JP2010116279A - ナノ炭素材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コバルト又はコバルト化合物からなる触媒を基体11の表面に担持し、オクタノール15中で基体11を加熱して基体11上に少なくとも繊維状ナノ炭素材料12を生成する。基体11を、550℃〜850℃の範囲で加熱するとよい。
【選択図】図1
Description
図1を参照して、本発明のナノ炭素材料の合成方法を説明する。図1は、ナノ炭素材料12の製造に用いる合成装置20を模式的に示している。
合成装置20は、有機液体としてオクタノール15を収容する液体槽21と、オクタノール15を沸点以下に維持するため液体槽21の外側を囲むように設けた水冷手段22と、基体11を保持しつつ基体11に電流を流すための電極23及び24を有する基板ホルダー25及び26とを備え、液体槽21の上側には蓋27が取り外し可能に設けられている。基体11は、オクタノール15の液面に対して平行となるように配置されてもよい。基板ホルダー25及び26をオクタノール15に対して出し入れするために、基板ホルダー25,26の移動手段(図示せず)が備えられている。
なお、図4に示した合成装置と同様、凝縮手段や窒素ガス導入バルブ(何れも図1には示していない。)を備え、凝縮手段の水冷パイプで液体槽21から蒸発する有機液体の蒸気を冷却凝縮して液体槽21に戻したり、窒素ガス導入バルブから窒素ガスを導入してオクタノール蒸気と空気との接触を防止するようにしてもよい。
第1ステップとして、基体11上にスパッタ法等によりコバルト又はコバルト化合物を担持する。基体11にはシリコン基板など各種の基板を用いることができる。コバルト化合物には、例えば、酸化コバルトが挙げられる。
第2ステップとして、基板ホルダー25,26でそれぞれ支持された電極23と電極24との間に、コバルトを含む触媒を担持した基体11を保持し、オクタノール15中に沈め、電極23と電極24との間に電流を流して基体11を通電加熱し、基体温度を550℃から850℃までの範囲の所定の温度に保って所定の時間保持する。その結果、基体11にナノ炭素材料12が生成する。
基体温度を550℃から850℃の範囲とすることで、繊維状の構造を有するナノ炭素材料12を生成することができる。
初めに、7Paのアルゴン雰囲気中でコバルトターゲットを放電電流35mAで6分間スパッタし、n型低抵抗Si(100)基板上にコバルトを6nm堆積した。
次に、ナノ炭素材料を次の条件にて合成した。原料有機液体を1−オクタノール(純度99.9%)とし、合成条件として基板温度を600℃、700℃、800℃、900℃、合成時間を各10分とした。
図2(a)、(b)、(c)から、基板温度を600℃、700℃、800℃とした場合では、繊維径がそれぞれ約25nm,約25nm,約50nmの繊維状のナノ構造の物質が基板上に生成していることが分かる。一方、図2(d)から、基板温度を900℃とした場合では、径が約450nm程度と太くなり、繊維状でないことが分かる。
また、基板温度を550℃、850℃とした場合でも同様に繊維状のナノ炭素材料を得ることができた。
比較例として、原料有機液体をメタノールとした場合を示す。実施例と同様に、先ず、n型低抵抗シリコン基板上にコバルトを6nm堆積した。次に、原料有機液体をメタノール(純度99.9%)とし、合成条件として基板温度を600℃、700℃、800℃、900℃、1000℃、合成時間を各10分とした。
図3(a)から、基板温度を600℃とした場合には繊維状のナノ構造を有する物質が基板上に生成していることが分かる。一方、図3(b)〜(e)から、基板温度が700℃以上とした場合には、生成物は繊維状のナノ構造を有さず、粒子状やフレーク状となることが分かる。
12:ナノ炭素材料
20:合成装置
15:オクタノール
21:液体槽
22:水冷手段
23,24:電極
25,26:基板ホルダー
27:蓋
Claims (4)
- コバルト又はコバルト化合物からなる触媒を基体表面に担持し、該基体をオクタノール中で加熱して上記基体上に繊維状ナノ炭素材料を合成する、ナノ炭素材料の製造方法。
- 合成の際、前記基体を550℃以上850℃以下の範囲で加熱する、請求項1に記載のナノ炭素材料の製造方法。
- 前記基体表面に触媒を担持した後、該基体をオクタノール中で加熱する前に、該基体を空気中で850℃以上1100℃以下の範囲で熱処理する、請求項1又は2に記載のナノ炭素材料の製造方法。
- 前記基体がシリコン基板である、請求項1〜3の何れかに記載のナノ炭素材料の製造方法。
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Citations (3)
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JP2006110701A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | National Institute For Materials Science | 炭素繊維体とそれを有する部材および製造方法 |
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Title |
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