JP2009116008A - 光導波路デバイスの製法およびそれによって得られる光導波路デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10の上面にアンダークラッド層11が形成され、その上面にコア層16が形成されているとともに、上記基板10上に、上記コア層16と同一材料にからなる左右方向アライメント用ガイド17が形成され、その左右方向アライメント用ガイド17に沿って、基板10上に発光素子19が設置されている。
【選択図】図6
Description
ビスフェノキシエタノールフルオレンジクリシジルエーテル(成分A)35重量部、(3’,4’−エポキシシクロヘキサン)メチル−3’,4’−エポキシシクロヘキシル−カルボキシレート(成分B)40重量部、脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学社製、セロキサイド2021P)(成分C)25重量部、4,4−ビス〔ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの50%プロピオンカーボネート溶液(光酸発生剤:成分D)1重量部を混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
上記成分A:70重量部、1,3,3−トリス{4−〔2−(3−オキセタニル)〕ブトキシフェニル}ブタン:30重量部、上記成分D:0.5重量部を乳酸エチル28重量部に溶解することにより、コア層および光伝播層の形成材料を調製した。
まず、ガラス基板(厚み1.0mm)の上面に、アンダークラッド層の形成材料をスピンコート法により塗布した後、2000mJ/cm2 の紫外線照射を行った。つづいて、120℃×15分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層(厚み125μm)を形成した。
11 アンダークラッド層
16 コア層
17 左右方向アライメント用ガイド
19 発光素子
Claims (5)
- 基板の上面にアンダークラッド層を形成する工程と、上記アンダークラッド層上面および基板上面の受発光素子設置予定部にまたがって、コア形成材料層を形成する工程と、上記コア形成材料層を部分的に硬化させ、未硬化部分を除去することにより、光の入射面もしくは出射面を備えたコア層を形成すると同時に、受発光素子設置用の左右方向アライメント用ガイドを形成する工程と、上記左右方向アライメント用ガイドに沿って、基板上に受発光素子を設置する工程とを備えたことを特徴とする光導波路デバイスの製法。
- 上記基板上に設置された受発光素子と、コア層の少なくとも光の入射面もしくは出射面とを、樹脂封止することにより、光伝播層を形成する工程を備えた請求項1記載の光導波路デバイスの製法。
- 上記樹脂封止を、請求項1記載のコア形成材料と同一材料を用いて行うようにした請求項2記載の光導波路デバイスの製法。
- 請求項1記載の製法によって得られる光導波路デバイスであって、基板の上面にアンダークラッド層が形成され、その上面に、光の入射面もしくは出射面を備えたコア層が形成されているとともに、上記基板上に、上記コア層と同一材料にからなる受発光素子設置用の左右方向アライメント用ガイドが形成され、その左右方向アライメント用ガイドに沿って、基板上に受発光素子が設置されていることを特徴とする光導波路デバイス。
- 上記基板上に設置された受発光素子と、コア層の少なくとも光の入射面もしくは出射面とが樹脂封止され、光伝播層が形成されている請求項4記載の光導波路デバイス。
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