JP2010115587A - 洗浄ブラシ及び洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】この発明は基板を洗浄ブラシで洗浄する際、洗浄効果を向上させることができるようにした洗浄ブラシを提供することにある。
【解決手段】基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸15と、ブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材16a,16bとを具備する。
【選択図】 図3
【解決手段】基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸15と、ブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材16a,16bとを具備する。
【選択図】 図3
Description
この発明は搬送される基板を洗浄するための洗浄ブラシ及びその洗浄ブラシが用いられた洗浄装置に関する。
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス板や半導体ウエハなどの基板を高い清浄度で洗浄することが要求される工程がある。基板を洗浄する方式としては、洗浄液中に基板を浸漬するディップ方式や基板を一枚ずつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度で洗浄することができる枚葉方式が採用されることが多くなってきている。
枚葉方式の1つとして回転駆動される洗浄ブラシを用いて洗浄する洗浄装置が知られている。この洗浄装置は上記基板を搬送ローラによって所定方向に搬送するとともに、この基板の搬送経路に上記洗浄ブラシを配置し、この洗浄ブラシを回転させながら毛材を上記基板の板面に所定の圧力で接触させ、かつその接触箇所に洗浄液を供給することで、上記基板を洗浄するようにしている。
従来、上記構成の洗浄ブラシとしては特許文献1に示される構成のものが知られている。すなわち、合成樹脂繊維などによって形成された所定長さの毛材を複数本束ねて2つに折り曲げる。一方、ステンレス鋼などの金属製の帯状板を断面U字状に折り曲げてホルダとする。
そして、上記毛材の折り曲げ部分を上記ホルダ内に入れてから、このホルダをかしめることで、上記毛材の折り曲げ部分をホルダによって保持する。そして、毛材を保持した上記ホルダを、ブラシ軸の外周面に螺旋状に巻装することで、上記洗浄ブラシを形成するようにしていた。
特開2003−145060号公報
従来の洗浄ブラシは、ブラシ軸に装着される毛材の太さ或いは硬さが1つの種類だけであった。つまり、予め設定された洗浄条件に応じて所定の線径や硬さの1種類の毛材だけを用いるようにしていた。
そのため、たとえば太い毛材を用いた場合、毛材を基板の板面に所定の圧力で接触させたとき、基板の表面に付着した残渣やパーティクルなどの汚れを物理的に除去する点では所定の効果が得られる。しかしながら、太い毛材は折れ曲がり難いばかりか、微細な部分に入り込み難いから、基板の板面から汚れを均一に除去できないということがある。
それに対して細い毛材を用いた場合、基板の板面の微細な部分にも均一に接触するから、洗浄効果が均一になり易いということがあるが、細い毛材は折れ曲がり易いため、基板の板面に強く付着した汚れを良好に除去することができないということがある。
一方、硬い毛材を用いた場合、基板に強く付着した残渣やパーティクルなどの汚れを物理的に除去するという点で所定の効果が得られるものの、硬い毛材は基板に均一に接触し難いため、基板の汚れを均一に除去できないということがある。
それに対して柔らかい毛材を用いた場合、毛材は基板の板面に対して均一に接触し易いから、汚れの除去を均一に行なうことができるということがある。しかしながら、柔らかい毛材は折れ曲がり易いから、基板の板面に強く付着した汚れを良好に除去することができないということがある。
このように、1つの種類の毛材を用いて構成された洗浄ブラシはその毛材の種類によってメリットを有する反面、デメリットもあるので、基板の汚れ状態によっては十分な洗浄効果が得られないということが生じる。
この発明は、基板に付着した汚れを均一に、しかも基板の汚れ状態に係らずに確実に洗浄することができるようにした洗浄ブラシ及びその洗浄ブラシを用いた洗浄装置を提供することにある。
この発明は、基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシにある。
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシにある。
この発明は、基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた硬さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシにある。
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた硬さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシにある。
複数種の毛材はそれぞれホルダに保持されていて、上記ブラシ軸には複数のホルダが螺旋状に多条巻されていることが好ましい。
この発明は、所定方向に搬送される基板の板面を回転駆動される洗浄ブラシによって洗浄する洗浄装置であって、
上記洗浄ブラシは請求項1に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置にある。
上記洗浄ブラシは請求項1に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置にある。
この発明は、所定方向に搬送される基板の板面を回転駆動される洗浄ブラシによって洗浄する洗浄装置であって、
上記洗浄ブラシは請求項2に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置にある。
上記洗浄ブラシは請求項2に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置にある。
この発明によれば、ブラシ軸に、太さ或いは硬さの異なる複数種の毛材を設けるようにしたから、基板を均一に、しかも強く付着した汚れを良好に洗浄することが可能となる。
以下、この発明の実施の形態を説明する。
図1と図2はこの発明の一実施の形態に係る洗浄装置を示し、この洗浄装置は洗浄槽1を備えている。この洗浄槽1の一端面には搬入口2が形成され、他端面には搬出口3が形成されている。
上記洗浄槽1の内部には搬送機構4を構成する複数の搬送軸5が所定間隔で回転可能に配置されている。各搬送軸5には複数の支持ローラ6が所定間隔で設けられている。各搬送軸5は図示しない駆動装置によって所定方向に回転駆動されるようになっている。
それによって、上記搬入口2から洗浄槽1内に搬入された基板7は下面が支持ローラ6に支持されて図1に矢印で示す所定方向に搬送されるようになっている。
上記洗浄槽1内には、上下2本で対をなす洗浄ブラシ11が軸線を基板7の搬送方向に対して交差させて配置されている。一対の洗浄ブラシ11の一方は、その軸方向一端側に連結された駆動モータ12によって回転駆動され、他方の洗浄ブラシ11には一方の洗浄ブラシ11の回転が図示しない歯車やプーリを介して伝達されるようになっている。それによって、図1に矢印で示すように上の洗浄ブラシ11は基板7の搬送方向と逆方向に回転駆動され、下の洗浄ブラシ11は基板7の搬送方向と同方向に回転駆動されるようになっている。各洗浄ブラシ11には図1に示す洗浄ノズル13から噴射される洗浄液Lが供給されるようになっている。
上記洗浄槽1内には、上下2本で対をなす洗浄ブラシ11が軸線を基板7の搬送方向に対して交差させて配置されている。一対の洗浄ブラシ11の一方は、その軸方向一端側に連結された駆動モータ12によって回転駆動され、他方の洗浄ブラシ11には一方の洗浄ブラシ11の回転が図示しない歯車やプーリを介して伝達されるようになっている。それによって、図1に矢印で示すように上の洗浄ブラシ11は基板7の搬送方向と逆方向に回転駆動され、下の洗浄ブラシ11は基板7の搬送方向と同方向に回転駆動されるようになっている。各洗浄ブラシ11には図1に示す洗浄ノズル13から噴射される洗浄液Lが供給されるようになっている。
上記搬送機構4によって洗浄槽1の搬入口2から内部に搬入された基板7は、その上面と下面とが上下一対の洗浄ブラシ11によって擦られて洗浄され、洗浄後に搬出口3から搬出される。
上記洗浄ブラシ11は、図3に示すようにステンレス鋼などの耐蝕性を備えた金属によって中空状に形成されたブラシ軸15を有する。このブラシ軸15の外周面には第1の毛材16aと、この第1の毛材16aと同じ材料によって異なる太さに形成された第2の毛材16bが後述するように設けられる。
すなわち、上記第1の毛材16aと第2の毛材16bは、ナイロンなどの合成樹脂繊維によって形成されていて、たとえば第1の毛材16aの線径は0.03mm、第2の毛材16bの線径は0.05mmに設定されている。つまり、第2の毛材16bは第1の毛材16aよりも太いものが用いられている。第1の毛材16aと第2毛材16bは同じ材料で太さが異なるから、第1の毛材16aよりも第2の毛材16bの方が硬くなっている。
なお、第1の毛材16aと第2の毛材16bの線径は、第1の毛材16aが0.05mmで、第2の毛材16bの線径が0.09mmであってもよく、第1の毛材16aが0.03mmで、第2の毛材16bの線径が0.09mmであってもよく、要は第1の毛材16aに比べて第2の毛材16bを太くするとともに、これら毛材16a、16bの硬さに差が生じるようにすればよい。
第の1毛材16aと第2の毛材16bは複数本ずつ纏められ、第の1毛材16aは第1のホルダ18aに保持され、第2の毛材16bは第2のホルダ18bに保持される。上記第1、第2のホルダ18a,18bは図4(a),(b)に示すようにステンレス鋼などの耐蝕性を有する帯状金属をU字状に折り曲げて形成されている。
そして、第1、第2のホルダ18a,18bの溝19内には、複数本ずつ纏められて2つに折られた上記第1、第2の毛材16a、16bがそれぞれの折り曲げ部分を芯材21とともに挿入し、その状態で上記第1、第2のホルダ18a、18bをかしめる。それによって、上記第1のホルダ18aには第1の毛材16aが保持され、第2のホルダ18bには第2の毛材16bが保持される。
第1の毛材16aを保持した第1のホルダ18aと、第2の毛材16bを保持した第2のホルダ18bは、上記ブラシ軸15の外周面に螺旋状に多条巻き、この場合は二条巻きされる。それによって、ブラシ軸15には第1の毛材16aと第2の毛材16bが上記第1のホルダ18aと第2のホルダ18bによって一体的に、しかもブラシ軸15の軸線方向に対して交互に位置する状態で保持されることになる。
上記構成の洗浄装置によれば、基板7が搬送機構4の支持ローラ6に支持されて搬入口2から洗浄槽1内に搬送されると、この基板7の上下面は、この基板7の搬送方向と逆方向に回転駆動される上下一対の洗浄ブラシ11によって洗浄される。
各洗浄ブラシ11には同じ材質で太さの異なる第1の毛材16と第2の毛材17が設けられている。つまり、第1の毛材16aは第2の毛材16bよりも線径が細く、しかも柔らかい。
そのため、洗浄ブラシ11の第1の毛材16aは、基板7との接触圧によって比較的容易に変形するから、基板7の板面に回路パターンなどによる微細な凹凸があっても、その基板7の板面の全体に対して大きな接触面積で均一に接触する。したがって、基板7の板面の汚れを均一に除去することになる。
それに対して第2の毛材16bは、基板7との接触圧によって第1の毛材16aに比べて変形し難いから、接触面積が小さくなり、基板7の板面全体を均一に洗浄することができないということがあるから、基板7の板面に微細な凹凸があるような場合には、その凹部内を確実にブラシ洗浄できないことがある。
しかしながら、第2の毛材16bは、変形し難い分だけ基板7の板面を強く擦ることになる。そのため、基板7の板面に強く付着して第1の毛材16aでは除去することができなかった汚れであっても、第2の毛材16bによって良好に除去することが可能となる。
したがって、第1の毛材16aと第2の毛材16bが設けられた洗浄ブラシ11によって基板7をブラシ洗浄すれば、これら第1、第2の毛材16a,16bの相乗効果によって基板7の板面を全体にわたって均一に、しかも強く付着した汚れであっても良好に洗浄除去することができるから、洗浄効果を高めることが可能となる。
つまり、第1の毛材16aと第2の毛材16bは太さと硬さの両方が異るため、細くて柔らかな毛材16aは基板7の板面の微細な部分に入り込んで板面全体を均一にブラシ洗浄することができ、太くて硬い毛材16bは付着度合の高い汚れを良好に除去することができる。
第1の実施の形態では同じ材料の第1の毛材16aと第2の毛材16bの太さを変えることで、これら毛材の硬さを変えたが、異なる材料を用いて第1の毛材16aと第2の毛材16bの太さと硬さの両方を違えてもよい。
図5はこの発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態の洗浄ブラシ11Aはブラシ軸15に太さがそれぞれ異なる3種類の毛材、つまり第1乃至第3の毛材16a〜16cが設けられている。
上記第1の毛材16aは第2の毛材16bよりも細く、第2の毛材16bは第3の毛材16cよりも細くなっている。たとえば、第1の毛材16aの線径は0.03mm、第2の毛材16bの線径は0.05mm、第3の毛材16cの線径は0.09mmとなっている。
第1乃至第3の毛材16a〜16cは第1の実施の形態と同様、複数本ずつ纏められて2つに折り曲げられ、その折曲げ部分に芯材21(図4(a),(b)に示す)を設けてそれぞれ第1乃至第3のホルダ18a〜18cの溝19に挿入した後、各ホルダ18a〜18cをかしめることで保持されている。
第1乃至第3の毛材16a〜16cを保持した3つのホルダ18a〜18cは、上記ブラシ軸15に螺旋状に多条巻き、この場合は三条巻きされる。それによって、ブラシ軸15には第1乃至第3の毛材16a〜16cが上記第1乃至第3のホルダ18a〜18cによって一体的に保持されることになる。
このような構成の洗浄ブラシ11Aを用いて基板7を洗浄すれば、その基板7の板面は硬さの異なる3種類の毛材16a〜16cによって擦られる。そのため、硬さの異なる2種類の毛材16a,16bが設けられた上記第1の実施の形態の洗浄ブラシ11に比べて基板7をさらに均一に、しかも汚れの付着度合に応じて3つの硬さの毛材16a〜16cによって良好に洗浄処理することができる。
図6(a)は太さの異なる2種類の毛材16a,16bがブラシ軸15に螺旋状に設けられた第1の実施の形態の洗浄ブラシ11によって基板7を洗浄したとき、ブラシ軸15の回転角度と、基板7に対して第1の毛材16aと第2の毛材16bの接触面積の増減を説明した図である。同図において、曲線A葉第1の毛材16aの接触面積の変化を示し、曲線Bは第2の毛材16bの接触面積の変化をしめす
すなわち、第1の毛材16aと第2の毛材16bを二条巻きしたことで、これら毛材16a,16bが基板7に最大面積で接触する位置がブラシ軸15の周方向に対して180度ずれることになる。
すなわち、第1の毛材16aと第2の毛材16bを二条巻きしたことで、これら毛材16a,16bが基板7に最大面積で接触する位置がブラシ軸15の周方向に対して180度ずれることになる。
したがって、図6(b)に曲線Aで示すように、第1の毛材16aが基板7に最大の接触面積で接触したときには同図に曲線Bで示すように第2の毛材16bは最小の接触面積で接触し、その周期は洗浄ブラシ11が180度回転する毎に繰り返されることになるから、洗浄ブラシ11が180度回転する毎に基板7の同じ箇所が第1の毛材16aと第2の毛材16bによって交互にブラシ洗浄されることになる。つまり、基板7は同一箇所が2種類の毛材16a,16bによって順次洗浄されるから、従来のように1つの毛材によって洗浄する場合に比べて洗浄効果を高めることができる。
図7(a),(b)は太さの異なる3種類の毛材16a,16b,16cがブラシ軸15に螺旋状に設けられた第2の実施の形態の洗浄ブラシ11Aによって基板7を洗浄したとき、基板7の同じ箇所に対して第1の毛材16a、第2の毛材16b及び第3の毛材16cが接触する接触面積の増減を示した図である。
ブラシ軸15に3種類の毛材16a〜16cを三条巻きすると、これら毛材16a〜16cが基板7に最大面積で接触する位置がブラシ軸15の周方向に対して120度ずれることになる。
したがって、図7(b)に曲線A〜Cで示すように、洗浄ブラシ11Aが120度回転する毎に基板7の同じ箇所に第1乃至第3の毛材16a〜16cが最大の接触面積で接触することになるから、基板7は同一箇所が3種類の毛材16a,16b,16cによって順次洗浄される。それによって、1つの毛材によって洗浄する従来の洗浄ブラシに比べて洗浄効果を高めることができる。
上述した第1、第2の実施の形態に示された洗浄ブラシ11,11Aで基板7を洗浄する際、基板7は所定方向に搬送されているから、複数種の毛材によってブラシ洗浄される箇所は基板7の搬送方向に移動することになる。しかしながら、基板7の搬送速度に比べて洗浄ブラシ11,11Aの回転速度を十分に速くすれば、基板7の同じ箇所を複数種の毛材によって少なくとも1回ずつはブラシ洗浄することが可能となる。
したがって、複数種の毛材をブラシ軸15に多条巻きすることで、上述したように洗浄ブラシ11,11Aによる洗浄効果を確実に向上させることができる。
上記第1、第2の実施の形態では、ブラシ軸に設けられる複数種の毛材を同じ材質で太さを異なるものにしてそれぞれの毛材の硬さを変えるようにしたが、種類の異なる材質の毛材を用いることで、毛材の太さに係らずに複数種の毛材の硬さを変えるようにしてもよい。
そのようにすれば、たとえば複数種の毛材の太さを同じにすることが可能になるから、硬い毛材であっても、柔らかい毛材と同様に基板の板面の微細な部分に接触させることができる。
また、各実施の形態では種類の異なる毛材をそれぞれ異なるホルダに分けて設け、複数のホルダをブラシ軸に多条巻きするようにしたが、1つのホルダに太さや硬さなどの種類の異なる複数種の毛材を保持し、ブラシ軸に1つのホルダを螺旋状に巻装するようにしてもよい。
1…洗浄槽、4…搬送機構、7…基板、11,11A…洗浄ブラシ、15…ブラシ軸、16a〜16c…第1乃至第3の毛材、18a〜18c…第1乃至第3のホルダ。
Claims (5)
- 基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシ。 - 基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸と、
このブラシ軸に設けられた硬さの異なる複数種の毛材と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシ。 - 複数種の毛材はそれぞれホルダに保持されていて、上記ブラシ軸には複数のホルダが螺旋状に多条巻されていることを特徴とする請求項1又は請求項2洗浄ブラシ。
- 所定方向に搬送される基板の板面を回転駆動される洗浄ブラシによって洗浄する洗浄装置であって、
上記洗浄ブラシは請求項1に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置。 - 所定方向に搬送される基板の板面を回転駆動される洗浄ブラシによって洗浄する洗浄装置であって、
上記洗浄ブラシは請求項2に記載された構成であることを特徴とする洗浄装置。
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JP2008290118A JP2010115587A (ja) | 2008-11-12 | 2008-11-12 | 洗浄ブラシ及び洗浄装置 |
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Cited By (4)
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JP5143299B1 (ja) * | 2012-02-14 | 2013-02-13 | 株式会社エフ・イー | ショウガ類の洗浄装置及び洗浄方法 |
JP2015051408A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社ディスコ | 洗浄機構 |
JP2018192235A (ja) * | 2017-05-16 | 2018-12-06 | 朗曦科技股▲ふん▼有限公司 | 複数種類の刷毛を有する帯状ブラシ |
JP2021031880A (ja) * | 2019-08-20 | 2021-03-01 | 助川鉄工株式会社 | ブラシ保持具又はこのブラシ保持具を備えたブラシ保持装置 |
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2008
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