JP2010133848A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010133848A JP2010133848A JP2008310869A JP2008310869A JP2010133848A JP 2010133848 A JP2010133848 A JP 2010133848A JP 2008310869 A JP2008310869 A JP 2008310869A JP 2008310869 A JP2008310869 A JP 2008310869A JP 2010133848 A JP2010133848 A JP 2010133848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- measured
- measurement
- surface shape
- shape measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 72
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 15
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 表面形状測定装置1が、測定時にワークWが載置される測定用テーブル2と、ワークが仮置きされる仮置き用テーブル4と、仮置き用テーブル上のワークを測定用テーブル上の所定位置まで搬送する搬送機構5とを備え、搬送機構は、ワークを支持する一対の支持アーム15と、ワークと係合することにより、当該ワークと支持アームとの水平方向の相対位置を定めるガイドパネル16とを有する構成とする。
【選択図】図8
Description
2 測定用テーブル
3 センサ
4 仮置き用テーブル
5 ワーク搬送機構
10 高さ測定装置
11 ガイドバー
12 スライダ
15 支持アーム
16 ガイドパネル
25 フリーボールベアリング
31 シャフト
32 支持ベース
33 エアパッド
35 板バネユニット
36 板バネ
50 支持孔
51 シャフトハウジング
53 固定部材
54 軸受
55 軸受
56 プーリベアリング
57 プーリ
61 オルダム機構
62 前後ガイドキー
63 上部スライダ
64 左右ガイドキー
65 下部スライダ
66 センタプレート
81 テーパブロック
81a 傾斜面
82 昇降体
84 ネジ軸
86 ナット
87 軸受ユニット
88 カップリング
93 減速機
94 操作ノブ
101 本体(昇降体)
102 球状部材
103 ローラ
111 サイドガイドプレート
112 センタガイドプレート
113 固定具
117 操作ハンドル
120 昇降装置
123 支持ブロック
125 ボールネジ
126 移動台
131 前後スライダ
132 ベースプレート
133 前後ガイドレール
134 上下ガイドレール
135 上下スライダ
141〜144 分割片
151 サブガイドバー
152 サブスライダ
H ハーネス
W ワーク
Claims (4)
- 測定時に被測定物が載置される測定用テーブルと、
前記被測定物が仮置きされる仮置き用テーブルと、
前記仮置き用テーブル上の前記被測定物を前記測定用テーブル上の所定位置まで搬送する搬送機構と
を備え、
前記搬送機構は、
前記被測定物を支持する一対の支持アームと、
前記被測定物と係合することにより、当該被測定物と前記支持アームとの水平方向の相対位置を定めるガイド手段と
を有することを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記ガイド手段は、前記各支持アームに対して着脱自在に設けられるとともに、大きさの異なる複数の前記被測定物にそれぞれ係合可能な係合部材を有することを特徴とする、請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記係合部材は、複数の対をなす分割片からなり、
前記対をなす分割片の各々は、大きさの異なる複数の前記被測定物の側面にそれぞれ当接することにより、前記被測定物と前記支持アームとの水平方向の相対位置を定めることを特徴とする、請求項2に記載の表面形状測定装置。 - 前記仮置き用テーブルは、前記被測定物を摺動自在に支持する摺動支持手段を有することを特徴とする、請求項1から請求項3に記載の表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310869A JP5159587B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310869A JP5159587B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 表面形状測定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010133848A true JP2010133848A (ja) | 2010-06-17 |
JP2010133848A5 JP2010133848A5 (ja) | 2011-09-22 |
JP5159587B2 JP5159587B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=42345280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008310869A Active JP5159587B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5159587B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6080708A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Caterpillar Mitsubishi Ltd | 3次元測定機に対する被測定物搬入出装置 |
JPS62163717U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | ||
JPH09210660A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 撮像式検査装置 |
-
2008
- 2008-12-05 JP JP2008310869A patent/JP5159587B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6080708A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Caterpillar Mitsubishi Ltd | 3次元測定機に対する被測定物搬入出装置 |
JPS62163717U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | ||
JPH09210660A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 撮像式検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5159587B2 (ja) | 2013-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5205237B2 (ja) | 被測定物の高さ調整装置及びこれを備えた表面形状測定装置 | |
JP2010133847A5 (ja) | ||
TWI715566B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP5788304B2 (ja) | 研削装置 | |
JP4185071B2 (ja) | ガントリー装置{gantryapparatus} | |
KR20150042708A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US11180853B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP5426151B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
CN105990174B (zh) | 半导体晶圆的测量装置及方法 | |
JP2010132422A5 (ja) | ||
KR101433854B1 (ko) | 연주기 세그먼트 롤 베어링 틈새 검사장치 | |
JP5159587B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
KR200408111Y1 (ko) | 롤 표면 자동 탐상장치 | |
JPH0825088A (ja) | 溶接ロボット用ポジショナ傾動装置 | |
JP4417130B2 (ja) | ガラス基板の垂直保持装置 | |
JP2010133848A5 (ja) | ||
JP3349923B2 (ja) | 円筒形ワークの外形検査・矯正設備 | |
JP2004011892A (ja) | ギアユニットのエンドプレー測定方法及び測定装置 | |
JPH116704A (ja) | 円筒形ワークの外形検査装置 | |
KR20150062778A (ko) | 파이프 제품 가공장치 | |
CN207372829U (zh) | 一种管件的校正器 | |
JP3387778B2 (ja) | 円筒形ワークの外形検査用接触式センサ | |
JP2007222986A (ja) | 研削装置 | |
KR20200067752A (ko) | 크리프 피드 연삭 방법 | |
KR100479556B1 (ko) | 타이어 x선 검사의 타이어 정위치 조절장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110808 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110808 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110808 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5159587 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |