JP2010118502A - 放熱構造 - Google Patents
放熱構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010118502A JP2010118502A JP2008290781A JP2008290781A JP2010118502A JP 2010118502 A JP2010118502 A JP 2010118502A JP 2008290781 A JP2008290781 A JP 2008290781A JP 2008290781 A JP2008290781 A JP 2008290781A JP 2010118502 A JP2010118502 A JP 2010118502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heat dissipation
- heat
- layer
- dissipation structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】絶縁性で接触熱抵抗を低減でき、発熱源表面に存在する微小な凹凸の隙間に、隙間なく侵入するようにして接触することが可能な放熱構造を提供する。
【解決手段】基板と、該基板の少なくとも一面の最表面に形成されたBNナノチューブ層を有することを特徴とする放熱構造。前記BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向している層であることが好ましい。また、前記BNナノチューブ層と基板面の間に、BN多孔質層が形成されていても良い。
【選択図】図1
【解決手段】基板と、該基板の少なくとも一面の最表面に形成されたBNナノチューブ層を有することを特徴とする放熱構造。前記BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向している層であることが好ましい。また、前記BNナノチューブ層と基板面の間に、BN多孔質層が形成されていても良い。
【選択図】図1
Description
本発明は、極めて放熱性が高い放熱構造に関する。
パーソナルコンピュータやモバイル電子機器の高機能化、高密度実装化に伴い、CPU、GPU、チップセット、メモリーチップ等の発熱源の単位面積あたりの発熱量が飛躍的に増大しており、放熱装置の高性能化が求められている。これは半導体素子は構成する材料固有の作動上限温度が定まっており、その温度以上では素子が破壊してしまうため、放熱が不十分な状態では著しく寿命低下をきたすためである。通常自然対流や電動送風装置を用いた強制対流を用いて放熱をはかるが、原理的に単位面積あたりの放熱量には冷却方式固有の上限があるため、大量の熱を放熱するためには、放熱する面積を拡大するヒートシンク、ヒートスプレッダーと称する放熱装置が一般には用いられている。
具体的には半導体素子(以降ダイと称す)の放熱面(一般に半導体素子はSi単結晶からなる基板の一面に薄膜からなる機能部分を作り込み、その反対面から放熱する)に比べ数〜数十倍の表面積を有する金属製(銅もしくはアルミニウムが一般的)放熱フィンにダイを接触させ発熱した熱をダイから放熱フィンへ移動させる。放熱フィンはダイに比べ充分大きな表面積を有するため、単位面積あたりの放熱量の上限以下でも半導体素子の発生する熱を空中へ放出することが可能となる。放熱フィンは通常熱伝導率の高いアルミや銅などの材料(場合によればダイヤモンドが採用されることもある)が使用されているが、ダイからこの放熱フィンへの熱の伝達が極めて重要である。
半導体素子の熱の放熱を理解するために、一般には熱の伝達を等価的に電気伝達と同じように考えると現象の理解が容易になることが知られている。熱の伝達を妨げる抵抗因子を電気伝導の場合の電気抵抗と同様熱抵抗という概念で説明が可能であり、放熱を評価するにはこの熱抵抗を評価すればよいことが知られている。
半導体素子を考えると、その素子の消費電力Q(W)に対し、ΔT(℃)の温度差が発熱源に生じる場合の熱抵抗θはΔT/Q(K/W)であらわされる。この数字が大きくなると所定の消費電力に対する温度差が大きくなるため好ましくない。半導体の放熱装置は熱抵抗を下げることが最大の狙いである。半導体放熱装置の場合の熱抵抗は半導体材料と放熱フィンとの熱伝導に対する抵抗成分とダイと放熱フィンとの間の熱移動に対する熱抵抗の和になる。半導体や放熱フィンはそれぞれ高い熱伝導率を有するため、その熱抵抗は小さいな数字となることからダイと放熱フィンとの間の熱抵抗を如何に下げるかが設計の鍵である。
放熱装置の一つとして簡易でかつ効果的な方法は、発熱源の表面に放熱シートや接着剤を貼り付けて熱抵抗を低下させる方法である。
このような放熱シートは、高い熱伝導率を持つことはもちろんであるが、発熱源表面に存在する微小な凹凸の隙間に、隙間なく入り込むことにより接触熱抵抗を低くすることが必要とされる。隙間が空いた場合は、そこに熱伝導率の極めて低い空気が介在するために、発熱源との間の接触熱抵抗が大きくなってしまう。
このような放熱シートは、高い熱伝導率を持つことはもちろんであるが、発熱源表面に存在する微小な凹凸の隙間に、隙間なく入り込むことにより接触熱抵抗を低くすることが必要とされる。隙間が空いた場合は、そこに熱伝導率の極めて低い空気が介在するために、発熱源との間の接触熱抵抗が大きくなってしまう。
このような凹凸への追従性を持たせるために、一般には放熱シートの材質としては、柔らかい樹脂が用いられる。これらの材料は、一般的には樹脂中に高熱伝導率の粒子を分散した材料である。高熱伝導率粒子としては、熱伝導率が400W/mK程度あるAgやCuなどの金属粒子が用いられる(特許文献1)。しかし、樹脂中にこれらの粒子が分散して存在するために、高い熱伝導率は得られないという問題点があった。また、これらの粒子は導電性であるため、絶縁性が必至な用途、または電子部品の回路を保護するために絶縁性が必須である場合などには使用できない。
Al2O3、AlNなどのセラミックス粒子を用いると、絶縁性が付与できるが、(特許文献2)、同様に熱伝導率が低いという課題がある。
特開2002−003829号公報
特開2005−139267号公報
Al2O3、AlNなどのセラミックス粒子を用いると、絶縁性が付与できるが、(特許文献2)、同様に熱伝導率が低いという課題がある。
本発明は上記問題点を解決すべく、絶縁性で接触熱抵抗を低減でき、発熱源表面に存在する微小な凹凸の隙間に、隙間なく侵入するようにして接触することが可能な放熱構造を提供することを課題とする。
本発明者は、基板表面にBNナノチューブ層を形成した放熱構造を用いることにより、樹脂を用いなくても発熱源の凹凸に効率的に接触して低い接触熱抵抗が得られることを見出し、本発明を完成させた。
本発明は下記の構成からなる。
本発明は下記の構成からなる。
(1)基板と、該基板の少なくとも一面の最表面に形成されたBNナノチューブ層とを有することを特徴とする放熱構造。
(2)前記BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向している層であることを特徴とする前記(1)に記載の放熱構造。
(3)前記BNナノチューブ層と基板面の間に、BN多孔質層が形成されていることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の放熱構造。
(4)前記BNナノチューブ層の厚さが1μm以上であることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(5)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層の厚さが10μm以上であることを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(6)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層が絶縁性であることを特徴とする前記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(7)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブを含む層中の気孔部に、接触性補完成分が含浸されていることを特徴とする前記(1)〜(6)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(8)前記接触性補完成分が熱伝導性グリースであることを特徴とする前記(7)記載の放熱構造。
(9)前記基板が、SiC、Si3N4、AlNの少なくとも一種であることを特徴とする前記(1)〜(8)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(10)前記放熱構造を発熱源と冷却部材の間に挿入して、少なくともBNナノチューブ層と発熱源とを接触させて用いることを特徴とする前記(1)〜(9)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(2)前記BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向している層であることを特徴とする前記(1)に記載の放熱構造。
(3)前記BNナノチューブ層と基板面の間に、BN多孔質層が形成されていることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の放熱構造。
(4)前記BNナノチューブ層の厚さが1μm以上であることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(5)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層の厚さが10μm以上であることを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(6)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層が絶縁性であることを特徴とする前記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(7)基板表面上に形成された、前記BNナノチューブを含む層中の気孔部に、接触性補完成分が含浸されていることを特徴とする前記(1)〜(6)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(8)前記接触性補完成分が熱伝導性グリースであることを特徴とする前記(7)記載の放熱構造。
(9)前記基板が、SiC、Si3N4、AlNの少なくとも一種であることを特徴とする前記(1)〜(8)のいずれか1項に記載の放熱構造。
(10)前記放熱構造を発熱源と冷却部材の間に挿入して、少なくともBNナノチューブ層と発熱源とを接触させて用いることを特徴とする前記(1)〜(9)のいずれか1項に記載の放熱構造。
本発明に係る放熱構造は、基板表面から成長したBNナノチューブ髭状物質が発熱源表面に存在する微小な凹凸の隙間に、隙間なく侵入するようにして接触することが可能なことから発熱源との間の接触熱抵抗を著しく低減できる効果を持ち、絶縁性を維持しながら冷却効率の高い放熱構造が実現できる。
本発明にかかる放熱構造は、基板と、基板の少なくとも一面の最表面に形成されたBNナノチューブ層とを有する。
本発明の放熱構造において、BNナノチューブ層を形成する面は、その用途によって基板の発熱源に接する面のみの場合と発熱源に接する面と冷却部材に接する面の両面の場合があるが、両面に形成したものを、発熱源と冷却部材の間に挟み込んで使用することが好ましい。
BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板から成長しており、発熱源と接するように使用する。BNナノチューブの先端は発熱源表面の凹凸に侵入して良好な接触状態になることから、発熱源から発生する熱は効率的に髭状物質のBNナノチューブに伝えられ基板へと伝わる。さらに基板の裏面に形成されたBNナノチューブを伝わり、冷却部材へと伝わるのである。
本発明の放熱構造において、BNナノチューブ層を形成する面は、その用途によって基板の発熱源に接する面のみの場合と発熱源に接する面と冷却部材に接する面の両面の場合があるが、両面に形成したものを、発熱源と冷却部材の間に挟み込んで使用することが好ましい。
BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板から成長しており、発熱源と接するように使用する。BNナノチューブの先端は発熱源表面の凹凸に侵入して良好な接触状態になることから、発熱源から発生する熱は効率的に髭状物質のBNナノチューブに伝えられ基板へと伝わる。さらに基板の裏面に形成されたBNナノチューブを伝わり、冷却部材へと伝わるのである。
この時、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向していることが好ましい。垂直配向していると、発熱体の表面と接触する髭状物質の比率が高くなり熱抵抗は低下する。尚、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向しているとは、BNナノチューブが基板面に対してほぼ垂直に成長していることをいう。
BNナノチューブは、直径が0.1μm以下、長さ1μm以上、かつアスペクト比が10以上であることが好ましい。直径が0.1μmを越える場合、髭状物質が凹凸部の隙間に侵入しにくくなりその分熱抵抗は増大する。長さが1μmに満たない場合、発熱体の面が荒れている、すなわち表面の面粗度が低い場合、髭状物質が凹凸部の底部まで達しなくなる場合があり、その分熱抵抗は増大する。
BNナノチューブは、直径が0.1μm以下、長さ1μm以上、かつアスペクト比が10以上であることが好ましい。直径が0.1μmを越える場合、髭状物質が凹凸部の隙間に侵入しにくくなりその分熱抵抗は増大する。長さが1μmに満たない場合、発熱体の面が荒れている、すなわち表面の面粗度が低い場合、髭状物質が凹凸部の底部まで達しなくなる場合があり、その分熱抵抗は増大する。
上記のようなBNナノチューブは、例えば以下の方法(昇華法)により作製できる。
まず、真空下において、SiC基板が分解してケイ素原子が失われる温度に加熱してカーボンナノチューブを得る。SiCを真空下で加熱すると、例えば、真空度が10-7torrでは1400℃になるとSiCが分解してケイ素原子が失われる。このとき、ケイ素原子はSiC結晶の表面から順に失われるため、まずSiC結晶の表面がケイ素原子の欠乏した層(炭素層)に変化し、このSi除去層(炭素層)が次第に元のSiC結晶の内部に浸透するように厚みを増す。この層を顕微鏡で観察すると、カーボンナノチューブがSiC表面から垂直に生成している層であることが知られている。
まず、真空下において、SiC基板が分解してケイ素原子が失われる温度に加熱してカーボンナノチューブを得る。SiCを真空下で加熱すると、例えば、真空度が10-7torrでは1400℃になるとSiCが分解してケイ素原子が失われる。このとき、ケイ素原子はSiC結晶の表面から順に失われるため、まずSiC結晶の表面がケイ素原子の欠乏した層(炭素層)に変化し、このSi除去層(炭素層)が次第に元のSiC結晶の内部に浸透するように厚みを増す。この層を顕微鏡で観察すると、カーボンナノチューブがSiC表面から垂直に生成している層であることが知られている。
次に、上記カーボンナノチューブをホウ素と窒素を含む雰囲気と反応させることでBNナノチューブが得られる。
例えば、カーボンナノチューブと、B2O3などのホウ素酸化物および窒素を高温下で化学反応させることにより、カーボンナノチューブを元の形態を残したまま窒化ホウ素に変換することができる。B2O3は高温で分解してB2O3ガス、B2O2ガス、BO2ガスなどのガスを発生してカーボンナノチューブに到達し、ナノチューブの炭素により還元を受けると同時に窒素と反応してBNを生成する。この反応により、原料のカーボンナノチューブの形態を残したまま、BNナノチューブが得られる。
例えば、カーボンナノチューブと、B2O3などのホウ素酸化物および窒素を高温下で化学反応させることにより、カーボンナノチューブを元の形態を残したまま窒化ホウ素に変換することができる。B2O3は高温で分解してB2O3ガス、B2O2ガス、BO2ガスなどのガスを発生してカーボンナノチューブに到達し、ナノチューブの炭素により還元を受けると同時に窒素と反応してBNを生成する。この反応により、原料のカーボンナノチューブの形態を残したまま、BNナノチューブが得られる。
上記のホウ素源としては、加熱によりホウ素酸化物を生成する物質であれば他の物質でもよい。例えば、ホウ酸、メラミンボレート等の有機ホウ酸化合物、ホウ酸と有機物の混合物等の物質の固体、液体、さらにはホウ素、酸素を含む気体でもよい。
窒素源は、窒素を含む中性または還元性のガスであればよく、窒素、アンモニア等が手軽で、そのまま、または混合、希釈して用いられる。安価で安全であることから窒素ガスが最も好ましい。
窒素源は、窒素を含む中性または還元性のガスであればよく、窒素、アンモニア等が手軽で、そのまま、または混合、希釈して用いられる。安価で安全であることから窒素ガスが最も好ましい。
BNの生成は熱力学的に1200℃以上で生じる。反応温度は、1200℃から2100℃が好適であり、特に1300℃から1800℃が好ましい。温度が高すぎるとBNの結晶化が進んで板状晶を生成するためナノチューブの形態が維持できないので、上限は2100℃以下、好ましくは1800℃以下である。また雰囲気に酸素が多いほどBNの結晶化が進んで板状晶を生成する傾向が大きいので、酸素の多い環境では1800℃以下、好ましくは1600℃以下がよい。
上記のようにして、垂直配向したカーボンナノチューブを垂直配向したBNナノチューブに転化させることができる。
上記のようにして、垂直配向したカーボンナノチューブを垂直配向したBNナノチューブに転化させることができる。
基板としては、熱伝導率に優れるものであれば特に限定されないが、上述した方法によりカーボンナノチューブ層を形成する場合には、少なくとも表面がSiCである基板を用いることが好ましい。SiCは熱伝導率が高いため放熱構造の基板としては優れている。このため、表面のみならず全体がSiCであるSiC基板を用いることができる。SiC基板は、単結晶でも多結晶焼結体でも構わない。BNナノチューブ自体は絶縁体であるので、SiC基板の両面にBNナノチューブ層を設けることにより絶縁性とすることができる。放熱構造として絶縁性が必要な場合は、SiC自体を絶縁性にしておくか、または基板として、AlNやSi3N4等の絶縁性基材を用いてもよい。
一般的なSiCは絶縁性が低いために、基板も含めて絶縁性を確保したい場合は、Si3N4やAlN基板を用いることが好ましい。これらの基板を用いる場合は、例えば、予め基板上にSiC層をコーティングしておき、前記したSiCの熱分解法により、SiC層をカーボンナノチューブ層に転化させたものをさらにBNナノチューブ層に転化させればよい。
カーボンナノチューブの形成法としてはこの限りでなく、CVD法でカーボンナノチューブを形成してもよい。
一般的なSiCは絶縁性が低いために、基板も含めて絶縁性を確保したい場合は、Si3N4やAlN基板を用いることが好ましい。これらの基板を用いる場合は、例えば、予め基板上にSiC層をコーティングしておき、前記したSiCの熱分解法により、SiC層をカーボンナノチューブ層に転化させたものをさらにBNナノチューブ層に転化させればよい。
カーボンナノチューブの形成法としてはこの限りでなく、CVD法でカーボンナノチューブを形成してもよい。
また、前述の昇華法でカーボンナノチューブを作製する場合、カーボンナノチューブの内層として多孔質のグラファイト層が形成される場合がある。この場合、グラファイト層は、カーボンナノチューブをBNナノチューブに転化する際に、同様に転化されBN多孔質層として、基板とBNナノチューブ層の間に形成される。BN多孔質層は非常に変形しやすいので、例えば、発熱源の表面の平坦度が悪くてうねりがある場合には、BN多孔質層が変形して発熱源のうねりに追従して、発熱源とBNナノチューブの良好な接触を保持する効果がある。
発熱源等の相手材の表面に存在する微細な凹凸に侵入させて接触熱抵抗を低下させるためには、転化処理前の組織が、少なくとも最表面の1μm程度が垂直配向したカーボンナノチューブであれば効果がある。
相手材の表面粗度が低く、また平坦度が低い場合はカーボンナノチューブを含む層の厚さが10μm以上が好ましい。カーボンナノチューブを含む層の厚さというのは、最表面に形成された垂直配向したカーボンナノチューブ層と基板との間に多孔質炭素からなる層が形成されている場合、この多孔質炭素からなる層を含む厚さをいう。接触時には多孔質層が変形して相手材の表面形状に合わせて変形して接触性が高くなる。従って、カーボンナノチューブ層と基板との間に多孔質炭素からなる層が形成されている場合は、カーボンナノチューブ層と前記多孔質層を含む厚さが10μm以上であることが好ましく、多孔質層が形成されない場合はカーボンナノチューブ層の厚さを10μm以上とすることがより好ましい。
上記したカーボンナノチューブ、多孔質炭素はそれぞれBNナノチューブ、多孔質BNに転化する。この転化の際、形状やサイズはほとんど変化しない。また、絶縁性となる。
相手材の表面粗度が低く、また平坦度が低い場合はカーボンナノチューブを含む層の厚さが10μm以上が好ましい。カーボンナノチューブを含む層の厚さというのは、最表面に形成された垂直配向したカーボンナノチューブ層と基板との間に多孔質炭素からなる層が形成されている場合、この多孔質炭素からなる層を含む厚さをいう。接触時には多孔質層が変形して相手材の表面形状に合わせて変形して接触性が高くなる。従って、カーボンナノチューブ層と基板との間に多孔質炭素からなる層が形成されている場合は、カーボンナノチューブ層と前記多孔質層を含む厚さが10μm以上であることが好ましく、多孔質層が形成されない場合はカーボンナノチューブ層の厚さを10μm以上とすることがより好ましい。
上記したカーボンナノチューブ、多孔質炭素はそれぞれBNナノチューブ、多孔質BNに転化する。この転化の際、形状やサイズはほとんど変化しない。また、絶縁性となる。
また、BNナノチューブ層は、BNナノチューブと気孔部を有するが、BNナノチューブが全体の20%程度以上あれば接触熱抵抗を低下させる大きな効果がある。昇華法で形成したカーボンナノチューブをBNナノチューブに転化させた場合のBNナノチューブ層の気孔率は、50%程度となる。ここで言う気孔率とは、中空状BNナノチューブの内部の空間を含まない。すなわち、BNナノチューブの外径と長さを持つ柱状体の総体積の全空間体積に占める割合をBNナノチューブの相対密度(%)とし、気孔率(%)=100−相対密度(%)を意味する。
BNナノチューブ層または、およびBN多孔質層の気孔部に、熱伝導性グリースなどの接触性補完成分を含浸させると接触熱抵抗がさらに低下する。その他の接触性補完成分としては、粘着性の高い樹脂ならなんでもよい。また、エポキシ樹脂などでもよい。熱伝導性グリースとしては、通常のシリコーングリース等が挙げられる。
接触性補完成分を含浸させる方法としては、熱伝導性グリースの場合、BNナノチューブ表面またはBNナノチューブ層と接触させる相手材表面に対して、グリースを塗布しておいた後に、圧力をかけてBNナノチューブ層を相手材を押しつことによりBNナノチューブ層または、およびBN多孔質層の気孔部にグリースを含浸させる方法が挙げられる。
接触性補完成分は、BNナノチューブ層、BN多孔質層の気孔部の一部分のみが含浸されていても良いが、本発明の放熱構造を発熱体と放熱部材の間に挿入した際に、気孔部が隙間なく含浸されていることが、接触熱抵抗の低下において好ましい。
接触性補完成分を含浸させる方法としては、熱伝導性グリースの場合、BNナノチューブ表面またはBNナノチューブ層と接触させる相手材表面に対して、グリースを塗布しておいた後に、圧力をかけてBNナノチューブ層を相手材を押しつことによりBNナノチューブ層または、およびBN多孔質層の気孔部にグリースを含浸させる方法が挙げられる。
接触性補完成分は、BNナノチューブ層、BN多孔質層の気孔部の一部分のみが含浸されていても良いが、本発明の放熱構造を発熱体と放熱部材の間に挿入した際に、気孔部が隙間なく含浸されていることが、接触熱抵抗の低下において好ましい。
本発明の放熱構造は、発熱源と冷却部材の間に挿入して、少なくともBNナノチューブ層と発熱源とを接触させて用いる。本発明の放熱構造は、発熱源が表面に微小な凹凸を有するものに用いた場合、効率的に接触して低い接触抵抗が得られる。従って、発熱源としてはパーソナルコンピュータやモバイル電子機器のCPU、GPU、チップセット、メモリーチップ等の半導体素子が挙げられる。また、冷却部材としては、放熱フィン等が挙げられる。
実施例1
I.カーボンナノチューブの合成
(1)SiC熱分解法(昇華法)によるカーボンナノチューブの合成
10mm×10mmサイズの、厚さが0.25mmの以下の[1]、[2]の基板を用意した。
[1]CVD・SiC基板:平均粒径3μm。10%フッ酸(HF)中で室温で10分超音波洗浄し表面を清純化した。
[2]多結晶SiC基板:平均粒径3μmのSiC焼結体を用いた。
各SiC基板を真空炉に設置し、温度1400〜2000℃、真空度10-5〜10-9torrで、時間を変えて加熱し、SiC基板の両面の表面に基板面に垂直配向したカーボンナノチューブを生成させた。
I.カーボンナノチューブの合成
(1)SiC熱分解法(昇華法)によるカーボンナノチューブの合成
10mm×10mmサイズの、厚さが0.25mmの以下の[1]、[2]の基板を用意した。
[1]CVD・SiC基板:平均粒径3μm。10%フッ酸(HF)中で室温で10分超音波洗浄し表面を清純化した。
[2]多結晶SiC基板:平均粒径3μmのSiC焼結体を用いた。
各SiC基板を真空炉に設置し、温度1400〜2000℃、真空度10-5〜10-9torrで、時間を変えて加熱し、SiC基板の両面の表面に基板面に垂直配向したカーボンナノチューブを生成させた。
(2)CVD法によるカーボンナノチューブの合成
CVD・SiC基板上に、スパッタリング法で触媒となるコバルトをコーティングしてコバルトの微粒子を付着させた。次に、基板を炉内に設置し、アルゴンガスをキャリアガスとしてエタノールガスを導入し、温度800℃、炉内圧力300torrで11分反応させた。これにより、基板の両面の表面に基板面にほぼ垂直に成長したカーボンナノチューブ層が形成した。
CVD・SiC基板上に、スパッタリング法で触媒となるコバルトをコーティングしてコバルトの微粒子を付着させた。次に、基板を炉内に設置し、アルゴンガスをキャリアガスとしてエタノールガスを導入し、温度800℃、炉内圧力300torrで11分反応させた。これにより、基板の両面の表面に基板面にほぼ垂直に成長したカーボンナノチューブ層が形成した。
II.BNナノチューブへの転化
図1に示すように、内径200mmの炭素炉芯管を持つ外熱式熱CVD炉内に、内径2cm、深さ2cmの黒鉛るつぼを設置し、B2O3粉末を3gを装填した。その上にカーボンナノチューブ試料を設置した。N2ガスを、2.0リットル/minで導入し、温度1530℃、で30分間加熱した後、自然冷却した。
試料のSEM観察から、処理前と同様の基板面に垂直配向したナノチューブが確認できた。粉末法X線回折から、回収した試料はBNであった。
図1に示すように、内径200mmの炭素炉芯管を持つ外熱式熱CVD炉内に、内径2cm、深さ2cmの黒鉛るつぼを設置し、B2O3粉末を3gを装填した。その上にカーボンナノチューブ試料を設置した。N2ガスを、2.0リットル/minで導入し、温度1530℃、で30分間加熱した後、自然冷却した。
試料のSEM観察から、処理前と同様の基板面に垂直配向したナノチューブが確認できた。粉末法X線回折から、回収した試料はBNであった。
III.評価
<熱抵抗の測定>
図2に示すように、幅10×10mm、厚さが20mmのCu製ホルダの各位置に熱電対を埋め込んだCuホルダの間に試料を設置し、3.75kg/cm2で押さえつけた。上部からAlNヒータで、13V、250mAで加熱して熱量Qを付加した。上下のCuホルダの各位置の温度を測定し、定常状態になるまで保持した。Cuホルダの周囲は断熱材で囲った。
定常状態に達した時の、各Cuホルダ内の温度勾配から、試料の表面温度(T1)と裏面温度(T2)を外挿して算出した。
熱抵抗は下記の式で算出した。
熱抵抗の測定(K/W)=(T1−T2)/Q・・・(式)
<熱抵抗の測定>
図2に示すように、幅10×10mm、厚さが20mmのCu製ホルダの各位置に熱電対を埋め込んだCuホルダの間に試料を設置し、3.75kg/cm2で押さえつけた。上部からAlNヒータで、13V、250mAで加熱して熱量Qを付加した。上下のCuホルダの各位置の温度を測定し、定常状態になるまで保持した。Cuホルダの周囲は断熱材で囲った。
定常状態に達した時の、各Cuホルダ内の温度勾配から、試料の表面温度(T1)と裏面温度(T2)を外挿して算出した。
熱抵抗は下記の式で算出した。
熱抵抗の測定(K/W)=(T1−T2)/Q・・・(式)
No.11〜18については、BNナノチューブ層上に接触性補完成分として下記の市販のグリースを50μmの厚さで塗布した後、Cuホルダ間に設置し、加重を加え、BNナノチューブ層の気孔部に接触性補完成分を含浸させ、熱抵抗を測定した。
グリース:シリコーングリース(熱伝導率:1.1W/mK)
グリース:シリコーングリース(熱伝導率:1.1W/mK)
<耐電圧の測定>
ASTM−D−149により測定した。
結果を表1に示す。
ASTM−D−149により測定した。
結果を表1に示す。
Claims (10)
- 基板と、該基板の少なくとも一面の最表面に形成されたBNナノチューブ層とを有することを特徴とする放熱構造。
- 前記BNナノチューブ層は、BNナノチューブが基板面に対して垂直配向している層であることを特徴とする請求項1に記載の放熱構造。
- 前記BNナノチューブ層と基板面の間に、BN多孔質層が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の放熱構造。
- 前記BNナノチューブ層の厚さが1μm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の放熱構造。
- 基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層の厚さが10μm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の放熱構造。
- 基板表面上に形成された、前記BNナノチューブ層を含む層が絶縁性であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の放熱構造。
- 基板表面上に形成された、前記BNナノチューブを含む層中の気孔部に、接触性補完成分が含浸されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の放熱構造。
- 前記接触性補完成分が熱伝導性グリースであることを特徴とする請求項7記載の放熱構造。
- 前記基板が、SiC、Si3N4、AlNの少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の放熱構造。
- 前記放熱構造を発熱源と冷却部材の間に挿入して、少なくともBNナノチューブ層と発熱源とを接触させて用いることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の放熱構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008290781A JP2010118502A (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 放熱構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008290781A JP2010118502A (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 放熱構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010118502A true JP2010118502A (ja) | 2010-05-27 |
Family
ID=42305990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008290781A Pending JP2010118502A (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 放熱構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010118502A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012140927A1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 日本碍子株式会社 | ヒートフロースイッチ |
CN102765957A (zh) * | 2012-07-05 | 2012-11-07 | 济南大学 | 一种制备增压器陶瓷涡轮转子的材料及用该材料制备涡轮转子的方法 |
JP2018174195A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 富士通株式会社 | 放熱体、放熱体の製造方法、及び電子装置 |
-
2008
- 2008-11-13 JP JP2008290781A patent/JP2010118502A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012140927A1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 日本碍子株式会社 | ヒートフロースイッチ |
JPWO2012140927A1 (ja) * | 2011-04-12 | 2014-07-28 | 日本碍子株式会社 | ヒートフロースイッチ |
CN102765957A (zh) * | 2012-07-05 | 2012-11-07 | 济南大学 | 一种制备增压器陶瓷涡轮转子的材料及用该材料制备涡轮转子的方法 |
JP2018174195A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 富士通株式会社 | 放熱体、放熱体の製造方法、及び電子装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7183003B2 (en) | Thermal interface material and method for manufacturing same | |
CN108430919B (zh) | 碳纳米管接合片以及碳纳米管接合片的制造方法 | |
US20100315783A1 (en) | Heat spreader and method of making the same | |
JP2010040883A (ja) | 放熱シート、放熱装置、及び放熱シートの製造方法 | |
JP2010192661A (ja) | 放熱部品とその製造方法、およびこれを用いた放熱装置と放熱方法 | |
JP2009260169A (ja) | ヒートシンク及び放熱装置 | |
JP2010118502A (ja) | 放熱構造 | |
WO2019188614A1 (ja) | 半導体パッケージ | |
JP2010153538A (ja) | 放熱材料とその製法 | |
JP2022003656A (ja) | 半導体パッケージ | |
GB2607479A (en) | Method for producing composite material | |
JP2010253730A (ja) | 放熱材料、プリント基板およびプリント基板の製造方法 | |
TWI325610B (en) | Electrostatic chuck and method for making the same | |
KR20200080961A (ko) | 절연 방열 나노와이어, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 복합체 | |
JP2009253123A (ja) | 放熱構造の製造方法 | |
TW201724403A (zh) | 散熱模組 | |
CN106455442B (zh) | 一种超薄石墨烯高导复合材料 | |
JP5278737B2 (ja) | 放熱材料の製造方法 | |
JP2009260168A (ja) | 放熱構造、放熱装置及び放熱構造の製造方法 | |
JP2005116736A (ja) | 熱電変換素子およびその製造方法、並びにそれを用いた冷却装置 | |
JP6313547B2 (ja) | 層間熱接続部材、層間熱接続部材の製造方法、および、層間熱接続方法 | |
JP2010114120A (ja) | 放熱方法 | |
JP2009295894A (ja) | 放熱構造の製造方法及び放熱構造 | |
KR101734831B1 (ko) | (002) 우선 배향의 판상 질화알루미늄 분말의 제조방법 | |
JP2010141167A (ja) | 高放熱性半導体パッケージ及び電子機器 |