JP2010098197A - 半導体テストシステムおよび半導体テストシステムにおける検査対象となる半導の電極パッド表面の酸化被膜除去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査対象の電極パッド表面に触れること無く、電極パッド表面の酸化被膜を除去することができる、半導体テストシステムおよび半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法を提供する。
【解決手段】複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行う。
【選択図】 図2
【解決手段】複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行う。
【選択図】 図2
Description
本発明は、接触することなく検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜を除去することができる半導体テストシステム、およびその半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法に関する。
LSIチップなどの半導体の電気的諸特性の検査は、半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブを検査対象となる電極パッドに接触させて行われる。検査の際、電極パッドとプローブとの電気的接続を確保するために、上記電極パッド表面の酸化被膜を除去する必要がある。
従来はプローブカードに所定の荷重を加え、オーバードライブによりプローブの先端で電極パッド表面の酸化被膜を機械的に削り取り、電極パッドの導電部分を露出させることが行われている。
このような、オーバードライブにより電極パッド表面の酸化膜を削り取る場合には、オーバードライブの量が多くてもスクラブ痕の増大を制御する必要があり特許文献1にも示されているように、プローブ形状に様々な工夫が成されていた。
特開2002−328139
しかしながら、プローブカードの多ピン化が進む一方で、プローブカードに加えられる荷重には物理的に限度があることから、1本当りのプローブに加えられる荷重には制限があり、また、最近の半導体ウエハは電極パッドの密度が高くなると共に、電極パッド下が脆弱であることから、細いプローブで低荷重で少スクラブコンタクトを行う必要がある。
しかしながら、微小化するプローブでは、十分なコンタクト圧を確保するのが難しいという問題が発生する。また、酸化被膜の機械的破壊に伴って、電極パッド下のエレメントに損傷を与えることが考えられる。さらに、プローブ支持基板の強度不足で、多数プローブによる一括検査が難しくなってくる。
そこで、本発明はこのような従来の課題を解決するために、検査対象の半導体の電極パッド表面に触れること無く、電極パッド表面の酸化被膜を除去することができる、半導体テストシステムおよび半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法を提供することを目的とする。
本発明の半導体テストシステムは、複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行うことを特徴とする。
上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を、上記プローブの先端と検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドの間、電極パッドの表面とすることもできる。
また、上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させることもできる。
本発明の半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法は、半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブの先端を、検査対象となる半導体の電極パッドに対して所定の間隔まで接近させ、レーザー発振器によって上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記プローブに接続された放電用電源によって上記プローブの先端にアーク放電を生じさせることにより、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することを特徴とする。
上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を、上記プローブの先端と検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドの間、電極パッドの表面とすることもできる。
また、上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させることもできる。
本発明の半導体テストシステムは、複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行うことによって、放電をスムーズに生じさせ、検査対象となる半導体の電極パッドに接触することなく、電極パッド表面の酸化被膜を除去することが可能となる。
また、上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させることによって、複数の電極パッドの表面の酸化被膜を効率よく除去することができる。
本発明の半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法は、半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブの先端を、検査対象となる半導体の電極パッドに対して所定の間隔まで接近させ、レーザー発振器によって上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記プローブに接続された放電用電源によって上記プローブの先端にアーク放電を生じさせることにより、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することにより、放電をスムーズに生じさせ、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することにより、検査対象となる電極パッドを傷付けることなく表面の酸化被膜を除去することが可能となる。
また、上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させることによって、複数の電極パッドの表面の酸化被膜を効率よく除去することができる。
本発明の半導体テストシステムおよび半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法について以下に詳細に説明する。
本発明は、アーク放電を用いて、検査対象となる半導体ウエハ上に設けられた電極パッド表面に接触することなく、上記電極パッド表面の酸化被膜を除去することを特徴としている。
第1の実施形態の半導体テストシステム1について説明する。半導体テストシステム1は、図1に示すように、複数のプローブ2を搭載したプローブカード3と、半導体ウエハ9を積載するステージ4と、上記プローブカード3と上記ステージ4との距離を調節する移動機構5と、上記プローブ2に接続された放電用電源6と、レーザー発振器7と、不活性ガス噴射手段21と、上記プローブ2に接続されたテスター17を備える。
上記プローブカード3は、上記プローブ2を保持するガイド基板18と、メイン基板19と、補強板20を備えた垂直型プローブカードである。一例として、垂直型プローブカードを用いて説明するが、特にこれに限定するものではなく、その他のカンチレバー型プローブカードを用いることも可能である。
上記放電用電源6は、上記プローブ2の先端にマイクロアーク放電を生じさせるために上記プローブ2と上記半導体ウエハ9の電極パッド10に電気を流すために用いる電源であり、上記不活性ガス噴射手段21は、アーク放電を生じさせる時に上記プローブ2の先端付近にAr、Heといった不活性ガスを噴射するためのものである。
上記不活性ガスは、上記プローブ2の先端付近に噴射することが好ましいが、上記半導体システム1の内部を、Ar等の不活性ガスで希釈した空気で置換してもよい。マイクロアーク放電はAr濃度がゼロの場合でも生じるので、上記プローブ2と検査対象となる電極パッド10の距離に応じてその濃度を適宜選択する。また、マイクロアーク放電が生じにくい場合には、上記半導体テストシステム1の内部を負圧にするとよい。
上記レーザー発振器7は、上記プローブ2の先端にレーザーを照射し、アーク放電を誘発するものであり、レーザーとしては、短時間にエネルギーを圧縮して発振を行い、極めて強いレーザー光をきわめて細かい範囲に照射することが可能なフェムトレーザーを用いる。また、レーザーの媒体による種類としては、ガスレーザーであるエキシマレーザー等を用いる。レーザーの種類については、特にこれらに限定するものではなく、その他のレーザーも用いることができる。
上述のような半導体テストシステム1を用いて、半導体ウエハ9上に設けられたAlの電極パッド10の表面に付着しているAl2O3の酸化被膜11を除去する。そのために、上記電極パッド10の表面と、半導体テストシステム1のプローブカード3に設けられたプローブ2の先端との間にアーク放電を生じさせる。アーク放電は−電極から+電極へと電子が移動するときに生じる現象であり、ここでは、上記プローブ2を−電極、上記電極パッド10を+電極とする。
そして、上記プローブ2の先端を上記電極パッド10に所定の間隔まで接近させ、上記不活性ガス噴射手段21により不活性化ガスを上記電極パッド10と上記プローブ2の間に噴射し、所定の雰囲気状態とする。
そして、図2(a)に示すように、上記レーザー発振器7によりレーザーを上記プローブ2の先端に照射し、上記プローブ2に接続した放電用電源6によって所定値の電流を流す。上記レーザーの照射によって上記プローブ2の先端が加熱されて熱電子が放出され、上記放電用電源6によって、図2(b)に示すように、アーク放電8が発生する。このように、レーザーの照射を用いることによって、アーク放電8が容易に発生することができる。
上記アーク放電8の際に、上記電極パッド10の表面から上記プローブ2の先端に電子が移動するが、この時、上記電極パッド10の材質Alと上記酸化被膜11の材質Al2O3の仕事関数を比較すると、Al2O3の方が仕事関数が小さいことから、酸化被膜11の方が上記電極パッド10よりも電子を放出しやすいので、上記電極パッド10の電子ではなく、上記酸化被膜11の電子が上記プローブ2の先端へと移動して上記アーク放電8が発生する。
このようなアーク放電8が発生することにより、上記酸化被膜11は電子が放出されて上記電極パッド10の表面から除去されていく。上記プローブ2が接触する範囲の上記酸化被膜11が除去されたら、上記放電用電源6および上記不活性ガス噴射手段21を停止し、アーク放電を終了する。これによって、上記プローブ2が接触する範囲は、図2(c)に示すように、上記電極パッド10の表面が露出した状態となる。
このように検査対象となる電極パッド10が露出された状態となれば、従来のようにオーバードライブによって上記プローブ2を上記電極パッド10に押し付けて上記酸化被膜11を除去する必要が無くなるので、上記移動機構5によって上記ステージ4上の半導体ウエハ9を移動させ、図2(d)に示すように、上記プローブ2を上記電極パッド10に接触させて、テスター17を作動させると検査を行うことができる。なお、酸化被膜を除去したあと、電極パッド10とプローブ2が所定の距離離れた状態で、アーク放電電圧にパルス電圧を印加した電圧を電極パッドとプローブの間に印加し、パルス波形の変化から半導体の検査を行うことも可能である。
図1に示す半導体テストシステム1は、上記プローブ2と上記電極パッド10の距離をステージ4側に設けられた移動機構5で調整する構造であるが、上記ステージ4の位置を固定し、上記プローブカード3を移動させるように、上記移動機構5を設置しても良い。
本発明は、このようにして、従来のように上記プローブ2によって機械的に酸化被膜11を削ることなく、全く上記電極パッド10に触れずに酸化被膜11を除去することが可能となる。
従って、上記プローブカード3に対して加える荷重は、上記電極パッド10に対するコンタクト圧だけですむので、非常に小さくなる。また、上記電極パッド10を機械的に削らないので、上記電極パッド10を傷付けることもなくなる。
上記プローブカード3には複数のプローブ2が配置されている。そこで、上述のような酸化被膜の除去を複数の電極パッド10に対して行う必要がある。その方法について説明する。
上記レーザー発振器7をプローブカード3の外側にセットし、上記レーザー発振器7のレーザー照射角度を水平及び垂直に可動にする。そして、対象となるプローブ2の位置に合わせてレーザー照射方向を変えていく。例えば、垂直方向にレーザー照射方向を変化させて、順番にプローブ2の先端にレーザーを照射する、あるいは、垂直および水平方向にレーザー照射位置を変化させて、順番にプローブ2の先端にレーザーを照射することによって、複数のプローブ2の先端にレーザーを照射する。
レーザーを照射する順番に合わせて、電源を印加し放電8を生じさせることにより、複数の電極パッド10を順番に酸化被膜を除去することができる。全ての電極パッド10の参加被膜を除去できたら、上記移動機構5によって上記ステージ4上の半導体ウエハ9を移動させ、上記プローブ2を上記電極パッド10に接触させて、テスター17を作動させると検査を行うことができる。レーザー発振器7を使えばガスの種類によらずにアーク放電の発生を支援することができるが、イオン化しやすいガスであれば、紫外線を使うことも考えられる。
次に、レーザーを照射する位置を上記プローブ2と上記電極パッド10の間の空間に照射する場合について説明する。
図3(a)に示すように、上記レーザー発振器7によってレーザーを上記プローブ2と上記電極パッド10の間の空間に焦点を合わせて水平に照射する。この時、電離気体による導通路が形成される。上記プローブ2と上記電極パッド10に接続した放電用電源6によって所定値の電流を流すと、上記導通路に誘発されて放電8が発生する。
このように、上記プローブ2の先端に直接レーザーを照射せずに、上記プローブ2と上記電極パッド10の間にレーザーを照射することで、放電を誘発することもできる。
この場合、複数の上記プローブ2と上記電極パッド10の間にレーザーを照射するには、上記レーザー発振器7を水平方向のレーザー照射方向を変更可能とし、また、焦点を合わせる距離を変更可能とする。これにより、水平方向と焦点距離を変化させることで、任意のプローブ2と電極パッド10の間にレーザーを順番に照射することができる。
その他の構成はプローブ2の先端にレーザーを照射する場合と同じであり、放電8によって電極パッド10の表面の酸化被膜が除去されたら、図3(d)に示すように、半導体ウエハ9の検査を行う。
次に、レーザーを照射する位置を上記電極パッド10の表面とする場合について説明する。図4に示すのが第2の実施形態の半導体テストシステム1’であり、第2の実施形態の半導体テストシステム1’は、カンチレバー型のプローブ2’を搭載したプローブカード3’と、半導体ウエハ9を積載するステージ4と、上記プローブカード3’と上記ステージ4との距離を調節する移動機構5と、上記プローブ2’に接続された放電用電源6と、レーザー発振器7’と、不活性ガス噴射手段21と、上記プローブ2’に接続されたテスター17を備える。そして、上記プローブカード3’は、上記プローブ2’を保持するガイド基板18と、メイン基板19と、補強板20を備える。
上記レーザー発振器7’は、検査対象となる半導体ウエハ9に設けられた電極パッド10の表面にレーザーを照射し、アーク放電を誘発するものであり、上記電極パッド10に対して斜め上方からレーザーを照射するために上記プローブ2’の上方に配置している。
上述のような半導体テストシステム1’を用いて、半導体ウエハ9上に設けられたAlの電極パッド10の表面に付着しているAl2O3の酸化被膜11を除去する。そのために、上記電極パッド10の表面と、半導体テストシステム1のプローブカード3に設けられたプローブ2の先端との間にアーク放電を生じさせる。ここでは、上記プローブ2’を+電極、上記電極パッド10を−電極とする。
そして、上記プローブ2’の先端を上記電極パッド10に所定の間隔まで接近させ、上記不活性ガス噴射手段21により不活性化ガスを上記電極パッド10と上記プローブ2’の間に噴射し、所定の雰囲気状態とする。
そして、図5(a)に示すように、上記レーザー発振器7’によりレーザーを上記電極パッド10の表面に照射し、上記プローブ2に接続した放電用電源6によって所定値の電流を流す。上記レーザーの照射によって上記電極パッド10の表面がイオン化されて電子が遊離され、上記放電用電源6によって、図5(b)に示すように、アーク放電8が発生する。このように、レーザーの照射を用いることによって、アーク放電8が容易に発生することができる。
このようにしてアーク放電8が発生することにより、上記酸化被膜11は電子が放出されて上記電極パッド10の表面から除去されていく。上記プローブ2’が接触する範囲の上記酸化被膜11が除去されたら、上記放電用電源6および上記不活性ガス噴射手段21を停止し、アーク放電を終了する。これによって、上記プローブ2’が接触する範囲は、図5(c)に示すように、上記電極パッド10の表面が露出した状態となると、上記移動機構5によって上記ステージ4上の半導体ウエハ9を移動させ、図5(d)に示すように、上記プローブ2’を上記電極パッド10に接触させて、テスター17を作動させると検査を行う。
このように、レーザーの照射位置を電極パッド10の表面とした場合でも、上記アーク放電8の発生を誘発し、スムーズにアーク放電8を発生させ、酸化被膜の除去を行うことができる。
本実施形態において、複数の電極パッド10に順番にレーザーを照射する場合は、上記レーザー発振器7’による上方からのレーザー照射角度を変化させ、電極パッド10に対して順番にレーザーを照射し、アーク放電8を発生させて、複数の電極パッドの表面から順番に酸化被膜を除去し、検査を行う。
次に、異なる形状のプローブを用いた場合について説明する。第3の実施形態として、図6に示すような、1個の電極パッド10に対して、+電極のプローブ12と−電極のプローブ13の2本のプローブを一組でプローブカード3に配置し、上記放電用電源6に接続した半導体テストシステム1’’を用いて説明する。
本実施形態の半導体テストシステム1’’は、プローブ12,13以外の構成は、図1に示す半導体テストシステム1と同じであり、上記プローブ12、13を搭載したプローブカード3と、ステージ4と、移動機構5と、上記プローブ12、13に接続された放電用電源6と、不活性ガス噴射手段21と、テスター17と、レーザー発振器7を備える。さらに本実施形態では、上述のように、2本のプローブ12,13を一組として用いる。これは、2本のプローブ12,13の先端の間でアーク放電を生じさせるためである。
この2本のプローブ12,13の先端の間隔は、数μmから40μmとしており、本実施形態では、2本のプローブ12,13の先端の間隔は20μmとする。検査対象となる電極パッド10は、Alの電極パッド10とし、表面に付着しているのがAl2O3の酸化被膜11とする。
本実施形態の半導体テストシステム1’’において、単に、上記放電用電源6を用いて、上記プローブ12と上記プローブ13の先端の間で放電を生じさせても、上記酸化被膜11を除去することはできない。そこで上記プローブ12と上記プローブ13の先端を上記電極パッド10に接近させ、上記プローブ12と上記プローブ13の先端の間隔よりも、上記プローブ12,13の先端と上記電極パッド10の表面との間隔を近づける必要がある。
例えば、上記プローブ12,13の先端を上記電極パッド10の表面から10μmまで近づける。そして、上記不活性ガス噴射手段21によって不活性ガスを上記プローブ12,13の先端と上記電極パッド10との間に噴射し、図6(a)に示すように、上記レーザー発振器7によって、−電極のプローブ13の先端にレーザーを照射する。そして、上記放電用電源6によって、例えば、10−2Aの電流を上記プローブ12と上記プローブ13に通すと、上記プローブ12の先端と上記プローブ13の先端との間に生じるアーク放電8’は、図6(b)(プローブカード3を省略した図)に示すように、上記電極パッド10の表面を通過して発生する。
このように、本実施形態では2本のプローブ12,13の先端の間隔よりも、上記プローブ12,13と上記電極パッド10との間隔の方が小さくなるまで、上記プローブ12,13の先端を上記電極パッド10の表面に接近させてアーク放電8’を生じさせ、上記アーク放電8’が上記電極パッド10の表面を通過することによって、上記酸化被膜11の電子が放出され、図6(c)に示すように、上記電極パッド10表面の上記酸化被膜11が除去される。
所定の範囲の上記酸化被膜11を除去したら、アーク放電を終了し、上記移動機構5によって上記ステージ4上の半導体ウエハ9を移動させ、図6(d)に示すように、上記プローブ12だけを上記電極パッド10に接触させ、上記テスター17を作動させて上記電極パッド10の検査を行う。
このように、本実施形態では、2本のプローブ12,13を用いることによって、2本のプローブ12,13の間隔を調整して、容易に酸化被膜11を除去する範囲を調節することが可能となる。
次に、第4の実施形態として、図7の断面図(プローブカード3を省略した概略断面図)に示すような、同軸形状のプローブ14を用いた半導体テストシステム1’’’について説明する。
本実施形態の半導体テストシステム1’’’は、同軸形状のプローブ14以外の構成は、上述の第1の実施形態と同様であって、上記プローブ14を搭載したプローブカード3と、ステージ4と、移動機構5と、上記プローブ14に接続された放電用電源6と、不活性ガス噴射手段21と、テスター17と、レーザー発振器7を備える。
ここでは、同軸形状のプローブ14を中心に詳しく説明する。上記プローブ14は、中央の針部15と上記針部15を取り囲むシールド部16からなる同軸形状であり、上記針部15の先端は上記シールド部16から突出した状態としている。そして、上記針部15を+電極、上記シールド部16を−電極として上記放電用電源6に接続し、上記放電用電源6によって上記針部15の先端と上記シールド部16の先端との間にアーク放電を生じさせる。
上記プローブ14は、上記シールド部16の直径を10μmとし、上記針部15の直径を3μmとしている。これにより、上記針部15の先端と、上記シールド部16の先端との間隔は、5μmとなる。検査対象となる電極パッド10は、Alの電極パッド10とし、表面に付着しているのがAl2O3の酸化被膜11とする。
本実施形態の半導体テストシステム1’’’において、アーク放電を用いて上記酸化被膜11を除去するためには、上記針部15の先端と、上記シールド部16の先端との間隔よりも、上記針部15の先端を上記電極パッド10の表面に近づける必要がある。
例えば、上記針部15の先端を上記電極パッド10の表面から2μmまで近づける。そして、上記不活性ガス噴射手段21によって不活性ガスを上記プローブ14の先端と上記電極パッド10との間に噴射する。本実施形態では上記プローブ15が同軸形状であるので、上記シールド部16の内側、つまり上記シールド部16と上記針部15の間の空間に不活性ガスを噴射する。
このように、上記シールド部16の内側に不活性ガスを噴射した後、図7(a)に示すように、上記レーザー発振器7によってレーザーを上記プローブ14と上記電極パッド10の間の空間に焦点を合わせて照射する。そして、上記放電用電源6によって、例えば、10−2Aの電流を上記針部15とシールド部16に通すと、上記針部15の先端と上記シールド部16の先端との間に生じるアーク放電8’’は、図7(b)に示すように、上記電極パッド10の表面を通過して発生する。
上記不活性ガスは、上記シールド部16の内部に噴射されることから、上記プローブ15の先端は、他の実施形態に較べて、より効果的に上記不活性ガスに囲まれた状態となり、上記アーク放電8’’が効果的に行われる。そして、上記アーク放電8’’は、上記針部15を中心として上記シールド部16に向って放射状に生じて、図7(c)に示すように、上記電極パッド10の表面の酸化被膜11を除去する。
所定の範囲の上記酸化被膜11を除去したら、アーク放電8’’を終了し、上記移動機構5によって上記ステージ4上の半導体ウエハ9を移動させ、図7(d)に示すように、上記針部15の先端だけを上記電極パッド10にコンタクトさせ、上記テスター17を作動させて上記電極パッド10の検査を行う。
このように、本実施形態では、同軸形状のプローブ14を用いることにより、不活性ガスを適切に噴射することが可能となり、より効果的にアーク放電を生じさせて確実に酸化被膜11を除去することが可能となる。
このように、本発明では、検査対象となる電極パッドの表面に接触することなく、効果的に酸化被膜を除去することが可能であり、これによって、プローブカードに対して加える荷重は、上記電極パッドに対するコンタクト圧だけですむので、非常に小さくなる。また、上記電極パッドを機械的に削らないので、上記電極パッドを傷付けることもなくなる。
1,1’,1’’,1’’’ 半導体テストシステム
2,2’ プローブ
3,3’ プローブカード
4 ステージ
5 移動機構
6 放電用電源
7,7’ レーザー発振器
8,8’,8’’ アーク放電
9 半導体ウエハ
10 電極パッド
11 酸化被膜
12 プローブ
13 プローブ
14 プローブ
15 針部
16 シールド部
17 テスター
18 ガイド基板
19 メイン基板
20 補強板
21 不活性ガス噴射手段
2,2’ プローブ
3,3’ プローブカード
4 ステージ
5 移動機構
6 放電用電源
7,7’ レーザー発振器
8,8’,8’’ アーク放電
9 半導体ウエハ
10 電極パッド
11 酸化被膜
12 プローブ
13 プローブ
14 プローブ
15 針部
16 シールド部
17 テスター
18 ガイド基板
19 メイン基板
20 補強板
21 不活性ガス噴射手段
Claims (8)
- 複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行うことを特徴とする半導体テストシステム。
- 複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、上記プローブの先端と検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドの間にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、上記電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記プローブの先端と上記電極パッドの間に照準を合わせてレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行うことを特徴とする半導体テストシステム。
- 複数のプローブを搭載したプローブカードと、半導体を積載するステージと、上記プローブカードと上記ステージとの距離を調節する移動機構と、上記プローブに接続された放電用電源と、検査対象となる上記半導体上に設けられた電極パッドの表面にレーザーを照射するレーザー発振器を備え、上記電極パッドと上記プローブが所定の距離で離れた状態で、上記電極パッドの表面にレーザーを照射し、上記放電用電源によって上記プローブの先端と上記半導体との間にアーク放電を生じさせたあと、上記移動機構によって上記プローブと上記半導体を接触させ、上記半導体の検査を行うことを特徴とする半導体テストシステム。
- 上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体テストシステム。
- 半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブの先端を、検査対象となる半導体の電極パッドに対して所定の間隔まで接近させ、レーザー発振器によって上記プローブの先端にレーザーを照射し、上記プローブに接続された放電用電源によって上記プローブの先端にアーク放電を生じさせることにより、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することを特徴とする半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法。
- 半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブの先端を、検査対象となる半導体の電極パッドに対して所定の間隔まで接近させ、レーザー発振器によって上記プローブの先端と上記電極パッドの間に照準を合わせてレーザーを照射し、上記プローブに接続された放電用電源によって上記プローブの先端にアーク放電を生じさせることにより、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することを特徴とする半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法。
- 半導体テストシステムのプローブカードに搭載されたプローブの先端を、検査対象となる半導体の電極パッドに対して所定の間隔まで接近させ、レーザー発振器によって上記プローブの先端と上記電極パッドの間に照準を合わせてレーザーを照射し、上記プローブに接続された放電用電源によって上記プローブの先端にアーク放電を生じさせることにより、上記電極パッド表面の酸化被膜を所定の範囲除去することを特徴とする半導体テストシステムにおける検査対象となる半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法。
- 上記レーザー発振器によるレーザー照射位置を検査対象となる電極パッドに合わせて順番に移動させて、複数の電極パッドの表面の酸化被膜を順番に除去することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の半導体の電極パッド表面の酸化被膜除去方法。
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