 4 (c) is a front view of the other front end part before manufacture. The discharge electrode 300 is provided with the base part 310 and the tip part 320.

기체부(310)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(311)를 가진다. 이 가스 유로(311)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(310)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(311)로 된다.The base portion 310 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 311 therein. Gas flows through this gas flow path 311. In this embodiment, the gas part 310 is formed as a cylindrical body, and the hollow inside of a pipe becomes the gas flow path 311.

선단부(320)는, 적어도 일부가 원추체인 첨두체(321)로 형성된다. 본 형태에서는 선단부(320)는 역타워형으로 형성되어 있다. 또한, 선단부(320)의 첨두체(321) 이외의 남는 개소의 장착부는 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 장착부는 가스 유로(311)의 형상 및 직경과 일치하고 있다. 여기에, 선단부(320)는 가요성을 가지는 전기적인 도체(예를 들면, 금속판 등)에 의해 형성되고, 도 4 (a),(b)에 나타낸 바와 같이, 표면에 복수개의 철부(323)가 랜덤으로 배치되어 형성되는 시트체(322)를 소용돌이형으로 감아서 첨두체(321)를 포함하도록 형성하고, 접촉면만 고착하여 형성한 물체이다. 이것은 시트체(322) 및 철부(323) 표면에 납땜에 의한 피막을 형성하고, 별도 준비된 지그의 환공부 내에, 감은 상태의 시트체(322)를 배치하고나서 가열하여 납땜을 융착시켜 형성한다. 방전 전극(300)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 그리고, 본 형태에서는 시트체의 한 변을 경사부(322a)로서 형성하였으므로 시트체(322)를 감으면 나선형으로 끝이 뾰족하게 되므로, 절삭 가공이 불필요하게 하고 있다. 이같이 하여 형성된 선단부(320)는, 도 3 (c),(d)에 나타낸 바와 같이 인접하는 2개의 시트체(322)와 철부(凸部)(323)에 의해 간극 공간이 형성되고, 이 첨두체(321)의 경사면(321a)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(324)가 내부에 형성된다. 이 경사면 흡출 유로(324)는 나선 방향으로도 연속되는 공간이다.The tip 320 is formed of a peak 321 at least part of which is a cone. In this embodiment, the tip portion 320 is formed in a reverse tower shape. In addition, the mounting portions of the remaining portions other than the peak 321 of the tip portion 320 are formed in a cylindrical shape. This mounting portion corresponds to the shape and diameter of the gas flow path 311. Here, the tip portion 320 is formed of an electrically conductive conductor (for example, a metal plate, etc.) having flexibility, and as shown in FIGS. 4A and 4B, a plurality of convex portions 323 on the surface thereof. Is an object formed by swirling the sheet body 322 formed by randomly arranging to include the peak body 321 and fixing only the contact surface. This is formed by forming a coating film by soldering on the surface of the sheet body 322 and the convex portion 323, arranging the sheet body 322 in a wound state in the annular hole of a separately prepared jig, and then heating it to fuse the solder. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 300, it can be used as an electrode. In this embodiment, since one side of the sheet body is formed as the inclined portion 322a, when the sheet body 322 is wound up, the tip becomes spirally pointed, so that cutting is unnecessary. In the tip portion 320 formed in this manner, a gap space is formed by two adjacent sheet bodies 322 and convex portions 323, as shown in FIGS. 3C and 3D. An inclined plane suction flow path 324 communicating with the inclined surface 321a of the sieve 321 is formed therein. This inclined plane suction flow path 324 is a space that is continuous even in the spiral direction.

그리고, 이 첨두체(321)가 기체부(310)로부터 돌출하도록 한 상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(300)이 완성된다. 이로써, 기체부(310)와 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(310)의 가스 유로(311)와 선단부(320)의 경사면 흡출 유로(324)가 연통된다.And the peak 321 protrudes from the base part 310, and is mechanically fixed by soldering, for example, and the discharge electrode 300 is completed. Thereby, while being electrically connected with the base part 310, the gas flow path 311 of the base part 310 and the inclined surface suction flow path 324 of the tip part 320 are communicated.

이와 같은 방전 전극(300)의 기체부(310)에 가스를 공급하면, 가스 유로(311)를 통해 선단부(320)의 경사면 흡출 유로(324)로 가스가 도입되어 경사 면(321a)의 거의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(300)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(321a)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(321a)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When gas is supplied to the gas part 310 of the discharge electrode 300, the gas is introduced into the inclined plane suction path 324 of the tip part 320 through the gas flow path 311 to almost the entire area of the inclined surface 321a. Gas is injected. In such a discharge electrode 300, when the floating foreign matter approaches the inclined surface 321a, it is blown away by the injected gas, thereby significantly reducing the risk of foreign matter adhering to the entire surface of the inclined surface 321a. Doing.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체(321)에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.When a high voltage of direct current or alternating current is applied while supplying gas as described above, ions are generated by the corona discharge from the peak body 321, and ions are injected to the distant object by gas injection.

그리고, 본 형태에서는 도 4 (a),(b)에 나타낸 바와 같은 철부(323)가 형성된 시트체(322)를 상정하여 설명하였으나, 이와 같은 시트체(322)에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 도 4 (c)에 나타낸 바와 같이, 시트체(322)의 한 변에 감기용의 축으로 되는 축부(325)를 설치해도 된다.Incidentally, in this embodiment, the sheet body 322 in which the convex portions 323 as shown in Figs. 4A and 4B are formed was described. However, the present invention is not limited to the sheet body 322. For example, as shown in FIG.4 (c), you may provide the shaft part 325 used as the axis | shaft for winding on one side of the sheet | seat body 322. As shown to FIG.

또한, 첨두체(321)는, 원추체에 한정되는 취지가 아니고, 예를 들면, 다각 추체(삼각추, 육각추 등)로서 형성할 수 있다.In addition, the peak 321 is not limited to the cone, but can be formed as a polygonal cone (triangular, hexagonal, etc.), for example.

또한, 경사부가 없는 직사각형상의 시트체(322)를 감아서 고착하여 원기둥체를 형성하고, 이 원기둥체의 선단을 절삭 가공하여 첨두체(321)를 형성하도록 해도 된다.In addition, the rectangular sheet body 322 having no inclined portion may be wound and fixed to form a cylindrical body, and the tip of the cylindrical body may be cut to form the peak 321.

또 철부(323)도 도 4 (b),(c)와 같이 랜덤으로 배치한 것이 아니고, 격자형이나 지그재그형라는 규칙성을 가지는 배치로 해도 된다.In addition, the convex portions 323 are not arranged randomly as shown in Figs. 4B and 4C, but may be arranged with regularity such as lattice or zigzag.

또한, 기체부(310)도 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 또한 외주면의 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.In addition, the base part 310 is not limited to a cylindrical body, You may employ | adopt the shape etc. which integrated the tubular body which has a polygonal hole, the tubular body, and other three-dimensional (fixed protrusions etc.) of the outer peripheral surface.

이와 같은 방전 전극(300)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체(321)의 경사면(321a)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다.According to such a discharge electrode 300, foreign matter does not adhere to the inclined surface 321a of the peak body 321, in particular, by gas injection, and thus the discharge characteristics can be maintained.

또한, 생성된 이온을 경사면(321a)으로부터 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.Further, since the generated ions are sent away from the discharge electrode by gas injection downward from the inclined surface 321a, the ions reliably reach the target object.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 5는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 5 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 5 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 5 (c)는 선단부의 측단면도이다. 방전 전극(400)은, 기체부(410), 선단부(420)를 구비하고 있다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. FIG. 5 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 5A is a perspective external view of the discharge electrode, FIG. 5B is a plan view of the discharge electrode, and FIG. 5C is a side cross-sectional view of the distal end portion. The discharge electrode 400 is provided with the base part 410 and the tip part 420.

기체부(410)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(411)를 가진다. 이 가스 유로(411)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(410)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(411)로 된다.The base portion 410 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 411 therein. Gas flows through this gas flow path 411. In this embodiment, the gas part 410 is formed as a cylindrical body, and the hollow inside of a pipe becomes the gas flow path 411.

선단부(420)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(421)와 그 주위에 침형체(421)와는 반경이 상이한 직선 중공 관체(423)를 지지부(424)에 의해 납땜이나 은땜 등에 의해 고정하여 침형체(421)의 선단과 직선 중공 관체(423)의 단부가 경사면(422) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(422)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(422)에는 기체부(410)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(421)는, 직선 중공 관체(423)로부터 돌출된 구성으로 된다. 침형 체(421)와 직선 중공 관체(423)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(425)가 형성된다. 본 형태에서는 직선 중공 관체(423)와 기체부(410)의 간극 공간도 포함된다. 방전 전극(400)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(420)는, 도 5 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(422)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(425)가 내부에 형성된다.The tip portion 420 fixes the needle body 421 formed by the electrical conductor and a straight hollow tube body 423 having a radius different from the needle body 421 around the support body 424 by soldering or silver soldering. The tip of the needle body 421 and the end of the straight hollow tube 423 are formed as if they are in the inclined surface 422, and are seen as a peak having such an inclined surface 422. The inclined surface 422 also includes the end of the base portion 410. In this case, the needle body 421 is configured to protrude from the straight hollow tube body 423. An inclined plane suction flow path 425 is formed by the gap space between the needle body 421 and the straight hollow tube body 423. In this embodiment, the clearance gap between the linear hollow tube body 423 and the base part 410 is also included. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 400, it can be used as an electrode. As shown in FIGS. 5A, 5B, and 5C, the tip end portion 420 formed in this way has a gap formed therein and has an inclined surface suction flow path 425 communicating with the inclined surface 422 of the peak. Is formed.

그리고, 이 첨두체가 기체부(410)로부터 돌출하도록 한 상상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(400)이 완성된다. 이로써, 기체부(410)와 선단부(420)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(410)의 가스 유로(411)와 선단부(420)의 경사면 흡출 유로(425)가 연통된다.Then, the peak body is mechanically fixed by, for example, soldering in a phase state such that the peak body protrudes from the base part 410, thereby completing the discharge electrode 400. Thereby, the base part 410 and the tip part 420 are electrically connected, and the gas flow path 411 of the base part 410 and the inclined surface suction flow path 425 of the tip part 420 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(400)의 기체부(410)에 가스를 공급하면, 가스 유로(411)를 통해 선단부(420)의 경사면 흡출 유로(425)로 가스가 도입되어 경사면(422)의 거의 전역, 특히 침형체(421)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(400)에서는, 부유하는 이물질이 침형체(421)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 침형체(421)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When gas is supplied to the gas part 410 of the discharge electrode 400, the gas is introduced into the inclined plane suction path 425 of the tip portion 420 through the gas flow path 411 to almost the entire area of the inclined plane 422. In particular, gas is inject | poured in the whole region around the needle body 421. FIG. In such a discharge electrode 400, when the floating foreign matter approaches the needle body 421, it is blown away by the injected gas, and there is a significant concern that the foreign matter may adhere to the entire surface of the needle body 421. It is reduced quickly.

이와 같이 가스를 공급하면서 직류 또는 교류의 고전압을 인가하면, 첨두체 중 특히 침형체에서 코로나 방전에 의해 이온이 생성되고, 또한 가스 분사에 의해 먼 곳으로 이온이 분사되어 피제전물에 도달한다.When a high voltage of direct current or alternating current is applied while supplying gas as described above, ions are generated by corona discharge in the acicular body, particularly in the acicular body, and ions are injected to a distant object by gas injection.

그리고, 본 형태에서는 기체부나 선단부의 관체가, 원관체인 것으로 하여 설명하였으나, 원관체에 한정되는 것은 아니고 다각형 구멍을 가지는 관체, 관체와 그 외주면에 다른 입체(고정용의 돌출체 등)가 일체로 된 형상 등을 채용해도 된다.In this embodiment, the tubular body of the base portion and the tip portion is described as being a tubular body. However, the tubular body is not limited to the tubular body, but a tubular body having a polygonal hole, a tubular body and another three-dimensional body (fixing protrusion, etc.) are integrally formed on the outer circumferential surface thereof. You may employ | adopt the shape etc. which were made.

이와 같은 방전 전극(400)에 의하면 가스 분사에 의해 첨두체의 경사면(422), 특히 침형체(421)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.According to the discharge electrode 400, foreign matter does not adhere to the inclined surface 422 of the peak body, particularly the needle body 421, by gas injection, and thus the discharge characteristics can be maintained. Further, since the generated ions are sent away from the discharge electrode by the gas injection downward, the ions reliably reach the object to be transferred.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 6은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 6 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 6 (b)는 방전 전극의 평면도이다. 도 7은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 7 (a)는 선단부의 사시외관도, 도 7 (b)는 침형체의 지지부의 설명도, 도 7 (c)는 접속부의 설명도, 도 7 (d)는 접속부의 설명도, 도 7 (e)는 선단부의 단면도이다. 방전 전극(500)은, 기체부(510), 선단부(520)를 구비하고 있다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. 6 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 6A is a perspective external view of the discharge electrode, and FIG. 6B is a plan view of the discharge electrode. FIG. 7 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 7A is a perspective external view of the distal end portion, FIG. 7B is an explanatory view of the support portion of the needle body, and FIG. 7 (d) is an explanatory view of the connecting portion, and FIG. 7 (e) is a sectional view of the distal end portion. The discharge electrode 500 includes a base portion 510 and a tip portion 520.

기체부(510)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(511)를 가진다. 이 가스 유로(511)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(510)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(511)로 된다.The base portion 510 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 511 therein. Gas flows through this gas flow path 511. In this embodiment, the gas part 510 is formed as a cylindrical body, and the hollow inside of the pipe becomes the gas flow passage 511.

선단부(520)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(521)와 그 주위에 반경이 상이한 복수개의 직선 중공 관체(523)를 지지부(524)에 의해 납땜이나 은땜 등 에 의해 고정하여 침체(521)의 선단과 직선 중공 관체(523)의 단부가 경사면(522) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(522)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(522)에는 기체부(510)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(521)는, 직선 중공 관체(523)로부터 돌출된 구성으로 된다. 여기서 보다 구체적으로는, 도 7 (a)에 나타낸 바와 같이, 직경이 상이한 직선 중공 관체(대)(523a), 직선 중공 관체(중)(523b), 직선 중공 관체(소)(523c)라는 3개의 원관체에 의해 형성하면 된다. 또한, 지지부(524)로서 도 7 (b)에 나타낸 바와 같이 침형체(521)로부터 돌출하는 돌기로 하고, 직선 중공 관체(523)의 내부에 형성되는 홈부(523a)에 한쪽으로부터 삽입되어, 도 7 (c),(d)에 나타낸 바와 같이 회전이나 슬라이드 이동할 수 없도록 한 상태로 하고, 납땜이나 은땜 등에 의해 견고하게 고정하는 접속부를 형성하도록 하면 된다. 또한, 침형체(521)와 직선 중공 관체(523)의 간극 공간 및 인접하는 2개의 직선 중공 관체(523)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(525)가 형성된다. 본 형태에서는 직선 중공 관체(523)와 기체부(510)의 간극 공간도 포함된다. 방전 전극(500)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(520)는, 도 6 (a),(b)나 도 7 (a),(e)에 나타낸 바와 같이 간극 공간이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(522)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(525)가 내부에 형성된다.The tip portion 520 fixes the needle-shaped body 521 formed by the electrical conductor and a plurality of straight hollow tube bodies 523 having different radii around the supporter 524 by soldering, silver soldering or the like, and the recessed body 521. ) And the end of the straight hollow tubular body 523 are formed as if they are in the inclined surface 522, which is seen as a peak having such an inclined surface 522. The inclined surface 522 also includes an end of the base portion 510. In this case, the needle body 521 is configured to protrude from the straight hollow tube body 523. More specifically, as shown in Fig. 7 (a), three of a straight hollow tube (large) 523a, a straight hollow tube (middle) 523b, and a straight hollow tube (small) 523c having different diameters are shown. What is necessary is just to form with three cylindrical bodies. Moreover, as the support part 524, as shown in FIG.7 (b), it is set as the protrusion which protrudes from the needle body 521, and it is inserted in the groove part 523a formed in the inside of the linear hollow tube 523 from one side, and FIG. As shown in 7 (c) and (d), a state in which rotation or slide cannot be prevented and a connection portion securely fixed by soldering, silver soldering, or the like may be provided. Further, the inclined plane suction flow path 525 is formed by the gap space between the needle body 521 and the straight hollow tube body 523 and the gap space between two adjacent straight hollow tube bodies 523. In this embodiment, the clearance gap between the straight hollow tube body 523 and the base part 510 is also included. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 500, it can be used as an electrode. The tip portion 520 thus formed has an inclined surface formed with a gap space as shown in FIGS. 6 (a), (b), 7 (a), and (e) and communicating with the inclined surface 522 of the peak. A suction flow path 525 is formed therein.

그리고, 이 첨두체가 기체부(510)로부터 돌출하도록 한 상상태로, 예를 들면, 납땜에 의해 기계적으로 고정되어 방전 전극(500)이 완성된다. 이로써, 기체 부(510)와 선단부(520)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(510)의 가스 유로(511)와 선단부(520)의 경사면 흡출 유로(525)가 연통된다.Then, the peak body is mechanically fixed by, for example, soldering in a phase state such that the peak body protrudes from the base portion 510, thereby completing the discharge electrode 500. As a result, the gas portion 510 and the tip portion 520 are electrically connected to each other, and the gas flow passage 511 of the gas portion 510 and the inclined surface suction flow passage 525 of the tip portion 520 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(500)의 기체부(510)에 가스를 공급하면, 가스 유로(511)를 통해 선단부(520)의 경사면 흡출 유로(525)로 가스가 도입되어 경사면(522)의 거의 전역, 특히 침형체(521)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(500)에서는, 부유하는 이물질이 경사면(522)이나 침형체(521)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 경사면(522)이나 침형체(521)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When the gas is supplied to the gas unit 510 of the discharge electrode 500, the gas is introduced into the inclined plane suction path 525 of the tip portion 520 through the gas flow path 511 to almost the entire area of the inclined plane 522. In particular, gas is inject | poured in the whole area | region around the needle body 521. FIG. In such a discharge electrode 500, when the floating foreign matter approaches the inclined surface 522 or the needle-shaped body 521, it is blown away by the injected gas, so that the entirety of the inclined surface 522 or the needle-shaped body 521 is completely removed. The possibility of foreign matter adhering to the cotton is significantly reduced.

이와 같은 방전 전극(500)에 의하면 가스 분사에 의해 특히 첨두체의 경사면(522), 특히 침형체(521)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다. 또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.According to the discharge electrode 500, foreign matter does not adhere to the inclined surface 522 of the apex, in particular, the needle body 521, by gas injection, and thus the discharge characteristics can be maintained. Further, since the generated ions are sent away from the discharge electrode by the gas injection downward, the ions reliably reach the object to be transferred.

이어서, 본 형태에 의한 방전 전극에 있어서의 효과에 대하여 실험을 행하였으므로 설명한다. 도 8은 방전 전극에 있어서의 이물질의 부착 상태를 설명하는 사진이며, 도 8 (a)는 종래 방식의 방전 전극의 사진, 도 8 (b)는 본 발명의 방전 전극의 사용 초기의 사진, 도 8 (c)는 본 발명의 방전 전극의 소정 기간 경과 후의 사진이다. 도 8 (b),(c)는, 도 7 (e)에 나타낸 방전 전극(500)의 침형체(521)의 선단이며, 도 7 (e)의 A부에 나타낸 개소이다. 종래 방식의 방전 전극에서는 소정 기간 경과 후에 도 8 (a)에 나타낸 바와 같이 이물질(실록산)이 부착되지만, 본 발명의 방식에서는 도 8 (b)의 사용의 초기로부터 도 8 (c)의 소정 기간 경과 후까지 경과한 후에도 초기와 변함없이, 이물질이 부착되지 않은 것이 확인되었다.Next, since the experiment was performed about the effect in the discharge electrode by this aspect, it demonstrates. Fig. 8 is a photograph illustrating the adhesion state of foreign matter on the discharge electrode, Fig. 8 (a) is a photograph of a discharge electrode of the conventional method, and Fig. 8 (b) is a photograph of the initial use of the discharge electrode of the present invention. 8 (c) is a photograph after a predetermined period of time of the discharge electrode of the present invention. (B) and (c) are the front-end | tip of the needle body 521 of the discharge electrode 500 shown in FIG.7 (e), and it is a location shown to the A part of FIG.7 (e). In the conventional discharge electrode, foreign matter (siloxane) adheres as shown in Fig. 8 (a) after a predetermined period has elapsed. It was confirmed that the foreign matter did not adhere even after the passage even after the passage of time.

이어서, 본 발명의 다른 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 9는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 9 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 9 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 9 (c)는 선단부의 측단면도이다. 방전 전극(600)은, 기체부(610), 선단부(620)를 구비하고 있다.Next, another form of this invention is demonstrated with reference to drawings. Fig. 9 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, Fig. 9A is a perspective external view of the discharge electrode, Fig. 9B is a plan view of the discharge electrode, and Fig. 9C is a side cross-sectional view of the distal end portion. The discharge electrode 600 includes a base 610 and a tip 620.

기체부(610)는, 전기적인 도체로 형성되어 있고, 또한 그 내부에 가스 유로(611)를 가진다. 이 가스 유로(611)에는 가스가 통류한다. 본 형태에서는 기체부(610)는 원관체로서 형성되어 있고, 관내의 중공 내부가 가스 유로(611)로 된다.The base unit 610 is formed of an electrical conductor and has a gas flow passage 611 therein. Gas flows through this gas flow path 611. In this embodiment, the gas part 610 is formed as a cylindrical body, and the hollow inside of the pipe becomes the gas flow path 611.

선단부(620)는, 전기적인 도체에 의해 형성된 침형체(621)를, 동일하게 전기적인 도체에 의해 형성된 지지부(623)에 의해 납땜이나 은땜 등에 의해 고정하여 침형체(621)의 선단이 경사면(622) 내에 있는 것처럼 형성되어 있고, 이와 같은 경사면(622)을 가지는 첨두체로 보여진다. 이 경사면(622)에는 기체부(610)의 단부도 포함하도록 한다. 이 경우 침형체(621)는, 기체부(610)로부터 돌출된 구성으로 된다. 침형체(621)와 기체부(610)의 간극 공간에 의해 경사면 흡출 유로(624)가 형성된다. 방전 전극(600)의 방전시의 온도보다 융점이 높은 납땜을 선택함으로써, 전극으로서 사용할 수 있게 된다. 이같이 하여 형성된 선단부(620)는, 도 9 (a),(b),(c)에 나타낸 바와 같이 간극이 형성되고, 이 첨두체의 경사면(622)까지 연통되는 경사면 흡출 유로(624)가 내부에 형성된다. 또한, 기체부(610)와 선단부(620)가 전기적으로 접속되는 동시에 기체부(610)의 가스 유로(611)와 선단부(620)의 경사면 흡출 유로(624)가 연통된다.The tip portion 620 is fixed to the needle body 621 formed of the electrical conductor by soldering, silver soldering or the like by the supporting portion 623 formed of the electric conductor in the same manner, and the tip of the needle body 621 is inclined surface ( It is formed as in 622 and is seen as a peak having such an inclined surface 622. The inclined surface 622 also includes the end of the base 610. In this case, the needle body 621 is configured to protrude from the base 610. An inclined plane suction flow path 624 is formed by the gap space between the needle body 621 and the base 610. By selecting solder having a higher melting point than the temperature at the time of discharge of the discharge electrode 600, it can be used as an electrode. The tip end portion 620 thus formed has a gap as shown in Figs. 9A, 9B and 9C, and has an inclined surface suction flow path 624 communicating with the inclined surface 622 of the peak. Is formed. In addition, the base 610 and the tip 620 are electrically connected to each other, and the gas flow path 611 of the base 610 and the inclined surface suction flow path 624 of the tip 620 communicate with each other.

이와 같은 방전 전극(600)의 기체부(610)에 가스를 공급하면, 가스 유로(611)를 통해 선단부(620)의 경사면 흡출 유로(624)로 가스가 도입되어 경사면(622)의 거의 전역, 특히 침형체(621)의 주위의 전역에서 가스가 분사된 상태로 된다. 이와 같은 방전 전극(600)에서는, 부유하는 이물질이 침형체(621)에 가까와지면 분사되는 가스에 의해 먼 곳으로 날아가 버리게 되어, 침형체(621)의 전체면에 있어서 이물질이 부착될 우려를 현저하게 저감하고 있다.When gas is supplied to the gas part 610 of the discharge electrode 600, the gas is introduced into the inclined plane suction path 624 of the tip portion 620 through the gas flow path 611 to almost the entire area of the inclined plane 622. In particular, gas is inject | poured in the whole area | region around the needle body 621. FIG. In such a discharge electrode 600, when the floating foreign matter approaches the needle-like body 621, it is blown away by the injected gas, and there is a significant concern that the foreign matter may adhere to the entire surface of the needle-like body 621. It is reduced quickly.

이와 같은 방전 전극(600)에 의하면 가스 분사에 의해 첨두체의 경사면, 특히 침형체(621)에 이물질이 부착되지 않게 되어, 방전 특성의 유지가 가능하게 된다.According to such a discharge electrode 600, foreign matter does not adhere to the inclined surface of the peak body, especially the needle body 621, by gas injection, and thus the discharge characteristics can be maintained.

또한, 생성된 이온을 아래쪽으로의 가스 분사에 의해 방전 전극으로부터 먼 곳으로 보내므로, 이온이 피제전물에 확실하게 도달한다.Further, since the generated ions are sent away from the discharge electrode by the gas injection downward, the ions reliably reach the object to be transferred.

이상 설명한 각 형태의 방전 전극은, 이물질이 부착되지 않도록 했기 때문에, 양호한 방전 특성의 유지를 도모하고, 또한 이물질이 피제전물에 분사되지 않도록 하여, 피제전물의 제전만을 확실하게 행하도록 할 수 있다.Since the discharge electrodes of the above-described forms prevent foreign matters from adhering to each other, it is possible to maintain good discharge characteristics and to prevent foreign matters from being injected into the object to be charged, so that only the object of the object to be discharged can be reliably performed. .

도 1은 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 1 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 1 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 1 (c)는 선단부의 일부 확대도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an explanatory view of a discharge electrode of the best mode for carrying out the present invention. Fig. 1 (a) is a perspective view of the discharge electrode, Fig. 1 (b) is a plan view of the discharge electrode, and Fig. 1 (c) is Partial enlarged view of the tip.

도 2는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 2 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 2 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 2 (c)는 선단부의 확대도, 도 2 (d)는 다른 선단부의 평면 확대도이다.FIG. 2 is an explanatory view of another type of discharge electrode, FIG. 2A is a perspective view of the discharge electrode, FIG. 2B is a plan view of the discharge electrode, FIG. 2C is an enlarged view of the distal end portion, and FIG. (d) is the enlarged plan view of another tip part.

도 3은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 3 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 3 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 3 (c)는 선단부의 평면 확대도, 도 3 (d)는 선단부의 측단면도이다.FIG. 3 is an explanatory view of another type of discharge electrode, FIG. 3A is a perspective view of the discharge electrode, FIG. 3B is a plan view of the discharge electrode, and FIG. 3 (d) is a sectional side view of the tip.

도 4는 선단부의 설명도로서, 도 4 (a)는 제조 전의 선단부의 평면도, 도 4 (b)는 제조 전의 선단부의 정면도, 도 4 (c)는 제조 전의 다른 선단부의 정면도이다.4: is explanatory drawing of a front end part, FIG. 4 (a) is a top view of the front end part before manufacture, FIG. 4 (b) is a front view of the front end part before manufacture, and FIG. 4 (c) is a front view of the other front end part before manufacture.

도 5는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 5 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 5 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 5 (c)는 선단부의 측단면도이다.FIG. 5 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 5A is a perspective external view of the discharge electrode, FIG. 5B is a plan view of the discharge electrode, and FIG. 5C is a side cross-sectional view of the distal end portion.

도 6은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 6 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 6 (b)는 방전 전극의 평면도이다.6 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 6A is a perspective external view of the discharge electrode, and FIG. 6B is a plan view of the discharge electrode.

도 7은 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 7 (a)는 선단부의 사시외관도, 도 7 (b)는 침형체의 지지부의 설명도, 도 7 (c)는 접속부의 설명도, 도 7 (d)는 접속부의 설명도, 도 7 (e)는 선단부의 단면도이다.FIG. 7 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, FIG. 7A is a perspective external view of the distal end portion, FIG. 7B is an explanatory view of the support portion of the needle body, and FIG. 7 (d) is an explanatory view of the connecting portion, and FIG. 7 (e) is a sectional view of the distal end portion.

도 8은 방전 전극에 있어서의 이물질의 부착 상태를 설명하는 사진으로서, 도 8 (a)는 종래 방식의 방전 전극의 사진, 도 8 (b)는 본 발명의 방전 전극의 사용 초기의 사진, 도 8 (c)는 본 발명의 방전 전극의 소정 기간 경과 후의 사진이다.Fig. 8 is a photograph illustrating the adhesion state of foreign matter on the discharge electrode, Fig. 8 (a) is a photograph of a conventional discharge electrode, and Fig. 8 (b) is a photograph of an initial use of the discharge electrode of the present invention. 8 (c) is a photograph after a predetermined period of time of the discharge electrode of the present invention.

도 9는 다른 형태의 방전 전극의 설명도로서, 도 9 (a)는 방전 전극의 사시외관도, 도 9 (b)는 방전 전극의 평면도, 도 9 (c)는 선단부의 측단면도이다.Fig. 9 is an explanatory view of another embodiment of the discharge electrode, Fig. 9A is a perspective external view of the discharge electrode, Fig. 9B is a plan view of the discharge electrode, and Fig. 9C is a side cross-sectional view of the distal end portion.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

(100): 방전 전극100: discharge electrode

(110): 기체부110: gas part

(111): 가스 유로111: gas flow path

(120): 선단부(120): tip

(121): 첨두체(121): peak

(121a): 경사면(121a): slope

(122): 소물체(122): Object

(123): 경사면 흡출 유로(간극)(123): slope intake passage (gap)

(200): 방전 전극200: discharge electrode

(210): 기체부(210): gas part

(211): 가스 유로211: gas flow path

(220): 선단부(220): tip

(221): 첨두체(221): peak

(221a): 경사면(221a): slope

(222): 직선 중실 환봉체(환봉)(222): straight solid round bar (round bar)

(223): 경사면 흡출 유로(간극)(223): inclined plane suction flow path (gap)

(224): 직선 중공 원관체(원관)(224): straight hollow cylindrical tube (circular tube)

(225): 경사면 흡출 유로(간극, 관내 공간)(225): slope intake passage (gap, space in the tube)

(300): 방전 전극300: discharge electrode

(310): 기체부(310): gas part

(311): 가스 유로311: gas flow path

(320): 선단부(320): tip

(321): 첨두체(321): peak

(321a): 경사면(321a): slope

(322): 시트체(322): sheet body

(322a): 경사부(322a): slope

(323): 철부(323): iron

(324): 경사면 흡출 유로(간극)(324): slope intake passage (gap)

(325): 축부(325): shaft

(400): 방전 전극400: discharge electrode

(410): 기체부410: gas part

(411): 가스 유로411: gas flow path

(420): 선단부(420): tip

(421): 침형체(421): needle body

(422): 경사면(422): slope

(423): 직선 중공 관체(423): straight hollow tube

(424): 지지부(424): support

(425): 경사면 흡출 유로(간극 공간)(425): slope intake passage (gap space)

(500): 방전 전극500: discharge electrode

(510): 기체부510: gas part

(511): 가스 유로511: gas flow path

(520): 선단부(520): tip

(521): 침형체(521): needle body

(522): 경사면(522): slope

(523): 직선 중공 관체(523): straight hollow tube

(523a): 직선 중공 관체(대)(523a): straight hollow tube (large)

(523b): 직선 중공 관체(중)(523b): straight hollow tube (medium)

(523c): 직선 중공 관체(소)(523c): straight hollow tube (small)

(524): 지지부(돌기)(524): support (protrusion)

(525): 경사면 흡출 유로(간극 공간)(525): slope intake passage (gap space)

(600): 방전 전극600: discharge electrode

(610): 기체부610: gas part

(611): 가스 유로611: gas flow path

(620): 선단부(620): tip

(621): 침형체(621): needle body

(622): 경사면(622): slope

(623): 지지부(623): support

(624): 경사면 흡출 유로(간극 공간)(624): slope suction channel (gap space)

Claims

A gas part formed of an electrical conductor and having a gas flow path therein;

A tip portion formed in the form of an electrical conductor and having an inclined plane suction flow path therein, part of which is a peak body and communicates with the inclined plane of the peak body.

And

And the tip portion is mechanically fixed to the base part in a state where the peak body protrudes from the base part, electrically connected to the base part, and a gas flow path of the gas part and an inclined surface suction flow path communicate with each other.

The method of claim 1,

The distal end portion is formed with a shape in which a plurality of small objects formed by an electrical conductor are fixed and includes a peak body, and a discharge electrode in which an inclined plane suction flow path is formed by a gap between the plurality of small objects. .

The method of claim 1,

The tip portion has a shape in which a plurality of straight solid rods formed by electrical conductors are fixed and includes a peak body, and an inclined plane suction flow path is formed by a gap between the plurality of straight solid rods. Discharge electrode.

The method of claim 1,

The tip portion has a shape in which a plurality of straight hollow tubular bodies formed by electrical conductors are fixed to include a peak body, and the inclined surface is formed by the gap between the plurality of straight hollow tubular bodies and the space in the tube. A discharge electrode in which a suction passage is formed.

The method of claim 1,

The tip portion is an electrical conductor having flexibility and is formed in a shape including a peak body by spirally winding a sheet body in which a plurality of convex portions are formed on the surface thereof. An inclined plane suction passage is formed by the gap space between the two sheet bodies and the convex portions.

The method of claim 1,

The tip portion is formed in a shape including a peak body by fixing one straight hollow tube around the needle body formed by the electrical conductor, and an inclined plane suction passage is formed by the gap space between the needle body and the straight hollow tube. , Discharge electrode.

The method of claim 1,

The tip portion is formed in a shape including a peak by fixing a plurality of straight hollow tubes having different radii around the needle body formed by the electrical conductor so as to have a multi-cylinder shape, and a space between the needle body and the straight hollow tube body. The discharge electrode in which the inclined surface suction flow path is formed.

The method of claim 1,

And the tip portion is formed in a shape including a peak body by fixing a needle body formed by an electrical conductor to the body part, and an inclined surface suction passage is formed by a gap space between the needle body and the body part.

The method according to any one of claims 1 to 8,

The tip of the tip portion is a discharge electrode, characterized in that the polygonal cone or cone.