JP2010129890A - ボンディングヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザLによって加熱されるボンディングツール5は、石英からなるツール基材15に、吸収層17、金属層18を設けて構成されている。吸収層17はツール基材15を透過したレーザLによって加熱される。吸収層17の下層には金属層18が設けられており、この金属層18により吸収層17の熱が拡散される。これにより、レーザLを直接照射することなく、レーザLにより半導体チップを加熱することができる。
【選択図】図2
Description
このように、加熱にレーザを利用したボンディングヘッドとしては、石英ガラスからからなるボンディングツール(保持加圧ツール)により半導体チップを吸着保持し、このボンディングツールを透過させて保持した半導体チップにレーザを直接照射することで、半導体チップを加圧しながら加熱して基板に接合させるようにしたものが公知である(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に開示されるような、半導体チップにレーザを直接照射して加熱する方式の場合では、半導体チップによっては、レーザが透過して内部回路にダメージを与えたり、半導体チップを透過したレーザが基板を不必要に加熱して熱変形させるおそれがあった。
これに対し、レーザにより加熱される媒体を介して、間接的に加熱するよう構成したものも知られている (特許文献2、3参照)。
特許文献2に開示される構成では、セラミック板からなるボンディングツール(加圧ツール)にレーザを照射して加熱し、これを半導体チップに当接させて加熱するようになっている。また、特許文献3には、ボンディングツールの圧着面にレーザ吸収膜を設けて、レーザを吸収膜に集光させて加熱し、吸収膜から直接伝熱するようにしたワイヤボンディングツールの構成が開示されている。
これらの構成によれば、レーザを直接照射させることなく、レーザにより間接的な加熱が可能となる。
また、特許文献1によるボンディングツールに特許文献2によるレーザ吸収膜をを設け、吸収膜を介して半導体チップを加熱するよう構成したところ、吸収膜の一部にレーザが集中して、その部分の吸収膜が熱により損失してしまうという事態が生じた。これを防ぐためにレーザの出力を低下させると、半導体チップを十分に加熱することができなかった。
上記ボンディングツールは、レーザを透過するツール基材に、レーザを吸収して加熱される吸収層と、この吸収層の熱を拡散させる金属層とを設けて構成したものである。
このようにしてボンディング作業が終了したら制御装置50からの指令により、負圧源10による吸引孔口6Bからの吸引が停止されるので、ボンディングツール5による半導体チップ3の保持状態が解除され、その後、昇降加圧機構8によりボンディングヘッド6が上昇され、次回のボンディングに移行するようになっている。
ボンディングヘッド6によって、上述したようにして基板2に半導体チップ3が接合されるようになっており、本発明においては、上記ボンディングヘッド6のボンディングツール5を、以下のように、レーザLを透過するツール基材15に、レーザLを吸収して加熱される吸収層17と、この吸収層17の熱を拡散させる金属層18とを設けて構成したことを特徴としている。
上記レーザ発振器7から出射されたレーザLは、ホモジナイザー11により強度分布が均等化されてからレンズ12を透過して、照射面5Cを構成するツール基材15の上面15Dに照射され、さらに、このツール基材15を透過したレーザLが、出力のピークが一部分に集中することなく強度分布が均等化されて、吸収層17に照射されるようになっている。
これに加えて、上記ツール基材15の上面15Dは、梨地処理が施されてすりガラスとして構成されており、ツール基材15に対して照射されたレーザLが、一部分に集中せず、拡散されて通過するようになっている。このようなツール基材15の上面15Dによっても、均等化手段が構成されている。本実施例においては、膨出部15Aが形成された部分のツール基材15の厚さは、蓄熱を防ぐためできるだけ薄くすることが望ましいが、接合時の押圧力に耐え得るよう約3mmに設定されている。
吸収層17は、予め貫通孔15Cが穿設されたツール基材15に対して、プラズマCVD法等によりDLC(ダイアモンドライクカーボン)を成膜して設けられ、ツール基材15および密着層16を透過したレーザLを吸収して加熱されるようになっている。吸収層17としては、DLCの他、酸化鉄や酸化アルミニウム等レーザLを反射せず吸収し易い材質、材料により構成することができる。
吸収層17の膜厚は、厚くなると吸収層17自体の昇温および降温時間や半導体チップ3への伝熱時間が長くなるため、薄く形成することが望ましく5μm以下に成膜するが、薄過ぎるとレーザLが透過して加熱されず、機械的強度も低下して剥がれやすくなることから、3〜0.5μm程度に成膜することが好ましい。なお、使用する半導体レーザが赤外線の場合は、紫外線の場合よりも波長が長く比較的透過しやすくなるため、膜厚の下限を1μm程度とするが、紫外線の場合は波長が短く透過しにくいため、0.5μm程度まで薄くすることができる。
レーザLを吸収して加熱される吸収層17において、一部分に熱が集中して吸収層17が損失されることを防ぐために、吸収層17の下層に熱拡散層として金属層18を設けている。この金属層18は熱伝導率の高い銅やアルミニウムを、スパッタ法によって吸収層17の表面全域を覆って直に成膜して設けられ、出力のピークが中央部分に集中するレーザLを吸収して加熱された吸収層17の熱を、金属層18の全域に瞬時に伝熱して拡散させ、吸収層17の一部分に熱が集中することを防止している。このような金属層18の厚さは、薄いと熱が広く拡散せずに半導体チップ3に伝熱してしまうため、厚く設けることが望ましいが、成膜に時間を要するため2〜5μm程度としている。
金属層18の下層には、保護層19が設けられている。この保護層19は、金属層18の他、各層を保護する目的で膨出部15Aの下面からその周囲を覆って設けられている。このような保護層19としては、DLC(ダイアモンドライクカーボン)を0.5μm程度の厚さで成膜して設けており、その金属層18を覆う下方を向いた表面は、吸引孔5Aが開口した吸着面5Bとして構成されている。
金属層18は吸収層17から伝わった熱を拡散させて全体的に加熱され、その熱は保護層19を介して、吸着面5Bに吸着保持された半導体チップ3に伝熱され、半導体チップ3を加熱する。これと同時に、ボンディングヘッド6は昇降加圧機構8により下降され、半導体チップ3を基板2に当接させた状態で下方へ加圧される。半導体チップ3は、吸収層17が加熱されたボンディングツール5により、加熱されながら押圧されて基板2に熱圧着により接合(ボンディング)される。
この第2実施例においては、上記金属層18に代えて、異なる材質からなる2種類の第1金属層23Aおよび第2金属層23Bを設け、これら二層の金属層により熱電対23を構成し、加熱されるボンディングツール5の温度を検出できるようにしている。これら第1金属層23Aおよび第2金属層23Bは、上記第1実施例の金属層18と同様に熱拡散層としての機能を有しており、このような第2実施例においても、温度検出に関わる構成以外は、上記第1実施例と同様に構成されている。
本実施例においては、熱電対23の+脚として構成される第1金属層23Aの材質としてクロメル(ニッケルおよびクロムを主とした合金)を採用しており、−脚として構成される第2金属層23Bの材質としてアルメル(ニッケルを主とした合金)を採用しているが、これら熱電対23を構成する+脚および−脚としての第1金属層23Aおよび第2金属層23Bの材質は、熱電対を構成する金属として広く一般に知られている、その他の材質を採用することができる。
上記+脚としての第1金属層23Aは、その一部がツール基材15の膨出部15Aからフランジ部15Bの下面にかけて引き出されており、ツール基材15を支持する支持手段を兼ねて、ボンディングヘッド6のハウジング6Aの下端に設けた+電極25Aに導通させている。また、上記−脚としての第2金属層23Bについても、その一部がツール基材15の膨出部15Aからフランジ部15Bの下面にかけて引き出されており、+電極25Aと同様にツール基材15を支持する支持手段を兼ねて、+電極25Aとは位置を異ならせてハウジング6Aの下端に設けた−電極25Bに導通させている。+電極25A、−電極25Bはそれぞれ、導線31A、31Bを介して制御装置50に備えられた計測器32に接続されており、計測器32で熱起電力が測定されてボンディングツール5の、より詳しくは、吸収層17の温度を検出できるようになっている。
これら二層の金属層は、吸収層17から伝わった熱を、それぞれ第1金属層23A、第2金属層23Bで拡散させて全体的に加熱され、その熱は保護層19を介して吸着面5Bに吸着保持された半導体チップ3に伝熱され、半導体チップ3を加熱する。
さらに、二層の金属層は熱電対23を構成しており、加熱された吸収層17の温度を検出することができ、制御装置50はレーザLの照射による加熱温度をモニタリングし、これをレーザ発振器7の制御にフィードバックし、また、異常加熱を監視して警報を出力することが可能となる。
なお、上記第2実施例においては、熱電対23を構成する第1金属層23A、第2金属層23Bからなる二層の金属層としたが、第1実施例の金属層18の下層に、これら熱電対23を構成する第1金属層23A、第2金属層23Bを設けて、3種類の金属からなる三層の金属層として、熱拡散層としての金属層と熱電対23を分けて設けるようにすることもできる。
また、第1実施例、第2実施例における各層の成膜法は、上述したものに限らず、その他の蒸着法等、公知の様々な方法を採用することができ、さらに、薄膜に限らず、メッキ、塗装、溶射等による厚膜や薄板、傾斜機能材料により設けることも可能である。
6‥ボンディングヘッド 15‥ツール基材
17‥吸収層 18‥金属層
19‥保護層
L‥レーザ
Claims (4)
- レーザを照射して加熱させたボンディングツールにより半導体チップを基板に接合するようにしたボンディングヘッドにおいて、
上記ボンディングツールは、レーザを透過するツール基材に、レーザを吸収して加熱される吸収層と、この吸収層の熱を拡散させる金属層とを設けて構成したことを特徴とするボンディングヘッド。 - 上記金属層が少なくとも2種類の金属層からなり、二層の金属層で熱電対を構成したことを特徴とする請求項1に記載のボンディングヘッド。
- 上記金属層を覆って上記半導体チップに当接する保護層を設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボンディングヘッド。
- 上記吸収層に照射されるレーザの光路上に、強度分布を均等化する均等化手段を設けたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のボンディングヘッド。
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