JP2010082524A - Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus - Google Patents
Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010082524A JP2010082524A JP2008252910A JP2008252910A JP2010082524A JP 2010082524 A JP2010082524 A JP 2010082524A JP 2008252910 A JP2008252910 A JP 2008252910A JP 2008252910 A JP2008252910 A JP 2008252910A JP 2010082524 A JP2010082524 A JP 2010082524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- vacuum
- cleaning liquid
- distillation apparatus
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
Description
本発明は、炭化水素系洗浄液を用いた真空洗浄装置における洗浄液の再生方法に関するものである。 The present invention relates to a cleaning liquid regeneration method in a vacuum cleaning apparatus using a hydrocarbon-based cleaning liquid.
金属の熱処理の前後やプレス工程後の洗浄工程において、従来の有機溶剤系洗浄液に代わって、近年、炭化水素系洗浄液を用いた真空洗浄装置が用いられている。このような真空洗浄装置は、例えば特許文献1に開示されている。 In recent years, before and after heat treatment of metals and after the pressing process, vacuum cleaning apparatuses using hydrocarbon-based cleaning liquids have been used in place of conventional organic solvent-based cleaning liquids. Such a vacuum cleaning apparatus is disclosed in Patent Document 1, for example.
従来、真空洗浄装置の炭化水素系洗浄液は、図4に示す方法によって再生されている。すなわち、真空洗浄装置2内で被洗浄物を洗浄した後の洗浄液は、一旦汚染液タンク4に回収され、真空蒸留装置5へ送られる。真空蒸留装置5において、炭化水素系洗浄液の成分が蒸留され、再生液タンク6から洗油タンク3へ送られて、洗浄液として再利用される。真空蒸留装置5内で蒸留されない高沸点の成分は、廃液タンク7へ送られて廃棄される。さらに、真空蒸留装置5で分留されずに、真空蒸留装置5を真空排気する際に蒸留装置用真空ポンプ8側へ流れたミスト状またはガス状の成分は、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の入口側に設けられたコンデンサ11(凝縮器)、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の出口側に設けられたアフタークーラ12により液化され、それらの成分も、洗油タンク3へ戻されて再利用される。
Conventionally, the hydrocarbon-based cleaning liquid of the vacuum cleaning apparatus is regenerated by the method shown in FIG. That is, the cleaning liquid after cleaning the object to be cleaned in the vacuum cleaning apparatus 2 is once collected in the contaminated liquid tank 4 and sent to the
ところが、炭化水素系洗浄液は単一成分ではないため、成分ごとに、沸点が異なっている。そして、真空洗浄装置で洗浄される被洗浄材には、水分や炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分や高沸点成分が付着している。しかしながら、上記の真空蒸留装置5では、炭化水素系洗浄液と沸点が近い成分を分留することが困難であり、このような成分が蒸留装置用真空ポンプ8に流れて、そのまま洗浄液として再利用していた。そのため、洗浄液に不純物が溜まり、洗浄性が低下するうえ、洗浄後の乾燥不良を生じ、油煙を発生させることがあった。それを防ぐためには、洗浄液を定期的に入れ替えなければならなかった。
However, since the hydrocarbon-based cleaning liquid is not a single component, the boiling point differs for each component. And the low boiling point component and high boiling point component close | similar to the boiling point range of a water | moisture content or a hydrocarbon type washing | cleaning liquid have adhered to the to-be-cleaned material wash | cleaned with a vacuum cleaning apparatus. However, in the
本発明の目的は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分や高沸点成分を除去できる洗浄液の再生方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a cleaning liquid regeneration method that can remove low-boiling components and high-boiling components close to the boiling range of hydrocarbon-based cleaning liquids.
上記問題を解決するため、本発明は、真空洗浄装置で用いられる洗浄液の再生方法であって、洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して前記洗浄液成分を再生し、前記真空蒸留装置で分留されずに、前記真空蒸留装置から排気する蒸留装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することを特徴とする真空洗浄装置の洗浄液の再生方法を提供する。 In order to solve the above problems, the present invention is a method for regenerating a cleaning liquid used in a vacuum cleaning apparatus, which collects the cleaning liquid after cleaning and separates cleaning liquid components and impurity components having different boiling points with a vacuum distillation apparatus. The components of the cleaning liquid are regenerated and the components sucked into the vacuum pump for the distillation apparatus that is exhausted from the vacuum distillation apparatus without being fractionated by the vacuum distillation apparatus are provided along the exhaust passage of the vacuum pump. Provided is a method for regenerating a cleaning liquid in a vacuum cleaning apparatus, wherein the cleaning liquid is liquefied and discarded by a condenser and a cooler.
真空蒸留装置で分留されない成分には不純物が多く含まれるため、これを廃棄することにより、再生された洗浄液の汚れを低減し、安定した洗浄工程を継続できるようになる。 Since the components that are not fractionated by the vacuum distillation apparatus contain a large amount of impurities, discarding the components reduces the contamination of the regenerated cleaning liquid and allows a stable cleaning process to be continued.
また、前記真空洗浄装置から排気する洗浄装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記洗浄装置用真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することが好ましい。 Further, it is preferable that the components sucked into the vacuum pump for the cleaning device exhausted from the vacuum cleaning device are liquefied and discarded by the condenser and the cooler provided along the exhaust passage of the vacuum pump for the cleaning device. .
本発明によれば、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分および高沸点成分を除去して、洗浄液を再生できるので、洗浄液に混入する不純物を低減し、劣化を抑制して、洗浄性が低下することなく洗浄サイクルを保持することができる。 According to the present invention, the low-boiling component and the high-boiling component close to the boiling range of the hydrocarbon-based cleaning liquid can be removed and the cleaning liquid can be regenerated. The cleaning cycle can be maintained without lowering.
以下、本発明の実施の形態を、図を参照して説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in this specification and drawing, the same code | symbol is attached | subjected in the element which has substantially the same function structure.
図1は、本発明にかかる真空洗浄装置の洗浄液の再生方法の概略を示すブロック図である。 FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a method for regenerating a cleaning liquid in a vacuum cleaning apparatus according to the present invention.
真空洗浄装置2内で、被洗浄材に対する洗浄工程が行われる。被洗浄材は図示しない入口扉から真空洗浄装置2へ搬入され、入口扉を閉めた後、洗浄工程が開始される。本発明で用いられる洗浄液は、ナフテン系またはパラフィン系等の炭化水素系洗浄液である。被洗浄材の洗浄を40〜50℃で行うと、減圧乾燥時に、洗浄液の蒸発潜熱で被洗浄材の表面温度が低下し、残留する洗浄液を十分に乾燥させるために必要な熱量が不足する。そのため、洗浄液の温度を例えば90℃以上にして、被洗浄材を洗浄と同時に加熱する。一方、金属の熱処理の前後の洗浄工程において用いられる洗浄液の引火点は80℃程度である。したがって、洗浄液が引火しないように、真空洗浄装置2内を常に真空に保つ必要があり、洗浄工程の開始前に、洗浄装置用真空ポンプ9により、真空洗浄装置2内を真空排気する。
In the vacuum cleaning device 2, a cleaning process for the material to be cleaned is performed. The material to be cleaned is carried into the vacuum cleaning apparatus 2 from an entrance door (not shown), and after the entrance door is closed, the cleaning process is started. The cleaning liquid used in the present invention is a naphthenic or paraffinic hydrocarbon cleaning liquid. When the material to be cleaned is cleaned at 40 to 50 ° C., the surface temperature of the material to be cleaned decreases due to the latent heat of vaporization of the cleaning liquid during drying under reduced pressure, and the amount of heat necessary to sufficiently dry the remaining cleaning liquid is insufficient. Therefore, the temperature of the cleaning liquid is set to 90 ° C. or higher, for example, and the material to be cleaned is heated simultaneously with the cleaning. On the other hand, the flash point of the cleaning liquid used in the cleaning process before and after the heat treatment of the metal is about 80 ° C. Therefore, it is necessary to always keep the inside of the vacuum cleaning device 2 in vacuum so that the cleaning liquid does not ignite, and the vacuum cleaning device 2 is evacuated by the cleaning
洗浄工程は、先ず、洗油タンク3の洗浄液を被洗浄材に噴射してシャワー粗洗浄を行う。粗洗浄後の洗浄液は、汚染液タンク4へ送られる。次に、粗洗浄で洗浄できなかった被洗浄材の付着成分を洗浄するために、洗油タンク3から供給された洗浄液によって浸漬洗浄を行い、浸漬洗浄後の洗浄液は、洗油タンク3へ戻される。さらに、真空蒸留装置5で蒸留された再生液が再生液タンク6から供給されてシャワー仕上げ洗浄を行い、仕上げ洗浄後の洗浄液は、洗油タンク3へ戻される。その後、真空洗浄装置2内を予め設定された圧力になるまで真空排気し、洗浄液が付着した被洗浄材の真空乾燥を行う。
In the cleaning process, first, the cleaning liquid in the oil cleaning tank 3 is sprayed onto the material to be cleaned to perform the shower rough cleaning. The cleaning liquid after the rough cleaning is sent to the contaminated liquid tank 4. Next, in order to clean the adhered components of the material to be cleaned that could not be cleaned by rough cleaning, immersion cleaning is performed with the cleaning liquid supplied from the oil cleaning tank 3, and the cleaning liquid after immersion cleaning is returned to the oil cleaning tank 3. It is. Further, the regenerated liquid distilled in the
真空排気の際に真空洗浄装置2から吸引された油煙は、ミストトラップ13により捕集される。ミストトラップ13内で冷却され、液化された成分は、被洗浄材の真空乾燥後に真空洗浄装置2内を大気圧まで復圧させた後、汚染液タンク4へ流される。なお、ミストトラップ13と汚染液タンク4との圧力が異なるため、ミストトラップ13と汚染液タンク4の間に、図1に示すように、クッションタンク19を設けるのが好ましい。ミストトラップ13からコンデンサ14に送られるミスト状またはガス状の成分の処理については後述する。
The oil smoke sucked from the vacuum cleaning device 2 during the vacuum evacuation is collected by the
その後、真空洗浄装置2の図示しない出口扉を開けて被洗浄材を取り出し、出口扉を閉めて、一連の洗浄工程が終了する。 Thereafter, the outlet door (not shown) of the vacuum cleaning device 2 is opened to take out the material to be cleaned, the outlet door is closed, and a series of cleaning steps is completed.
以下、真空蒸留装置5による洗浄液の処理について説明する。
Hereinafter, the processing of the cleaning liquid by the
汚染液タンク4から真空蒸留装置5へ、洗浄液が送られる。真空蒸留装置5は、図2に示すように、容器21下部の外周にヒータ22が設けられ、容器21内の上部には、冷却器23が設けられている。汚染液タンク4から配管24を介して容器21に到達した洗浄液は、容器21下部に液体25として溜まり、ヒータ22で加熱される。加熱により蒸発した成分は、冷却器23で冷却されて液化され、受け皿26に溜まった後、配管27から図1の再生液タンク6へ送られる。そして、再生液タンク6から洗油タンク3へ戻って、新たな洗浄液として再利用される。あるいは、直接、仕上げ洗浄用の洗浄液として真空洗浄装置2内に噴射される。なお、容器21内のヒータ22部分と冷却器23部分との境界部分に、分留をより効果的にするためにデミスター28が設けられる。
The cleaning liquid is sent from the contaminated liquid tank 4 to the
真空蒸留装置5内は、蒸留装置用真空ポンプ8により、真空排気される。図2の容器21内で蒸発した液体のうち、冷却により液化されて再生液タンク6に回収されなかった成分は、ミスト状またはガス状になって、蒸留装置用真空ポンプ8側へ排出される。ミスト状またはガス状になる成分の多くは、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い不純物である。
The inside of the
容器21下部に収容された液体25は、所定の温度まで上昇すると、排出管29から廃液タンクに送られる。
When the
本発明で用いられる炭化水素系洗浄液は、IPAやアセトン等の単一成分の有機系洗浄液とは異なり、通常、単一成分ではなく、成分ごとに沸点が異なる。図3は、炭化水素系洗浄液および洗浄後の洗浄液から検出される不純物である低沸点成分と高沸点成分の沸点を示し、炭化水素系洗浄液の沸点範囲を太線で示している。防錆油等の低沸点成分は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲の低い部分と一部が重なり、高沸点成分の金属加工油は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲の高い部分と一部が重なっている。 The hydrocarbon-based cleaning liquid used in the present invention is different from the single-component organic cleaning liquid such as IPA or acetone, and usually has a boiling point for each component, not a single component. FIG. 3 shows the boiling points of the low-boiling component and the high-boiling component, which are impurities detected from the hydrocarbon-based cleaning liquid and the cleaning liquid after cleaning, and the boiling range of the hydrocarbon-based cleaning liquid is indicated by a bold line. Low boiling point components such as rust preventive oil partially overlap with the low boiling range part of the hydrocarbon cleaning liquid, and high boiling point metal processing oil overlaps with the high boiling point part of the hydrocarbon cleaning liquid. ing.
真空蒸留装置5では、液体25の温度を例えば図3の一点鎖線で示す温度になるようにヒータ22を制御することにより、高沸点成分はほとんど気化しないため、残留した液体25の成分はほとんどが高沸点成分、すなわち不純物となる。ヒータ22により長時間加熱されると、容器21内に溜まった液体25が煮詰まった状態で温度が上昇してくる。液体25の温度が、図3に示す金属加工油の沸点範囲まで上昇すると、洗浄液として再生するのに適しない高沸点成分が蒸発してしまうため、液温が所定温度以上になったときには、廃液タンク7へ送るようにする。
In the
蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の入口側には、コンデンサ(凝縮器)11が設けられている。真空蒸留装置5から排出されたミスト状またはガス状の洗浄液の成分のうち、主に低沸点成分がコンデンサ11による凝縮で液化され、廃液タンク7へ送られる。コンデンサ11によって液化しない成分は、蒸留装置用真空ポンプ8を通過する。
A condenser (condenser) 11 is provided on the inlet side of the exhaust passage of the distillation
蒸留装置用真空ポンプ8の出口側には、アフタークーラ12が設けられている。ここで、蒸留装置用真空ポンプ8を通過した高沸点成分が冷却されて液化し、廃液タンク7へ送られる。液化する洗浄液の成分を含まなくなった空気は、大気中に放出される。真空蒸留装置5によって分留できずに蒸留装置用真空ポンプ8側へ流れる成分には不純物が多く、従来は回収して洗浄液として再利用していたが、これを廃棄することにより、洗油タンク3へ戻して再生される洗浄液に含まれる不純物を低減させることができる。これにより、効率的に洗浄を行い、一定の洗浄サイクルを保つことができる。
An
汚染液タンク4の液がなくなると、洗油タンク3内の洗浄液を真空蒸留装置5へ送り、上記と同様の工程により洗浄液の処理を行う。これにより、浸漬洗浄時に洗浄液に混入した不純物等を廃棄するとともに蒸留した洗浄液を再利用し、洗油タンク3内の洗浄油を清浄に保つことができる。
When the liquid in the contaminated liquid tank 4 runs out, the cleaning liquid in the oil cleaning tank 3 is sent to the
従来、真空蒸留装置5から排出されるミスト状またはガス状の成分は、真空蒸留装置5により回収される成分とほぼ等しいものと考えられており、洗油タンク3に戻して再利用されていた。しかしながら、本発明者は、洗油タンク3の洗浄液の劣化について調査および考察を行った結果、真空蒸留装置5で回収される成分と排出される成分とは異なり、排出される成分に不純物が多いことを突き止め、本発明に至った。真空蒸留装置5で回収される成分と排出される成分とが異なる原因として、凝固潜熱の違いが影響していることが考えられる。この違いにより、不純物が真空蒸留装置5で回収できずに排出され、これを再利用した従来の方法では、洗浄液の寿命が短かった。本発明によれば、洗浄液の寿命が、従来例に比べて数倍に延びることが確認された。さらに、コンデンサ11とアフタークーラ12で除去される成分が異なる原因も、凝固潜熱の違いであると考えられる。したがって、コンデンサ11、アフタークーラ12で回収された液は、いずれも廃棄することが必要である。
Conventionally, the mist-like or gaseous component discharged from the
さらに、真空洗浄装置2の真空排気を行う洗浄装置用真空ポンプ9にも、同様に、排気通路の入口側にコンデンサ14、出口側にアフタークーラ15が設けられている。したがって、ミストトラップ13を通過した成分のうち、主に低沸点成分がコンデンサ14によって液化され、廃液タンク7へ送られる。コンデンサ14によって液化しない成分は、洗浄装置用真空ポンプ9を通過し、さらに、主に高沸点成分がアフタークーラ15により冷却されて液化し、廃液タンク7へ送られる。液化する洗浄液の成分を含まなくなった空気は、大気中に放出される。
Further, the cleaning
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this example. It is obvious for those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea described in the claims. It is understood that it belongs to.
本発明は、洗浄液と沸点の異なる不純物を分留して、洗浄液を再生する方法に適用できる。 The present invention can be applied to a method of regenerating a cleaning liquid by fractionating impurities having a boiling point different from that of the cleaning liquid.
2 真空洗浄装置
3 洗油タンク
4 汚染液タンク
5 真空蒸留装置
6 再生液タンク
7 廃液タンク
8 蒸留装置用真空ポンプ
9 洗浄装置用真空ポンプ
11、14 コンデンサ
12、15 アフタークーラ
13 ミストトラップ
19 クッションタンク
21 容器
22 ヒータ
23 冷却器
24、27 配管
25 液体
26 受け皿
28 デミスター
29 排出管
2 Vacuum cleaning device 3 Oil washing tank 4 Contaminated
Claims (2)
洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して前記洗浄液成分を再生し、
前記真空蒸留装置で分留されずに、前記真空蒸留装置から排気する蒸留装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することを特徴とする、真空洗浄装置の洗浄液の再生方法。 A method for regenerating a cleaning liquid used in a vacuum cleaning apparatus,
The washing liquid after washing is collected, and the washing liquid component having different boiling points and the impurity component are fractionated by a vacuum distillation apparatus to regenerate the washing liquid component,
The components sucked into the vacuum pump for distillation apparatus exhausted from the vacuum distillation apparatus without being fractionated by the vacuum distillation apparatus are liquefied by a condenser and a cooler provided along the exhaust passage of the vacuum pump. A method for regenerating a cleaning liquid of a vacuum cleaning apparatus, characterized by:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008252910A JP2010082524A (en) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008252910A JP2010082524A (en) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010082524A true JP2010082524A (en) | 2010-04-15 |
Family
ID=42247014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008252910A Withdrawn JP2010082524A (en) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010082524A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161644A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 株式会社Ihi | Vacuum cleaning device |
CN113600541A (en) * | 2021-08-19 | 2021-11-05 | 富兰克科技(深圳)股份有限公司 | Low-emission environment-friendly single-station intelligent water-oil universal cleaning machine |
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008252910A patent/JP2010082524A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161644A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 株式会社Ihi | Vacuum cleaning device |
JP2013226513A (en) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Ihi Corp | Vacuum cleaning device |
CN104245162A (en) * | 2012-04-25 | 2014-12-24 | 株式会社Ihi | Vacuum cleaning device |
US9636716B2 (en) | 2012-04-25 | 2017-05-02 | Ihi Corporation | Vacuum cleaning device |
CN113600541A (en) * | 2021-08-19 | 2021-11-05 | 富兰克科技(深圳)股份有限公司 | Low-emission environment-friendly single-station intelligent water-oil universal cleaning machine |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100821263B1 (en) | Plasma scrubber system having WSCS-Water Separator Cooling System and method for treating with toxic gas using the same | |
JP4272193B2 (en) | Parts washing and drying method and parts washing and drying apparatus | |
JP2010082524A (en) | Recycling method of cleaning liquid of vacuum washing apparatus | |
JP5410182B2 (en) | How to recycle spent carbon dioxide | |
JP3788588B2 (en) | Parts washing and drying method | |
CN102650031A (en) | Method for removing organic matters attached onto surface of MASK | |
JP2010221209A (en) | Collecting method of cleaning solvent used for cleaning and processing oil, and apparatus for the same | |
JP2000237703A (en) | Vacuum washing/drying method and device | |
JP2009172468A (en) | Regeneration apparatus of cleaning solvent, and distilling regeneration method of cleaning solvent | |
KR19990016674A (en) | Method for Purifying Semiconductor Chemicals | |
JP3842161B2 (en) | Organic exhaust gas treatment method and apparatus | |
JPH08158080A (en) | Cleaning work of metal or the like and device therefor | |
JP6526858B2 (en) | Cleaning solution distillation regenerating apparatus, parts cleaning apparatus, and method for regenerating distillation of cleaning solution | |
JP3584126B2 (en) | Cleaning device and cleaning method | |
JP2003024884A (en) | Cleaning apparatus | |
JP4167720B2 (en) | Solvent washer | |
JP7093112B2 (en) | Cleaning liquid regeneration device, cleaning device and cleaning liquid regeneration method | |
JP3818876B2 (en) | Drying equipment | |
JPH0631103A (en) | Vacuum distillation method of combustible solvent for work washing and vacuum distillation apparatus | |
JP3473339B2 (en) | Solvent regeneration apparatus and solvent regeneration method | |
JP6414470B2 (en) | Water treatment equipment | |
EP1878479A1 (en) | Method and system for treating transformer components | |
JP6320969B2 (en) | Cleaning liquid distillation regeneration device and parts cleaning device | |
JP3326845B2 (en) | Washing / drying method and washing / drying apparatus | |
JPS60174889A (en) | Washing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20111206 |