JP2010098624A - 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】蓄積部の面積縮小を実現することが可能なFIT方式のCCD固体撮像素子を提供する。
【解決手段】マトリクス状に配列された画素8と垂直転送部9とを有する撮像部4、遮光された蓄積部5、信号電荷を水平方向に転送する水平転送部6を備えると共に、水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード(動画撮影モード)時に、所定の垂直転送部(A列)によって転送されたN画素分の信号電荷を、転送部7によって水平方向に配列して蓄積部5に転送する。
【選択図】図2(a)
【解決手段】マトリクス状に配列された画素8と垂直転送部9とを有する撮像部4、遮光された蓄積部5、信号電荷を水平方向に転送する水平転送部6を備えると共に、水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード(動画撮影モード)時に、所定の垂直転送部(A列)によって転送されたN画素分の信号電荷を、転送部7によって水平方向に配列して蓄積部5に転送する。
【選択図】図2(a)
Description
本発明は固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置に関する。詳しくは、FIT(Frame Interline Transfer)方式の固体撮像素子及びその駆動方法、並びにFIT方式の固体撮像素子を用いた撮像装置に係るものである。
CCD固体撮像素子を搭載したデジタルスチルカメラ(DSC)では、解像度が重視される静止画モード時は全画素を出力している。一方、フレームレートが重視される動画モード時は画素を間引いて出力したり、画素加算を行なったりすることで出力画素数を減らしてフレームレートを向上する技術が一般に用いられている。また、DSC用CCD固体撮像素子では、高画質の静止画の撮像を目的として多画素化が進められている。
ところで、多画素のCCD固体撮像素子では、セル(単位画素)のより微細化が進む中でスミアが懸念され、特に動画モード時やモニタリングモード時に問題となっている。即ち、静止画モード時はメカシャッターを使用するのが一般的であるために、スミアが発生することはないものの、メカシャッターを使用しない動画モード(モニタリングモード)時に発生するスミアの低減が大きな課題となっている。
なお、スミアとは、信号電荷を転送する垂直転送部に強い光が漏れ込んだ場合に、高輝度被写体の上下に明るい帯が走るCCD固体撮像素子固有の現象であり、信号電荷が垂直転送部に依存している期間が長いほど、スミアの影響を大きく受けることとなる。
さて、スミア低減対策としては、放送業務用CCD固体撮像素子で使われているFIT方式が挙げられる(例えば、特許文献1参照。)。
ここで、FIT方式のCCD固体撮像素子では、図6で示す様に、画素がマトリクス状(行列状)に配置されてなる撮像部101の下部に、垂直転送部で転送された信号電荷を一時的に蓄積する遮光された蓄積部102を有する。そして、各画素から垂直転送部に信号電荷を読み出した後、垂直転送部を高速転送動作させることで信号電荷を素早く蓄積部に移動させ、信号電荷が垂直転送部に依存している期間を短くすることによってスミアの低減を図っている。
ここで、FIT方式のCCD固体撮像素子では、図6で示す様に、画素がマトリクス状(行列状)に配置されてなる撮像部101の下部に、垂直転送部で転送された信号電荷を一時的に蓄積する遮光された蓄積部102を有する。そして、各画素から垂直転送部に信号電荷を読み出した後、垂直転送部を高速転送動作させることで信号電荷を素早く蓄積部に移動させ、信号電荷が垂直転送部に依存している期間を短くすることによってスミアの低減を図っている。
具体的には、従来のFIT方式のCCD固体撮像素子では、図7で示す様に、撮像部101に加えて蓄積部102を有し、また、水平転送部103を有する構成を採っている。
撮像部101は画素(光電変換素子を含む受光部)104と垂直転送部105とによって構成されている。また、画素104は、マトリクス状に配置され、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換する。更に、垂直転送部105は、画素のマトリクス状配列に対して列毎に配置され、画素の各々で光電変換され、これら画素から読み出された信号電荷を列単位で垂直転送する。
ここで、垂直転送部105は第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10によって駆動パルスが印加可能に構成されており、各垂直転送電極に所定の駆動パルスを印加することで、信号電荷が垂直転送されることとなる。なお、1つの画素に2つの垂直転送電極が対応して構成されている。
また、蓄積部102は、全面にわたって遮光されており、垂直転送部から転送された信号電荷を一時的に蓄積する領域である。
ここで、蓄積部102はマトリクス状に配置された複数の単位蓄積部106を有しており、各単位蓄積部106には、画素で光電変換され、垂直転送部を介して転送された信号電荷が蓄積可能に構成されている。
ここで、蓄積部102はマトリクス状に配置された複数の単位蓄積部106を有しており、各単位蓄積部106には、画素で光電変換され、垂直転送部を介して転送された信号電荷が蓄積可能に構成されている。
また、4行の蓄積部を1組(1ユニット)とし、各組(各ユニット)の第1行目の単位蓄積部には第1の蓄積部電極V11によって電圧が印加可能に構成され、第2行目の単位蓄積部には第2の蓄積部電極V12によって電圧が印加可能に構成されている。同様に、各組(各ユニット)の第3行目の単位蓄積部には第3の蓄積部電極V13によって電圧が印加可能に構成され、第4行目の単位蓄積部には第4の蓄積部電極V14によって電圧が印加可能に構成されている。
なお、図7では図示を省略しているものの、図中符号Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送される信号電荷を掃き捨てるためのドレイン領域が設けられている。即ち、5列の垂直転送部を1組(1ユニット)とし、各組(各ユニット)の符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送される信号電荷をドレイン領域に掃き捨て可能に構成されている。
水平転送部103は、蓄積部102からシフトされた信号電荷を順に水平転送可能に構成され、具体的には、水平方向に交互に第1の水平転送電極H1及び第2の水平転送電極H2が配置されている。これらの水平転送電極をコンプリメンタリ駆動することで、信号電荷は水平転送部を水平転送することとなる。
また、水平転送部の転送先側には電荷検出部(図示せず)が設けられており、電荷検出部は、例えばフローティングディフュージョンアンプによって構成されており、水平転送部によって順に転送されてくる信号電荷を信号電圧に変換して出力可能に構成されている。
また、水平転送部の転送先側には電荷検出部(図示せず)が設けられており、電荷検出部は、例えばフローティングディフュージョンアンプによって構成されており、水平転送部によって順に転送されてくる信号電荷を信号電圧に変換して出力可能に構成されている。
上記の様に構成された従来のCCD固体撮像素子では、静止画モード時には、第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10に図8(a)で示す駆動パルス(Vφ1〜Vφ10)を印加する。また、第1の蓄積部電極V11〜第4の蓄積部電極V14に図8(a)で示す駆動パルス(Vφ11〜Vφ14)を印加する。更に、第1の水平転送電極H1に駆動パルスHφ1を印加し、第2の水平転送電極H2に駆動パルスHφ2を印加する(図8(c)参照。)。なお、静止画モード時には、第1の垂直転送電極V1、第3の垂直転送電極V3、第5の垂直転送電極V5、第7の垂直転送電極V7及び第9の垂直転送電極V9に読み出し電圧を印加することで、全ての画素から信号電荷を読み出している。
こうした駆動パルスを印加することによって、先ず、全ての画素の信号電荷が垂直転送部に読み出され、読み出された信号電荷は垂直転送部の高速転送動作によって蓄積部までフレームシフト転送(高速転送)がなされることとなる。ここで、フレームシフト転送では各垂直転送部から対応する単位蓄積部列に信号電荷が転送されることとなる(図10(a)参照。)。
その後、蓄積部の信号電荷は1ライン毎に垂直転送及び水平転送(ラインシフト)を繰り返すことで出力されることとなる。
なお、図8(b)は静止画モード時におけるフレームシフト転送時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものであり、図8(c)は静止画モード時におけるラインシフト時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものである。
一方、従来のCCD固体撮像素子では、動画モード時には、第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10に図9(a)で示す駆動パルス(Vφ1〜Vφ10)を印加する。また、第1の蓄積部電極V11〜第4の蓄積部電極V14に図9(a)で示す駆動パルス(Vφ11〜Vφ14)を印加する。更に、第1の水平転送電極H1に駆動パルスHφ1を印加し、第2の水平転送電極H2に駆動パルスHφ2を印加する(図9(c)参照。)。なお、動画モード時には、第5の転送電極V5のみに読み出し電圧を印加することで、第5の転送電極V5に隣接する画素からのみ信号電荷を読み出すことによって、垂直方向の1/5の圧縮を実現している。
こうした駆動パルスを印加することによって、先ず、第5の転送電極V5に隣接する画素の信号電荷のみが垂直転送部に読み出され、読み出された信号電荷は垂直転送部の高速転送動作によって蓄積部までフレームシフト転送(高速転送)がなされることとなる。なお、フレームシフト転送時に、図中符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送された信号電荷をドレイン領域に掃き捨て、こうしたドレイン領域への掃き捨てによって水平方向の1/5の圧縮を実現している。ここで、フレームシフト転送では符合Aで示す垂直転送部から対応する単位蓄積部列に信号電荷が転送されることとなり、信号電荷がドレイン領域へ掃き捨てられた垂直転送部に対応する単位蓄積部列には信号電荷は転送されることはない(図10(b)参照。)。
その後、蓄積部の信号電荷は1ライン毎に垂直転送及び水平転送(ラインシフト)を繰り返すことで出力されることとなる。
なお、図9(b)は動画モード時におけるフレームシフト転送時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものであり、図9(c)は動画モード時におけるラインシフト時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものである。
上記の通り、従来のFIT方式のCCD固体撮像素子は、動画モード時におけるフレームシフト転送を高速で行なうことで、信号電荷が垂直転送部に依存している期間を短くすることができ、スミアの低減には極めて有効であると考えられる。
なお、仮にラインシフト転送に対して、フレームシフト転送の垂直転送スピードが10倍であるとすると、発生するスミア量を1/10に低減することができることとなる。
なお、仮にラインシフト転送に対して、フレームシフト転送の垂直転送スピードが10倍であるとすると、発生するスミア量を1/10に低減することができることとなる。
しかしながら、FIT構造は、露光を行なうための撮像部と、撮像部から転送される信号数に相当する信号電荷を一時的に保持するための蓄積部が必要となるために、チップ面積が著しく大きくなってしまう。そしてチップ面積の大型化は、カメラの大型化、製造コストの増加等の原因となっている。
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、蓄積部の面積縮小が実現可能な固体撮像素子及びその製造方法、並びに蓄積部の面積縮小が実現可能な固体撮像素子を用いた撮像装置を提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するために、本発明の固体撮像素子は、マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、一部の前記垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送する転送部と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部とを備える。
ここで、一部の垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、垂直転送部から転送された信号電荷を、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送する転送部によって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
また、本発明の固体撮像素子は、マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して前記蓄積部に転送する転送部と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部とを備える。
ここで、水平方向と垂直方向をいずれも1/Nに圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部で転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して蓄積部に転送する転送部によって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはさていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはさていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
また、上記の目的を達成するために、本発明の固体撮像素子の駆動方法は、マトリクス状に配列された複数の画素で光電変換する工程と、前記画素の垂直列毎に設けられた垂直転送部によって前記画素で光電変換された信号電荷を垂直転送する工程と、所定の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷をドレイン領域に捨てると共に、所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷を、遮光された蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送する工程と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する工程とを備える。
ここで、所定の垂直転送部以外の垂直転送部により垂直転送された信号電荷を、遮光された蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送することによって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷」とは、ドレイン領域への掃き捨て対象になっていない出力対象の信号電荷を意味している。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷」とは、ドレイン領域への掃き捨て対象になっていない出力対象の信号電荷を意味している。
また、本発明の固体撮像素子の駆動方法は、マトリクス状に配列された複数の画素で光電変換する工程と、前記画素から同画素の垂直列毎に設けられた垂直転送部に、垂直方向の圧縮率が1/N(N:2以上の整数)となる様に信号電荷を読み出し、読み出された信号電荷を垂直転送する工程と、水平方向の圧縮率が1/Nとなる様に所定の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷をドレイン領域に捨てると共に、所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送されたN画素分の信号電荷を水平方向に配列して遮光された蓄積部に転送する工程と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する工程とを備える。
ここで、所定の垂直転送部以外の垂直転送部により垂直転送されたN画素分の信号電荷を水平方向に配列して遮光された蓄積部に転送することによって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはされていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送することで、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはされていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
また、上記の目的を達成するために、本発明の撮像装置は、マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、前記垂直転送部から転送された信号電荷を前記蓄積部に転送する転送部と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、一部の前記垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送すべく前記転送部を制御する制御部とを備える。
ここで、一部の垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、垂直転送部から転送された信号電荷を、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送すべく転送部を制御する制御部によって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送すべく転送部を制御することによって、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうちドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送すべく転送部を制御することによって、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
また、本発明の撮像装置は、マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、前記垂直転送部から転送された信号電荷を前記蓄積部に転送する転送部と、前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して前記蓄積部に転送すべく前記転送部を制御する制御部とを備える。
ここで、水平方向と垂直方向をいずれも1/Nに圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して蓄積部に転送すべく転送部を制御する制御部によって、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応する領域にも信号電荷を転送すべく転送部を制御することによって、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはされていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
即ち、蓄積部のうち出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部に対応した領域のみならず蓄積部のうち水平方向の間引きが行なわれた垂直転送部に対応する領域にも信号電荷を転送すべく転送部を制御することによって、蓄積部内の信号電荷の未蓄積領域を減少せしめることができる。結果として、蓄積部の有効活用が実現し、蓄積部の縮小が可能となる。
なお、「所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷」とは、水平方向の間引きの対象とはされていない出力対象の信号電荷を転送する垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を意味している。
本発明の固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置では、蓄積部の面積縮小を実現することができ、カメラの小型化や製造コストの低減に寄与することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図1は本発明を適用した固体撮像装置の一例であるCCD固体撮像装置を説明するための模式図であり、ここで示すCCD固体撮像装置1は、CCD固体撮像素子2及びタイミング発生回路(TG:Timing Generator)3を有する。
図1は本発明を適用した固体撮像装置の一例であるCCD固体撮像装置を説明するための模式図であり、ここで示すCCD固体撮像装置1は、CCD固体撮像素子2及びタイミング発生回路(TG:Timing Generator)3を有する。
CCD固体撮像素子は、図2(a)で示す様に、FIT方式のデバイス構成を採っており、撮像部4に加えて蓄積部5を有し、また、水平転送部6及び転送部7を有する構成を採っている。
撮像部4は画素(光電変換素子を含む受光部)8と垂直転送部9とによって構成されている。また、画素8は、マトリクス状に配置され、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換する。更に、垂直転送部9は、画素のマトリクス状配列に対して列毎に配置され、画素の各々で光電変換され、これら画素から読み出された信号電荷を列単位で垂直転送する。
ここで、垂直転送部は第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10によって駆動パルスが印加可能に構成されており、各垂直転送電極に所定の駆動パルスを印加することで、信号電荷が垂直転送されることとなる。なお、1つの画素に2つの垂直転送電極が対応した構成されている。
また、蓄積部5は、全面にわたって遮光されており、垂直転送部から転送された信号電荷を一時的に蓄積する領域である。
ここで、蓄積部5はマトリクス状に配置された複数の単位蓄積部11を有しており、各単位蓄積部には、画素で光電変換され、垂直転送部及び転送部を介して転送された信号電荷が蓄積可能に構成されている。
ここで、蓄積部5はマトリクス状に配置された複数の単位蓄積部11を有しており、各単位蓄積部には、画素で光電変換され、垂直転送部及び転送部を介して転送された信号電荷が蓄積可能に構成されている。
また、4行の単位蓄積部を1組(1ユニット)とし、各組(各ユニット)の第1行目の単位蓄積部には第1の蓄積部電極V11によって電圧が印加可能に構成され、第2行目の単位蓄積部には第2の蓄積部電極V12によって電圧が印加可能に構成されている。同様に、各組(各ユニット)の第3行目の単位蓄積部には第3の蓄積部電極V13によって電圧が印加可能に構成され、第4行目の単位蓄積部には第4の蓄積部電極V14によって電圧が印加可能に構成されている。
更に、撮像部4と蓄積部5との間には、本発明の特徴部分ともいえる転送部7が設けられている。なお、転送部7についても、蓄積部と同様に全面にわたって遮光されている。
転送部7は、水平方向に交互に配置された第1の転送電極HV1及び第2の転送電極HV2と、これら第1の転送電極HV1と第2の転送電極HV2よりも蓄積部側に配置された第3の転送電極HV−Gateによって駆動パルスが印加可能に構成されている。また、転送部7は、第1の転送電極HV1と第2の転送電極HV2よりも撮像部側に配置された第4の転送電極HV4、第5の転送電極HV5及び第6の転送電極HV6によっても駆動パルスが印加可能に構成されている。
なお、第4の転送電極HV4は符合Aで示す垂直転送部の最終段に隣接して設けられており、第5の転送電極HV5は符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部の最終段に隣接して設けられている。また、第6の転送電極HV6は第5の転送電極の蓄積部側に隣接して設けられている。
そして、第5の転送電極及び第6の転送電極に隣接してドレイン領域Dが設けられており、符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送される信号電荷はドレイン領域に掃き捨て可能に構成されている。
即ち、本実施例では、5列の垂直転送部を1組(1ユニット)とし、各組(各ユニット)の符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送される信号電荷はドレイン領域Dに掃き捨て可能に構成することで、水平方向の1/5の圧縮率を実現している。
即ち、本実施例では、5列の垂直転送部を1組(1ユニット)とし、各組(各ユニット)の符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送される信号電荷はドレイン領域Dに掃き捨て可能に構成することで、水平方向の1/5の圧縮率を実現している。
更に、第1の転送電極HV1及び第2の転送電極HV2には、イオン注入によって、各電極の紙面右側領域にポテンシャル差によるインプラバリアを形成している(図2(b)参照。)。このことによって、第3の転送電極に低レベル電位(Lレベル電位)を印加し、第1の転送電極と第2の転送電極をコンプリメンタリ駆動することで、信号電荷は第1の転送電極と第2の転送電極によって水平転送され、紙面左方向に転送されることとなる。
また、第3の転送電極HV−Gateに高レベル電位(Hレベル電位)を印加すると共に、第2の転送電極HV2にLレベル電位を印加した状態で、第1の転送電極HV1がHレベル電位からLレベル電位に遷移すると、信号電荷は垂直方向に転送される(図2(c)参照。)。
水平転送部6は、蓄積部からシフトされた信号電荷を順に水平転送可能に構成され、具体的には、水平方向に交互に第1の水平転送電極H1及び第2の水平転送電極H2が配置されている。これら第1の水平転送電極H1と第2の水平転送電極H2をコンプリメンタリ駆動することで、信号電荷は水平転送部を水平転送することとなる。なお、水平転送部の転送先側の端部には例えばフローティングディフュージョンアンプによって構成された電荷検出部10が設けられており、水平転送部によって順に転送されてくる信号電荷を信号電圧に変換して出力可能に構成されている。
上記の様に構成されたCCD固体撮像装置では、静止画モード時には、タイミング発生回路から図3(a)で示す駆動パルスがCCD固体撮像素子に印加されることとなる。
具体的には、第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10に駆動パルス(Vφ1〜Vφ10)が印加され、第1の蓄積部電極V11〜第4の蓄積部電極V14に駆動パルス(Vφ11〜Vφ14)が印加されることとなる。また、第1の転送電極HV1に駆動パルスφHV1が印加され、第2の転送電極HV2に駆動パルスφHV2が印加され、第3の転送電極HV−Gateに駆動パルスφHV−Gateが印加される。更に、第4の転送電極HV4に駆動パルスVφ1が印加され、第5の転送電極HV5に駆動パルスφVstが印加され、第6の転送電極HV6に駆動パルスφVholdが印加される。
なお、静止画モード時には、第1の垂直転送電極V1、第3の垂直転送電極V3、第5の垂直転送電極V5、第7の垂直転送電極V7及び第9の垂直転送電極V9に読み出し電圧を印加することで、全ての画素から信号電荷を読み出している。
静止画モード時にこうした駆動パルスを印加することによって、先ず、全ての画素の信号電荷が垂直転送部に読み出され、読み出された信号電荷は垂直転送部の高速転送動作によって蓄積部までフレームシフト転送(高速転送)されることとなる。ここで、フレームシフト転送では各垂直転送部から対応する単位蓄積部列に信号電荷が転送されることとなる(図5(a)参照。)。
その後、蓄積部の信号電荷は1ライン毎に垂直転送及び水平転送(ラインシフト)を繰り返すことで出力されることとなる。
なお、図3(b)は静止画モード時におけるフレームシフト転送時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものであり、図3(c)は静止画モード時におけるラインシフト時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものである。
一方、上記の様に構成されたCCD固体撮像装置では、動画モード時には、タイミング発生回路から図4(a)で示す駆動パルスがCCD固体撮像素子に印加されることとなる。
具体的には、第1の垂直転送電極V1〜第10の垂直転送電極V10に駆動パルス(Vφ1〜Vφ10)が印加され、第1の蓄積部電極V11〜第4の蓄積部電極V14に駆動パルス(Vφ11〜Vφ14)が印加されることとなる。また、第1の転送電極HV1に駆動パルスφHV1が印加され、第2の転送電極HV2に駆動パルスφHV2が印加され、第3の転送電極HV−Gateに駆動パルスφHV−Gateが印加される。更に、第4の転送電極HV4に駆動パルスVφ1が印加され、第5の転送電極HV5に駆動パルスφVstが印加され、第6の転送電極HV6に駆動パルスφVholdが印加される。
なお、動画モード時には、第5の転送電極V5のみに読み出し電圧を印加することで、第5の転送電極V5に隣接する画素からのみ信号電荷を読み出すことによって、垂直方向の1/5の圧縮を実現している。
こうした駆動パルスを印加することによって、先ず、第5の転送電極V5に隣接する画素の信号電荷のみが垂直転送部に読み出され、読み出された信号電荷は垂直転送部の高速転送動作によって蓄積部までフレームシフト転送(高速転送)がなされることとなる。なお、フレームシフト転送時に、図中符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部によって転送された信号電荷をドレイン領域に掃き捨て、こうしたドレイン領域への掃き捨てによって水平方向の1/5の圧縮を実現している。
また、フレームシフト転送では、符合Aで示す垂直転送部によって転送された5画素分の信号電荷が転送部で水平方向に並び替えられ、並び替えられた後に垂直方向に転送されることで単位蓄積部に信号電荷が転送されることとなる(図5(b)参照。)。
その後、蓄積部の信号電荷は1ライン毎に垂直転送及び水平転送(ラインシフト)を繰り返すことで出力されることとなる。
なお、図4(b)は動画モード時におけるフレームシフト転送時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものであり、図4(c)は動画モード時におけるラインシフト時の各駆動パルスのタイミングチャートの詳細を表したものである。
ここで、本実施例では、水平方向及び垂直方向の圧縮率が1/5である場合を例に挙げて説明を行なっているが、圧縮率は必ずしも1/5である必要がないのは勿論である。
また、水平方向の全ての単位蓄積部に信号電荷を転送するために、5画素分の信号電荷を水平方向に配列する場合を例に挙げて説明を行なっているが、水平方向に配列する画素数は必ずしも5画素である必要は無く、4画素、3画素若しくは2画素であっても良い。但し、最も有効に蓄積部を利用するためには、水平方向の全ての単位蓄積部に信号電荷が転送される様に水平方向に配列するのが望ましく、水平方向に1/5で圧縮している本実施例の場合には5画素分の信号電荷を水平方向に配列することが望ましい。
上記した本発明を適用したCCD固体撮像装置では、動画モード時のフレームシフト転送の際に、符合Aで示す垂直転送部によって転送された5画素分の信号電荷を転送部で水平方向に並び替えた後に垂直方向に転送することとなる。このことによって、間引きの対象となる列(符合Aで示す垂直転送部以外の垂直転送部に対応する列)の単位蓄積部を有効に利用することができ、蓄積部の縮小化が実現する。
具体的には、水平方向(横方向)に5画素分の信号電荷を並べ、並び替え前と比較して水平方向の画素数を5倍とすることで、同量の信号電荷を蓄積するのに垂直方向(縦方向)に必要とされる蓄積部面積を1/5とすることができる。
例えば、水平4000画素、垂直3000画素の1200万画素のCCD固体撮像素子について、全画素に相当する蓄積部を設ける場合には、1200万画素相当分の蓄積部が必要となる。
また、水平方向及び垂直方向を共に1/5に圧縮し、圧縮後の画素数に相当する蓄積部を設ける場合で、水平方向の配列を行なわない場合には、240万画素相当分の蓄積部が必要となる。即ち、水平4000画素×垂直600画素(3000画素×1/5=600画素)=240万画素相当分の蓄積部が必要となる。
また、水平方向及び垂直方向を共に1/5に圧縮し、圧縮後の画素数に相当する蓄積部を設ける場合で、水平方向の配列を行なわない場合には、240万画素相当分の蓄積部が必要となる。即ち、水平4000画素×垂直600画素(3000画素×1/5=600画素)=240万画素相当分の蓄積部が必要となる。
これに対して、水平方向及び垂直方向をともに1/5に圧縮し、圧縮後の画素数に相当する蓄積部を設ける場合で、水平方向の配列を行なった場合には、48万画素相当分の蓄積部で足りることとなる。即ち、水平800画素(4000画素×1/5=800画素)×垂直600画素(3000画素×1/5=600画素)=48万画素相当分の蓄積分で足りることとなる。即ち、全画素相当分の蓄積部の1/25であり、水平方向の配列をしない場合の蓄積部の1/5で足りることとなる。
以上の通り、本発明を適用したCCD固体撮像装置では、FIT構造の従来のCCD固体撮像装置と同等のスミア特性を担保しつつも、蓄積部の面積を大幅に削減することができる。
また、水平方向に5画素分の信号電荷を並べ、並べ替え前と比較して水平方向の画素数を5倍として、垂直方向の画素数を1/5としており、ラインシフト時間の縮小も実現する。即ち、1ラインシフトによって5倍の信号電荷を転送することができるために、同数の信号量を転送するにあたって、ラインシフトに要する時間は1/5に縮小することができる。
1 CCD固体撮像装置
2 CCD固体撮像素子
3 タイミング発生回路
4 撮像部
5 蓄積部
6 水平転送部
7 転送部
8 画素
9 垂直転送部
11 単位蓄積部
2 CCD固体撮像素子
3 タイミング発生回路
4 撮像部
5 蓄積部
6 水平転送部
7 転送部
8 画素
9 垂直転送部
11 単位蓄積部
Claims (13)
- マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、
信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、
一部の前記垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送する転送部と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部とを備える
固体撮像素子。 - マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、
信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、
水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して前記蓄積部に転送する転送部と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部とを備える
固体撮像素子。 - 前記転送部は、ドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域にも信号電荷を転送する
請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記転送部は、前記蓄積部の全ての領域に信号電荷を転送する
請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記転送部は遮光されている
請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記転送部は、圧縮しない動作モード時には、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応する領域に転送する
請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記転送部は、前記垂直転送部によって転送された全ての信号電荷を出力する動作モード時には、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応する領域に転送する
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 水平方向と垂直方向をいずれも1/Nに圧縮する動作モード時は動画撮影時であり、圧縮しない動作モード時は静止画撮影時である
請求項6に記載の固体撮像素子。 - 一部の前記垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時は動画撮影時であり、前記垂直転送部によって転送された全ての信号電荷を出力する動作モード時は静止画撮影時である
請求項7に記載の固体撮像素子。 - マトリクス状に配列された複数の画素で光電変換する工程と、
前記画素の垂直列毎に設けられた垂直転送部によって前記画素で光電変換された信号電荷を垂直転送する工程と、
所定の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷をドレイン領域に捨てると共に、所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷を、遮光された蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送する工程と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する工程とを備える
固体撮像素子の駆動方法。 - マトリクス状に配列された複数の画素で光電変換する工程と、
前記画素から同画素の垂直列毎に設けられた垂直転送部に、垂直方向の圧縮率が1/N(N:2以上の整数)となる様に信号電荷を読み出し、読み出された信号電荷を垂直転送する工程と、
水平方向の圧縮率が1/Nとなる様に所定の垂直転送部によって垂直転送された信号電荷をドレイン領域に捨てると共に、所定の垂直転送部以外の垂直転送部によって垂直転送されたN画素分の信号電荷を水平方向に配列して遮光された蓄積部に転送する工程と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する工程とを備える
固体撮像素子の駆動方法。 - マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、
信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、
前記垂直転送部から転送された信号電荷を前記蓄積部に転送する転送部と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、
一部の前記垂直転送部によって転送された信号電荷のみを出力する動作モード時に、前記垂直転送部から転送された信号電荷を、前記蓄積部のうち転送元の垂直転送部に対応した領域及びドレイン領域に信号電荷が捨てられた垂直転送部に対応した領域に転送すべく前記転送部を制御する制御部とを備える
撮像装置。 - マトリクス状に配列されて光電変換を行なう複数の画素と、該画素の各信号電荷を列単位で垂直転送する複数の垂直転送部を有する撮像部と、
信号電荷を蓄積する遮光された蓄積部と、
前記垂直転送部から転送された信号電荷を前記蓄積部に転送する転送部と、
前記蓄積部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、
水平方向と垂直方向をいずれも1/N(N:2以上の整数)に圧縮する動作モード時に、所定の垂直転送部によって転送されたN画素分の信号電荷を、水平方向に配列して前記蓄積部に転送すべく前記転送部を制御する制御部とを備える
撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008269273A JP2010098624A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008269273A JP2010098624A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010098624A true JP2010098624A (ja) | 2010-04-30 |
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ID=42259979
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008269273A Pending JP2010098624A (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに撮像装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011155126A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法 |
-
2008
- 2008-10-20 JP JP2008269273A patent/JP2010098624A/ja active Pending
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WO2011155126A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法 |
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