JP2010101950A - 斜方蒸着による複屈折素子製造方法 - Google Patents
斜方蒸着による複屈折素子製造方法 Download PDFInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title abstract 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 209
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 110
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 32
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 43
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 60
- 239000010408 film Substances 0.000 description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 1
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 1
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 1
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- Polarising Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】複屈折基板18は、ガラス基板上に複屈折性を示す斜方蒸着膜を設けたものであり、その大きさは複数の複屈折素子を切り出すことができる大きさとなっている。複屈折基板18の進相軸の方向は複屈折基板18内の位置によって異なり、複屈折基板18の中央及び左右各部において進相軸22C,22R,22Lのように放射状に分布する。このため、複屈折基板18から複屈折素子を切り出すときに、複屈折基板18内での各々の複屈折素子の向きが、複屈折基板18内で斜方蒸着膜の蒸着源に近い側から遠い側にかけて広がる放射状の向きとなるように、複屈折基板18を切断する。
【選択図】図5
Description
12 回転ドーム
13 蒸着源
14 基板ホルダ
16 ガラス基板
17 斜方蒸着膜
18,31 複屈折基板
21 複屈折素子
22C,22R,22L,32C,32R,32L 進相軸
41,52 中央列
42,53 右列
43,54 左列
61 第1切断線
62 第2切断線
63 識別線
Claims (5)
- 複屈折性を示す斜方蒸着膜が表面に成膜された複屈折基板を切断して、複屈折素子を複数個得る複屈折素子製造方法において、
前記複屈折基板内での各々の前記複屈折素子の向きが前記斜方蒸着膜の蒸着源に近い側から遠い側にかけて広がるように、前記複屈折基板を放射状に切断することを特徴とする複屈折素子製造方法。 - 前記複屈折素子の幅の間隔で平行な対となるように、かつ、前記対が前記放射状の向きに設けられ、前記複屈折基板から複数個の前記複屈折素子からなる列への切断方向を定める第1切断線と、対になる前記第1切断線の間に設けられ、前記複屈折素子の長さの間隔で前記第1切断線に垂直な方向に前記列の切断方向を定める第2切断線とを設け、
前記第1切断線及び前記第2切断線に沿って前記複屈折基板を割断して前記複屈折素子を得ることを特徴とする請求項1に記載の複屈折素子製造方法。 - 前記第2切断線は、隣接する前記列の前記第1切断線に交わらないように、隣接する前記列の前記第1切断線から所定の間隔をあけて設けられることを特徴とする請求項2に記載の複屈折素子製造方法。
- 前記第1切断線または前記第2切断線を設けるときに、前記複屈折素子となる面内に前記複屈折素子の方向を識別するマークを設けることを特徴とする請求項2または3に記載の複屈折素子製造方法。
- 前記マークは、前記第2切断線が設けられるときに、前記第2切断線と平行に前記第2切断線と同じ方法で設けられる識別線であり、
該識別線で前記列が割断されないように、前記第2切断線よりも浅く設けられることを特徴とする請求項4に記載の複屈折素子製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008270870A JP5271032B2 (ja) | 2008-10-21 | 2008-10-21 | 斜方蒸着による複屈折素子製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008270870A JP5271032B2 (ja) | 2008-10-21 | 2008-10-21 | 斜方蒸着による複屈折素子製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010101950A true JP2010101950A (ja) | 2010-05-06 |
JP5271032B2 JP5271032B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=42292679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008270870A Active JP5271032B2 (ja) | 2008-10-21 | 2008-10-21 | 斜方蒸着による複屈折素子製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5271032B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6868380B2 (ja) | 2016-12-09 | 2021-05-12 | デクセリアルズ株式会社 | 位相差補償素子、液晶表示装置及び投射型画像表示装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228327A (ja) * | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 複屈折板の製造方法 |
JP2006064871A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 偏光変換素子およびその製造方法 |
JP2008242031A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶素子およびその製造方法 |
JP2009080284A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶素子の製造方法 |
JP2009134131A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 偏光子と製造方法並びに光アイソレータ |
-
2008
- 2008-10-21 JP JP2008270870A patent/JP5271032B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228327A (ja) * | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 複屈折板の製造方法 |
JP2006064871A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 偏光変換素子およびその製造方法 |
JP2008242031A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶素子およびその製造方法 |
JP2009080284A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶素子の製造方法 |
JP2009134131A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 偏光子と製造方法並びに光アイソレータ |
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JP5271032B2 (ja) | 2013-08-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100619 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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