JP2010067672A - Thermoelectric conversion material and process of producing the same - Google Patents

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Sachiko Hayashi
幸子 林
Takanori Nakamura
孝則 中村
Tomohide Haraguchi
友秀 原口
Mitsumasa Karasawa
光将 空澤
Masayoshi Mori
正芳 森
Takeshi Yamagami
武 山上
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Honda Motor Co Ltd
Murata Manufacturing Co Ltd
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Honda Motor Co Ltd
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a low cost thermoelectric conversion material principally comprising a half-Heusler compound and exhibiting proper denseness and excelling mass productivity, and to obtain method for producing the material. <P>SOLUTION: A thermoelectric conversion material, principally contains an inter-metallic compound, represented by general formula XYZ (where X, Y and Z represent at least one kind of metallic element, respectively), and contains a glass component which contains boron oxide, silicon oxide and alkaline-earth metal oxides such as Ca, Ba, and the like, in the range of less than 15 vol.% (excluding 0 vol.%). A molding product consisting of mixture powder where a vitreous component is added to the principal component, is embedded in alloy powder having the same composition as that of the principal component and baked under normal pressure. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、熱電変換材料、及び熱電変換材料の製造方法に関し、より詳しくはハーフホイスラー型の金属間化合物を主成分とした熱電変換材料、及び熱電変換材料の製造方法に関する。   The present invention relates to a thermoelectric conversion material and a method for manufacturing the thermoelectric conversion material, and more particularly to a thermoelectric conversion material mainly composed of a half-Heusler type intermetallic compound and a method for manufacturing the thermoelectric conversion material.

近年における資源エネルギー問題や地球温暖化等の環境問題に対応すべく、熱エネルギーを効率よく電気エネルギーに変換する熱電変換材料の実現が要請されている。   In order to cope with environmental problems such as resource energy problems and global warming in recent years, realization of a thermoelectric conversion material that efficiently converts heat energy into electric energy has been demanded.

従来より、この種の熱電変換材料としては、ゼーベック効果を利用したものが広く知られている。このゼーベック効果とは、物質の両端に温度差を設けた場合、その両端には温度差に応じた電圧が生じるという現象をいい、熱電変換材料の熱電特性は、数式(1)に示す出力因子Pで評価することができる。   Conventionally, as this type of thermoelectric conversion material, those utilizing the Seebeck effect are widely known. The Seebeck effect is a phenomenon in which when a temperature difference is provided at both ends of a substance, a voltage corresponding to the temperature difference is generated at both ends. The thermoelectric characteristics of the thermoelectric conversion material are output factors represented by Equation (1). P can be evaluated.

P=S/ρ …(1)
Sはゼーベック係数、ρは抵抗率である。
P = S 2 / ρ (1)
S is the Seebeck coefficient and ρ is the resistivity.

上記熱電変換材料には、正のゼーベック係数を有するp型熱電変換材料と負のゼーベック係数を有するn型熱電変換材料があるが、電流が流れやすくなると抵抗率ρが小さくなり、電圧が大きくなるとゼーベック係数Sの絶対値も大きくなることから、数式(1)より出力因子Pが大きいほど、熱電特性は向上することになる。   The thermoelectric conversion material includes a p-type thermoelectric conversion material having a positive Seebeck coefficient and an n-type thermoelectric conversion material having a negative Seebeck coefficient. However, when the current easily flows, the resistivity ρ decreases and the voltage increases. Since the absolute value of the Seebeck coefficient S is also increased, the thermoelectric characteristics are improved as the output factor P is larger from the equation (1).

ゼーベック係数Sの絶対値が大きい熱電変換材料としては、一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表されるハーフホイスラー型金属間化合物(以下、「ハーフホイスラー化合物」という。)が知られている。このハーフホイスラー化合物は、金属元素Xと金属元素Zとで構成されるNaCl型結晶格子に金属元素Yが挿入された立方晶系の結晶構造を有する。   As a thermoelectric conversion material having a large absolute value of the Seebeck coefficient S, a half-Heusler intermetallic compound represented by a general formula XYZ (where X, Y, and Z each represent at least one metal element) (hereinafter, "Half-Heusler compound") is known. This half-Heusler compound has a cubic crystal structure in which a metal element Y is inserted into a NaCl-type crystal lattice composed of a metal element X and a metal element Z.

そして、特許文献1には、組成式:(Tia1Zrb1Hfc1NiSn100−x−y(ただし、0<a1<1、0<b1<1、0<c1<1、a1+b1+c1=1、30≦x≦35、30≦y≦35)で表わされ、MgAgAs型結晶構造を有するハーフホイスラー化合物相を主相とする熱電変換材料が提案されている。 Patent Document 1 includes a composition formula: (Ti a1 Zr b1 Hf c1 ) x Ni y Sn 100-xy (where 0 <a1 <1, 0 <b1 <1, 0 <c1 <1, a1 + b1 + c1 = 1, 30 ≦ x ≦ 35, 30 ≦ y ≦ 35), and a thermoelectric conversion material having a half-Heusler compound phase having a MgAgAs type crystal structure as a main phase has been proposed.

この特許文献1では、合金粉末をホットプレス焼結法や放電プラズマ焼結法等の加圧焼結法により焼結させ、これにより最終製品であるバルク状の熱電変換材料を得ている。すなわち、加圧せずに常圧で焼結させると、微量の酸素で表面が酸化したり、金属元素が揮発し、このため熱電特性の低下を招くおそれがある。例えば、ハーフホイスラー化合物を使用した熱電変換材料では、Zサイトの金属元素としてSnやSbの使用されることが多いが、常圧焼結法では、これらSnやSbが特に揮発しやすい。また、加圧焼結法は、一般に、常圧焼結法に比べて緻密性が良好で、出力因子Pの大きな熱電変換材料を得ることができると考えられている。このため、従来の熱電変換材料は、特許文献1のように、加圧焼結法により熱電変換材料を作製している。   In Patent Document 1, alloy powder is sintered by a pressure sintering method such as a hot press sintering method or a discharge plasma sintering method, thereby obtaining a bulk thermoelectric conversion material as a final product. That is, if sintering is performed at normal pressure without applying pressure, the surface may be oxidized with a small amount of oxygen, or the metal element may volatilize, which may lead to deterioration of thermoelectric characteristics. For example, in a thermoelectric conversion material using a half-Heusler compound, Sn or Sb is often used as a metal element at the Z site. However, in the normal pressure sintering method, Sn and Sb are particularly volatile. In addition, it is considered that the pressure sintering method is generally capable of obtaining a thermoelectric conversion material having good denseness and a large output factor P compared to the atmospheric pressure sintering method. For this reason, the conventional thermoelectric conversion material is producing the thermoelectric conversion material by the pressure sintering method like patent document 1. FIG.

特開2004−356607号公報JP 2004-356607 A

しかしながら、従来の熱電変換材料は、上述したように加圧焼結法により作製されているため、生産性に劣り、コスト高を招くという問題点があった。例えば、ホットプレス焼結法の場合、粉体を加圧しながら熱を加える必要があるため、高価で大規模な加圧装置が必要となる。また、放電プラズマ焼結法の場合、加圧・真空下で通電させながら放電プラズマを発生させているため、比較的短時間で均質高品位の焼結体を得ることが可能であるが、加圧・真空装置が必要になる他、放電プラズマを発生させる装置も必要となり、生産性が悪く、設備費も高くつくという問題点があった。   However, since the conventional thermoelectric conversion material is produced by the pressure sintering method as described above, there is a problem that the productivity is inferior and the cost is increased. For example, in the case of the hot press sintering method, since it is necessary to apply heat while pressing the powder, an expensive and large-scale pressing device is required. In the case of the discharge plasma sintering method, since discharge plasma is generated while energizing under pressure and vacuum, it is possible to obtain a homogeneous and high-quality sintered body in a relatively short time. In addition to the need for a pressure / vacuum device, a device for generating discharge plasma is also required, resulting in poor productivity and high equipment costs.

本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、緻密性が良好でかつ低コストで量産性に優れたハーフホイスラー化合物を主成分とする熱電変換材料、及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a thermoelectric conversion material mainly composed of a half-Heusler compound that has good compactness, low cost, and excellent mass productivity, and a method for producing the same. With the goal.

上述したハーフホイスラー化合物からなる熱電変換材料を加圧焼結法ではなく、常圧焼結法で行うことができれば、高価な設備が不要となり低コストで大量生産することが可能となる。   If the thermoelectric conversion material composed of the above-mentioned half-Heusler compound can be performed not by the pressure sintering method but by the atmospheric pressure sintering method, expensive equipment becomes unnecessary and mass production can be achieved at low cost.

しかしながら、〔背景技術〕の項にも記載したように、一般に、常圧焼結法は、加圧焼結法に比べて緻密性に劣り、焼結性が低い。   However, as described in [Background Art], the atmospheric pressure sintering method is generally inferior to the pressure sintering method and has a low sintering property.

そこで、本発明者らが鋭意研究を行ったところ、特定のガラス成分を15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含ませることにより、異相が生成されることもなく、所望の液相焼結を行うことができ、これにより加圧焼結しなくとも、緻密性が良好で十分に実用価値のある熱電変換材料を得ることができるという知見を得た。   Then, when the present inventors conducted earnest research, by containing a specific glass component in the range of less than 15 vol% (excluding 0 vol%), a different phase is not produced | generated and desired liquid is produced | generated. It was found that phase sintering can be performed, and thus a thermoelectric conversion material having good denseness and sufficiently practical value can be obtained without pressure sintering.

本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る熱電変換材料は、一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表される金属間化合物を主成分とし、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分が、15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含まれていることを特徴としている。   This invention is made | formed based on such knowledge, Comprising: The thermoelectric conversion material which concerns on this invention is represented by general formula XYZ (however, X, Y, Z shows at least 1 type of metal element, respectively). A glass component containing an intermetallic compound as a main component and containing boron oxide, silicon oxide, and alkaline earth metal oxide is included in a range of less than 15 vol% (excluding 0 vol%). It is a feature.

また、本発明の熱電変換材料は、前記アルカリ土類金属が、Ca及びBaのうちの少なくともいずれか一方を含むことを特徴としている。   Moreover, the thermoelectric conversion material of the present invention is characterized in that the alkaline earth metal includes at least one of Ca and Ba.

また、本発明の熱電変換材料は、前記金属間化合物が、少なくともTi、Ni、Snを含むことを特徴としている。   Further, the thermoelectric conversion material of the present invention is characterized in that the intermetallic compound contains at least Ti, Ni, and Sn.

また、本発明の熱電変換材料は、前記Snの一部が、Sbで置換されていることを特徴としている。   The thermoelectric conversion material of the present invention is characterized in that a part of the Sn is substituted with Sb.

また、本発明の熱電変換材料は、前記Tiの一部が、Zr及びHfのうちの少なくともいずれか一方の元素で置換されていることを特徴としている。   The thermoelectric conversion material of the present invention is characterized in that a part of the Ti is substituted with at least one element of Zr and Hf.

また、本発明の熱電変換材料の製造方法は、複数種の金属粉末を出発原料として一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表される金属間化合物からなる合金粉末を作製し、さらに、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分が15vol%未満(0vol%を含まず。)となるように、前記合金粉末に前記ガラス成分を混合して混合粉末を作製し、次いで該混合粉末を成形して成形体を作製し、その後、前記合金粉末中に前記成形体を埋め込んだ状態で焼成処理を行ない、熱電変換材料を作製することを特徴としている。   The method for producing a thermoelectric conversion material of the present invention is a metal represented by the general formula XYZ (where X, Y, and Z each represent at least one metal element) using a plurality of types of metal powders as starting materials. An alloy powder composed of an intermetallic compound is prepared, and further, the alloy powder so that the glass component containing boron oxide, silicon oxide, and alkaline earth metal oxide is less than 15 vol% (excluding 0 vol%). The glass component is mixed to produce a mixed powder, and then the mixed powder is molded to produce a molded body. Thereafter, the molded body is embedded in the alloy powder, and then subjected to a firing treatment to obtain a thermoelectric conversion. It is characterized by producing materials.

また、本発明の熱電変換材料の製造方法は、前記焼成処理を常圧で行なうことを特徴としている。   The method for producing a thermoelectric conversion material according to the present invention is characterized in that the baking treatment is performed at normal pressure.

本発明の熱電変換材料によれば、一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表される金属間化合物を主成分とし、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びCa、Ba等のアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分が、15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含まれているので、ガラス軟化点の低いガラス成分を主成分に所定量添加することにより、異相が生成されることもなく、液相焼結を行うことが可能となる。   According to the thermoelectric conversion material of the present invention, the main component is an intermetallic compound represented by the general formula XYZ (where X, Y, and Z each represents at least one metal element), and boron oxide and silicon oxide. , And glass components containing alkaline earth metal oxides such as Ca and Ba are contained in a range of less than 15 vol% (not including 0 vol%), so that the glass component having a low glass softening point is the main component. By adding a predetermined amount to the liquid phase, liquid phase sintering can be performed without generating a different phase.

しかも、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分は、前記金属間化合物に対して濡れ性が良好であり、異相の生成を抑制しつつ液相焼結を行うことができる。したがって、焼結性が向上し、緻密で所望の熱電特性を有する熱電変換材料を得ることができる。   Moreover, the glass component containing boron oxide, silicon oxide, and alkaline earth metal oxide has good wettability with respect to the intermetallic compound, and performs liquid phase sintering while suppressing the generation of heterogeneous phases. Can do. Accordingly, a sinterability is improved, and a dense thermoelectric conversion material having desired thermoelectric properties can be obtained.

また、本発明の熱電変換材料の製造方法によれば、合金粉末中に成形体を埋め込み、焼成処理を行なうので、焼結体表面の酸化や金属元素の揮発が抑制され、低コストで熱電特性の良好な熱電変換材料を容易に製造することができる。   In addition, according to the method for producing a thermoelectric conversion material of the present invention, since the compact is embedded in the alloy powder and subjected to a firing process, oxidation of the surface of the sintered body and volatilization of the metal element are suppressed, and thermoelectric properties are reduced at a low cost. A favorable thermoelectric conversion material can be easily produced.

また、前記焼成処理を常圧で行なうので、ホットプレス焼結法や放電プラズマ焼結法のような加圧焼結法とは異なり、製造工程が簡素化され、高価な製造設備が不要となり、低コストで量産に適した生産性に優れた熱電変換材料の製造方法を実現できる。   In addition, since the firing process is performed at normal pressure, unlike the pressure sintering method such as the hot press sintering method and the discharge plasma sintering method, the manufacturing process is simplified, and expensive manufacturing equipment is not required. A method for producing a thermoelectric conversion material excellent in productivity suitable for mass production at low cost can be realized.

また、前記金属間化合物は、少なくともSnを含有し、さらには前記Snの一部をSbで置換するので、金属元素としてSnやSbを含有していても、これらSnやSbが揮発してしまうのを抑制することができる。すなわち、SnやSbは、通常、常圧で焼成すると、揮発して消散してしまい、このため熱電特性の低下を招くおそれがある。しかしながら、本発明のように成形体を合金粉末中に埋め込んで焼成することにより、これらSnやSbが揮発するのを回避することが可能となる。したがって、常圧でも容易に所望の焼結を行なうことができ、実用に支障が生じない程度の熱電特性を有する熱電変換材料を容易に製造することができる。   In addition, since the intermetallic compound contains at least Sn and a part of the Sn is substituted with Sb, even if Sn or Sb is contained as a metal element, Sn or Sb volatilizes. Can be suppressed. That is, Sn and Sb are usually volatilized and dissipated when fired at normal pressure, which may lead to a decrease in thermoelectric characteristics. However, it is possible to avoid volatilization of Sn and Sb by embedding the compact in the alloy powder and firing as in the present invention. Therefore, desired sintering can be easily performed even at normal pressure, and a thermoelectric conversion material having thermoelectric characteristics that does not hinder practical use can be easily manufactured.

以下、本発明の実施の形態を詳説する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明に係る熱電変換材料は、一般式XYZで表されるハーフホイスラー化合物を主成分としている。   The thermoelectric conversion material according to the present invention is mainly composed of a half-Heusler compound represented by the general formula XYZ.

ここで、上記一般式XYZ中、Xサイトに配位する金属元素としては、Tiが挙げられる。また、Tiを主成分とし、このTiの一部をZrやHf等の4価の元素で置換したり、La、Se、Nd、Sm等の3価の希土類元素で置換するのも好ましい。   Here, Ti is mentioned as a metal element coordinated to X site in the said general formula XYZ. It is also preferable that Ti is a main component and a part of Ti is substituted with a tetravalent element such as Zr or Hf or a trivalent rare earth element such as La, Se, Nd, or Sm.

Yサイトに配位する金属元素としては、Niを挙げることができる。また、Niを主成分とし、このNiの一部をFe、Cu等の遷移金属元素で置換するのも好ましい。   An example of the metal element coordinated at the Y site is Ni. It is also preferable that Ni is a main component and a part of Ni is substituted with a transition metal element such as Fe or Cu.

Zサイトに配位する金属元素としては、Snを挙げることができる。また、Snを主成分とし、このSnの一部をSbで置換するのも好ましい。   Examples of the metal element coordinated at the Z site include Sn. It is also preferable that Sn is a main component and a part of this Sn is replaced with Sb.

そして、本熱電変換材料は、主成分である上記ハーフホイスラー化合物に特定のガラス成分が、15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含有されている。これにより、異相が生成されることもなく、液相焼結されて良好な緻密性を有する焼結体とすることができ、熱電特性の良好な熱電変換材料を得ることができる。   And this thermoelectric conversion material contains the specific glass component in the range which is less than 15 vol% (excluding 0 vol%) in the said half-Heusler compound which is a main component. Thereby, a heterogeneous phase is not produced | generated, it can be set as the sintered compact which is liquid-phase-sintered and has favorable denseness, and can obtain the thermoelectric conversion material with a favorable thermoelectric characteristic.

ここで、特定のガラス成分としては、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びCaやBa等のアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分(以下、「B−Si−Am−O系ガラス成分」という。)(Amはアルカリ土類金属元素を示す。)を使用することができる。すなわち、このB−Si−Am−O系ガラス成分はガラス軟化点が790℃と低く、液相焼結を行なうのに適している。しかも、このガラス成分は、ハーフホイスラー化合物に対して良好な濡れ性を示し、異相の生成を抑制しつつ液相焼結させることが可能である。尚、このB−Si−Am−O系ガラス成分以外のガラス成分、例えば、アルカリ土類金属酸化物の代えて、亜鉛酸化物を含んだガラス成分を使用した場合、斯かるガラス成分もガラス軟化点は800℃と低く、液相焼結は可能であるが、ハーフホイスラー化合物に対する濡れ性が悪く、ガラスの元素が金属間化合物の元素を反応するため、異相が生成され易くなり、好ましくない。   Here, as the specific glass component, a glass component containing boron oxide, silicon oxide, and an alkaline earth metal oxide such as Ca or Ba (hereinafter referred to as “B-Si—Am—O-based glass component”). ) (Am represents an alkaline earth metal element) can be used. That is, this B—Si—Am—O-based glass component has a low glass softening point of 790 ° C. and is suitable for liquid phase sintering. Moreover, this glass component exhibits good wettability with respect to the half-Heusler compound, and can be liquid-phase sintered while suppressing the generation of heterogeneous phases. When a glass component other than the B-Si-Am-O-based glass component, for example, a glass component containing zinc oxide is used instead of an alkaline earth metal oxide, the glass component is also softened. The point is as low as 800 ° C., and liquid phase sintering is possible, but the wettability with respect to the half-Heusler compound is poor, and the glass element reacts with the element of the intermetallic compound.

また、B−Si−Am−O系ガラス成分の体積含有量を15vol%未満としたのは、体積含有量が15vol%以上になると、ガラス成分の含有量が過剰となり、この場合も異相が生成され易くなって熱電特性の低下を招くおそれがあるからである。   Moreover, the volume content of the B-Si-Am-O-based glass component is set to less than 15 vol%. If the volume content is 15 vol% or more, the content of the glass component becomes excessive, and in this case, a different phase is generated. This is because there is a risk that the thermoelectric characteristics may be deteriorated.

次に、上記熱電変換材料の製造方法の一実施の形態を詳述する。   Next, an embodiment of the method for producing the thermoelectric conversion material will be described in detail.

まず、ハーフホイスラー化合物を構成する複数種の金属素原料、例えばNi、Ti、Sn、Zr、Hf、Sb等の高純度粉末を用意する。   First, a plurality of types of metal raw materials constituting the half-Heusler compound, for example, high-purity powders such as Ni, Ti, Sn, Zr, Hf, and Sb are prepared.

次いで、所定組成のハーフホイスラー化合物となるように、各金属素原料を秤量し、溶解法を使用して秤量物を溶解させ、溶融合金を作製する。ここで、溶解法としては、特に限定されるものではなく、高周波溶解法やアーク溶解法等、任意の方法を使用することができる。   Next, each metal raw material is weighed so as to be a half-Heusler compound having a predetermined composition, and the weighed material is melted using a melting method to produce a molten alloy. Here, the melting method is not particularly limited, and any method such as a high-frequency melting method or an arc melting method can be used.

この後、溶融合金を急冷・凝固させ、合金粉末を作製する。ここで、溶融合金を急冷・凝固させる方法としては、特に限定されるものではなく、(単ロール法、双ロール法、回転ディスク法、或いはガスアトマイズ法や水アトマイズ法などのアトマイズ法などの液体急冷法等、任意の方法を使用することができる。   Thereafter, the molten alloy is rapidly cooled and solidified to produce an alloy powder. Here, the method for rapidly cooling and solidifying the molten alloy is not particularly limited, and liquid quenching such as a single roll method, a twin roll method, a rotating disk method, or an atomizing method such as a gas atomizing method or a water atomizing method. Any method can be used.

次に、得られた合金粉末を粉砕機に投入して粉砕し、所定粒径の微粉末とする。ここで、粉砕機としては、特に限定されるものではなく、ボールミル、ジェットミル、遊星ミル等を任意に使用することができる。   Next, the obtained alloy powder is put into a pulverizer and pulverized to obtain a fine powder having a predetermined particle diameter. Here, the crusher is not particularly limited, and a ball mill, a jet mill, a planetary mill or the like can be arbitrarily used.

次に、この微粉砕して得られた合金粉末に対し、B−Si−Am−O系ガラス成分が15vol%未満(0vol%を含まず。)となるように、該ガラス成分を添加し、混合粉末を作製する。   Next, the glass component is added to the alloy powder obtained by fine pulverization so that the B-Si-Am-O-based glass component is less than 15 vol% (excluding 0 vol%), A mixed powder is prepared.

次いで、B−Si−Am−O系ガラス成分を添加した上記混合粉末に所定圧力を加圧してプレス成形を行い、成形体を作製する。尚、プレス成形の方法につても、特に限定されるものではなく、例えば冷間等方圧プレス法等を使用することができる。   Next, a predetermined pressure is applied to the mixed powder to which the B-Si-Am-O-based glass component has been added to perform press molding to produce a molded body. The press molding method is not particularly limited, and for example, a cold isostatic pressing method or the like can be used.

次いで、前記液体急冷後の合金粉末を坩堝等の所定の容器内に収容し、該合金粉末の収容された容器内に成形体を入れ、成形体を前記合金粉末中に完全に埋め込む。   Next, the alloy powder after the liquid quenching is accommodated in a predetermined container such as a crucible, and the compact is placed in a container in which the alloy powder is accommodated, and the compact is completely embedded in the alloy powder.

そして、この状態で所定条件下、常圧で焼成処理を行なう。焼成条件は、合成されるハーフホイスラー化合物の組成や合金粉末の粒径によっても異なるが、焼結体の相対密度が70%以上であればよく、例えば、1200〜1300℃の焼成温度で4〜8時間程度、加圧することなく常圧焼成を行なう。また、焼成雰囲気は、合金酸化を避ける観点から、Ar雰囲気等の不活性雰囲気で行なうのが好ましい。   In this state, firing is performed under normal conditions and at normal pressure. The firing conditions differ depending on the composition of the half-Heusler compound to be synthesized and the particle size of the alloy powder, but it is sufficient that the relative density of the sintered body is 70% or more, for example, 4 to 4 at a firing temperature of 1200 to 1300 ° C. Normal pressure firing is performed for about 8 hours without pressurization. The firing atmosphere is preferably performed in an inert atmosphere such as an Ar atmosphere from the viewpoint of avoiding alloy oxidation.

このように本実施の形態によれば、ハーフホイスラー化合物を主成分とし、B−Si−Am−O系ガラス成分が、15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含まれているので、ガラス軟化点の低いガラス成分を主成分に所定量添加することにより、異相が生成されることもなく、液相焼結を行うことが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the half-Heusler compound is the main component, and the B-Si-Am-O-based glass component is contained in a range of less than 15 vol% (excluding 0 vol%). By adding a predetermined amount of a glass component having a low glass softening point to the main component, liquid phase sintering can be performed without generating a different phase.

しかも、前記ガラス成分は、金属間化合物に対して濡れ性が良好であり、異相を生成することなく液相焼結を行うことができ、焼結性が向上する。したがって、緻密で所望の熱電特性を有する熱電変換材料を得ることができる。   And the said glass component has favorable wettability with respect to an intermetallic compound, can perform liquid phase sintering, without producing | generating a heterogeneous phase, and sinterability improves. Therefore, a dense thermoelectric conversion material having desired thermoelectric characteristics can be obtained.

また、合金粉末中に成形体を埋め込み、焼成するので、成形体が酸素に触れることもなく焼成を行うことができる。したがって、焼結体表面の酸化やSnやSb等のZサイトに配位される金属元素の揮発が抑制され、低コストで実用価値のある所望の熱電特性を有する熱電変換材料を容易に製造することが可能となる。   Moreover, since the compact is embedded in the alloy powder and fired, firing can be performed without the compact being exposed to oxygen. Accordingly, oxidation of the surface of the sintered body and volatilization of the metal element coordinated at the Z site such as Sn and Sb are suppressed, and a thermoelectric conversion material having desired thermoelectric properties having practical value at low cost is easily manufactured. It becomes possible.

また、前記焼成処理を常圧で行なうことができるので、ホットプレス焼結法や放電プラズマ焼結法のような加圧焼結法とは異なり、製造工程が簡素化され、高価な製造設備が不要となり、低コストで量産に適した熱電変換材料の製造方法を実現できる。   In addition, since the firing process can be performed at normal pressure, unlike the pressure sintering method such as the hot press sintering method and the discharge plasma sintering method, the manufacturing process is simplified and expensive manufacturing equipment is provided. A manufacturing method of a thermoelectric conversion material that is unnecessary and suitable for mass production can be realized at low cost.

次に、本発明の実施例を具体的に説明する。   Next, examples of the present invention will be specifically described.

本実施例では、n型の熱電変換材料を作製して特性を評価した。   In this example, an n-type thermoelectric conversion material was produced and the characteristics were evaluated.

〔実施例1〕
まず、純度が99%以上のTi、Zr、Hf、Ni、Sb、及びSnの各金属素原料を用意した。
[Example 1]
First, Ti, Zr, Hf, Ni, Sb, and Sn metal raw materials having a purity of 99% or more were prepared.

そして、これら金属素原料を、組成式が(Ti0.5Zr0.25Hf0.25)Ni(Sn0.998Sb0.002)となるように秤量し、高周波溶解法で溶解し、溶融合金を作製した。すなわち、秤量した金属粉末をアルミナ製坩堝に入れて高周波炉内にセットし、10-2〜10-3Paの真空下で高周波電流を流し、高周波誘導加熱により坩堝内の金属素原料を溶解し溶融合金を作製した。 These metal raw materials were weighed so that the composition formula would be (Ti 0.5 Zr 0.25 Hf 0.25 ) Ni (Sn 0.998 Sb 0.002 ) and melted by a high frequency melting method to prepare a molten alloy. That is, the weighed metal powder is put in an alumina crucible and set in a high-frequency furnace, a high-frequency current is passed under vacuum of 10 −2 to 10 −3 Pa, and the metal raw material in the crucible is dissolved by high-frequency induction heating A molten alloy was prepared.

次いで、この溶融金属を急冷凝固した後、粗粉砕し、合金粉末を得た。そしてその後、この合金粉末をボールミルに投入し、粒径が1〜20μm程度の微粉末状に粉砕した。   Next, the molten metal was rapidly solidified and then coarsely pulverized to obtain an alloy powder. Thereafter, the alloy powder was put into a ball mill and pulverized into a fine powder having a particle size of about 1 to 20 μm.

次に、B、SiO、CaO、及びBaOのモル%が、B:8モル%、SiO:41モル%、CaO:34モル%、及びBaO:17モル%に調合されたB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を用意した。 Next, the mole percentages of B 2 O 3 , SiO 2 , CaO, and BaO were blended into B 2 O 3 : 8 mole%, SiO 2 : 41 mole%, CaO: 34 mole%, and BaO: 17 mole%. The prepared B-Si-Ca-Ba-O-based glass component was prepared.

そして、このB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を、体積含有量が5vol%となるように、前記微粉末状の合金粉末に添加して混合し、混合粉末を得た。   And this B-Si-Ca-Ba-O type | system | group glass component was added and mixed with the said fine powder-like alloy powder so that volume content might be 5 vol%, and mixed powder was obtained.

次いで、この混合粉末を冷間等方圧プレス法によって200MPaで加圧し、縦8mm、横8mm、厚み5mmの成形体を作製した。   Next, this mixed powder was pressed at 200 MPa by a cold isostatic pressing method to produce a molded body having a length of 8 mm, a width of 8 mm, and a thickness of 5 mm.

その後、この成形体を上述した合金粉末と共にアルミナ製坩堝内に投入し、成形体を金属粉末中に埋めた。そしてこの状態で、Ar雰囲気下、1200℃で6時間保持し、常圧焼成を行い、実施例1の試料を作製した。   Thereafter, this compact was put into an alumina crucible together with the alloy powder described above, and the compact was buried in the metal powder. And in this state, it hold | maintained at 1200 degreeC under Ar atmosphere for 6 hours, normal-pressure baking was performed, and the sample of Example 1 was produced.

〔比較例1〕
ガラス材料を添加しなかった以外は、上記実施例1と同様の方法・手順で、比較例1の試料を作製した。
[Comparative Example 1]
A sample of Comparative Example 1 was prepared by the same method and procedure as in Example 1 except that no glass material was added.

〔比較例2〕
実施例1で使用したB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を、体積含有量が15vol%となるように添加した以外は、上記実施例1と同様の方法・手順で、比較例2の試料を作製した。
[Comparative Example 2]
Comparative Example 2 was the same method and procedure as in Example 1 except that the B-Si-Ca-Ba-O-based glass component used in Example 1 was added so that the volume content was 15 vol%. A sample of was prepared.

〔比較例3〕
、SiO、ZnOのモル%が、B:31モル%、SiO:47モル%、及びZnO:22モル%に調合されたB−Si−Zn−O系ガラス成分を用意した。
[Comparative Example 3]
B 2 O 3, SiO 2, mol% of ZnO is, B 2 O 3: 31 mol%, SiO 2: 47 mol%, and ZnO: 22 mol% to formulated the B-Si-ZnO-based glass component Prepared.

そして、このB−Si−Zn−O系ガラス成分を、体積含有量が5vol%となるように、上記実施例1で作製した合金微粉末に添加して混合した。   And this B-Si-Zn-O type | system | group glass component was added and mixed with the alloy fine powder produced in the said Example 1 so that volume content might be 5 vol%.

そしてその後は上記実施例1と同様の方法・手順で、比較例3の試料を作製した。   Thereafter, the sample of Comparative Example 3 was produced by the same method and procedure as in Example 1.

〔比較例4〕
比較例3と同一組成のB−Si−Zn−O系ガラス成分を、体積含有量が15vol%となるように、合金微粉末に添加した以外は、比較例3と同様の方法・手順で、比較例4の試料を作製した。
[Comparative Example 4]
Except for adding the B-Si-Zn-O-based glass component having the same composition as Comparative Example 3 to the alloy fine powder so that the volume content is 15 vol%, the same method and procedure as Comparative Example 3, A sample of Comparative Example 4 was produced.

〔試料の評価〕
実施例1及び比較例1〜4の各試料について、アルキメデス法で焼結密度を測定し、焼結密度の実測値を理論焼結密度で除算して相対密度を算出した。
(Sample evaluation)
About each sample of Example 1 and Comparative Examples 1-4, the sintered density was measured by the Archimedes method, and the relative density was calculated by dividing the measured value of the sintered density by the theoretical sintered density.

また、上記各試料について、50〜420℃の温度範囲における抵抗率ρ及びゼーベック係数Sを測定し、出力因子P(=S/ρ)を求めた。 Moreover, about each said sample, the resistivity (rho) and Seebeck coefficient S in the temperature range of 50-420 degreeC were measured, and the output factor P (= S < 2 > / (rho)) was calculated | required.

ここで、抵抗率ρは、試料を縦4mm、横2mm、厚み5mmに切断し、直流四端子法を使用して測定した。   Here, the resistivity ρ was measured by cutting the sample into a length of 4 mm, a width of 2 mm, and a thickness of 5 mm and using a DC four-terminal method.

また、ゼーベック係数Sは、試料を縦4mm、横2mm、厚み5mmに切断し、各試料の両端に5℃の温度差を設けて起電力を測定し、算出した。   The Seebeck coefficient S was calculated by measuring the electromotive force by cutting a sample into 4 mm length, 2 mm width, and 5 mm thickness, and providing a temperature difference of 5 ° C. at both ends of each sample.

表1は、各試料の相対密度、及び300℃における抵抗率ρ、ゼーベック係数S、出力因子Pを示している。   Table 1 shows the relative density of each sample, the resistivity ρ at 300 ° C., the Seebeck coefficient S, and the output factor P.

Figure 2010067672
Figure 2010067672

この表1から明らかなように実施例1の試料は、5vol%のB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分が含有されているので、異相を生成することなく液相焼結することができた。そして、この実施例1の試料は、相対密度が73.0%となって緻密性が良好であり、出力因子Pも2.35×10-3W/K・mと良好で実用価値のある高性能な熱電変換材料が得られた。 As apparent from Table 1, since the sample of Example 1 contains 5 vol% of the B—Si—Ca—Ba—O glass component, liquid phase sintering can be performed without generating a different phase. did it. The sample of Example 1 has a relative density of 73.0% and good compactness, and an output factor P of 2.35 × 10 −3 W / K 2 · m, which is good and practical. A high performance thermoelectric conversion material was obtained.

これに対し比較例1は、ガラス成分が含まれておらず、このため実施例1よりも相対密度が低く緻密性に劣り、出力因子Pも実施例1と比べて劣ることが分かった。   On the other hand, it was found that Comparative Example 1 did not contain a glass component, and therefore, the relative density was lower and the denseness was inferior to that of Example 1, and the output factor P was also inferior to that of Example 1.

比較例2は、B−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を含有しているものの、ガラス成分の体積含有量が15vol%と多いため、ガラス成分を含まない場合に比べても相対密度が低く、出力因子Pも低くなった。これはガラス成分の体積含有量が過剰であるため、異相が形成されたためと思われる。   Although the comparative example 2 contains a B-Si-Ca-Ba-O-based glass component, since the volume content of the glass component is as large as 15 vol%, the relative density is higher than when no glass component is contained. The output factor P was also low. This is probably because a heterogeneous phase was formed because the volume content of the glass component was excessive.

比較例3、4は、いずれもB−Si−Zn−O系ガラス成分を使用しているため、相対密度が低下し、出力因子Pも低くなった。これは、B−Si−Zn−O系ガラス成分は、ガラス軟化点は低いものの、主成分であある合金粉末に対して濡れ性が悪く、異相が生成されたためと思われる。   Since Comparative Examples 3 and 4 both use a B—Si—Zn—O-based glass component, the relative density decreased and the output factor P also decreased. This is presumably because the B-Si-Zn-O-based glass component has a low glass softening point, but has poor wettability with respect to the main component alloy powder, and a heterogeneous phase was generated.

図1は、50〜420℃の温度範囲における実施例1、比較例1、2の出力因子の温度特性を示す図である。横軸が温度(℃)、縦軸が出力因子P(W/K・m)である。また、図中、実線が実施例1、一点鎖線が比較例1、破線が比較例2である。 FIG. 1 is a graph showing temperature characteristics of output factors of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 in a temperature range of 50 to 420 ° C. The horizontal axis represents temperature (° C.) and the vertical axis represents output factor P (W / K 2 · m). In the figure, the solid line is Example 1, the alternate long and short dash line is Comparative Example 1, and the broken line is Comparative Example 2.

実施例1と比較例1との対比から明らかなように、B−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を添加することにより、出力因子Pが相対的に増加しており、熱電特性は向上するが、ガラス成分の体積含有量が15vol%になると、出力因子Pは顕著に減少し、したがって熱電特性も低下することが分かった。   As is clear from the comparison between Example 1 and Comparative Example 1, the addition of the B-Si-Ca-Ba-O-based glass component relatively increases the output factor P and improves the thermoelectric characteristics. However, it has been found that when the volume content of the glass component is 15 vol%, the output factor P is remarkably reduced, and thus the thermoelectric characteristics are also lowered.

すなわち、B−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分を15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含むことにより、相対密度が向上して緻密性が増し、熱電特性の指標となる出力因子Pが向上する。そしてこれにより加圧焼結法に依らなくとも、実用に耐えうる高性能の熱電変換材料の得られることが分かった。   That is, by including the B-Si-Ca-Ba-O-based glass component in a range of less than 15 vol% (not including 0 vol%), the relative density is improved and the denseness is increased, which becomes an index of thermoelectric characteristics. The output factor P is improved. As a result, it has been found that a high-performance thermoelectric conversion material that can withstand practical use can be obtained without depending on the pressure sintering method.

図2〜図4は、50〜420℃におけるガラス成分の体積含有量と抵抗率ρ、ゼーベック係数S、及び出力因子Pとの関係を、B−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分とB−Si−Zn−O系ガラス成分とで比較した図である。横軸はいずれもガラス成分の体積含有量(vol%)であり、縦軸は抵抗率ρ(Ω・cm)(図2)、ゼーベック係数S(μV/K)(図3)、及び出力因子P(W/K・m)(図4)を示している。また、図中、●印がB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分、■印がB−Si−Zn−O系ガラス成分をそれぞれ示している。 2 to 4 show the relationship between the volume content of the glass component at 50 to 420 ° C., the resistivity ρ, the Seebeck coefficient S, and the output factor P, the B-Si—Ca—Ba—O-based glass component and B It is the figure compared with -Si-Zn-O type | system | group glass component. The horizontal axis represents the volume content (vol%) of the glass component, and the vertical axis represents the resistivity ρ (Ω · cm) (FIG. 2), the Seebeck coefficient S (μV / K) (FIG. 3), and the output factor. P (W / K 2 · m) (FIG. 4) is shown. Further, in the figure, a black circle indicates a B-Si-Ca-Ba-O-based glass component, and a black circle indicates a B-Si-Zn-O-based glass component.

この図2〜4に示すように、B−Si−Zn−O系ガラス成分は、体積含有量が増加すると抵抗率ρは低下するが、ゼーベック係数Sの絶対値はB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分の絶対値に比べて相対的に小さく、結果としてB−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分はB−Si−Zn−O系ガラス成分に比べて良好な出力因子Pを得ている。すなわち、B−Si−Ca−Ba−O系ガラス成分は、B−Si−Zn−O系ガラス成分に比べ、優位性を有することが確認された。   As shown in FIGS. 2 to 4, the B—Si—Zn—O-based glass component decreases in resistivity ρ as the volume content increases, but the absolute value of the Seebeck coefficient S is B-Si—Ca—Ba. As a result, the B-Si-Ca-Ba-O-based glass component has a better output factor P than the B-Si-Zn-O-based glass component. It has gained. That is, it was confirmed that the B—Si—Ca—Ba—O-based glass component has superiority to the B—Si—Zn—O-based glass component.

出力因子の温度特性を示す図である。It is a figure showing the temperature characteristic of an output factor. ガラス成分の体積含有量と抵抗率との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the volume content of a glass component, and a resistivity. ガラス成分の体積含有量とゼーベック係数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the volume content of a glass component, and a Seebeck coefficient. ガラス成分の体積含有量と出力因子との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the volume content of a glass component, and an output factor.

Claims (7)

一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表される金属間化合物を主成分とし、
酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分が、15vol%未満(0vol%を含まず。)の範囲で含まれていることを特徴とする熱電変換材料。
The main component is an intermetallic compound represented by the general formula XYZ (where X, Y, and Z each represents at least one metal element)
A thermoelectric conversion material comprising a glass component containing boron oxide, silicon oxide, and alkaline earth metal oxide in a range of less than 15 vol% (not including 0 vol%).
前記アルカリ土類金属は、Ca及びBaのうちの少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項2記載の熱電変換材料。   The thermoelectric conversion material according to claim 2, wherein the alkaline earth metal contains at least one of Ca and Ba. 前記金属間化合物は、少なくともTi、Ni、Snを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の熱電変換材料。   The thermoelectric conversion material according to claim 1, wherein the intermetallic compound contains at least Ti, Ni, and Sn. 前記Snの一部が、Sbで置換されていることを特徴とする請求項3記載の熱電変換材料。   The thermoelectric conversion material according to claim 3, wherein a part of the Sn is substituted with Sb. 前記Tiの一部が、Zr及びHfのうちの少なくともいずれか一方の元素で置換されていることを特徴とする請求項3記載の熱電変換材料。   4. The thermoelectric conversion material according to claim 3, wherein a part of Ti is substituted with at least one element of Zr and Hf. 5. 複数種の金属粉末を出発原料として一般式XYZ(ただし、X、Y、Zは、それぞれ少なくとも一種の金属元素を示す。)で表される金属間化合物からなる合金粉末を作製し、さらに、酸化ホウ素、酸化ケイ素、及びアルカリ土類金属酸化物を含有したガラス成分が15vol%未満(0vol%を含まず。)となるように、前記合金粉末に前記ガラス成分を混合して混合粉末を作製し、次いで該混合粉末を成形加工して成形体を作製し、その後、前記合金粉末中に前記成形体を埋め込んだ状態で焼成処理を行ない、熱電変換材料を作製することを特徴とする熱電変換材料の製造方法。   An alloy powder composed of an intermetallic compound represented by the general formula XYZ (wherein X, Y, and Z each represents at least one metal element) is prepared using a plurality of types of metal powder as a starting material, and further oxidized. A mixed powder is prepared by mixing the glass component with the alloy powder so that the glass component containing boron, silicon oxide, and alkaline earth metal oxide is less than 15 vol% (not including 0 vol%). Then, the mixed powder is molded to produce a compact, and then a thermoelectric conversion material is produced by performing a firing process in a state where the compact is embedded in the alloy powder. Manufacturing method. 前記焼成処理を常圧で行なうことを特徴とする請求項6記載の熱電変換材料の製造方法。   The method for producing a thermoelectric conversion material according to claim 6, wherein the baking treatment is performed at normal pressure.
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