JP2010098244A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】下地段差を考慮したリソグラフィマージンを確保しつつ、高集積度と歩留り向上との両立を図ることを可能とした、半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】CMP後の層間絶縁膜ID11が、第1面SF11とこの第1面SF11よりも基板側に位置する第2面SF12を有し、第1面SF11に形成される第1ホールCH11の最上部の径(D11d)が、第2面SF12に形成される第2ホールCH12の最上部の径(D12d)よりも大きく設けられる。
【選択図】図8
【解決手段】CMP後の層間絶縁膜ID11が、第1面SF11とこの第1面SF11よりも基板側に位置する第2面SF12を有し、第1面SF11に形成される第1ホールCH11の最上部の径(D11d)が、第2面SF12に形成される第2ホールCH12の最上部の径(D12d)よりも大きく設けられる。
【選択図】図8
Description
本発明は製品歩留りを左右する、特にビアホールやコンタクトホール等のホールに着目し、下地段差の影響を抑えるため、下地パターン占有率に応じてホールサイズを調整し、まわりの配線間隔余裕と連動して、ホールサイズが調整された半導体装置およびその製造方法に関する。
SoC(System on a Chip)のメモリ領域などを除き、一般にランダムロジックから構成される半導体装置では、従来から単一のサイズからなるビアホールやコンタクトホールが用いられている。しかし、半導体装置の微細化の進行により、リソグラフィのフォーカスマージンが急激に減少する結果、半導体装置の製造マージンが減少し、わずかな寸法変化が引き金になって、半導体装置の歩留りや信頼性の低下を招く一因となっている。
ビアホールやコンタクトホール等のホールサイズを単一サイズとした半導体装置の製造においては、ホール内に埋め込む金属膜の堆積や平坦化制御においては一定のメリットがあった。しかし、半導体装置の微細化の進行により、わずかな下地段差の変動や装置変動が引き起こす寸法変化が歩留りを左右し始め、安定的な製造を阻害する要因になってきた。
その対策のひとつとして、ホールを1個ではなく、複数配置するレイアウトが用いられるようになってきた。しかし、一般に複数のビアホールの配置はチップ面積の増大を招き、その最適化が困難であった。
また、下層に位置する配線の占有率が違う領域間においては、配線を覆う膜の表面に段差が発生し、この段差を軽減するために、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用いて、配線を覆う膜の表面の平坦化を実施することが行なわれている。
しかしながら、CMPを用いても、配線を覆う膜の表面に発生した段差を完全に平坦にはできないため、残留した段差(数十nmの段差)によって、安定的な半導体装置の製造が阻害されるようになってきている。なお、このような、配線を覆う膜に発生した段差に起因するリソグラフィの問題を解決する技術を開示する特許文献として下記の特許文献1〜3が挙げられる。
特許文献1には、塗布法により有機低誘電率膜を形成することで配線を覆う膜に発生した段差を緩和し、その上に無機反射防止膜を形成することにより焦点深度のマージンを確保する技術が開示されている。特許文献2には、深いコンタクトホールよりも浅いコンタクトホールを小さく形成することにより、配線を覆う膜の段差により深さの異なるコンタクトホールを選択的に形成し、タングステンによってコンタクトホールを埋め込むことができる技術が開示されている。
特許文献3には、被露光材に段差が生じた場合であっても、被露光材の全ての領域で所定のパターンを精度よく同一の工程で露光することのできる減衰型位相シフトマスクを用いた露光方法に関する技術が開示されている。
特開2003−86793号公報
特開平09−172074号公報
特開平08−31711号公報
本発明が解決しようとする課題は、半導体装置の微細化の進行により、わずかな下地段差の変動や装置変動が引き起こす寸法変化が歩留りを左右し始め、安定的な製造が阻害される点にある。したがって、本発明の目的は、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積度と歩留り向上の両立を図ることを可能とした半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
本実施の形態の半導体装置およびその製造方法においては、半導体基板と、この半導体基板上に形成された複数のゲート電極と、この半導体基板の上方に設けられ、第1面とこの第1面よりも基板側に位置する第2面とを有し、これらの複数のゲート電極を内部に有する、CMP法により表面平坦化処理が施された層間絶縁膜と、第1面に形成される第1ホールと、第2面に形成される第2ホールとを有している。また、第1ホールの最上部の径が、第2ホールの最上部の径よりも大きく設けられている。
また、他の実施の形態の半導体装置およびその製造方法においては、半導体基板と、この半導体基板の上方に設けられ、第1面とこの第1面よりも上層側に位置する第2面とを有し、溝内に埋め込まれたCu配線を複数内部に有する、CMP法により表面平坦化処理が施された層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の第1面に形成される第1ホールと、この層間絶縁膜の第2面に形成される第2ホールとを有している。また、第1ホールの最上部の径が、第2ホールの最上部の径よりも大きく設けられている。
上述した本実施の形態の半導体装置およびその製造方法によれば、下地パターン占有率に応じたホールサイズ調整を行なうことにより、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積度と歩留り向上の両立を図ることが可能となる。
また、まわりのレイアウトに応じたホールサイズ調整を実施できることから、チップ面積を増大させることなく、ビアホールの歩留りを改善することができる。また、ホールサイズを大きくする効果により、半導体装置のエレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションに対する配線信頼性向上を期待することができる。
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。また、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。
(参考例1)
まず、以下に示す実施の形態1を説明するための参考例1における半導体装置の構造について、図1から図4を参照して説明する。なお、図1は、参考例1における半導体装置の構造を示す平面図であり、図2は、参考例1における半導体装置の構造を示す、図1中のII−II線矢視断面図である。また、図3は、参考例1における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図4は、参考例1における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
まず、以下に示す実施の形態1を説明するための参考例1における半導体装置の構造について、図1から図4を参照して説明する。なお、図1は、参考例1における半導体装置の構造を示す平面図であり、図2は、参考例1における半導体装置の構造を示す、図1中のII−II線矢視断面図である。また、図3は、参考例1における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図4は、参考例1における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
図1に示すように、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)において、単位面積あたりの容量を向上させるために、一般的には、(A),(B)のようにゲート電極GE11を平面的に見て、アレイ状に配置する必要がある。(A)はゲート電極GE11のパターン占有率の高い領域R11を示し、(B)はゲート電極GE11のパターン占有率の低い領域R12を示している。
なお、後述の図面においても、(A)は、ゲート電極GE11のパターン占有率の高い領域を示し、(B)はゲート電極GE11のパターン占有率の低い領域R12を示している。また、図においては半導体基板S11の上に酸化膜を介在させてゲート電極GE11が設けられているMOSの構造を簡略化して示しており、ソース/ドレイン領域等の不純物拡散領域や、サイドウォールの図示は省略している。
MOSにおける単位面積あたりの容量を向上させるためには、ゲート電極GE11の配線パターンの占有率を高めて配置することが好ましい。しかし、以下のような問題が生じる。
半導体チップにおいては、容量素子領域のようにゲート電極GE11のパターン占有率の高い領域R11と、通常の論理回路領域にあたるパターン占有率の低い領域R12とが混在する。このように、パターン占有率の高い領域R11とパターン占有率が低い領域R12が混在した場合、図2に示すように、ゲート電極GE11を覆うゲートコンタクト層である層間絶縁膜ID11の表面には段差が生じる。この段差を解消し、層間絶縁膜ID11の表面平坦化のために、層間絶縁膜ID11の表面にCMPが施される。
しかし、図2の断面図に示すように、層間絶縁膜ID11の段差を完全に解消することは困難であり、パターン占有率の高い領域R11とパターン占有率の低い領域R12との間には、数十nm高さの段差ST11が残留する。なお、ゲート電極GE11の高さは、約100nm程度であり、層間絶縁膜ID11の半導体基板S1の表面からの膜厚さは、約300nm程度である。
この段差ST11が残留した状態で、層間絶縁膜ID11の上に形成されたレジスト膜などからなるマスクRF11にフォトリソグラフィ技術を用いて露光を行なう場合には、半導体チップの大半の領域を占める、パターン占有率の低い領域R12側に焦点が合わされる。
その結果、図3に示すように、マスク膜RF11の現像を行なうと、占有率の高い領域R11に形成されるレジストホールRH11の径(最上端の径)D11aは、占有率の低い領域R12に形成されるレジストホールRH12の径(最上端の径)D12aに比べて小さく形成される。
図4は、パターンエッチングが終了したマスクRF11を用いて、層間絶縁膜ID11のエッチング工程を終えた半導体装置の断面図である。層間絶縁膜ID11のエッチングでは、図3に示すマスクRF11のレジストホールRH11,RH12の形状が反映されたコンタクトホールCH11,CH12が形成される。
その結果、図4に示すように、占有率の低い領域R12に形成されるコンタクトホールCH12の径(最上端の径)をD12bとし、占有率の低い領域R11に形成されるコンタクトホールCH11の径(最上端の径)をD11bとした場合、D11b<D12bの関係となる。その理由を説明したのが図5および図6である。図5は、フォーカスマージンとプロセスノードとの関係を示す図であり、図6は、寸法とフォーカスとの関係を示す図である。
図5に示すように、MOSの微細化によるスケーリングが進む(プロセスノードがAからBに向けて移動する)と、リソグラフィ技術には高いパターン解像度が求められる。その結果、フォーカスマージン(μm)は減少することになる。これにより、残留段差部分(占有率の高い領域R11)に形成される焦点はデフォーカスとなり、図6に示すように、レジストホールRH11の仕上り寸法は、プロセスノードがAからBに向かうほど小さくなる。
D11b<D12bとなる理由を整理すると、以下の(a)、(b)が挙げられる。(a)段差が原因となりレジスト寸法が小さくなる。(b)層間絶縁膜ID11が厚く形成されることから、ホールのボトム径は定性的に小さくなる。これらの理由から、段差が存在する場所ではある一定の確率で歩留りを落としていた。
(実施の形態1)
そこで、本実施の形態1においては、あらかじめゲート電極GE11の占有率が高い領域R11に配置されるコンタクトホールを、認識装置を用いて抽出し、コンタクトホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R12に配置されるコンタクトホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズよりも大きく形成する。
そこで、本実施の形態1においては、あらかじめゲート電極GE11の占有率が高い領域R11に配置されるコンタクトホールを、認識装置を用いて抽出し、コンタクトホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R12に配置されるコンタクトホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズよりも大きく形成する。
そのデータを用いてリソグラフィ工程をおこなった場合の断面図を図7、エッチング後の半導体装置の断面図を図8に示す。なお、図7は、この発明に基づいた実施の形態1における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図8は、この発明に基づいた実施の形態1における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
図8に示すように、本実施の形態1における半導体装置は、半導体基板S11の上方に、表面に平坦化処理が施された層間絶縁膜(ゲートコンタクト層)ID11を備え、この層間絶縁膜ID11の表面は、第1面SF11とこの第1面SF11よりも半導体基板S11に位置する第2面SF12とを有している。
また、層間絶縁膜ID11の第1面SF11に形成される第1ホールCH11と、層間絶縁膜ID11の第2面SF12に形成される第2ホールCH12とを有し、第1ホールCH11の最上部の径(D11d)が、第2ホールCH12の最上部の径(D12d)よりも大きく設けられている。
再び、図7を参照して、この構成からなる半導体装置の製造方法においては、まず、半導体基板上にゲート電極を形成することにより、ゲート電極GE11の占有率が高い領域R11と、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R12とを形成する。その次に、これらのゲート電極を有する半導体基板の上に層間絶縁膜ID11を形成する。その後、層間絶縁膜ID11の表面にCMP等により平坦化処理を施す。
この際、層間絶縁膜ID11の表面には、ゲート電極GE11の占有率が高い領域R11と、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R12との間に段差ST11が残存する。その結果、層間絶縁膜ID11の表面には、第1面SF11とこの第1面SF11よりも基板側に位置する第2面SF12とが形成されることになる。
次に、上述したように、コンタクトホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R11に配置されるホールサイズが、ゲート電極GE11の占有率が低い領域R12に配置されるホールサイズよりも大きく形成する。
その結果、段差ST11で多少デフォーカスになっても影響はそれほど受けず、占有率の高い領域R11に形成されるレジストホールRH11の径(最上端の径)D11cは、占有率の低い領域R12に形成されるレジストホールRH12の径(最上端の径)D12cに比べて大きく形成される。
次に、図8に示すように、パターンエッチングが終了したマスクRF11を用いて、層間絶縁膜ID11のエッチング工程を施す。層間絶縁膜ID11のエッチングでは、図7に示すマスクRF11のレジストホールRH11,RH12の形状が反映されたコンタクトホールCH11,CH12が形成される。占有率の低い領域R12に形成されるコンタクトホールCH12の径(最上端の径)をD12dとし、占有率の低い領域R11に形成されるコンタクトホールCH11の径(最上端の径)をD11dとすると、D11d>D12dの関係となる。
また、コンタクトホールCH11,CH12の底部(半導体基板S1に接する部分)の径も通常部と同等以上のサイズを確保できる。この結果、ゲート電極GE11の占有率の高い領域R11においても歩留りを落とさずパターン形成を行なうことができる。
このように、図8に示す半導体装置の構造を見た場合において、CMP後の層間絶縁膜ID11が、第1面SF11とこの第1面SF11よりも基板側に位置する第2面SF12を有し、第1面SF11に形成される第1ホールCH11の最上部の径(D11d)が、第2面SF12に形成される第2ホールCH12の最上部の径(D12d)よりも大きく設けられている。
ここで半導体装置の前提条件として、配線間隔やホールとの余裕は、ホールが大きく形成されても配線間ショートなどの問題が起こらないレイアウトにしておくことが肝要となる。もともとMOS容量素子で使われるメタル配線パターンピッチは緩い場合が多く、ピッチを広げても面積が拡大することは少ない。容量素子領域R11の配線ピッチやホールピッチは、通常論理回路領域R12の配線ピッチやホールピッチの2倍以上にされ、配線間ショート等の不具合が起きないようになっている。
よって、本実施の形態に示すような条件を導入しても集積度が低下することはない。あわせて、このような領域では、ホールを複数配置しておけば、歩留り向上に有効である。このように本実施の形態によれば、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積化と歩留り向上との両立を図ることが可能になる。
次に、図8に示す構造を備えた具体的な半導体装置の一例を図9に示す。図9に示す半導体装置は、半導体基板S11の主表面にトレンチ絶縁膜TI10,TI11,TI12で分離されたウエル領域S111,S112が形成されている。ウエル領域S111は、容量素子領域R11を構成し、ウエル領域S112は、通常論理回路領域R12を構成している。容量素子領域R11は、ゲート電極の配線占有率の高い領域であり、通常論理回路領域R12は、ゲート電極の配線占有率の低い領域である。
容量素子領域R11においては、ウエル領域S111の主表面上にゲート絶縁膜を介在して、所定形状のゲート電極GE11、サイドウォールSW11が形成されている。また、ウエル領域S111中の所定領域には、第1不純物拡散領域IR111および第2不純物拡散領域IR112が形成されている。
通常論理回路領域R12においても、ウエル領域S112の主表面上にゲート絶縁膜を介在して、所定形状のゲート電極GE11、サイドウォールSW11が形成されている。また、ウエル領域S112中の所定領域には、第1不純物拡散領域IR111および第2不純物拡散領域IR112が形成されている。
ウエル領域S111およびウエル領域S112の主表面上には、ゲート電極GE11を覆うように、層間絶縁膜ID11が設けられている。層間絶縁膜ID11の表面は、段差を低減させるためにCMPが施されるが、容量素子領域R11と通常論理回路領域R12との間には、数十nm高さの段差ST11が残留する。
容量素子領域R11および通常論理回路領域R12のそれぞれの領域において、層間絶縁膜ID11には、不純物拡散領域IR111に通じるコンタクトホールCH11,CH12が形成されている。コンタクトホールCH11の最上部の径をD11dとし、コンタクトホールCH12の最上部の径をD12dとした場合、D11d>D12dの関係となるように設けられている。
各コンタクトホールCH11,CH12には、不純物拡散領域IR111に電気的に接続するコンタクト部材CD11,CD12が埋め込まれている。
以上、図9に示す半導体装置およびその方法によれば、層間絶縁膜ID11の容量素子領域R11側の第1面SF11と、この第1面SF11よりも基板側に位置する通常論理回路領域R12側の第2面SF12を有し、第1面SF11に形成される第1ホールCH11の最上部の径(D11d)が、第2面SF12に形成される第2ホールCH12の最上部の径(D12d)よりも大きく設けられている。
これにより、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積化と歩留り向上との両立を図ることが可能になる。また、レイアウトに応じたコンタクトホールサイズ調整や複数ホールの配置により、チップ面積を増大させることなく、コンタクトホールの歩留りの改善を可能とした半導体装置を提供することが可能となる。また、コンタクトホールサイズを大きくする効果により、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションに対する配線信頼性の向上を図ることを可能とした半導体装置を提供することも可能となる。
(参考例2)
次に、以下に示す実施の形態2を説明するための参考例2における半導体装置の構造について、図10から図13を参照して説明する。なお、図10は、参考例2における半導体装置の構造を示す平面図であり、図11は、参考例2における半導体装置の構造を示す、図10中のXI−XI線矢視断面図である。また、図12は、参考例2における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図13は、参考例2における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
次に、以下に示す実施の形態2を説明するための参考例2における半導体装置の構造について、図10から図13を参照して説明する。なお、図10は、参考例2における半導体装置の構造を示す平面図であり、図11は、参考例2における半導体装置の構造を示す、図10中のXI−XI線矢視断面図である。また、図12は、参考例2における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図13は、参考例2における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
図10に示すように、半導体装置の中には、メタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が高い領域R21と低い領域R22が存在する。Cuを配線材料としたダマシンプロセスでは、単層ではさほど大きくないCMP研磨後のディッシングによる段差が、図11のように、メタル配線パターンML21,ML22,ML23を含む複数の層間絶縁膜ID21,ID22,ID23が積層されると、各層に生じる段差が蓄積されて、層間絶縁膜ID23の表面に大きな残留段差T21が生じて問題になることが考えられる。
このような場合、図12および図13に示す、層間絶縁膜ID24に設けるビアホールBH21のリソグラフィ工程で問題が生じる。通常、半導体チップの大半の領域を占める、パターン占有率の低い領域R22側に焦点が合わされる。その結果、レジスト膜などからなるマスクRF21の現像を行なうと、図12に示すように、半導体チップの大半の領域を占める、占有率の低い領域R22側にフォーカスが合わされる結果、占有率の高い領域R21に形成されるレジストホールRH21の径(最上端の径)D21aは、占有率の低い領域R22に形成されるレジストホールRH22の径(最上端の径)D22aに比べて小さく形成される。
図13は、パターンエッチングが終了したマスクRF21を用いて、層間絶縁膜ID24のエッチング工程を終えた断面図である。層間絶縁膜ID24のエッチングでは、図12に示すマスクRF21のレジストホールRH21,RH22の形状が反映されたビアホールBH21,BH22が形成される。
その結果、占有率の低い領域R22に形成されるビアホールBH22の径(最上端の径)をD22bとし、占有率の高い領域R21に形成されるビアホールBH21の径(最上端の径)をD21bとすると、実施の形態1の場合と同様の理由から、D21b<D22bの関係となる。特に、ダマシンプロセスではこの後に続く配線トレンチ形成工程でも、下地段差の上のパターンが所望の通りに仕上がらないという問題が生じる。
(実施の形態2)
そこで、本実施の形態2においては、あらかじめメタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が高い領域R21に配置されるビアホールを、認識装置を用いて抽出し、ビアホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、メタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が低い領域R22に配置されるビアホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズよりも大きく形成する。
そこで、本実施の形態2においては、あらかじめメタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が高い領域R21に配置されるビアホールを、認識装置を用いて抽出し、ビアホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、メタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が低い領域R22に配置されるビアホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズよりも大きく形成する。
そのデータを用いてリソグラフィ工程をおこなった場合の断面図を図14、エッチング後の半導体装置の断面図を図15に示す。なお、図14は、この発明に基づいた実施の形態2における半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図15は、この発明に基づいた実施の形態2における半導体装置の構造およびその製造方法を示す断面図である。
図15に示すように、本実施の形態1における半導体装置は、半導体基板S21の上方に、表面に平坦化処理が施された上層層間絶縁膜(Cuダマシン配線層)ID24を備え、この上層層間絶縁膜ID24の表面は、第1面SE21とこの第1面SF21よりも上層側に位置する第2面SF22とを有している。
また、上層層間絶縁膜ID24の第1面SF21に形成される第1ホールBH21と、上層層間絶縁膜ID24の第2面SF22に形成される第2ホールBH22とを有し、第1ホールBH21の最上部の径(D21d)が、第2ホールBH22の最上部の径(D22d)よりも大きく設けられている。
再び図14を参照して、この構成からなる半導体装置の製造方法においては、まず、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が高い領域R21と、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が低い領域R22とを有する層間絶縁膜ID21,ID22、ID23を複数膜積層形成する。これらメタル配線パターンML21,ML22,ML23を有する層間絶縁膜ID21,ID22,ID23のそれぞれは、層間絶縁膜を形成後、この層間絶縁膜内に溝を設け、この溝内にCu等のメタル材料を埋め込んだ後、CMP法により平坦化処理を行なって作成される。次に、層間絶縁膜ID23の上に、上層層間絶縁膜ID24を形成する。その後、上層層間絶縁膜ID24の表面にCMP等により平坦化処理を施す。
この際、上層層間絶縁膜ID24の表面には、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が高い領域R21と、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が低い領域R22との間に、層間絶縁膜ID21,ID22,ID23の各層に生じる段差が蓄積さることに起因する、残留段差ST21が形成される。その結果、上層層間絶縁膜ID24の表面には、第1面SF21とこの第1面SF21よりも上層側に位置する第2面SF22とが形成されることになる。
次に、上述したように、ビアホールを形成するためのフォトマスク側のホールサイズを、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が高い領域R21に配置されるホールサイズが、メタル配線パターンML21,ML22,ML23の占有率が低い領域R22に配置されるホールサイズよりも大きく形成する。
その結果、段差ST21で多少デフォーカスになっても影響はそれほど受けず、占有率の高い領域R21に形成されるレジストホールRH21の径(最上端の径)D21cは、占有率の低い領域R22に形成されるレジストホールRH22の径(最上端の径)D22cに比べて大きく形成される。
次に、図15の断面図に示すように、パターンエッチングが終了したマスクRF21を用いて、上層層間絶縁膜ID24のエッチング工程を施す。上層層間絶縁膜ID24のエッチングでは、図14に示すマスクRF21のレジストホールRH21,RH22の形状が反映されたビアホールBH21,BH22が形成され、占有率の低い領域R22に形成されるビアホールCH22の径(最上端の径)をD22dとし、占有率の低い領域R21に形成されるビアホールBH21の径(最上端の径)をD21dとすると、D21d>D22dの関係となる。
また、ビアホールBH21,22の底部(メタル配線パターンML23に接する部分)の径も通常部と同等以上のサイズを確保できる。この結果、メタル配線パターンML21,ML22,ML23のパターン占有率が高い領域R21においても歩留りを落とさずパターン形成を行なうことができる。
このように、図15に示す半導体装置の構造を見た場合において、CMP後の上層層間絶縁膜ID24が、第1面SF21とこの第1面SF21よりも上層側に位置する第2面SF22を有し、第1面SF21に形成される第1ホールBH21の最上部の径(D21d)が、第2面SF22に形成される第2ホールBH22の最上部の径(D22d)よりも大きく設けられている。
また一般に、Cuダマシン配線の占有率を高くせざるを得ない領域は、特に配線抵抗を下げたい回路に限定され、多少のピッチ緩和や配線の幅、間隔を広げることによる面積ロスは生じない。あわせて、このような領域では、ビアホールを複数配置しておけば、歩留り向上に有効である。よって本実施の形態により、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積化と歩留り向上の両立が図れるようになる。
次に、図15に示す構造を備えた具体的な半導体装置の一例を図16に示す。図16に示す半導体装置は、半導体基板S11の主表面にトレンチ絶縁膜TI20,TI21,TI22で分離されたウエル領域S211,S212が形成されている。ウエル領域S211は、電源回路領域R21を構成し、ウエル領域S212は、通常論理回路領域R22を構成している。電源回路領域R21は、Cuダマシン配線の占有率の高い領域であり、通常論理回路領域R12は、Cuダマシン配線の占有率の低い領域である。この電源回路領域R21は、通常論理回路領域R22を有するCPU(Central Processing Unit)領域やメモリ回路領域、AD変換回路やDA変換回路やPLL回路等のアナログ回路領域を少なくとも一つは含む領域をリング状に取り囲んでいる。
電源回路領域R21においては、ウエル領域S211の主表面上にゲート絶縁膜を介在して、所定形状のゲート電極GE21、サイドウォールSW21が形成されている。また、ウエル領域S211中の所定領域には、第1不純物拡散領域IR211および第2不純物拡散領域IR212が形成されている。
電源回路領域R21においても、ウエル領域S212の主表面上にゲート絶縁膜を介在して、所定形状のゲート電極GE21、サイドウォールSW21が形成されている。また、ウエル領域S212中の所定領域には、第1不純物拡散領域IR211および第2不純物拡散領域IR212が形成されている。
ウエル領域S211およびウエル領域S212の主表面上には、ゲート電極GE21を覆うように、層間絶縁膜ID21が設けられている。また、層間絶縁膜ID21には、不純物拡散領域IR211,IR212に通じるコンタクトホールCH21,CH22が形成されている。各コンタクトホールCH21,CH22には、不純物拡散領域IR211に電気的に接続するコンタクト部材CD21,CD22が埋め込まれている。さらに、このコンタクト部材CD21,CD22の上端部には、Cuダマシン配線層ML21が設けられている。
層間絶縁膜ID21の上層には、Cuダマシン配線層ML22を含む層間絶縁膜ID22、Cuダマシン配線層ML23を含む層間絶縁膜ID23、Cuダマシン配線層ML24を含む層間絶縁膜ID24、および、Cuダマシン配線層ML25を含む層間絶縁膜ID25が積層されている。
層間絶縁膜ID25の上には、さらに上層層間絶縁膜ID26が設けられている。上層層間絶縁膜ID26の表面には、各層に生じる段差が蓄積された、数十nm高さの段差S21が生じている。
電源回路領域R21および通常論理回路領域R22のそれぞれの領域において、上層層間絶縁膜ID26には、下層のCuダマシン配線層ML25に通じるビアホールBH21,BH22が形成されている。ビアホールBH21の最上部の径をD21dとし、ビアホールBH22の最上部の径をD22dとした場合、D21d>D22dの関係となるように設けられている。
各ビアホールBH21,BH22には、Cuダマシン配線層ML25に電気的に接続するコンタクト部材BD21,BD22が埋め込まれている。
以上、図16に示す半導体装置においては、CMP後の上層層間絶縁膜ID26の電源回路領域R21側の第1面SF21と、この第1面SF21よりも上層側に位置する通常論理回路領域R22側の第2面SF22を有し、第1面SF21に形成される第1ホールCH11の最上部の径(D21d)が、第2面SF22に形成される第2ホールCH22の最上部の径(D22d)よりも大きく設けられている。
これにより、下地段差を考慮したリソマージンを確保しつつ、高集積化と歩留り向上との両立を図ることが可能になる。また、レイアウトに応じたビアホールサイズ調整や複数ホールの配置により、チップ面積を増大させることなく、ビアホールの歩留りの改善を可能とした半導体装置を提供することが可能となる。また、ビアホールサイズを大きくする効果により、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションに対する配線信頼性の向上を図ることを可能とした半導体装置を提供することも可能となる。
今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
BD21,BD22 コンタクト部材、BH21 第1ホール(ビアホール)、BH22 第2ホール(ビアホール)、CD11,CD12,CD21,CD22 コンタクト部材、CH11 第1ホール(コンタクトホール)、CH12 第2ホール(コンタクトホール)、CH21,CH22 コンタクトホール、GE11,GE21 ゲート電極、ID11,ID21,ID22,ID23,ID24,ID25,ID26 層間絶縁膜、IR111,IR211,IR211 第1不純物拡散領域、IR112,IR212 第2不純物拡散領域、ML21,ML22,ML23,ML24,ML25 メタル配線パターン(Cuダマシン配線層)、R11 パターン占有率の高い領域(容量素子領域)、R12 パターン占有率の低い領域(通常論理回路領域)、R21 パターン占有率の高い領域(電源回路領域)、R22 パターン占有率の低い領域(通常論理回路領域)、RF11,RF21 マスク(レジスト膜)、RH11,RH12,RH21,RH22 レジストホール、S11 半導体基板、S111,S112,S211,S212 ウエル領域、SF11,SF21 第1面、SF12,SF22 第2面、ST11,ST21 段差、SW11,SW21 サイドウォール、TI10,TI11,TI12,TI20,TI21,TI22 トレンチ絶縁膜。
Claims (6)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された複数のゲート電極と、
前記半導体基板の上方に設けられ、第1面とこの第1面よりも基板側に位置する第2面とを有し、前記複数のゲート電極を内部に有する、CMP法により表面平坦化処理が施された層間絶縁膜と、
前記第1面に形成される第1ホールと、
前記第2面に形成される第2ホールと、を有し、
前記第1ホールの最上部の径が、前記第2ホールの最上部の径よりも大きく設けられる、半導体装置。 - 当該半導体装置は、ゲート容量素子領域と論理回路領域とを有し、
前記第1面は、前記ゲート容量素子領域に位置し、
前記第2面は、前記論理回路領域に位置し、
前記ゲート容量素子領域の前記複数のゲート電極の占有率は前記論理回路領域の前記複数のゲート電極の占有率よりも高い、請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上方に設けられ、第1面とこの第1面よりも上層側に位置する第2面とを有し、溝内に埋め込まれたCu配線を複数内部に有する、CMP法により表面平坦化処理が施された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の第1面に形成される第1ホールと、
前記層間絶縁膜の第2面に形成される第2ホールと、を有し、
前記第1ホールの最上部の径が、前記第2ホールの最上部の径よりも大きく設けられる、半導体装置。 - 当該半導体装置は、電源回路領域と論理回路領域とを有し、
前記第1面は、前記電源回路領域に位置し、
前記第2面は、前記論理回路領域に位置し、
前記電源回路領域の前記複数のCu配線の占有率は前記論理回路領域の前記複数のCu配線の占有率よりも高い、請求項3に記載の半導体装置。 - ゲート電極の占有率が高い領域と、ゲート電極の占有率が低い領域とを有する半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板の上に層間絶縁膜を形成する工程と、
層間絶縁膜の表面に平坦化処理を施し、前記層間絶縁膜の表面に、第1面とこの第1面よりも半導体基板側に位置する第2面とが形成される工程と、
前記層間絶縁膜の上に、前記層間絶縁膜にコンタクトホールを形成するためのホールを有するマスクを形成する工程と、
前記ホールを有する前記マスクを用いて、前記層間絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程とを備え、
前記マスクに形成される前記ホールのサイズは、前記ゲート電極の占有率が高い領域に配置されるホールサイズが、前記ゲート電極の占有率が低い領域に配置されるホールサイズよりも大きく形成されることにより、前記層間絶縁膜の第1面に形成される前記コンタクトホールの最上部の径が、前記層間絶縁膜の第2面に形成される前記コンタクトホールの最上部の径よりも大きく設けられる、半導体装置の製造方法。 - メタル配線パターンの占有率が高い領域と、メタル配線パターンの占有率が低い領域とを有する層間絶縁膜を複数膜積層形成する工程と、
前記層間絶縁膜の上に上層層間絶縁膜を形成する工程と、
前記上層層間絶縁膜の表面にCMP法により平坦化処理を施し、前記上層層間絶縁膜の表面に、第1面とこの第1面よりも上層側に位置する第2面とが形成される工程と、
前記上層層間絶縁膜の上に、前記上層層間絶縁膜にビアホールを形成するためのホールを有するマスクを形成する工程と、
前記ホールを有する前記マスクを用いて、前記上層層間絶縁膜にビアホールを形成する工程とを備え、
前記マスクに形成される前記ホールのサイズは、前記メタル配線パターンの占有率が高い領域に配置されるホールサイズが、前記メタル配線パターンの占有率が低い領域に配置されるホールサイズよりも大きく形成されることにより、前記上層層間絶縁膜の第1面に形成される前記ビアホールの最上部の径が、前記上層層間絶縁膜の第2面に形成される前記ビアホールの最上部の径よりも大きく設けられ、
前記層間絶縁膜は、前記層間絶縁膜内に溝を形成する工程と、前記溝内にCu金属が埋め込まれる工程と、前記層間絶縁膜上のCu金属が、CMP法により除去されることにより前記溝内に前記メタル配線パターンが形成される工程により加工される、半導体装置の製造方法。
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JP2016171150A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
-
2008
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