JP2010071887A

JP2010071887A - プローブおよび計測システム

Info

Publication number: JP2010071887A
Application number: JP2008241537A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Masaoka; 靖正岡
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2008-09-19
Filing date: 2008-09-19
Publication date: 2010-04-02

Abstract

【課題】遅延時間を調整することが可能なプローブを提供すること。
【解決手段】第１プローブ部１０Ａおよび第２プローブ部１０Ｂは、第１内部導体１１と第２内部導体２１との電気的接続、第１外部導体１３と第２外部導体２３との電気的接続、第１内部導体１１および第２内部導体２１と第１外部導体１３および第２外部導体２３との絶縁を保持した状態で、第１プローブ部１０Ａと第２プローブ部１０Ｂとを互いに挿入するための複数の空間が設けられた調整領域を有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、プローブおよび計測システムに関する。

オシロスコープ等の計測装置に２本以上の同軸ケーブルにそれぞれ接続されたプローブを使用して測定を行うことがよくある。

通常、同軸ケーブルは１本ずつ単独で製造され、同じ長さのケーブルでも微妙に長さが違うため、遅延時間に多少の誤差が発生する。そのため、複数の信号間で遅延時間を揃えて測定する必要がある場合は、計測装置側で調整することになる。（例えば、特許文献１参照）。
特開平８−１５３１７号公報

ところが、計測装置側で調整を行うと、調整により測定誤差が発生する可能性がある。

本発明の目的は、遅延時間を調整することが可能なプローブおよび計測システムを提供することにある。

本発明の一例に係わるプローブは、被検査物に接触するコンタクト部と、中心部に設けられた第１内部導体と、前記第１内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１絶縁体と、前記第１絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１外部導体とを有する第１プローブ部と、中心部に設けられた第２内部導体と、前記第２内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２絶縁体と、前記第２絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２外部導体とを有する第２プローブ部とを有し、前記第１プローブ部および前記第２プローブ部は、第１内部導体と第２内部導体との電気的接続、第１外部導体と第２外部導体との電気的接続、第１内部導体および第２内部導体と第１外部導体および第２外部導体との絶縁を保持した状態で、前記第１プローブ部と前記第２プローブ部とを互いに挿入するための複数の空間が設けられた調整領域を有することを特徴とする。

本発明によれば、遅延時間を調整することが可能になる。

本発明の実施の形態を以下に図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係わる計測装置の構成を示す図である。
図１に示すように、２本のプローブ１０が同軸ケーブル１１０を介して計測装置（例えばオシロスコープ）に接続されている。

図２および図３にプローブ１０の長手方向に平行な方向の断面図を示す。
図２および図３に示すように、プローブ１０は、コンタクト部３１、第１プローブ部１０Ａ、第２プローブ部１０Ｂ、およびプローブ長調整つまみ３２から構成されている。第１プローブ部１０Ａは、第１内部導体１１、第１絶縁体１２、第２外部導体１３、および第３絶縁体１４等から構成されている。第２プローブ部１０Ｂは、第２内部導体２１、第２絶縁体２２、第２外部導体２３、および第４絶縁体２４等から構成されている。

第１プローブ部１０Ａおよび第２プローブ部１０Ｂはそれぞれ空間を有し、第１プローブ部１０Ａおよび第２プローブ部１０Ｂが互いに挿入することができるようになっている。挿入深さはプローブ長調整つまみ３２を回転させることで調整することができる。
例えば、プローブ長調整つまみを回すことによって、図３に示すように、プローブ１０の長さを無段階に調整することができる。図２はプローブ１０の長さが一番短い状態であり、図３はプローブ１０の長さを伸ばした状態である。プローブ１０の長さを調整することによって遅延時間の誤差を調整することができる。現在の計測機器では、遅延時間を調整することができるが、誤差を調整することができるのは階段状である。本プローブ１０のように、無段階に調整することで、誤差を調整を高い精度で行うことができる。

次に、図４に遅延時間調整領域を拡大した断面図を示す。また、図５（Ａ）に図４のＡ−Ａ部の断面図を示す。図５（Ｂ）に図４のＢ−Ｂ部の断面図を示す。図５（Ｃ）に図４のＣ−Ｃ部の断面図を示す。
遅延時間調整領域における第１内部導体１１は、外形が空間を有する。そして、遅延時間調整領域における第２内部導体２１は、他の領域の第１内部導体１１の直径より細くなっている。第２内部導体２１の直径は、空間の内径と略同じである。

また、第１絶縁体１２および第２絶縁体２２は、長手方向に直交する方向の断面形状が円環状である。遅延時間調整領域における第１絶縁体１２の外径は、他の領域の第１絶縁体１２の外径より細くなっている。遅延時間調整領域における第２絶縁体２２の内径は、他の領域の第２絶縁体２２の内径より太くなっている。遅延時間調整領域における第２絶縁体２２の内径は、遅延時間調整領域における第１絶縁体１２の外径とほぼ同じである。

また、第１外部導体１３および第２外部導体２３は、長手方向に直交する方向の断面形状が円環状である。遅延時間調整領域における第１外部導体１３の内径は、他の領域の第１外部導体１３の内径より太くなっている。遅延時間調整領域における外部導体の外径は、他の領域の第２外部導体２３の外径より細くなっている。遅延時間調整領域における第１外部導体１３の内径は、遅延時間調整領域における第２外部導体２３の外径とほぼ同じである。

また、第３絶縁体１４および第４絶縁体２４は、長手方向に直交する方向の断面形状が円環状である。遅延時間調整領域における第３絶縁体１４の外径は、他の領域の第３絶縁体１４の外径より細くなっている。遅延時間調整領域における第４絶縁体２４の内径は、他の領域の第４絶縁体２４の内径より太くなっている。遅延時間調整領域における第４絶縁体２４の内径は、遅延時間調整領域における第３絶縁体１４の外径とほぼ同じである。

遅延時間調整領域において、第１内部導体１１の空間の中に第２内部導体２１が接触した状態で、第１内部導体１１および第２内部導体２１が抜き差しできるようになる。また、遅延時間調整領域において、外径が細い第１絶縁体１２の外側に内径が太い第２外部導体２３の内側が接触した状態で、第１絶縁体１２と第２絶縁体２２とが抜き差しできるようになる。また、遅延時間調整領域において、内径が太い第１外部導体１３の内側に内径が細い第２外部導体２３の外側が接触した状態で、第１外部導体１３と第２外部導体２３とが抜き差しできるようになる。また、遅延時間調整領域において、外径が細い第３絶縁体１４の外側に内径が太い第４外部導体の内側が接触した状態で、第３絶縁体１４と第４絶縁体２４とが抜き差しできるようになる。

その結果、第１内部導体１１と第２内部導体２１との電気的接続、第１外部導体１３と第２外部導体２３との電気的接続、第１内部導体１１および第２内部導体２１と第１外部導体１３および第２外部導体２３との絶縁を保ったままプローブ１０の長さを調整することができる。

［第２の実施形態］
ところで、第１の実施形態に述べたプローブ１０では、長さを調整した場合に、遅延時間調整領域において、第１内部導体１１と第１外部導体１３との間の空間、および第２内部導体２１と第２外部導体２３との間の空間の大きさが変化する。空間の大きさが変化するとインピーダンスが変化し、測定時にインピーダンスの変化を考慮しなければならなくなる。本実施形態では、長さを調整してもインピーダンスが変化しないプローブ１０について説明する。

図６に、本発明の第２の実施形態に係わるプローブ１０の遅延時間調整領域を拡大した断面図を示す。図６は、プローブ１０の長手方向に直交する方向の断面図である。また、図７（Ａ）に図６のＤ−Ｄ部の断面図を示し、図７（Ｂ）に図６のＥ−Ｅ部の断面図を示す。

図７（Ａ）に示すように、調整領域の第１内部導体１１の挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状である。調整領域の第１絶縁体１２の直交する方向の断面は半円環状である。調整領域の第１外部導体１３の直交する方向の断面は半円環状である。調整領域の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３を一体と見なした構造の直交する方向の断面は半円状である。調整領域の第３絶縁体１４の内径は第１外部導体１３の外径と略同じである。図６に示すように、遅延時間調整領域における第３絶縁体１４の外径は、他の領域の第３絶縁体１４の外径より細くなっている。

また、図７（Ｂ）に示すように、調整領域の第２内部導体２１の挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、調整領域の第２絶縁体２２の直交する方向の断面は半円環状であり、調整領域の第２外部導体２３の直交する方向の断面は半円環状であり、調整領域の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３を一体と見なした構造の直交する方向の断面は半円状であり、調整領域の第４絶縁体２４の内径は調整領域の第３絶縁体１４の外径と略同じである。図６に示すように、遅延時間調整領域における第４絶縁体２４の内径は、他の領域の第４絶縁体２４の内径より太くなっている。

半円状の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３と第３絶縁体１４との間に半円状の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３が挿入される空間が形成され、半円状の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３と第４絶縁体２４との間に半円状の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３が挿入される空間が形成されている。第１プローブ部１０Ａと第２プローブ部１０Ｂとを互いに挿入することができる。

以上の構成であると、プローブ１０の長さを調整しても、第１内部導体１１と第１外部導体１３との間に空間はできない。また、プローブ１０の長さを調整しても、第２内部導体２１と第２外部導体２３との間に空間はできない。従って、プローブ１０の長さを調整しても、インピーダンスの変化が生じない。

［第３の実施形態］
また、第２の実施形態で説明した構造に対し、外部導体を二重構造にすることで外部からのＥＭＩノイズの影響を防ぐことができる構造について説明する。

図８に、本発明の第３の実施形態に係わるプローブ１０の遅延時間調整領域を拡大した断面図を示す。図９は、プローブ１０の長手方向に直交する方向の断面図である。また、図９（Ａ）に図８のＦ−Ｆ部の断面図を示し、図９（Ｂ）に図８のＧ−Ｇ部の断面図を示す。

図９（Ａ）に示すように、調整領域の第１内部導体１１の挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、調整領域の第１絶縁体１２の直交する方向の断面は半円環状である。調整領域の第１外部導体１３の直交する方向の断面は、第１絶縁体１２の外側を覆う半円環形状と、第１絶縁体１２の外側を覆わず、内径が半円環形状の第１外部導体１３の外径にほぼ等しい逆半円環形状との二つの形状を有する。調整領域の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および半円環形状の第１外部導体１３を一体と見なした構造の直交する方向の断面は半円状である。半円状の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３とシールドとなる第１外部導体１３との間に空間が設けられている。図８に示すように、遅延時間調整領域における第３絶縁体１４の外径は、他の領域の第３絶縁体１４の外径より細くなっている。

また、図９（Ｂ）に示すように、調整領域の第２内部導体２１の挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状である。調整領域の第２絶縁体２２の直交する方向の断面は半円環状である。調整領域の第２外部導体２３の直交する方向の断面は、第２絶縁体２２の外側を覆う外径が逆半円環形状の第１外部導体１３の外径にほぼ等しい半円環形状と、第２絶縁体２２の外側を覆わず、内径が逆半円環形状の第１外部導体１３の外径にほぼ等しい逆半円環形状との二つの形状を有する。調整領域の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および半円環形状の第２外部導体２３を一体と見なした構造の直交する方向の断面は半円状である。半円状の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３とシールドとなる第２外部導体２３との間に空間が設けられている。図８に示すように、遅延時間調整領域における第４絶縁体２４の内径は、他の領域の第４絶縁体２４の内径より太くなっている。

そして、図８に示すように、半円状の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３と逆半円形状の第１外部導体１３との間に半円状の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３が挿入される空間が形成され、半円状の第２内部導体２１、第２絶縁体２２、および第２外部導体２３と逆半円形状の第２外部導体２３との間に半円状の第１内部導体１１、第１絶縁体１２、および第１外部導体１３が挿入される空間が形成されている。

そして、遅延時間調整領域において、外径が細い第３絶縁体１４の外側に内径が太い第４外部導体の内側が接触した状態で、第３絶縁体１４と第４絶縁体２４とを互いに挿入できるようになる。

外部導体を二重二分割することによって内部導体がシールドされるので、外部からのＥＭＩノイズの影響を防ぐことができる
［第４の実施形態］
また、第３の実施形態で説明した構造に対し、外部導体の外側に別途導体を設けることで、外部からのＥＭＩノイズの影響を防ぐ構造について説明する。

図１０に、本発明の第３の実施形態に係わるプローブ１０の遅延時間調整領域を拡大した断面図を示す。図１０は、プローブ１０の長手方向に直交する方向の断面図である。また、図１１（Ａ）に図１０のＨ−Ｈ部の断面図を示し、図１１（Ｂ）に図１０のＪ−Ｊ部の断面図を示す。

図１０，図１１に示すように、第１外部導体１３および第２外部導体２３の外側に第１追加導体１５および第２追加導体２５、並びに第５絶縁体１６および第６絶縁体２６が設けられている。

遅延時間調整領域における第１追加導体１５の外径は他の領域の第１追加導体１５の外径より細い。遅延時間調整領域における第２追加導体２５の内径は他の領域の第１追加導体１５の内径より太い。遅延時間調整領域における第５絶縁体１６の外径は他の領域の第５絶縁体１６の外径より細い。遅延時間調整領域における第６絶縁体２６の内径は他の領域の第６絶縁体２６の内径より太い。

第１および第２外部導体１３，２３の外側に別途第１追加導体１５および第２追加導体２５を設けることで、外部からのＥＭＩノイズの影響を更に防ぐことができる。

通常、同軸ケーブル１１０は１本ずつ単独で製造され、同じ長さのケーブルでも微妙に長さが違うため、遅延時間に多少の誤差が発生する。そのため、複数の信号間で遅延時間を揃えて測定する必要がある場合は、計測器側で調整することになるが、調整により測定誤差が発生する可能性がある。

そこで、ケーブルに接続するプローブ１０に長さを調節できる機能を持たせることで、計測器に接続した際に計測器側で遅延時間の調整を行う手間を省くとともに、高精度の測定を行うことができる。

なお、図１２に示すように、第１の実施形態に示したプローブの構成を用いて差動プローブを構成することもできる。なお、第１の実施形態に示したプローブの構成の他に第２〜第４の実施形態に示した構成を差動プローブの構成に適用することができる。

なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。

第１の実施形態に係わる計測システムの構成を示す図。図１に示すプローブの構成を示す断面図。図１に示すプローブの構成を示す断面図。図３に示すプローブの遅延時間調整領域を拡大した断面図。図３のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、およびＣ−Ｃ部の断面の構成を示す図。第２の実施形態に係わるプローブの構成を示す断面図。図６のＤ−Ｄ部の断面の構成を示す図。第３の実施形態に係わるプローブの構成を示す断面図。図８のＤ−Ｄ部の断面の構成を示す図。第４の実施形態に係わるプローブの構成を示す断面図。図１０のＤ−Ｄ部の断面の構成を示す図。差動プローブの構成を示す断面図。

符号の説明

１０…プローブ，１０Ａ…第１プローブ部，１０Ｂ…第２プローブ部，１１…第１内部導体，１２…第２絶縁体，１３…第１外部導体，１４…第３絶縁体，１５…第１追加導体，１６…第５絶縁体，２１…第２内部導体，２２…第２絶縁体，２３…第２外部導体，２４…第４絶縁体，２５…第２追加導体，２６…第６絶縁体，３１…コンタクト部，１００…計測装置，１１０…同軸ケーブル。

Claims

被検査物に接触するコンタクト部と、
中心部に設けられた第１内部導体と、前記第１内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１絶縁体と、前記第１絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１外部導体とを有する第１プローブ部と、
中心部に設けられた第２内部導体と、前記第２内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２絶縁体と、前記第２絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２外部導体とを有する第２プローブ部とを有し、
前記第１プローブ部および前記第２プローブ部は、第１内部導体と第２内部導体との電気的接続、第１外部導体と第２外部導体との電気的接続、第１内部導体および第２内部導体と第１外部導体および第２外部導体との絶縁を保持した状態で、前記第１プローブ部と前記第２プローブ部とを互いに挿入するための複数の空間が設けられた調整領域を有することを特徴とするプローブ。
前記調整領域における前記第２内部導体は前記調整領域以外の領域の径より細い第１の径を有し、
前記第１内部導体は、前記調整領域に前記調整領域の前記第２内部導体が挿入される円柱状の空間を有し、前記空間の径は前記第１の径と略同じであり、
前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の内径は前記調整領域以外の領域の第２絶縁体の内径より大きい第３の径を有し、前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の内径は前記第３の径を有し、前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の外径は第４の径を有し、
前記調整領域における円環状の前記第１絶縁体の前記内径は前記第１内部導体の外径と略同じであり、前記調整領域における円環状の前記第１絶縁体の外径は前記第３の径と略同じであり、前記調整領域における円環状の前記第１外部導体の内径は前記第５の径と略同じであり、前記調整領域における前記第１絶縁体と前記第１外部導体との間に前記調整領域における前記第２絶縁体および前記第２外部導体が挿入される空間が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
前記第１プローブ部は、前記第１外部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第３絶縁体を更に有し、
前記第２プローブ部は、前記第２外部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第４絶縁体を更に有し、
前記調整領域の前記第１内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第１絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１外部導体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、前記調整領域の前記第３絶縁体の内径は前記第１外部導体の外径と略同じであり、前記調整領域の前記第３絶縁体の外径は第５の径であって、
前記調整領域の前記第２内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第２絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２外部導体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、前記調整領域の前記第４絶縁体の内径は前記第５の径と略同じであって、
前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体と前記第３絶縁体との間に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体が挿入される空間が形成され、前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体と前記第４絶縁体との間に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体が挿入される空間が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
前記調整領域の前記第１内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第１絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１外部導体の前記直交する方向の断面は、前記第１絶縁体の外側を覆い、外径が第６の径である半円環形状と、前記第１絶縁体の外側を覆わず、内径が略前記第６の径、外径が第７の径である逆半円環形状との二つの形状を有し、前記調整領域の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記半円環形状の第１外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、
前記調整領域の前記第２内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第２絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２外部導体の前記直交する方向の断面は、前記第２絶縁体の外側を覆う外径が略第７の径である半円環形状と、前記第２絶縁体の外側を覆わず、内径が略前記第７の径である逆半円環形状との二つの形状を有し、前記調整領域の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記半円環形状の第２外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、
前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体と前記逆半円形状の第１外部導体との間に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体が挿入される空間が形成され、前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体と前記逆半円形状の前記第２外部導体との間に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体が挿入される空間が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
前記第１プローブ部は、前記調整領域に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体を囲う、前記直交する方向の断面が円環状、外径が第９の径の第１追加導体を有し、
前記第２プローブ部は、前記調整領域に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体を囲う、前記直交する方向の断面が円環状、内径が略第９の径の第２追加導体を有することを特徴とする請求項４に記載のプローブ。
２本以上のプローブおよび同軸ケーブルを介して入力される被試験体からの信号を計測装置によって計測するための計測システムであって、
前記一対のプローブの少なくとも一方は、
被検査物に接触するコンタクト部と、
中心部に設けられた第１内部導体と、前記第１内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１絶縁体と、前記第１絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第１外部導体とを有する第１プローブ部と、
中心部に設けられた第２内部導体と、前記第２内部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２絶縁体と、前記第２絶縁体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第２外部導体とを有する第２プローブ部とを有し、
前記第１プローブ部および前記第２プローブ部は、第１内部導体と第２内部導体との電気的接続、第１外部導体と第２外部導体との電気的接続、第１内部導体および第２内部導体と第１外部導体および第２外部導体との絶縁を保持した状態で、前記第１プローブ部と前記第２プローブ部とを互いに挿入するための複数の空間が設けられた調整領域を有することを特徴とする計測システム。
前記調整領域における前記第２内部導体は前記調整領域以外の領域の径より細い第１の径を有し、
前記第１内部導体は、前記調整領域に前記調整領域の前記第２内部導体が挿入される円柱状の空間を有し、前記空間の径は前記第１の径と略同じであり、
前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の内径は前記調整領域以外の領域の第２絶縁体の内径より大きい第３の径を有し、前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の内径は前記第３の径を有し、前記調整領域における円環状の前記第２絶縁体の外径は第４の径を有し、
前記調整領域における円環状の前記第１絶縁体の前記内径は前記第１内部導体の外径と略同じであり、前記調整領域における円環状の前記第１絶縁体の外径は前記第３の径と略同じであり、前記調整領域における円環状の前記第１外部導体の内径は前記第５の径と略同じであり、前記調整領域における前記第１絶縁体と前記第１外部導体との間に前記調整領域における前記第２絶縁体および前記第２外部導体が挿入される空間が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の計測システム。
前記第１プローブ部は、前記第１外部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第３絶縁体を更に有し、
前記第２プローブ部は、前記第２外部導体の一部を被覆し、少なくとも一部の断面形状が円環状の第４絶縁体を更に有し、
前記調整領域の前記第１内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第１絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１外部導体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、前記調整領域の前記第３絶縁体の内径は前記第１外部導体の外径と略同じであり、前記調整領域の前記第３絶縁体の外径は第５の径であって、
前記調整領域の前記第２内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第２絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２外部導体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、前記調整領域の前記第４絶縁体の内径は前記第５の径と略同じであって、
前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体と前記第３絶縁体との間に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体が挿入される空間が形成され、前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体と前記第４絶縁体との間に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体が挿入される空間が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の計測システム。
前記調整領域の前記第１内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第１絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第１外部導体の前記直交する方向の断面は、前記第１絶縁体の外側を覆い、外径が第６の径である半円環形状と、前記第１絶縁体の外側を覆わず、内径が略前記第６の径、外径が第７の径である逆半円環形状との二つの形状を有し、前記調整領域の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記半円環形状の第１外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、
前記調整領域の前記第２内部導体の前記挿入する方向に直交する方向の断面は半円形状であり、前記調整領域の前記第２絶縁体の前記直交する方向の断面は半円環状であり、前記調整領域の前記第２外部導体の前記直交する方向の断面は、前記第２絶縁体の外側を覆う外径が略第７の径である半円環形状と、前記第２絶縁体の外側を覆わず、内径が略前記第７の径である逆半円環形状との二つの形状を有し、前記調整領域の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記半円環形状の第２外部導体を一体と見なした構造の前記直交する方向の断面は半円状であり、
前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体と前記逆半円形状の第１外部導体との間に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体が挿入される空間が形成され、前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体と前記逆半円形状の前記第２外部導体との間に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体が挿入される空間が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の計測システム。
前記第１プローブ部は、前記調整領域に前記半円状の前記第１内部導体、前記第１絶縁体、および前記第１外部導体を囲う、前記直交する方向の断面が円環状、外径が第９の径の第１追加導体を有し、
前記第２プローブ部は、前記調整領域に前記半円状の前記第２内部導体、前記第２絶縁体、および前記第２外部導体を囲う、前記直交する方向の断面が円環状、内径が略第９の径の第２追加導体を有することを特徴とする請求項９に記載の計測システム。