JP2010072314A - 光導波路装置の製造方法およびそれによって得られた光導波路装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＰＥＴ製基板の表面に光導波路を形成しても、その光導波路のコア側面の粗面化を抑制することができる光導波路装置の製造方法およびそれによって得られた光導波路装置を提供する。
【解決手段】ＰＥＴ製基板１部分と、このＰＥＴ製基板１部分の裏面に形成された、照射線Ｌを吸収する色の着色層５とからなる着色層付きＰＥＴ製基板Ａの表面に、アンダークラッド層２の形成を経て、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａを形成した後、この感光性樹脂層３Ａに対して照射線Ｌを照射し所定パターンに露光し、その露光部分をコア３に形成する。このコア３形成工程において、照射線ＬがＰＥＴ製基板１部分の底面に達した際に、その殆どを上記着色層５に吸収させ、ＰＥＴ製基板１部分の底面で反射する照射線Ｌを殆どなくす。これにより、ＰＥＴ製基板１部分で乱反射して感光性樹脂層３Ａに達する照射線Ｌを大幅に減少させ、コア３側面の粗面化を効果的に抑制する。
【選択図】図２

Description

本発明は、光通信，光情報処理，その他一般光学で広く用いられる光導波路装置の製造方法およびそれによって得られた光導波路装置に関するものである。

光導波路装置の光導波路は、通常、アンダークラッド層の表面に、光の通路であるコアを所定パターンに形成し、そのコアを被覆した状態で、オーバークラッド層を形成して構成されている。このような光導波路は、通常、金属製基板等の基板の表面に形成され、その基板とともに光導波路装置として製造される。

このような光導波路装置の従来の製造方法は、つぎのとおりである。まず、図４（ａ）に示すように、基板１０の表面に、アンダークラッド層２を形成する。ついで、図４（ｂ）に示すように、そのアンダークラッド層２の表面に、コア形成用の感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層３Ａを形成する。つぎに、コアのパターンに対応する開口パターンが形成されているフォトマスクＭを介して、上記感光性樹脂層３Ａに対して照射線Ｌを照射し、その照射線Ｌを上記開口パターンの開口を通じて上記感光性樹脂層３Ａに到達させ、その感光性樹脂層３Ａの部分を露光する。上記照射線Ｌは、上記感光性樹脂層３Ａに対して直角に照射され、その照射による露光部分では光反応が進み、硬化する。そして、現像液を用いて現像を行うことにより、図４（ｃ）に示すように、未露光部分を溶解させて除去し、残存した露光部分が所定パターンのコア３となる。このコア３は、通常、断面形状が四角形に形成される。その後、図４（ｄ）に示すように、そのコア３を被覆するよう、上記アンダークラッド層２の表面にオーバークラッド層４を形成する。このようにして、上記基板１０の表面に光導波路Ｗを形成する（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−３４１４５４号公報

しかしながら、このような従来の方法では、場合によって、図５（ａ），（ｂ）に示すように、コア３０の側面３１が粗面に形成されることがあった。そして、このようなコア３０を有する光導波路では、コア３０内を伝播する光の伝播損失が大きくなるという問題が生じる。なお、図５（ｂ）は、図５（ａ）の丸部Ｃで囲ったコア３０を電子顕微鏡で７００倍に拡大して斜視した写真に基づいて描いた図（写真図）である。このように、電子顕微鏡で７００倍に拡大することにより、コア３０の側面３１が粗面に形成されていることが確認できる。

そこで、本発明者らは、コア３０の側面３１が粗面に形成される原因を究明すべく、研究を重ねた。その過程で、上記コア３０の側面３１の粗面化は、図５（ａ）に示すように、上記基板１０〔図４（ａ）〜（ｄ）参照〕としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を主成分とする材料からなる基板（以下、「ＰＥＴ製基板」という）１を用いた場合に起こることを突き止めた。そして、さらに研究を重ねた結果、上記ＰＥＴ製基板１には、図６に示すように、滑材１ａ等の添加成分が含有されており、その滑材１ａ等の添加成分に、上記コア形成工程において露光に用いられる照射線Ｌが当たって反射し、その照射線Ｌの進路が乱れることがわかった。また、その照射線Ｌの殆どが上記ＰＥＴ製基板１の底面（裏面に対応する面）まで達することもわかった。すなわち、上記コア形成工程では、図６に示すように、露光に用いられる照射線Ｌが、コア形成用の感光性樹脂層３Ａおよびアンダークラッド層２を透過した後、上記ＰＥＴ製基板１内に入射し、そのＰＥＴ製基板１内において上記滑材１ａ等に当たって進路を乱し、上記ＰＥＴ製基板１の底面に斜めに達する。ここで、上記ＰＥＴ製基板１の裏面は、通常、ＰＥＴ製基板１を載置する載置台等の、照射線Ｌを透過しない載置面に接触していることから、上記ＰＥＴ製基板１の底面に達した照射線Ｌは、上記ＰＥＴ製基板１の裏面から出射することなくＰＥＴ製基板１の底面で反射する。そして、先に述べたように、上記ＰＥＴ製基板１の底面には照射線Ｌが斜めに達することから、その底面で反射する照射線Ｌは、その底面で斜め上方向に反射する。その後、その反射した照射線Ｌは、上記ＰＥＴ製基板１内において上記滑材１ａ等に当たってさらに進路を乱し、そのＰＥＴ製基板１の表面から斜め上方向に出射する。そして、その斜め上方向に出射した照射線Ｌが、上記アンダークラッド層２を下から斜め上方向に透過して、コア形成用の感光性樹脂層３Ａ内のコア形成領域Ｓにおいて、コア３０のパターニングの境界面（側面３１となる面）を斜め下から露光する。この斜め下からの露光は、先に述べたように、上記ＰＥＴ製基板１に含有されている滑材１ａ等に起因する乱反射によるものであり、不均一である。このため、上記斜め下からの露光が原因で、コア３０の側面３１となる面では不要な光反応が不均一に進み、コア３０の側面３１が粗面に形成されることが判明した。すなわち、コア３０の側面３１となる面では、上記照射線Ｌの乱反射により、露光度の大小，または未露光部分と露光部分との混在が生じる。そして、後の現像工程で、上記コア３０の側面３１となる面の、露光度の小さい部分，未露光部分が溶解除去され、露光度の大きい部分，露光部分が残存するようになる。このため、コア３０の側面３１が粗面に形成されるのである。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ＰＥＴ製基板の表面に光導波路を形成しても、その光導波路のコア側面の粗面化を抑制することができる光導波路装置の製造方法およびそれによって得られた光導波路装置の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、ポリエチレンテレフタレートを主成分とする材料からなる基板の表面に、アンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層の表面に、コア形成用の感光性樹脂層を形成する工程と、この感光性樹脂層に対して照射線を照射し所定パターンに露光し、その露光部分をコアに形成する工程とを備えた光導波路装置の製造方法であって、上記コア形成工程において、上記感光性樹脂層に対して照射する照射線が、その感光性樹脂層を透過して上記基板の表面を経て底面に達しそこで反射する照射線であり、上記基板が、下記（Ａ）および（Ｂ）のいずれかの基板である光導波路装置の製造方法を第１の要旨とする。
（Ａ）裏面に、上記照射線を吸収する色の着色層が形成された着色層付き基板。
（Ｂ）全体が、上記照射線を吸収する色で着色された着色基板。

また、本発明は、上記光導波路装置の製造方法によって得られた光導波路装置であって、その光導波路装置における、ポリエチレンテレフタレートを主成分とする材料からなる基板が、上記（Ａ）および（Ｂ）のいずれかの基板である光導波路装置を第２の要旨とする。

なお、本発明において、主成分とは、全体の過半を占める成分のことをいい、全体が主成分のみからなる場合も含める趣旨である。

本発明者らは、ＰＥＴ製基板〔ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を主成分とする材料からなる基板〕の表面に光導波路を形成しても、その光導波路のコア側面が粗面化されないようにすべく、上記ＰＥＴ製基板側からコア形成用の感光性樹脂層に達する照射線を大幅に減少させる方法について研究を重ねた。その研究の過程で、上記照射線として用いられる紫外線等が着色物に吸収されることに着目し、また、上記照射線の殆どが上記ＰＥＴ製基板の底面まで達しそこで反射することに着目し、さらに研究を重ねた。その結果、上記ＰＥＴ製基板が、上記（Ａ）および（Ｂ）のいずれかの基板であると、上記照射線が上記（Ａ）の着色層付き基板の着色層，（Ｂ）の着色基板自体で吸収され、コア側面の粗面化が抑制されることを見出し、本発明に到達した。

本発明の光導波路装置の製造方法では、光導波路を形成するＰＥＴ製基板が、上記（Ａ）の着色層付き基板（着色層付きＰＥＴ製基板）である場合、その着色層付きＰＥＴ製基板の表面（着色層が形成されていない側の面）に、アンダークラッド層の形成を経て、コア形成用の感光性樹脂層を形成した後、この感光性樹脂層に対して照射線を照射し所定パターンに露光し、その露光部分をコアに形成する。このコア形成工程において、コア形成用の感光性樹脂層およびアンダークラッド層を透過した照射線は、上記ＰＥＴ製基板部分内に入射し、そのＰＥＴ製基板部分の内部に含有さている滑材１ａ等に当たって進路を乱しながらも、その殆どが上記ＰＥＴ製基板部分の底面まで達する。ここで、上記ＰＥＴ製基板部分の裏面には、照射線を吸収する色の着色層が形成されていることから、上記ＰＥＴ製基板部分の底面に達した照射線の殆どが上記着色層に吸収され、上記ＰＥＴ製基板部分の底面で反射する照射線が殆どなくなる。このため、上記ＰＥＴ製基板部分の底面で反射してアンダークラッド層を下から斜め上方向に透過しコア形成用の感光性樹脂層に達する照射線を大幅に減少させることができる。その結果、コア形成用の感光性樹脂層内において、コアの側面となる面を斜め下から露光して粗面とする照射線が殆どなくなり、コア側面の粗面化を効果的に抑制することができる。

他方、光導波路を形成するＰＥＴ製基板が、上記（Ｂ）の着色基板（着色ＰＥＴ製基板）である場合、上記コア形成工程において、上記着色ＰＥＴ製基板内に入射した照射線は、その殆どが上記着色ＰＥＴ製基板内で吸収される。これにより、上記着色ＰＥＴ製基板の底面で反射してアンダークラッド層を下から斜め上方向に透過しコア形成用の感光性樹脂層に達する照射線を大幅に減少させることができる。その結果、コア形成用の感光性樹脂層内において、コアの側面となる面を斜め下から露光して粗面とする照射線が殆どなくなり、コア側面の粗面化を効果的に抑制することができる。しかも、光導波路を形成するＰＥＴ製基板が、上記（Ｂ）の着色ＰＥＴ製基板上記である場合、先に述べたように、その着色ＰＥＴ製基板自体が照射線を吸収し、反射する照射線を殆どなくすため、照射線吸収用の新たな層を設ける必要がなく、全体の厚みが厚くならないという利点がある。

そして、本発明の光導波路装置は、上記製造方法により得られたものであるため、コア側面の粗面化が効果的に抑制されており、それにより、コア内を伝播する光の伝播損失を小さくすることができる。

特に、上記照射線を吸収する色が、黒色である場合には、照射線の吸収性に優れ、コア側面の粗面化をより効果的に抑制することができる。そのため、得られた光導波路装置では、コア内を伝播する光の伝播損失をより小さくすることができる。

つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。

図１（ａ）は、本発明の光導波路装置の製造方法の第１の実施の形態によって得られた光導波路装置を示している。この光導波路装置は、ＰＥＴ製基板１部分と、このＰＥＴ製基板１部分の裏面に形成された、照射線を吸収する色の着色層５とからなる着色層付きＰＥＴ製基板Ａの表面に、光導波路Ｗが形成されたものとなっている。この光導波路Ｗは、上記着色層付きＰＥＴ製基板Ａの表面に形成されたアンダークラッド層２を有しており、つぎのようにして製造される。すなわち、上記アンダークラッド層２の表面に感光性樹脂層３Ａ〔図２（ｂ）参照〕を形成した後、この感光性樹脂層３Ａに対して照射線Ｌを照射し所定パターンに露光してコア３を形成し、さらにその上に、オーバークラッド層４を積層形成して製造される。ここで、上記照射線を吸収する色の着色層５は、上記感光性樹脂層３Ａに対して照射される照射線Ｌを吸収する作用を奏する。なお、図１（ｂ）は、図１（ａ）の丸部Ｃで囲ったコア３を電子顕微鏡で７００倍に拡大して斜視した写真図である。

この実施の形態の光導波路装置の製造方法について詳しく説明する。

まず、上記ＰＥＴ製基板１〔図２（ａ）参照〕を準備する。このＰＥＴ製基板１は、無色透明であり、通常、市販品が用いられる。市販されているＰＥＴ製基板１は、その製造過程で、どうしても滑材１ａ等の添加成分が含有される。なお、上記ＰＥＴ製基板１としては、例えば、厚みが２０μｍ〜１ｍｍの範囲内のものが用いられる。

そして、先に述べたように、後のコア３形成工程〔図２（ｂ）〜（ｃ）参照〕においてコア３形成用の感光性樹脂層３Ａを露光する際に用いる紫外線等の照射線Ｌを吸収する色の着色層５を、上記ＰＥＴ製基板の片面（裏面）の所定領域に形成する。これにより、上記ＰＥＴ製基板１部分と、上記着色層５とからなる着色層付きＰＥＴ製基板Ａが形成される。ここで、上記照射線Ｌを吸収する色としては、例えば、黒色，赤色，青色，緑色，黄色等があげられる。なかでも、照射線Ｌの吸収性が優れている点から、濃い色が好ましく、より好ましくは、黒色である。そして、上記着色層５の形成方法としては、例えば、上記色のインクまたは塗料等を塗布する方法、黒化処理する方法等があげられる。上記着色層５の厚みは、通常、１〜１００ｎｍの範囲内に設定され、好ましくは、５０〜７５ｎｍの範囲内に設定される。

ついで、図２（ａ）に示すように、上記ＰＥＴ製基板１部分のもう一方の片面（表面）の所定領域に、アンダークラッド層２形成用の感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布し、その塗布層２ａを形成する。上記感光性樹脂としては、感光性エポキシ樹脂等があげられる。上記ワニスの塗布は、例えば、スピンコート法，ディッピング法，キャスティング法，インジェクション法，インクジェット法等により行われる。そして、必要に応じて、上記塗布層２ａを５０〜１２０℃×１０〜３０分間の加熱処理により乾燥させる。これにより、アンダークラッド層形成用の感光性樹脂層２Ａを形成する。

つぎに、この感光性樹脂層２Ａを照射線により露光する。上記露光用の照射線としては、例えば、可視光，紫外線，赤外線，Ｘ線，α線，β線，γ線等が用いられる。好適には、紫外線（波長２５０〜４００ｎｍ）が用いられる。紫外線を用いると、大きなエネルギーを照射して、大きな硬化速度を得ることができ、しかも、照射装置も小型かつ安価であり、生産コストの低減化を図ることができるからである。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯，高圧水銀灯，超高圧水銀灯等があげられ、紫外線の照射量は、通常、１０〜１００００ｍＪ／ｃｍ² 、好ましくは、５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ² である。

上記露光後、光反応を完結させるために、加熱処理を行う。この加熱処理は、８０〜２５０℃、好ましくは、１００〜２００℃にて、１０秒〜２時間、好ましくは、５分〜１時間の範囲内で行う。これにより、図２（ａ）に示すように、上記感光性樹脂層２Ａをアンダークラッド層２に形成する。アンダークラッド層２の厚みは、通常、１〜５０μｍの範囲内に設定され、好ましくは、５〜３０μｍの範囲内に設定される。

ついで、図２（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層２の表面に、コア３〔図２（ｃ）参照〕形成用の感光性樹脂層３Ａを形成する。この感光性樹脂層３Ａの形成は、図２（ａ）で説明した、アンダークラッド層２形成用の感光性樹脂層２Ａの形成方法と同様にして行われる。なお、このコア３の形成材料は、上記アンダークラッド層２および後記のオーバークラッド層４〔図２（ｄ）参照〕の形成材料よりも屈折率が大きい材料が用いられる。この屈折率の調整は、例えば、上記アンダークラッド層２，コア３，オーバークラッド層４の各形成材料の種類の選択や組成比率を調整して行うことができる。

その後、上記コア３形成用の感光性樹脂層３Ａの上に、コア３に対応する開口パターンが形成されているフォトマスクＭを配置し、このフォトマスクＭを介して、上記感光性樹脂層３Ａの上記開口パターンに対応する部分を照射線Ｌにより露光する。この露光は、先に述べたアンダークラッド層２形成工程と同様にして行われる。上記露光において、上記照射線Ｌは、上記感光性樹脂層３Ａに対して直角に照射され、その照射による露光部分で光反応を進めて硬化させる。この照射線Ｌは、上記感光性樹脂層３Ａおよび上記アンダークラッド層２を透過した後、上記ＰＥＴ製基板１部分内に入射する。このＰＥＴ製基板１部分の内部では、上記照射線Ｌは、そのＰＥＴ製基板１部分に含有されている滑材１ａ等に当たって進路を乱しながらも、その殆どが上記ＰＥＴ製基板１部分の底面まで達する。ここで、上記ＰＥＴ製基板１部分の裏面には、照射線Ｌを吸収する色の着色層５が形成されているため、上記ＰＥＴ製基板１部分の底面に達した照射線Ｌの殆どが上記着色層５に吸収され、上記ＰＥＴ製基板１部分の底面で反射する照射線Ｌが殆どなくなる。これにより、ＰＥＴ製基板１部分の底面で反射してアンダークラッド層２を下から斜め上方向に透過する照射線Ｌは、大幅に減少する。その結果、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａ内において、コア３の側面となる面を乱反射により露光する照射線Ｌが殆どなくなり、コア３の側面の粗面化を抑制することができる。

上記露光後、先に述べたアンダークラッド層２形成工程と同様にして、加熱処理を行う。ついで、現像液を用いて現像を行うことにより、図２（ｃ）に示すように、上記感光性樹脂層３Ａにおける未露光部分を溶解させて除去し、アンダークラッド層２上に残存した感光性樹脂層３Ａをコア３のパターンに形成する。上記現像は、例えば、浸漬法，スプレー法，パドル法等が用いられる。また、現像液としては、例えば、有機系の溶媒，アルカリ系水溶液を含有する有機系の溶媒等が用いられる。このような現像液および現像条件は、感光性樹脂組成物の組成によって、適宜選択される。

上記現像後、コア３のパターンに形成された感光性樹脂層３Ａの表面等に残存する現像液を加熱処理により除去する。この加熱処理は、通常、８０〜１２０℃×１０〜３０分間の範囲内で行われる。これにより、上記コア３のパターンに形成された感光性樹脂層３Ａをコア３に形成する。このコア３の側面は、先に述べたように、粗面化が抑制されている。また、上記コア３の厚みは、通常、５〜１５０μｍの範囲内に設定され、好ましくは、５〜１００μｍの範囲内に設定される。また、コア３の幅は、通常、５〜１５０μｍの範囲内に設定され、好ましくは、５〜１００μｍの範囲内に設定される。

つぎに、図２（ｄ）に示すように、コア３を被覆するように、上記アンダークラッド層２の表面に、オーバークラッド層４形成用の感光性樹脂層４Ａを形成する。この感光性樹脂層４Ａの形成は、図２（ａ）で説明した、アンダークラッド層２形成用の感光性樹脂層２Ａの形成方法と同様にして行われる。その後も、アンダークラッド層２の形成工程と同様に露光，加熱処理等を行い、上記感光性樹脂層４Ａをオーバークラッド層４に形成する。オーバークラッド層４の厚み（コア３の表面からの厚み）は、通常、５〜１００μｍの範囲内に設定され、好ましくは、１０〜８０μｍの範囲内に設定される。

このようにして、着色層付きＰＥＴ製基板Ａの表面に、上記アンダークラッド層２，コア３およびオーバークラッド層４からなる光導波路Ｗが形成された光導波路装置が得られる。この光導波路装置の光導波路Ｗでは、コア３の側面の粗面化が抑制されているため、光の伝播損失が小さく、良好な光伝播を行うことができる。

図３は、本発明の光導波路装置の製造方法の第２の実施の形態における、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａに対する照射線Ｌの照射工程を示している。この実施の形態では、ＰＥＴ製基板として、それ自体が照射線Ｌを吸収する色で着色され有色透明になっている着色ＰＥＴ製基板Ｂを用いている。この着色ＰＥＴ製基板Ｂも、通常、市販品が用いられ、滑材１ａ等の添加成分が含有されている。それ以外の部分は上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。

この実施の形態では、上記感光性樹脂層３Ａに対して直角に照射され、上記感光性樹脂層３Ａおよび上記アンダークラッド層２を透過し、上記着色ＰＥＴ製基板Ｂ内に入射した照射線Ｌは、その着色ＰＥＴ製基板Ｂが照射線Ｌを吸収する色になっていることから、その殆どが上記着色ＰＥＴ製基板Ｂ内で吸収される。これにより、その着色ＰＥＴ製基板Ｂの底面で反射してアンダークラッド層２を下から斜め上方向に透過する照射線Ｌは、大幅に減少する。その結果、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａ内において、コア３の側面となる面を乱反射により露光する照射線Ｌが殆どなくなり、コア３の側面の粗面化を抑制することができる。

なお、上記各実施の形態において、光導波路Ｗは、着色層付きＰＥＴ製基板Ａ，着色ＰＥＴ製基板Ｂの表面に形成された状態で、または上記着色層付きＰＥＴ製基板Ａ，着色ＰＥＴ製基板Ｂから剥離されて使用される。

また、上記各実施の形態では、オーバークラッド層４を形成したが、このオーバークラッド層４は、場合によって、形成しなくてもよい。

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。

〔着色層付きＰＥＴ製基板〕
無色透明のＰＥＴ製基板（ＴＯＲＡＹ社製、タイプＴ６０、品番１８８、厚み１８８μｍ）を準備した。そして、その片面（裏面）に、油性マーキングペンを用いて黒色のアルコール系インクを塗布し、厚み５０ｎｍの着色層を形成した。

〔アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料〕
下記の一般式（１）で示されるビスフェノキシエタノールフルオレングリシジルエーテル（成分Ａ）３５重量部、脂環式エポキシ樹脂である３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート（ダイセル化学社製、セロキサイド２０２１Ｐ）（成分Ｂ）４０重量部、シクロヘキセンオキシド骨格を有する脂環式エポキシ樹脂である（３’，４’−エポキシシクロヘキサン）メチル−３’，４’−エポキシシクロヘキシル−カルボキシレート（ダイセル化学社製、セロキサイド２０８１）（成分Ｃ）２５重量部、４，４’−ビス〔ジ（β−ヒドロキシエトキシ）フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの５０％プロピオンカーボネート溶液（成分Ｄ）２重量部とを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。

〔コアの形成材料〕
上記成分Ａ：７０重量部、１，３，３−トリス｛４−〔２−（３−オキセタニル）〕ブトキシフェニル｝ブタン：３０重量部、上記成分Ｄ：１重量部を乳酸エチルに溶解することにより、コアの形成材料を調製した。

〔光導波路装置の製造〕
上記着色層付きＰＥＴ製基板の表面（着色層が形成されていない側の面）に、上記アンダークラッド層の形成材料をスピンコーターを用いて塗布し、膜厚２０μｍの塗布層を形成した。その後、その塗布層の全面に、超高圧水銀灯から紫外線を照射し、積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ² （ｉ線基準）の露光を行った。つづいて、１２０℃のホットプレート上に１０分間放置し、反応を完了させた。このようにしてアンダークラッド層を形成した。

ついで、上記アンダークラッド層の表面に、上記コアの形成材料をスピンコーターを用いて塗布した後、７０℃のホットプレート上に５分間放置することにより、溶媒を揮発させ、コア形成用の感光性樹脂層を形成した。つぎに、所定の開口パターン（開口幅５０μｍ、隣り合う開口と開口との間の隙間２００μｍ）が形成されたガラスマスクを介して、超高圧水銀灯から紫外線を照射し、積算光量２０００ｍＪ／ｃｍ² （ｉ線基準）の露光を行った。その後、１２０℃のホットプレート上に１０分間放置し、反応を完了させた。つぎに、γ−ブチロラクトン９０重量％の現像液を用いて、スプレー現像機で現像を行い、コア（高さ５０μｍ）を形成した。

そして、上記コアを被覆するよう、上記アンダークラッド層の表面に、上記オーバークラッド層の形成材料をスピンコーターを用いて塗布した。その後、上記アンダークラッド層の形成方法と同様にして、オーバークラッド層を形成した。このようにして、光導波路装置（総厚１００μｍ）を製造した。

黒色透明の着色ＰＥＴ製基板（三菱樹脂社製、タイプＺ６０８Ｅ、品番Ｕ０７−１７ＭＢ、厚み２５μｍ）の表面に直接、上記実施例１と同様にして、アンダークラッド層，コアおよびオーバークラッド層を形成することにより、光導波路装置を製造した。

〔比較例１〕
上記実施例１と同様の無色透明のＰＥＴ製基板の裏面に、着色層を形成することなく、その無色透明のＰＥＴ製基板の表面に直接、上記実施例１と同様にして、アンダークラッド層，コアおよびオーバークラッド層を形成することにより、光導波路装置を製造した。

〔コア側面の評価〕
上記実施例１，２および比較例１の光導波路装置のコアの側面を、走査型電子顕微鏡により確認した。その結果、比較例１のコアの側面は、粗面に形成されていたが、実施例１，２のコアの側面は、比較例１よりも大幅に平坦化していた。

〔光伝播損失の測定〕
上記実施例１，２および比較例１の光導波路装置を、ダイサー（ディスコ社製、ＤＡＤ５２２）を用いてカッティングし、コアの端面を露出させた。また、上記光導波路装置を１０ｃｍの長さに切断し、光伝播損失の測定した。その結果、実施例１の光導波路装置の光伝播損失は１．９６ｄＢ／１０ｃｍであり、実施例２のそれは１．５７ｄＢ／１０ｃｍであり、比較例１のそれは３．８０ｄＢ／１０ｃｍであった。

上記結果から、実施例１，２では、比較例１と比較して、コア側面の粗面化が抑制されていることから、実施例１，２では、着色層付きＰＥＴ製基板，着色ＰＥＴ製基板での乱反射が殆どなくなっていることがわかる。これは、実施例１における着色層，実施例２における着色ＰＥＴ製基板により、コア形成工程に用いた紫外線の殆どが吸収されたからである。

（ａ）は、本発明の光導波路装置の製造方法の第１の実施の形態によって得られた光導波路装置を模式的に示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の丸部Ｃで囲ったコアの電子顕微鏡写真図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明の光導波路装置の製造方法の一実施の形態を模式的に示す説明図である。 本発明の光導波路装置の製造方法の第２の実施の形態における、コア形成用の感光性樹脂層に対する照射線の照射工程を模式的に示す説明図である。 （ａ）〜（ｄ）は、従来の光導波路装置の製造方法を模式的に示す説明図である。 （ａ）は、上記従来の光導波路装置の製造方法におけるコア形成を模式的に示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の丸部Ｃで囲ったコアの電子顕微鏡写真図である。 上記従来のコア形成工程での状況を模式的に示す説明図である。

符号の説明

Ａ 着色層付きＰＥＴ製基板
１ ＰＥＴ製基板
２ アンダークラッド層
３ コア
３Ａ 感光性樹脂層
５ 着色層
Ｌ 照射線

Claims (5)

1. ポリエチレンテレフタレートを主成分とする材料からなる基板の表面に、アンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層の表面に、コア形成用の感光性樹脂層を形成する工程と、この感光性樹脂層に対して照射線を照射し所定パターンに露光し、その露光部分をコアに形成する工程とを備えた光導波路装置の製造方法であって、上記コア形成工程において、上記感光性樹脂層に対して照射する照射線が、その感光性樹脂層を透過して上記基板の表面を経て底面に達しそこで反射する照射線であり、上記基板が、下記（Ａ）および（Ｂ）のいずれかの基板であることを特徴とする光導波路装置の製造方法。
   （Ａ）裏面に、上記照射線を吸収する色の着色層が形成された着色層付き基板。
   （Ｂ）全体が、上記照射線を吸収する色で着色された着色基板。
2. 上記照射線を吸収する色が、黒色である請求項１記載の光導波路装置の製造方法。
3. 上記照射線が紫外線である請求項１または２記載の光導波路装置の製造方法。
4. 上記請求項１記載の光導波路装置の製造方法によって得られた光導波路装置であって、その光導波路装置における、ポリエチレンテレフタレートを主成分とする材料からなる基板が、下記（Ａ）および（Ｂ）のいずれかの基板であることを特徴とする光導波路装置。
   （Ａ）裏面に、上記照射線を吸収する色の着色層が形成された着色層付き基板。
   （Ｂ）全体が、上記照射線を吸収する色で着色された着色基板。
5. 上記照射線を吸収する色が、黒色である請求項４記載の光導波路装置。

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