JP2010066291A - Double-sided reflecting mirror and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、例えば宇宙望遠鏡や赤外線シーカー等に使用される反射光学系の両面反射鏡及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a double-sided reflecting mirror of a reflecting optical system used for, for example, a space telescope and an infrared seeker, and a manufacturing method thereof.
宇宙望遠鏡や赤外線シーカーでは、複数枚の反射鏡を組み合わせた反射光学系が使用される。このような反射光学系では、複数の反射鏡の位置を正確に合わせ、かつロケットの打ち上げ時の振動等の環境条件に耐えられるように、反射鏡を固定部に強固に固定する必要がある。このため、構成される反射鏡の枚数が増えるに従って、位置合わせのための調整に必要な時間が長くなり、また固定用の部品の点数が増え、重量が増加するなどの問題がある。 In space telescopes and infrared seekers, reflective optical systems that combine multiple reflectors are used. In such a reflecting optical system, it is necessary to firmly fix the reflecting mirrors to the fixing portion so that the positions of the reflecting mirrors can be accurately aligned and can withstand environmental conditions such as vibration when the rocket is launched. For this reason, as the number of reflecting mirrors increases, the time required for the adjustment for alignment becomes longer, the number of fixing parts increases, and the weight increases.
これに対して、従来の宇宙用の反射光学系では、両面に反射鏡が形成された両面反射鏡を光学系の中に使用することにより、部品点数の削減が図られている(例えば、特許文献1参照)。また、このような両面反射鏡としては、母材に発泡石英を用いたものが知られている(例えば、特許文献2参照)。さらに、宇宙用の軽量な両面反射鏡の鏡面母料として、炭化珪素を分散粒子とする粒子分散シリコン材料が用いたものが知られている(例えば、特許文献3参照)。 On the other hand, in a conventional space reflecting optical system, the number of parts is reduced by using a double-sided reflecting mirror in which reflecting mirrors are formed on both sides in the optical system (for example, patents). Reference 1). Further, as such a double-sided reflecting mirror, one using foamed quartz as a base material is known (for example, see Patent Document 2). Further, as a mirror surface material for a lightweight double-sided reflector for space use, a material using a particle-dispersed silicon material containing silicon carbide as dispersed particles is known (for example, see Patent Document 3).
上記のような両面反射鏡を軽量化するためには、母材を中空化する方法が有効である。しかし、従来の発泡石英や粒子分散シリコン材料を母材に使用する両面反射鏡では、母材の両面に反射鏡が形成されるため、母材の内部をくり抜くのは困難である。このため、両面反射鏡の中空化のためには、片面ずつ作成した反射鏡を、最後に接着剤によって貼り付けたり、ねじ等によって機械的に結合したりして一体化する必要がある。 In order to reduce the weight of the double-sided reflector as described above, a method of hollowing the base material is effective. However, in the conventional double-sided reflector that uses foamed quartz or particle-dispersed silicon material as the base material, it is difficult to cut out the inside of the base material because the reflective mirrors are formed on both sides of the base material. For this reason, in order to make the double-sided reflecting mirror hollow, it is necessary to integrate the reflecting mirrors prepared for each side by finally attaching them with an adhesive or mechanically connecting them with screws or the like.
このような一体化の方法のうち、接着剤による方法では、接着強度を保つために十分な接着面積を確保する必要があるため、軽量化に限界があった。また、吸湿による変形が生じるため、光学性能が変化してしまう。さらに、接着剤の物性に応じて耐熱性に限界があった。一方、ねじ等によって機械的に結合する方法では、機械的結合部を形成する必要があるとともにねじ等が必要となり、軽量化に限界があった。 Among such integration methods, the method using an adhesive has a limitation in weight reduction because it is necessary to secure a sufficient adhesion area in order to maintain the adhesive strength. Moreover, since deformation due to moisture absorption occurs, the optical performance changes. Furthermore, the heat resistance has a limit depending on the physical properties of the adhesive. On the other hand, in the method of mechanically connecting with a screw or the like, it is necessary to form a mechanically connected portion, and a screw or the like is required, so that there is a limit to weight reduction.
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、光学性能の変化や耐熱性の低下を防止しつつ、軽量化を図ることができる両面反射鏡及びその製造方法を得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a double-sided reflector that can be reduced in weight while preventing a change in optical performance and a decrease in heat resistance, and a method for manufacturing the same. For the purpose.
この発明に係る両面反射鏡は、第1の反射鏡面と、第1の反射鏡面の背面側に位置する第2の反射鏡面と、第1及び第2の反射鏡面との間に位置する空洞部とが設けられている反射鏡本体を備え、反射鏡本体の母材として、炭素繊維強化炭化珪素複合材料が使用されている。 The double-sided reflecting mirror according to the present invention includes a first reflecting mirror surface, a second reflecting mirror surface located on the back side of the first reflecting mirror surface, and a cavity portion located between the first and second reflecting mirror surfaces. And a carbon fiber reinforced silicon carbide composite material is used as a base material of the reflecting mirror body.
この発明の両面反射鏡は、反射鏡本体の母材として炭素繊維強化炭化珪素複合材料が使用されているので、炭素繊維強化炭素複合材料を母材とする2つの反射鏡部材を、それらの炭素繊維強化炭素複合材料を炭素繊維強化炭化珪素複合材料化することで一体化することができ、従って、接着剤やねじ等を用いずに2つの反射鏡部材を一体化することができ、光学性能の変化や耐熱性の低下を防止しつつ、空洞部を設けて軽量化を図ることができる。 In the double-sided reflecting mirror of the present invention, since the carbon fiber reinforced silicon carbide composite material is used as the base material of the reflecting mirror body, the two reflecting mirror members having the carbon fiber reinforced carbon composite material as a base material are used as their carbon. The fiber reinforced carbon composite material can be integrated by converting it into a carbon fiber reinforced silicon carbide composite material. Therefore, the two reflecting mirror members can be integrated without using an adhesive or a screw, and the optical performance. It is possible to reduce the weight by providing a hollow portion while preventing a change in temperature and a decrease in heat resistance.
以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1による両面反射鏡を示す斜視図、図2は図1の両面反射鏡のA−A’線の位置(厚みdの中央部)でのXY平面における断面図、図3は図2の両面反射鏡のB−B’線に沿う断面図である。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 is a perspective view showing a double-sided reflector according to
図において、反射鏡本体1には、第1の反射鏡面2と、第1の反射鏡面2の背面側に位置する第2の反射鏡面3と、第1及び第2の反射鏡面2,3間に位置する複数の空洞部4とが設けられている。この例では、第1の反射鏡面2の曲率半径がR=1000mm、第2の反射鏡面3の曲率半径がR=2000mmである。空洞部4は、反射鏡本体1の周方向に並べて配置されている。また、反射鏡本体1の中央部には、光路を確保するための光路孔5が設けられている。
In the figure, the reflecting
反射鏡本体1は、互いに対向する中空円板状の第1及び第2の円板部1a,1bと、内径側端部で第1及び第2の円板部1a,1b間に位置する円筒状の内周リブ1cと、外径側端部で第1及び第2の円板部1a,1b間に位置する外周リブ1dと、第1及び第2の円板部1a,1b間に放射状に配置された複数の放射状リブ1eとを有する一体構造である。
The reflecting
第1の反射鏡面2は、第1の円板部1aに設けられている。第2の反射鏡面2は、第2の円板部1bに設けられている。空洞部4と光路孔5との間は、内周リブ1cにより仕切られている。隣接する空洞部4間は、放射状リブ1eにより仕切られている。外周リブ1dには、空洞部4を反射鏡本体1外と連通する複数の開口1fが設けられている。
The first reflecting
反射鏡本体1の母材としては、炭素繊維強化炭化珪素(C/SiC)複合材料が使用されている。この例では、反射鏡本体1は、C/SiC複合材料のみにより構成されている。
A carbon fiber reinforced silicon carbide (C / SiC) composite material is used as a base material of the reflector
次に、上記の両面反射鏡の製造方法について説明する。図4は図1の両面反射鏡の製造方法を斜視図とともに示す工程図である。図1の両面反射鏡を製造する場合、まず短繊維である炭素繊維をバインダー混濁水中で撹拌し、均等に分散させる(ステップS1)。なお、ここではバインダーとしてセルロースバインダーを使用した。 Next, a method for manufacturing the double-sided reflecting mirror will be described. FIG. 4 is a process diagram showing a manufacturing method of the double-sided reflecting mirror of FIG. 1 together with a perspective view. When manufacturing the double-sided reflecting mirror of FIG. 1, first, carbon fibers which are short fibers are stirred in binder-turbid water and uniformly dispersed (step S1). Here, a cellulose binder was used as the binder.
続いて、バインダー混濁水の水分を真空ポンプで減圧除去した後、堆積した繊維の塊を金型に移し、加圧して所定の形状(ここでは円板状)に成形する(ステップS2)。この後、成形された繊維の塊を金型から取り出し、乾燥炉内で90℃48時間以上の条件で加熱乾燥させる(ステップS3)。これにより、炭素繊維とバインダーとからなる炭素繊維成形体が作製される。 Subsequently, after the moisture of the binder turbid water is removed under reduced pressure by a vacuum pump, the accumulated fiber lump is transferred to a mold and pressurized to form a predetermined shape (here, a disk shape) (step S2). Thereafter, the formed fiber lump is taken out from the mold and dried by heating in a drying furnace at 90 ° C. for 48 hours or longer (step S3). Thereby, the carbon fiber molded object which consists of carbon fiber and a binder is produced.
次に、この炭素繊維成形体にピッチ(またはフェノール樹脂でもよい)を含浸させ(ステップS4)、真空中あるいはアルゴン、窒素などの不活性ガスによる不活性雰囲気中で約1000℃に加熱し、含浸剤成分を炭化させて炭素繊維強化炭素(以下、C/Cと称する)複合材料にする。この後、不活性雰囲気中2000℃で熱処理してC/C複合材料を黒鉛化させる(ステップS5)。これにより、黒鉛化した円板状のC/C成形体10が作製される。
Next, this carbon fiber molded body is impregnated with pitch (or may be a phenol resin) (step S4), and heated to about 1000 ° C. in vacuum or in an inert atmosphere with an inert gas such as argon or nitrogen. The agent component is carbonized to form a carbon fiber reinforced carbon (hereinafter referred to as C / C) composite material. Thereafter, the C / C composite material is graphitized by heat treatment at 2000 ° C. in an inert atmosphere (step S5). Thereby, the graphitized disk-shaped C / C molded
この後、C/C成形体10の前面及び背面に機械加工を施す(ステップS6)。具体的には、C/C成形体10の前面に、所望の曲率半径(ここではR=1000mm)を有する球面状(凹面)となるように研削加工を施す。また、C/C成形体10の背面には、リブ1c〜1eに対応する部分を残して軽量化(切削)加工を施す。さらに、C/C成形体10の中央部には、光路孔5となる円形の孔を設ける。これにより、前面に第1の反射鏡面2、背面に第1の軽量化加工部11aが設けられた第1の反射鏡部材11が作製される。
Thereafter, machining is performed on the front surface and the back surface of the C / C molded body 10 (step S6). Specifically, the front surface of the C / C molded
また、上記と同様の手順で別のC/C成形体10を作製し、そのC/C成形体10から第1の反射鏡部材11と同様の手順で第2の反射鏡部材12を作製する。このとき、第2の反射鏡部材12の前面には、曲率半径R=2000mmの第2の反射鏡面3を設ける。また、第2の反射鏡部材12の背面には、第1の軽量化加工部11aと同様の第2の軽量化加工部12aを設ける。
Further, another C / C molded
そして、このようにして得られた第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面同士を組み合わせる(ステップS7)。この後、真空中で第1及び第2の反射鏡部材11,12に熔融金属シリコンを含浸、反応させ、C/CをC/SiC化することにより、第1及び第2の反射鏡部材11,12を接合し一体化する(ステップS8)。このとき、第1及び第2の反射鏡部材11,12の界面では、含浸されたシリコンの一部が炭素と反応し炭化珪素に変化し、これにより第1及び第2の反射鏡部材11,12が強固に一体化される。
Then, the back surfaces of the first and second reflecting
最後に、第1及び第2の反射鏡面2,3に片面ずつ仕上げの研削加工及び鏡面研磨加工を施す(ステップS9、S10)。これにより、C/SiC成形体である図1の反射鏡本体1が作製される。
Finally, finishing grinding and mirror polishing are performed on the first and second reflecting mirror surfaces 2 and 3 one by one (steps S9 and S10). Thereby, the reflector
このような両面反射鏡では、反射鏡本体1の母材としてC/SiC複合材料が使用されているので、C/C複合材料を母材とする2つの反射鏡部材11,12を、それらのC/CをC/SiC化することで一体化することができ、従って、接着剤やねじ等を用いずに2つの反射鏡部材11,12を一体化することができ、光学性能の変化や耐熱性の低下を防止しつつ、空洞部4を設けて軽量化を図ることができる。
In such a double-sided reflector, since the C / SiC composite material is used as the base material of the reflector
また、一体化された反射鏡本体1の両面に反射鏡面2,3が形成されているので、宇宙望遠鏡や赤外線シーカー等に適用する場合に光学部品の数を減らすことができるとともに、2つの反射鏡を用いる場合に比べて、光学系を薄型化することもできる。
さらに、C/SiC複合材料は、衛星用の反射鏡材料として優れた特性を有している。
In addition, since the reflecting mirror surfaces 2 and 3 are formed on both surfaces of the integrated reflecting
Furthermore, the C / SiC composite material has excellent characteristics as a reflector material for satellites.
さらにまた、上記のような両面反射鏡の製造方法では、C/C複合材料が母材として使用されている第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面同士を組み合わせ、溶融されたシリコンを第1及び第2の反射鏡部材11,12に含浸させ、C/CをC/SiC化することで第1及び第2の反射鏡部材11,12を一体化するので、接着剤やねじ等を用いずに2つの反射鏡部材11,12を一体化することができ、光学性能の変化や耐熱性の低下を防止しつつ、空洞部4を設けて軽量化を図ることができる。
Furthermore, in the method for manufacturing a double-sided reflector as described above, the back surfaces of the first and
さらに、C/C複合材料は、機械加工性に優れ、機械的強度が高いので、軽量化のための機械加工時に、加工時間が短時間で済むとともに、円板部1a,1bやリブ1c〜1eの薄肉化を図ることができる。
Furthermore, since the C / C composite material is excellent in machinability and has high mechanical strength, the machining time can be shortened during machining for weight reduction, and the
実施の形態2.
次に、この発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2による両面反射鏡の外観は図1と同様である。また、図5は実施の形態2による両面反射鏡の断面図であり、図2と同様の断面に相当する。さらに、図6は図5の両面反射鏡の一体化前の状態を示す断面図であり、図5のC−C'線、D−D’線に沿う断面に相当する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The appearance of the double-sided reflector according to
この実施の形態2では、黒鉛化したC/C成形体10の前面及び背面に機械加工を施す際(図4のステップS6)、第1の反射鏡部材11の背面に位置決め部としての複数の凸部13を設ける。また、第2の反射鏡部材12の背面には、凸部13が嵌合される位置決め部としての複数の凹部14を設ける。これらの凸部13及び凹部14は、放射状リブ1eに設けられている。他の構成及び製造方法は、実施の形態1と同様である。
In the second embodiment, when machining is performed on the front surface and the back surface of the graphitized C / C molded body 10 (step S6 in FIG. 4), a plurality of positioning portions are provided on the back surface of the first reflecting
このような両面反射鏡の製造方法では、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面に、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面同士を組み合わせる際に位置決めをするための凸部13及び凹部14を設けたので、第1及び第2の反射鏡部材11,12を組み合わせる際に、両者の位置合わせを短時間で精密に行うことができる。
In such a double-sided reflector manufacturing method, positioning is performed when the back surfaces of the first and second reflecting
実施の形態3.
次に、図7はこの発明の実施の形態3による両面反射鏡の一体化前の状態を示す断面図であり、図5のC−C'線、D−D’線に沿う断面に相当する。実施の形態2では、第1の反射鏡部材11に凸部13を設け、第2の反射鏡部材12に凹部14を設けたが、実施の形態3では、第1の反射鏡部材11に凸部13及び凹部14の両方を設け、第2の反射鏡部材12にも凸部13及び凹部14の両方を設けた。他の構成及び製造方法は、実施の形態2と同様である。
Next, FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state before integration of the double-sided reflector according to
このような製造方法によっても、第1及び第2の反射鏡部材11,12を組み合わせる際に、両者の位置合わせを短時間で精密に行うことができる。
Also by such a manufacturing method, when combining the 1st and 2nd
実施の形態4.
次に、この発明の実施の形態4について説明する。実施の形態4による両面反射鏡の外観は図1と同様である。また、図8は実施の形態4による両面反射鏡の断面図であり、図2と同様の断面に相当する。さらに、図9は図8の両面反射鏡の一体化前の状態を示す断面図であり、図8のE−E'線、F−F’線に沿う断面に相当する。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The appearance of the double-sided reflector according to
この実施の形態4では、黒鉛化したC/C成形体10の前面及び背面に機械加工を施す際(図4のステップS6)、第1の反射鏡部材11の背面に位置決め部としての複数の凸部15を設ける。また、第2の反射鏡部材12の背面には、凸部15が嵌合される位置決め部としての複数の凹部16を設ける。これらの凸部15及び凹部16は、外周リブ1dに設けられている。他の構成及び製造方法は、実施の形態1と同様である。
In the fourth embodiment, when machining is performed on the front surface and the back surface of the graphitized C / C molded body 10 (step S6 in FIG. 4), a plurality of positioning portions are provided on the back surface of the first reflecting
このような両面反射鏡の製造方法では、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面に、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面同士を組み合わせる際に位置決めをするための凸部15及び凹部16を設けたので、第1及び第2の反射鏡部材11,12を組み合わせる際に、両者の位置合わせを短時間で精密に行うことができる。
In such a double-sided reflector manufacturing method, positioning is performed when the back surfaces of the first and second reflecting
なお、実施の形態4では、第1の反射鏡部材11に凸部15を設け、第2の反射鏡部材12に凹部16を設けたが、第1の反射鏡部材11に凸部15及び凹部16の両方を設け、第2の反射鏡部材12にも凸部15及び凹部16の両方を設けてもよい。
また、実施の形態4と実施の形態2,3とを組み合わせて実施してもよい。
In the fourth embodiment, the first reflecting
Moreover, you may implement combining
実施の形態5.
次に、図10はこの発明の実施の形態5による両面反射鏡の一体化前の状態を示す断面図であり、図8のE−E'線、F−F’線に沿う断面に相当する。
Next, FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state before integration of the double-sided reflector according to
この実施の形態5では、黒鉛化したC/C成形体10の前面及び背面に機械加工を施す際(図4のステップS6)、第1の反射鏡部材11の背面に位置決め部としての複数の凸部17を設ける。また、第2の反射鏡部材12の背面には、凸部17が嵌合される位置決め部としての複数の凹部18を設ける。これらの凸部17及び凹部18は、周方向に互いに間隔をおいて内周リブ1cに設けられている。他の構成及び製造方法は、実施の形態1と同様である。
In the fifth embodiment, when machining the front and back surfaces of the graphitized C / C molded body 10 (step S6 in FIG. 4), a plurality of positioning portions are provided on the back surface of the first reflecting
このような両面反射鏡の製造方法では、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面に、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面同士を組み合わせる際に位置決めをするための凸部17及び凹部18を設けたので、第1及び第2の反射鏡部材11,12を組み合わせる際に、両者の位置合わせを短時間で精密に行うことができる。
In such a double-sided reflector manufacturing method, positioning is performed when the back surfaces of the first and second reflecting
なお、実施の形態5では、第1の反射鏡部材11に凸部17を設け、第2の反射鏡部材12に凹部18を設けたが、第1の反射鏡部材11に凸部17及び凹部18の両方を設け、第2の反射鏡部材12にも凸部17及び凹部18の両方を設けてもよい。
また、実施の形態5と実施の形態2,3及び実施の形態4の少なくともいずれか一方とを組み合わせて実施してもよい。
In the fifth embodiment, the first reflecting
Moreover, you may implement combining
実施の形態6.
次に、図11はこの発明の実施の形態6による両面反射鏡を示す斜視図、図12は図11の両面反射鏡のG−G’線の位置(厚みdの中央部)でのXY平面における断面図、図13は図12の両面反射鏡のH−H’線に沿う断面図である。
Next, FIG. 11 is a perspective view showing a double-sided reflector according to
この実施の形態6は、光路孔5が設けられてない点で実施の形態1と異なっている。このため、第1の円板部1aの背面と第2の円板部1bの背面とは、それらの中央部で一体化されている。
The sixth embodiment is different from the first embodiment in that the optical path hole 5 is not provided. For this reason, the back surface of the
このような両面反射鏡を製造する場合、黒鉛化したC/C成形体10の前面及び背面に機械加工を施す際(図4のステップS6)、第1及び第2の反射鏡部材11,12の背面の中央部に、互いに接合される接合部が設けられる。他の構成及び製造方法は実施の形態1と同様である。
When manufacturing such a double-sided reflector, when the front and back surfaces of the graphitized C / C molded
このような両面反射鏡及びその製造方法によっても、光学性能の変化や耐熱性の低下を防止しつつ、空洞部4を設けて軽量化を図ることができる。
Also with such a double-sided reflecting mirror and its manufacturing method, it is possible to reduce the weight by providing the
なお、実施の形態6に示したような両面反射鏡の製造方法において、実施の形態2〜5に示したような位置決め部を設けてもよい。
また、リブ1c〜1eの配置や反射鏡面2,3の曲率半径は、実施の形態1〜6に限定されるものではない。
さらに、凸部13,15,17や凹部14,16,18を設ける場合、それらの数や形状は特に限定されるものではない。
In the method for manufacturing a double-sided reflector as shown in the sixth embodiment, a positioning unit as shown in the second to fifth embodiments may be provided.
Further, the arrangement of the
Furthermore, when providing the
1 反射鏡本体、2 第1の反射鏡面、3 第2の反射鏡面、4 空洞部、11 第1の反射鏡部材、12 第2の反射鏡部材、13,15,17 凸部(位置決め部)、14,16,18 凹部(位置決め部)。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記反射鏡本体の母材として、炭素繊維強化炭化珪素複合材料が使用されていることを特徴とする両面反射鏡。 Reflection provided with a first reflecting mirror surface, a second reflecting mirror surface located on the back side of the first reflecting mirror surface, and a cavity portion located between the first and second reflecting mirror surfaces With mirror body,
A double-sided reflecting mirror characterized in that a carbon fiber reinforced silicon carbide composite material is used as a base material of the reflecting mirror body.
溶融されたシリコンを上記第1及び第2の反射鏡部材に含浸させ、炭素繊維強化炭素複合材料を炭素繊維強化炭化珪素複合材料とすることにより、上記第1及び第2の反射鏡部材を一体化する工程
を含むことを特徴とする両面反射鏡の製造方法。 A step of combining the back surfaces of the first and second reflecting mirror members in which a reflecting mirror surface is provided on the front surface, a weight reduction processing portion is provided on the back surface, and a carbon fiber reinforced carbon composite material is used as a base material; And the first and second reflecting mirror members are impregnated with molten silicon, and the carbon fiber reinforced carbon composite material is made into a carbon fiber reinforced silicon carbide composite material, whereby the first and second reflecting mirror members are The manufacturing method of the double-sided reflective mirror characterized by including the process of integrating.
をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の両面反射鏡の製造方法。 The method further comprises a step of providing a positioning portion for positioning the back surfaces of the first and second reflecting mirror members when the back surfaces of the first and second reflecting mirror members are combined with each other. Item 3. A method for producing a double-sided reflecting mirror according to Item 2.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106041422A (en) * | 2016-06-23 | 2016-10-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Aluminum-based space reflector with high lightweight rate and processing method thereof |
CN110494789A (en) * | 2017-04-12 | 2019-11-22 | 三菱电机株式会社 | Electrically controllable mirror, the electrical scanner for having used electrically controllable mirror, the laser machine for having used electrically controllable mirror and electrically controllable mirror manufacturing method |
JP2020502582A (en) * | 2016-12-21 | 2020-01-23 | マックス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フォーデルング デル ヴィッセンシャフテン エー.ヴェー. | Mirror and manufacturing method thereof |
CN112285875A (en) * | 2020-11-18 | 2021-01-29 | 中国科学院上海技术物理研究所 | Integral type double faced mirror |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6157904A (en) * | 1984-08-29 | 1986-03-25 | Fuji Xerox Co Ltd | Honeycomb mirror |
JPH052102U (en) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | 日本石英硝子株式会社 | Double-sided quartz glass lightweight mirror |
JP2002182018A (en) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | Lightweight mirror and method for inspecting the same |
JP2003344620A (en) * | 2002-05-22 | 2003-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | Reflective mirror and its manufacturing method |
JP2004012533A (en) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | Reflection mirror for optical equipment and its manufacture method |
JP2004109843A (en) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | Wave front aberration correction device and optical pickup |
JP2004317647A (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Nec Toshiba Space Systems Ltd | Mirror plane matrix, mirror member using the same, and optical apparatus using the mirror member |
JP2006027973A (en) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | Reflecting mirror and production method therefor |
-
2008
- 2008-09-08 JP JP2008229734A patent/JP5371335B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6157904A (en) * | 1984-08-29 | 1986-03-25 | Fuji Xerox Co Ltd | Honeycomb mirror |
JPH052102U (en) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | 日本石英硝子株式会社 | Double-sided quartz glass lightweight mirror |
JP2002182018A (en) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | Lightweight mirror and method for inspecting the same |
JP2003344620A (en) * | 2002-05-22 | 2003-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | Reflective mirror and its manufacturing method |
JP2004012533A (en) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | Reflection mirror for optical equipment and its manufacture method |
JP2004109843A (en) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | Wave front aberration correction device and optical pickup |
JP2004317647A (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Nec Toshiba Space Systems Ltd | Mirror plane matrix, mirror member using the same, and optical apparatus using the mirror member |
JP2006027973A (en) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | Reflecting mirror and production method therefor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106041422A (en) * | 2016-06-23 | 2016-10-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Aluminum-based space reflector with high lightweight rate and processing method thereof |
JP2020502582A (en) * | 2016-12-21 | 2020-01-23 | マックス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フォーデルング デル ヴィッセンシャフテン エー.ヴェー. | Mirror and manufacturing method thereof |
US11550082B2 (en) | 2016-12-21 | 2023-01-10 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Förderung De Wissenschaften E.V. | Mirror with increased form stability and longevity and a method of fabricating the same |
CN110494789A (en) * | 2017-04-12 | 2019-11-22 | 三菱电机株式会社 | Electrically controllable mirror, the electrical scanner for having used electrically controllable mirror, the laser machine for having used electrically controllable mirror and electrically controllable mirror manufacturing method |
CN112285875A (en) * | 2020-11-18 | 2021-01-29 | 中国科学院上海技术物理研究所 | Integral type double faced mirror |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5371335B2 (en) | 2013-12-18 |
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