JP2010129348A - パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
フリットにより封止されたパッケージのレーザによる封止工程で多発していたクラックの発生を抑制した、信頼性の高いパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】
対向配置させた2枚の基体の間に封止された空間を有するパッケージを製造する方法であって、前記2枚の基体の間に、前記2枚の基体が重なる方向からみたときに、リング状の1部分が第1端と第2端とで途切れたパターンを形成するようにフリットを配置するフリット配置工程と、前記フリットをトレースするようにレーザを照射し、前記フリットを溶融させて前記2枚の基体を接合するレーザ照射工程と、前記フリットの前記パターンと合わせて閉空間を形成するように、前記フリットの前記第1端と前記第2端との間に封止部材を配置して、前記2枚の基体の間に封止された空間を形成する封止工程と、を含むものである。
【選択図】 図1
Description
基体1,2の間にフリット3を配置する。
このように第1基体1,第2基体2を、フリット3を介して積層した状態で、第2基体2を介してフリット3にレーザが照射されるようにレーザを走査する。レーザ照射によりフリット3を溶融した後固化することで、第1基体1と第2基体2とを接合する。
次に、フリット3の第1端3aと第2端3bとの間の未溶着部分に封止部材4を配置して基体1,2とフリット3,封止部材4で囲まれる封止空間を形成する。
レーザ照射工程の後、溶融したガラス部材からなる封止部材4を第1端3aと第2端3bとの微小な間隙をつなぐように流し込んで固化する。
外部から封止部材4を供給して、フリット3の第1端3aと第2端3bとの間に配置する。例えば、溶融したガラス部材を注入後固化することで封止部材4を配置してもよいし、有機樹脂からなる封止部材4を注入して配置してもよい。
2 第2基体
3 フリット
3a 第1端
3b 第2端
4 封止部材
Claims (3)
- 対向配置させた2枚の基体の間に封止された空間を有するパッケージを製造する方法であって、
前記2枚の基体の間に、前記2枚の基体が重なる方向からみたときに、リング状の1部分が第1端と第2端とで途切れたパターンを形成するようにフリットを配置するフリット配置工程と、
前記フリットをトレースするようにレーザを照射し、前記フリットを溶融させて前記2枚の基体を接合するレーザ照射工程と、
前記フリットの前記パターンと合わせて閉空間を形成するように、前記フリットの前記第1端と前記第2端との間に封止部材を配置して、前記2枚の基体の間に封止された空間を形成する封止工程と、を含むパッケージの製造方法。 - 前記封止工程において、前記封止部材としてガラス部材を用い、溶融させた前記ガラス部材を前記フリットの前記第1端と前記第2端との間に流し込んだ後に固化させる、請求項1に記載のパッケージの製造方法。
- 前記封止工程は、前記レーザ照射工程において前記第1端または前記第2端の前記フリットが溶融されてから固化される間に行なう、請求項2に記載のパッケージの製造方法。
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