JP2009276378A - Lightweight mirror and method of manufacturing the same - Google Patents

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Taisuke Endo
泰介 遠藤
Akira Furuya
章 古谷
Satoshi Wakabayashi
諭 若林
Saori Sakamoto
さおり 坂元
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lightweight mirror that fasilitates molding of a rib structure and reduces cost thereof, and to provice a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: The method includes: a first foundation base material molding step of obtaining a first plate-like carbon foundation base member 18a by subjecting a foundation base material composed of carbon or composed of a mixed material composed of the carbon and silicon carbide as a principal component to compression molding; a cutting step of obtaining a carbon foundation molding 19 formed by cutting a plurality of recessed holes 5 of a hole direction aligned to a thickness direction of the first carbon foundation base member 18a into to the first carbon foundation base member 18a; a reaction sintering step of obtaining a rib structure 3A by causing reaction sintering of the carbon of the carbon foundation molding 19 with silicon 21 by impregnating the molten silicon 21 to the carbon foundation molding 19; and a step of joining a mirror function part 10A composed of a glass material to one surface of the rib structure 3A by directing the reflection surface outward. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、例えば、人工衛星等の移動体に搭載される望遠鏡や光学センサなどに使用される軽量化ミラーに関するものである。   The present invention relates to a lightweight mirror used for a telescope or an optical sensor mounted on a moving body such as an artificial satellite.

従来の軽量化ミラーは、板状のガラス材料からなり、一方の表面を研磨して鏡面と成し、他方の表面には複数の凹穴からなるコアを形成してなるミラー構成体と、ガラス材料と同一または略同等の線膨張係数を有する材料からなり、ミラー構成体のコア側表面に取り付けられてミラー構成体を補強する板状のバックプレートとを具備している(例えば、特許文献1参照)。   A conventional light weight mirror is made of a plate-like glass material, and a mirror structure in which one surface is polished to form a mirror surface and a core formed of a plurality of concave holes is formed on the other surface, and glass It is made of a material having the same or substantially the same linear expansion coefficient as the material, and includes a plate-like back plate attached to the core side surface of the mirror structure to reinforce the mirror structure (for example, Patent Document 1) reference).

特開2002−182018号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-182018

従来の軽量化ミラーのミラー構成体の成形方法について、特許文献1には具体的に記載されていないが、ガラス材料からなる平板に切削加工を施してミラー構成体を成形するのが一般的である。このとき、ガラス材料は非常に硬いので、ミラー構成体の加工が難しく、加工時間が長くかかるために、従来の軽量化ミラーのコストが増大していた。   Although the conventional method for forming a mirror structure of a light weight mirror is not specifically described in Patent Document 1, it is common to form a mirror structure by cutting a flat plate made of a glass material. is there. At this time, since the glass material is very hard, it is difficult to process the mirror structure and it takes a long time to process, so the cost of the conventional lighter mirror has increased.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、リブ構造体の成形が容易であり、コストを削減することができる軽量化ミラー及びその製造方法を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to obtain a lightweight mirror that can easily form a rib structure and can reduce costs, and a method for manufacturing the same. To do.

この発明による軽量化ミラーの製造法は、炭素、または炭素と炭化ケイ素の混合材料を主成分とする素地母材に圧縮成形を施して板状の第1炭素素地部材を得る第1素地母材成形工程と、第1炭素素地部材の厚さ方向に穴方向が一致する複数のリブ構造穴を第1炭素素地部材に切削により形成して炭素素地成形体を得る切削加工工程と、炭素素地成形体に溶融したシリコンを含浸させ、炭素素地成形体の炭素とシリコンとを反応焼結させてリブ構造体を得る反応焼結工程と、ガラス材料からなるミラー機能部を、反射面を外方に向けてリブ構造体の一面に接合する接合工程と、を備えている。   The manufacturing method of the weight reduction mirror by this invention is the 1st base material which gives a plate-shaped 1st carbon base material by performing compression molding to the base material which has carbon or the mixed material of carbon and silicon carbide as a main component A forming step, a cutting step for obtaining a carbon green body by forming a plurality of rib structure holes whose hole directions coincide with the thickness direction of the first carbon base member by cutting the first carbon base member, and carbon base molding The body is impregnated with molten silicon, and the reactive sintering process to obtain a rib structure by reaction-sintering carbon and silicon of the carbon green body, and the mirror function part made of glass material, with the reflective surface outward And a joining step of joining to one surface of the rib structure.

この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、第1炭素素地部材に切削加工を施した炭素素地成形体の炭素にシリコンを反応焼結させることにより、剛性を有するリブ構造体を得ている。従って、リブ構造体を所定の形状に成形するための切削加工に要する時間を大幅に短縮でき、これに伴い、軽量化ミラーの製造コストを削減できる。   According to the manufacturing method of the lightening mirror of this invention, the rib structure which has rigidity is obtained by carrying out reaction sintering of the carbon to the carbon of the carbon base molded object which cut the 1st carbon base member. . Therefore, the time required for the cutting process for forming the rib structure into a predetermined shape can be greatly shortened, and accordingly, the manufacturing cost of the lightweight mirror can be reduced.

以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの前面図、図2はこの発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの背面図、図3は図1のIII−III矢視断面図、図4はこの発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの製造方法を説明する図である。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
1 is a front view of a lightweight mirror according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a rear view of the lightweight mirror according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along arrows III-III in FIG. FIG. 4 and FIG. 4 are diagrams for explaining a method for manufacturing a light weight mirror according to Embodiment 1 of the present invention.

図1〜図3において、軽量化ミラー1Aは、炭化ケイ素(SiC)を主成分とする材料からなるリブ構造体3Aにより構成されたミラー母材構造部2A、及びガラス材料からなる第1ミラー体11aにより構成され、ミラー母材構造部2Aの一面に接合されたミラー機能部10Aを有している。
リブ構造体3Aは、第1貫通孔4が同軸に形成された所定の厚さの円盤形状をなし、その厚み方向の一面(以下、単に一面とする)は、外周縁部から中央部に向かうにつれて厚み方向の他面(以下、単に、他面とする)に漸次接近するように傾斜する回転放物面で構成されている。さらに、リブ構造体3Aの厚さ方向を穴の延在方向(穴方向)とする複数のリブ構造穴としての凹穴5が、リブ構造体3Aの他面に開口するようにリブ部6aを介して隣接するように複数形成されている。また、リブ構造体3Aの他面側は、軸芯と直交する平坦面上に配置されている。なお、リブ構造体3Aの外周壁7に隣接する凹穴5は、当該外周壁7とリブ部6aとにより区画されている。
1 to 3, a lighter mirror 1A includes a mirror base material structure 2A composed of a rib structure 3A made of a material mainly composed of silicon carbide (SiC), and a first mirror body made of a glass material. 11a, and has a mirror function part 10A joined to one surface of the mirror base material structure part 2A.
The rib structure 3A has a disk shape with a predetermined thickness in which the first through-holes 4 are formed coaxially, and one surface in the thickness direction (hereinafter simply referred to as one surface) is directed from the outer peripheral edge to the center. Accordingly, the rotating paraboloid is inclined so as to gradually approach the other surface in the thickness direction (hereinafter simply referred to as the other surface). Further, the rib portion 6a is formed so that the concave holes 5 as a plurality of rib structure holes having the thickness direction of the rib structure 3A as the hole extending direction (hole direction) open to the other surface of the rib structure 3A. A plurality are formed so as to be adjacent to each other. Further, the other surface side of the rib structure 3A is disposed on a flat surface orthogonal to the axis. The recessed hole 5 adjacent to the outer peripheral wall 7 of the rib structure 3A is partitioned by the outer peripheral wall 7 and the rib portion 6a.

そして、リブ構造体3Aの外周壁7に隣接せず、リブ部6aのみで区画される凹穴5の開口形状は正三角形に形成されている。また、リブ構造体3Aの外周壁7に隣接し、外周壁7及びリブ部6aにより区画される凹穴5の開口は、互いの間の角度が60度をなすように連結されたリブ部6aのそれぞれの壁面と、当該壁面の連結部と反対側の端部が連結される外周壁7の部位の間の曲面に囲まれた形状となっている。
ここで、リブ構造体3Aの主成分である炭化ケイ素は、10−6(1/K)オーダのゼロに近い線膨張係数を有する材料であり、リブ構造体3Aの温度変化による熱変形は非常に小さいものである。
And the opening shape of the recessed hole 5 which is not adjacent to the outer peripheral wall 7 of 3 A of rib structures, and is divided only by the rib part 6a is formed in the equilateral triangle. Further, the opening of the recessed hole 5 adjacent to the outer peripheral wall 7 of the rib structure 3A and partitioned by the outer peripheral wall 7 and the rib portion 6a is connected so that the angle between them is 60 degrees. Each of the wall surfaces is surrounded by a curved surface between the portions of the outer peripheral wall 7 to which the end portion on the opposite side to the connecting portion of the wall surface is connected.
Here, silicon carbide, which is the main component of the rib structure 3A, is a material having a linear expansion coefficient close to zero on the order of 10 −6 (1 / K), and thermal deformation due to temperature change of the rib structure 3A is extremely It is a small one.

また、ミラー機能部10Aを構成する第1ミラー体11aは、第2貫通孔12が同軸に形成された円盤形状をなしている。このとき、第1ミラー体11aは、リブ構造体3Aの一面側の湾曲形状に一致する曲率を有するように湾曲されている。また、第1ミラー体11aの一面側は研磨されて反射面(鏡面)を構成している。そして、第1ミラー体11aは、反射面を外方に向けてリブ構造体3Aの厚み方向の一面に接合されている。   The first mirror body 11a constituting the mirror function unit 10A has a disk shape in which the second through hole 12 is formed coaxially. At this time, the first mirror body 11a is curved so as to have a curvature that matches the curved shape on the one surface side of the rib structure 3A. In addition, one surface side of the first mirror body 11a is polished to form a reflecting surface (mirror surface). The first mirror body 11a is bonded to one surface in the thickness direction of the rib structure 3A with the reflection surface facing outward.

第1ミラー体11aの材料には、炭化ケイ素と同一、または略同等の線膨張係数を有するガラス材料が用いられている。例えばクリアセラム-Z(株式会社オハラの登録商標)などの極低膨張ガラスセラミックス材料や、SiO-TiO系組成の極低膨張アモルファスガラス材料等である。これらの材料の線膨張係数は、10−6(1/K)オーダよりさらにゼロに近い材料であり、第1ミラー体11aの温度変化による熱変形は、リブ構造体3Aと同様に非常に小さいものである。 As the material of the first mirror body 11a, a glass material having the same or substantially the same linear expansion coefficient as that of silicon carbide is used. For example, an ultra-low expansion glass ceramic material such as Clear Serum-Z (registered trademark of OHARA INC.), An ultra-low expansion amorphous glass material having a SiO 2 —TiO 2 composition, and the like. The linear expansion coefficients of these materials are materials closer to zero than the order of 10 −6 (1 / K), and the thermal deformation due to the temperature change of the first mirror body 11a is very small like the rib structure 3A. Is.

ここで、一般に線膨張係数の異なる材料を接合して使用する場合、線膨張係数の違いから、温度変化によってそれぞれの材料に熱応力が生じる。しかし、第1ミラー体11aとリブ構造体3Aの線膨張係数は、同一または略同等である。したがって、第1ミラー体11aは、脆性材料のガラス材料で構成されているものの、第1ミラー体11aに発生する熱応力は非常に小さく、熱応力によって第1ミラー体11aが破損することはない。   Here, in general, when materials having different linear expansion coefficients are joined and used, thermal stress is generated in each material due to temperature change due to the difference in linear expansion coefficient. However, the linear expansion coefficients of the first mirror body 11a and the rib structure 3A are the same or substantially the same. Therefore, although the 1st mirror body 11a is comprised with the glass material of a brittle material, the thermal stress which generate | occur | produces in the 1st mirror body 11a is very small, and the 1st mirror body 11a is not damaged by a thermal stress. .

上記のように構成された軽量化ミラー1Aは、凹穴5が所定の壁厚を有するリブ部6aを介して隣接するように複数形成されているので、軽量化ミラー1Aの剛性の確保と軽量化が実現されている。このとき、リブ構造体3Aの主な材料である炭化ケイ素は、ガラス材料よりも剛性が高く、かつ、軽い素材である。従って、軽量化ミラー1Aによれば、ガラス材料のみで構成される従来の軽量化ミラーよりも、さらなる高剛性化及び軽量化を図ることができる。   Since the plurality of lightening mirrors 1A configured as described above are formed so that the concave holes 5 are adjacent to each other via the rib portion 6a having a predetermined wall thickness, the rigidity and lightness of the lightening mirror 1A are ensured. Has been realized. At this time, silicon carbide, which is the main material of the rib structure 3A, is a lighter material that is higher in rigidity and lighter than the glass material. Therefore, according to the lighter mirror 1A, it is possible to achieve higher rigidity and lighter weight than a conventional lighter mirror made of only a glass material.

次いで、軽量化ミラー1Aの製造方法について説明する。
軽量化ミラー1Aの製造方法は、ミラー母材構造部製造工程と、接合工程とを有する。
まず、ミラー母材構造部製造工程について図4を参照しつつ説明する。
ミラー母材構造部製造工程は、第1素地母材成形工程、第1黒鉛化処理工程、切削加工工程、及び反応焼結工程を有している。
第1素地母材成形工程では、図4の(a)に示されるように、炭素繊維の粉末とバインダの粉末を混合した素地母材としての炭素母材15をリブ構造体3Aの形状に対応する金型16aの中に加圧状態に充填する。これにより、炭素母材15は圧縮成形されて、切削加工が可能な板状の第1炭素素地部材18aとなる。なお、バインダは例えば、フェノール樹脂などからなるものを用いることができる。
Next, a method for manufacturing the lighter mirror 1A will be described.
The manufacturing method of the lightweight mirror 1A includes a mirror base material structure manufacturing process and a joining process.
First, the mirror base material structure manufacturing process will be described with reference to FIG.
The mirror base material structure manufacturing process includes a first green base material forming process, a first graphitizing process, a cutting process, and a reactive sintering process.
In the first base material forming step, as shown in FIG. 4A, the carbon base material 15 as a base material in which the carbon fiber powder and the binder powder are mixed corresponds to the shape of the rib structure 3A. The mold 16a is filled in a pressurized state. Thereby, the carbon base material 15 is compression-molded to form a plate-like first carbon base member 18a that can be cut. In addition, what consists of phenol resin etc. can be used for a binder, for example.

次いで、第1黒鉛化処理工程では、第1炭素素地部材18aにコールタールピッチを含浸させ、その後、図4の(b)に示されるように、不活性気体が充満された炉17内に、第1炭素素地部材18aとコールタールピッチとの混合材料が充填された金型16aを移動する。そして、炉17内の温度を2000度以上に上昇させ、所定時間経過したのちに温度を下げる。これにより、バインダが炭素化され、金型16a内の材料は、炭素以外の不純物がほぼ除去されて黒鉛となる。
以下の説明では、バインダで結合された第1炭素素地部材18aの黒鉛化処理後に得られた固形体を新たに第1炭素素地部材18aとして説明する。
Next, in the first graphitization treatment step, the first carbon base member 18a is impregnated with coal tar pitch, and then, as shown in FIG. 4B, in the furnace 17 filled with an inert gas, The mold 16a filled with the mixed material of the first carbon base member 18a and the coal tar pitch is moved. And the temperature in the furnace 17 is raised to 2000 degree | times or more, and after a predetermined time passes, the temperature is lowered. As a result, the binder is carbonized, and the material in the mold 16a is substantially free of impurities other than carbon to become graphite.
In the following description, a solid body obtained after graphitization of the first carbon base member 18a bonded with the binder will be described as the first carbon base member 18a.

次いで、切削加工工程では、第1炭素素地部材18aを金型16aから取り出す。さらに、図4の(c)に示されるように、第1炭素素地部材18aにNC(Numerical Control)マシン20を用いて複数の凹穴5を切削加工により形成する。第1炭素素地部材18aに凹穴5を形成したものを炭素素地成形体19とする。   Next, in the cutting process, the first carbon base member 18a is taken out from the mold 16a. Further, as shown in FIG. 4C, a plurality of concave holes 5 are formed in the first carbon base member 18a by cutting using an NC (Numerical Control) machine 20. The first carbon base member 18 a formed with the concave holes 5 is referred to as a carbon base molded body 19.

次いで、反応焼結工程では、図4の(d)に示されるように、炉17内に炭素素地成形体19を配置し、さらに、シリコン(Si)21を炭素素地成形体19上に配置する。そして、炉17内の温度を1600度以上に上昇させ、所定時間経過したのちに炉17内の温度を下げる。これにより、融解したシリコン21が、炭素素地成形体19の内部に含浸し、炭素素地成形体19の炭素とシリコン21とが反応して炭化ケイ素となる。即ち、図4の(e)に示されるように、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Aが得られる。   Next, in the reaction sintering step, as shown in FIG. 4 (d), a carbon green body 19 is disposed in the furnace 17, and silicon (Si) 21 is further disposed on the carbon green body 19. . Then, the temperature in the furnace 17 is increased to 1600 degrees or more, and after a predetermined time has elapsed, the temperature in the furnace 17 is decreased. Thereby, the melted silicon 21 is impregnated into the carbon green body 19, and the carbon of the carbon green body 19 and the silicon 21 react to form silicon carbide. That is, as shown in FIG. 4E, a rib structure 3A mainly composed of silicon carbide is obtained.

リブ構造体3Aは主に炭化ケイ素で構成されるものの、反応焼結工程後において溶融したシリコン21の一部が炭素素地成形体19の炭素と反応せずに単体で残っていたり、炭素がシリコン21と反応せずに単体で残っていたりしている。このとき、リブ構造体3Aの容積の少なくとも80%程度が、炭化ケイ素で構成されていれば、リブ構造体3Aは十分な剛性を有する。   Although the rib structure 3A is mainly composed of silicon carbide, a part of the silicon 21 melted after the reaction sintering process remains alone without reacting with the carbon of the carbon green body 19, or the carbon is silicon. It does not react with 21 and remains alone. At this time, if at least about 80% of the volume of the rib structure 3A is made of silicon carbide, the rib structure 3A has sufficient rigidity.

次いで、接合工程について説明する。
図示しないが、接合工程では、予め、反射面が研磨加工により一面側に構成され、かつ、第2貫通孔12が同軸に形成された第1ミラー体11aを用意する。そして、リブ構造体3Aの一面にペースト化したガラスフリットを塗布し、第1ミラー体11aの一面を外方に向け、他面とリブ構造体3Aの一面とがガラスフリットを介して対面するように炉内に配置する。このとき、リブ構造体3Aの第1貫通孔4及び第1ミラー体11aの第2貫通孔12を対応させている。
Next, the joining process will be described.
Although not shown, in the joining step, a first mirror body 11a is prepared in which the reflecting surface is configured on one surface side by polishing and the second through hole 12 is formed coaxially. Then, paste glass frit is applied to one surface of the rib structure 3A so that one surface of the first mirror body 11a faces outward, and the other surface and one surface of the rib structure 3A face each other through the glass frit. Placed in the furnace. At this time, the first through hole 4 of the rib structure 3A and the second through hole 12 of the first mirror body 11a are made to correspond to each other.

そして、炉内の温度をガラスフリットの融点以上に上昇させ、所定時間経過させたのちに炉内の温度を下げる。これにより、一旦融解したガラスフリットが凝固するので、リブ構造体3Aと第1ミラー体11aとが一体化され、図1〜図3に示される軽量化ミラー1Aが得られる。
なお、ガラスフリットの融点は、第1ミラー体11aやリブ構造体3Aの融点より余裕をもって低い温度である。
Then, the temperature in the furnace is raised above the melting point of the glass frit, and after a predetermined time has elapsed, the temperature in the furnace is lowered. Thereby, since the glass frit once melted is solidified, the rib structure 3A and the first mirror body 11a are integrated, and the lighter mirror 1A shown in FIGS. 1 to 3 is obtained.
Note that the melting point of the glass frit is lower than the melting point of the first mirror body 11a and the rib structure 3A with a margin.

ここで、第1ミラー体11a(ミラー機能部10A)をリブ構造体3A(ミラー母材構造部2A)と別体に用意する理由について説明する。
仮に、リブ構造体3Aの一面側に反射面を構成しようとする場合、鏡面は、反応焼結工程後に、リブ構造体3Aの一面側を研磨して形成する必要がある。しかし、上述したように、リブ構造体3Aは、ガラス材料よりさらに剛性の高い材料で構成されている。したがって、リブ構造体3Aの一面を研磨して鏡面を構成するよりも、第1ミラー体11aを研磨して鏡面を構成する方が鏡面を構成するための時間を短縮できる。このため、第1ミラー体11aをリブ構造体3Aと別体に用意している。
Here, the reason why the first mirror body 11a (mirror function part 10A) is prepared separately from the rib structure 3A (mirror base material structure part 2A) will be described.
If a reflecting surface is to be formed on one surface side of the rib structure 3A, the mirror surface needs to be formed by polishing one surface side of the rib structure 3A after the reaction sintering step. However, as described above, the rib structure 3A is made of a material having higher rigidity than the glass material. Accordingly, it is possible to shorten the time for forming the mirror surface by polishing the first mirror body 11a and forming the mirror surface, rather than polishing one surface of the rib structure 3A. Therefore, the first mirror body 11a is prepared separately from the rib structure 3A.

軽量化ミラー1Aの製造方法によれば、切削の容易な第1炭素素地部材18aに切削加工を施した炭素素地成形体19の炭素にシリコンを反応焼結させて剛性を有するリブ構造体3Aを得ている。従って、リブ構造体3Aを所定の形状に成形するための切削加工に要する時間を大幅に短縮できる。これにより、軽量化ミラー1Aを大型化しても、短期間に軽量化ミラー1Aを製造できる。また、切削加工に要する時間の大幅な削減に伴って、軽量化ミラー1Aの製造コストを削減できる。   According to the manufacturing method of the lightweight mirror 1A, the rib structure 3A having rigidity is obtained by reacting and sintering silicon to carbon of the carbon base molded body 19 obtained by cutting the first carbon base member 18a that is easy to cut. It has gained. Therefore, the time required for cutting for forming the rib structure 3A into a predetermined shape can be greatly shortened. Thereby, even if the lightweight mirror 1A is enlarged, the lightweight mirror 1A can be manufactured in a short time. Moreover, the manufacturing cost of the lightweight mirror 1A can be reduced with a significant reduction in the time required for cutting.

なお、この実施の形態1では、凹穴5の主な開口形状は正三角形に形成するものとして説明したが、凹穴5は、正三角形の開口形状に形成するものに限定されない。例えば、凹穴5の開口形状は、正三角形の他の三角形、四角形、及び六角形などの他の多角形や、曲線で構成されるものなどでもよい。ただし、凹穴5の開口形状を六角形とすることで、リブ構造体3Aの剛性は、他の凹穴の開口形状のものより高くなる。
また、凹穴5の開口形状は統一するものに限定されず、三角形や四角形の開口形状を有する凹穴5をリブ構造体3Aに形成するものでもよい。
In the first embodiment, the main opening shape of the recessed hole 5 is described as being formed in an equilateral triangle, but the recessed hole 5 is not limited to being formed in an equilateral triangular opening shape. For example, the opening shape of the concave hole 5 may be other polygons such as other triangles, squares, and hexagons of regular triangles, or those formed by curves. However, by making the opening shape of the recessed hole 5 hexagonal, the rigidity of the rib structure 3A becomes higher than that of the other recessed hole opening shape.
Moreover, the opening shape of the recessed hole 5 is not limited to what is unified, You may form the recessed hole 5 which has a triangular or square opening shape in 3 A of rib structures.

また、第1黒鉛化処理工程は、切削加工工程の前に行うものとして説明したが、切削加工工程後の反応焼結工程前に炭素素地成形体19に対して行うものでもよい。さらに、第1黒鉛化処理工程が行われていなくても、反応焼結工程で、炭素素地成形体19内の炭素以外の不純物が、炭素とシリコンとの反応を阻害せず、反応焼結工程で得られたリブ構造体3Aが、炭化ケイ素を主成分とする高い剛性を有するものであれば、特に第1黒鉛化処理工程は行う必要はない。   Moreover, although the 1st graphitization process process demonstrated as what is performed before a cutting process, it may be performed with respect to the carbon base green body 19 before the reaction sintering process after a cutting process. Further, even if the first graphitization treatment step is not performed, impurities other than carbon in the carbon green body 19 do not inhibit the reaction between carbon and silicon in the reaction sintering step, and the reaction sintering step. If the rib structure 3A obtained in (1) has high rigidity mainly composed of silicon carbide, the first graphitization treatment step is not particularly required.

また、ミラー母材構造部製造工程は、上記のものに限定されるものではない。上記説明では、第1素地母材成形工程で、炭素繊維粉末にバインダを加えた炭素母材15を圧縮成形して第1炭素素地部材18aを得るものとして説明した。しかし、第1炭素素地部材18aは、第1素地母材成形工程において、炭素繊維粉末に予め炭化ケイ素粉末を混ぜた素地母材を冷間等方プレスなどの方法で圧縮成形して得るものでもよい。予め炭素繊維粉末に炭化ケイ素粉末を混ぜた場合でも、反応焼結工程によりシリコンを炭素素地成形体内に含浸させて炭素素地成形体の炭素とシリコンを反応させれば、剛性を有するリブ構造体が得られる。   Further, the mirror base material structure manufacturing process is not limited to the above. In the above description, the first carbon base member 18a is obtained by compression molding the carbon base material 15 obtained by adding a binder to carbon fiber powder in the first base base material forming step. However, the first carbon base member 18a may be obtained by compression-molding a base base material in which silicon carbide powder is previously mixed with carbon fiber powder by a method such as cold isostatic pressing in the first base base material forming step. Good. Even when silicon carbide powder is mixed with carbon fiber powder in advance, if the carbon base molded body is impregnated with silicon by a reaction sintering process and carbon and silicon of the carbon base molded body are reacted, a rigid rib structure can be obtained. can get.

実施の形態2.
図5はこの発明の実施の形態2に係る軽量化ミラーの断面図である。
図5において、軽量化ミラー1Bのミラー母材構成部2Bを構成するリブ構造体3Bは、第1貫通孔4が同軸に形成された所定の厚さの円盤形状をなしている。そして、凹穴5がリブ構造体3Bの一面に開口するようにリブ部6bを介して隣接するように複数形成されている。そして、リブ構造体3Bの他面は、軸芯と直交する平坦面となっている。また、凹穴5を区画するリブ部6bの高さは、外周壁7側に配置されたリブ部6bから、リブ構造体3Bの中心側に配置されるリブ部6bに向かって徐々に低くなっている。このとき、リブ部6bは、それぞれの端面が、リブ構造体3Bの軸芯を軸とする回転放物面に接するように成形されている。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 5 is a sectional view of a lightening mirror according to Embodiment 2 of the present invention.
In FIG. 5, a rib structure 3B constituting the mirror base material constituting part 2B of the light weight mirror 1B has a disk shape with a predetermined thickness in which the first through holes 4 are formed coaxially. A plurality of the recessed holes 5 are formed so as to be adjacent to each other through the rib portion 6b so as to open on one surface of the rib structure 3B. The other surface of the rib structure 3B is a flat surface orthogonal to the axis. Moreover, the height of the rib part 6b which divides the recessed hole 5 becomes low gradually toward the rib part 6b arrange | positioned at the center side of the rib structure 3B from the rib part 6b arrange | positioned at the outer peripheral wall 7 side. ing. At this time, the rib part 6b is shape | molded so that each end surface may contact | connect the rotation paraboloid centering on the axial center of the rib structure 3B.

また、第1ミラー体11aは、凹穴5の開口を塞口するようにリブ構造体3Bに接合されている。
軽量化ミラー1Bの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
The first mirror body 11a is joined to the rib structure 3B so as to close the opening of the recessed hole 5.
Other configurations of the lightening mirror 1B are the same as those in the first embodiment.

軽量化ミラー1Bは、その一面側の壁が第1ミラー体11aで構成され、他面側の壁がリブ構造体3Bの底壁で構成されている。第1ミラー体11aの線膨張係数とリブ構造体3Bの線膨張係数は略同等であるので、他面に凹穴5の開口が露出する軽量化ミラー1Aに比べれば、軽量化ミラー1Bは、その一面側と他面側の線膨張係数が対称に近づく。
従って、軽量化ミラー1Bによれば、周囲の温度が変化した場合に、一面側と他面側が同様に収縮するので、軽量化ミラー1Aによる効果に加え、第1ミラー体11aに負荷される熱応力の影響を極力抑えることができるという効果が得られる。つまり、第1ミラー体11aの破損リスクを低減できるという効果が得られる。
As for the weight reduction mirror 1B, the wall of the one surface side is comprised by the 1st mirror body 11a, and the wall of the other surface side is comprised by the bottom wall of the rib structure 3B. Since the linear expansion coefficient of the first mirror body 11a and the linear expansion coefficient of the rib structure 3B are substantially equal, the light weight mirror 1B is compared to the light weight mirror 1A in which the opening of the recessed hole 5 is exposed on the other surface. The linear expansion coefficients on the one surface side and the other surface side approach symmetry.
Therefore, according to the lighter mirror 1B, when the ambient temperature changes, the one surface side and the other surface side contract in the same manner. Therefore, in addition to the effect of the lighter mirror 1A, the heat applied to the first mirror body 11a. The effect that the influence of stress can be suppressed as much as possible is obtained. That is, the effect that the risk of breakage of the first mirror body 11a can be reduced is obtained.

また、軽量化ミラー1Bの製造方法の接合工程では、図示しないが、リブ部6bにおける凹穴5の開口側の端面にガラスフリットを塗布し、第1ミラー体11aとリブ構造体3Bとがガラスフリットを介して対面するように炉内に配置している。
そして、炉内の温度をガラスフリットの融点以上に上昇させ、所定時間経過させたのちに炉内の温度を下げる。これにより、一旦融解したガラスフリットが凝固するので、リブ構造体3Bと第1ミラー体11aとが一体化され、図5に示される軽量化ミラー1Bが得られる。
軽量化ミラー1Bの他の製造方法は上記実施の形態1と同様である。
Further, in the joining process of the manufacturing method of the lighter mirror 1B, although not shown, glass frit is applied to the end face of the rib portion 6b on the opening side of the recessed hole 5, and the first mirror body 11a and the rib structure 3B are made of glass. It arrange | positions in a furnace so that it may face through a frit.
Then, the temperature in the furnace is raised above the melting point of the glass frit, and after a predetermined time has elapsed, the temperature in the furnace is lowered. As a result, the once melted glass frit is solidified, so that the rib structure 3B and the first mirror body 11a are integrated, and the lighter mirror 1B shown in FIG. 5 is obtained.
Other manufacturing methods of the lighter mirror 1B are the same as those in the first embodiment.

この実施の形態2によれば、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Bを、実施の形態1と同様に、切削の容易な第1炭素素地部材18aに切削加工を施したものにシリコンを拡散させることにより得ているので、実施の形態1と同様の効果が得られる。   According to the second embodiment, the rib structure 3B containing silicon carbide as the main component is formed by applying silicon to the first carbon base member 18a that is easily cut, as in the first embodiment. Since it is obtained by diffusing, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

実施の形態3.
図6はこの発明の実施の形態3に係る軽量化ミラーの断面図である。
図6において、軽量化ミラー1Cのミラー構母材造部2Cを構成するリブ構造体3Cには、リブ構造穴としての母材貫通穴8aがリブ構造体3Cの両面に開口するように形成されている。このとき、母材貫通穴8aの両端の開口形状は正三角形となっている。そして、隣接する母材貫通穴8aが所定の壁厚を有するリブ部6cにより区画されている。
軽量化ミラー1Cの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
Embodiment 3 FIG.
6 is a cross-sectional view of a lightening mirror according to Embodiment 3 of the present invention.
In FIG. 6, the rib structure 3C constituting the mirror base material structure 2C of the light weight mirror 1C is formed so that base material through holes 8a as rib structure holes are opened on both sides of the rib structure 3C. ing. At this time, the opening shape at both ends of the base material through hole 8a is an equilateral triangle. And the adjacent base material through-hole 8a is divided by the rib part 6c which has predetermined | prescribed wall thickness.
Other configurations of the lightening mirror 1C are the same as those in the first embodiment.

上記のように構成された軽量化ミラー1Cは、母材貫通穴8aが所定の壁厚を有するリブ部6cで区画されるようにリブ構造体3Cに形成されているので、軽量化ミラー1Cの剛性の確保と軽量化が実現されている。このとき、リブ構造体3Cの主な材料は、炭化ケイ素であるので、軽量化ミラー1Cによれば、軽量化ミラー1Aと同様に、ガラス材料のみで構成される従来の軽量化ミラーよりも、さらなる高剛性化及び軽量化を図ることができる。   The lightweight mirror 1C configured as described above is formed in the rib structure 3C so that the base material through hole 8a is partitioned by the rib portion 6c having a predetermined wall thickness. The rigidity is secured and the weight is reduced. At this time, since the main material of the rib structure 3C is silicon carbide, according to the lightening mirror 1C, similarly to the lightening mirror 1A, compared to the conventional lightening mirror made of only a glass material, Further increase in rigidity and weight can be achieved.

軽量化ミラー1Cの製造方法は、軽量化ミラー1Aの製造方法において、切削加工工程で、凹穴5を形成するのに代え、母材貫通穴8aを形成している。
軽量化ミラー1Cの他の製造方法は、上記実施の形態1と同様である。
In the manufacturing method of the lighter mirror 1C, the base material through hole 8a is formed instead of forming the concave hole 5 in the cutting process in the manufacturing method of the lighter mirror 1A.
Other manufacturing methods of the lighter mirror 1C are the same as those in the first embodiment.

軽量化ミラー1Cの製造方法によれば、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Cを、実施の形態1と同様に、切削の容易な第1炭素素地部材18aに切削加工を施した炭素素地成形体19にシリコンを拡散させることにより得ている。従って、実施の形態1と同様の効果が得られる。   According to the manufacturing method of the lighter mirror 1C, the carbon base material obtained by cutting the rib structure 3C mainly composed of silicon carbide on the first carbon base member 18a that can be easily cut, as in the first embodiment. It is obtained by diffusing silicon in the molded body 19. Therefore, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

実施の形態4.
図7はこの発明の実施の形態4に係る軽量化ミラーの断面図、図8はこの発明の実施の形態4に係る軽量化ミラーの製造方法を説明する図である。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view of a lightening mirror according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 8 is a view for explaining a manufacturing method of the lightening mirror according to Embodiment 4 of the present invention.

図7において、軽量化ミラー1Dのミラー母材構造部2Dは、リブ構造体3A、リブ構造体3Aに同軸に一体化された第1補強部材22により構成されている。そして、第1補強部材22は、リブ構造体3Aと同じ材料からなり、リブ構造体3Aの他面に接合されている。このとき、第1補強部材22は、凹穴5のそれぞれを塞口するようにリブ構造体3Aのリブ部6aの端面に接合されている。また、第1補強部材22の露出面が、ミラー母材構造部2Dの他面を構成し、当該露出面は軸芯と直交する平坦面で構成されている。さらに、第3貫通孔23が第1貫通穴に対応するように第1補強部材22に形成されている。
軽量化ミラー1Dの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
In FIG. 7, the mirror base material structure 2D of the light weight mirror 1D includes a rib structure 3A and a first reinforcing member 22 that is coaxially integrated with the rib structure 3A. The first reinforcing member 22 is made of the same material as the rib structure 3A, and is joined to the other surface of the rib structure 3A. At this time, the 1st reinforcement member 22 is joined to the end surface of the rib part 6a of 3 A of rib structures so that each of the recessed holes 5 may be closed. The exposed surface of the first reinforcing member 22 constitutes the other surface of the mirror base material structure 2D, and the exposed surface is a flat surface orthogonal to the axis. Further, the third through hole 23 is formed in the first reinforcing member 22 so as to correspond to the first through hole.
Other configurations of the lightening mirror 1D are the same as those in the first embodiment.

上記のように構成された軽量化ミラー1Dによれば、第1補強部材22が、凹穴5のそれぞれを塞口するようにリブ構造体3Aのリブ部6aの端面に接合されているので、ミラー母材構造部2Dの剛性を一層高めることができるという効果が得られる。
また、軽量化ミラー1Dは、その一面側の壁が第1ミラー体11a及びリブ構造体3Aの底壁で構成され、他面側の壁が第1補強部材22で構成されている。第1ミラー体11aの線膨張係数とリブ構造体3A及び第1補強部材22の線膨張係数が略同等であるので、他面に凹穴5の開口が露出する軽量化ミラー1Aに比べれば、軽量化ミラー1Dは、その一面側と他面側とで、線膨張係数が対称に近づく。
従って、軽量化ミラー1Dでは、周囲の温度が変化した場合に一面側と他面側が同様に収縮するので、軽量化ミラー1Aによる効果に加え、第1ミラー体11aに負荷される熱応力の影響を極力抑えることができるという効果が得られる。つまり、第1ミラー体11aの破損リスクを低減できるという効果が得られる。
According to the lightweight mirror 1D configured as described above, the first reinforcing member 22 is joined to the end surface of the rib portion 6a of the rib structure 3A so as to close each of the recessed holes 5. The effect that the rigidity of the mirror base material structure 2D can be further increased is obtained.
In addition, the lighter mirror 1D has a wall on one side formed by the first mirror body 11a and the bottom wall of the rib structure 3A, and a wall on the other side formed by the first reinforcing member 22. Since the linear expansion coefficient of the first mirror body 11a and the linear expansion coefficients of the rib structure 3A and the first reinforcing member 22 are substantially the same, compared to the lightweight mirror 1A in which the opening of the recessed hole 5 is exposed on the other surface, The light weight mirror 1D has a linear expansion coefficient that is symmetric with respect to the one surface side and the other surface side.
Therefore, in the lighter mirror 1D, when the ambient temperature changes, the one surface side and the other surface side contract in the same manner, and therefore, in addition to the effect of the lighter mirror 1A, the influence of the thermal stress applied to the first mirror body 11a. Can be suppressed as much as possible. That is, the effect that the risk of breakage of the first mirror body 11a can be reduced is obtained.

次いで、軽量化ミラー1Dの製造方法について説明する。
軽量化ミラー1Dの製造方法は、ミラー母材構造部製造工程、及び接合工程を有している。
まず、ミラー母材構造部製造工程について図8を参照しつつ説明する。
軽量化ミラー1Dのミラー母材構造部製造工程は、第1素地母材成形工程、第2炭素素地母材成形工程、第1黒鉛化処理工程、第2黒鉛化処理工程、切削加工工程、炭素素地体接合工程、及び反応焼結工程を有している。
Next, a method for manufacturing the lighter mirror 1D will be described.
The manufacturing method of the lightweight mirror 1D includes a mirror base material structure manufacturing process and a joining process.
First, the mirror base material structure manufacturing process will be described with reference to FIG.
The manufacturing process of the mirror base material structure of the light weight mirror 1D includes a first base material forming process, a second carbon base material forming process, a first graphitizing process, a second graphitizing process, a cutting process, carbon It has a base body joining process and a reaction sintering process.

第1素地母材成形工程は、上記軽量化ミラー1Aの製造方法の第1素地母材成形工程と同様である。そして、第2素地母材成形工程を第1素地母材成形工程と同時に進行する。つまり、図8の(a)に示されるように、リブ構造体3A、及び第1補強部材22のそれぞれの形状に対応する別個の金型16a,16bのそれぞれに、炭素繊維の粉末とバインダの粉末を混合した炭素母材15を加圧状態に充填する。これにより、炭素母材15は圧縮成形されて、金型16a,16b内で、それぞれ切削加工が可能な板状の第1炭素素地部材18a及び第2炭素素地部材18bとなる。   The first base material forming step is the same as the first base material forming step of the manufacturing method of the lightening mirror 1A. Then, the second base material forming process proceeds simultaneously with the first base material forming process. That is, as shown in FIG. 8A, the carbon fiber powder and the binder are respectively attached to the separate molds 16a and 16b corresponding to the shapes of the rib structure 3A and the first reinforcing member 22, respectively. The carbon base material 15 mixed with powder is filled in a pressurized state. As a result, the carbon base material 15 is compression-molded to form plate-like first carbon base member 18a and second carbon base member 18b that can be cut in the dies 16a and 16b, respectively.

また、第1黒鉛化処理工程は、上記軽量化ミラー1Aの製造方法の第1黒鉛化処理工程と同様である。そして、第2黒鉛化処理工程を第1黒鉛化処理工程と同時に進行する。つまり、図8の(b)に示されるように、金型16a,16bのそれぞれに詰められた第1炭素素地部材18a及び第2炭素素地部材18bを実施の形態1と同様に黒鉛化する。   Further, the first graphitization treatment step is the same as the first graphitization treatment step of the method for manufacturing the lightening mirror 1A. And a 2nd graphitization process process advances simultaneously with a 1st graphitization process process. That is, as shown in FIG. 8B, the first carbon base member 18a and the second carbon base member 18b packed in the molds 16a and 16b are graphitized as in the first embodiment.

次いで、切削加工工程では、図8の(c)に示されるように、実施の形態1と同様に第1炭素素地部材18aに凹穴5を切削加工により形成することにより炭素素地成形体19を得ている。なお、第2炭素素地部材18bに切削加工は施さない。   Next, in the cutting step, as shown in FIG. 8 (c), the carbon base body 19 is formed by forming the concave holes 5 in the first carbon base member 18a by cutting as in the first embodiment. It has gained. The second carbon base member 18b is not cut.

次いで、炭素素地体接合工程では、図8の(d)に示されるように、炭素素地成形体19の凹穴5の開口のそれぞれを塞口するように、第2炭素素地部材18bを炭素素地成形体19に接着する。ここで、接合された炭素素地成形体19と第2炭素素地部材18bとの一体品を炭素素地接合体25とする。   Next, in the carbon body bonding step, as shown in FIG. 8 (d), the second carbon body member 18b is bonded to the carbon body so as to close each of the openings of the recessed holes 5 of the carbon body molded body 19. Adhere to the molded body 19. Here, an integrated product of the bonded carbon base molded body 19 and the second carbon base member 18 b is a carbon base joined body 25.

そして、反応焼結工程では、図8の(e)に示されるように、炭素素地接合体25を炉17内に配置する。そして、炭素素地接合体25上にシリコン21を乗せる。そして、炉17内の温度をシリコン21の融点以上に上昇させた後、所定時間経過したら炉17内の温度を下げる。これにより、融解したシリコン21が、炭素素地接合体25の内部に拡散し、炭素素地接合体25の炭素とシリコン21とが反応して炭化ケイ素となる。つまり、図8の(f)に示されるように炭素素地成形体19及び第2炭素素地部材18bのそれぞれが、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3A及び第1補強部材22となり、リブ構造体3Aと第1補強部材22とが一体化されたミラー母材構造部2Dが得られる。
なお、接合工程は実施の形態1と同様であり、接合工程を実施することにより軽量化ミラー1Dが得られる。
In the reaction sintering step, the carbon base assembly 25 is placed in the furnace 17 as shown in FIG. Then, silicon 21 is placed on the carbon base assembly 25. Then, after raising the temperature in the furnace 17 to be equal to or higher than the melting point of the silicon 21, the temperature in the furnace 17 is lowered when a predetermined time has elapsed. As a result, the melted silicon 21 diffuses into the carbon base assembly 25, and the carbon of the carbon base assembly 25 and the silicon 21 react to form silicon carbide. That is, as shown in FIG. 8 (f), the carbon green body 19 and the second carbon green body member 18b become the rib structure 3A and the first reinforcing member 22 mainly composed of silicon carbide, and the rib structure. A mirror base material structure 2D in which the body 3A and the first reinforcing member 22 are integrated is obtained.
In addition, the joining process is the same as that of Embodiment 1, and the weight reduction mirror 1D is obtained by implementing a joining process.

この実施の形態4によれば、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Aを、実施の形態1と同様に得ている。さらに、炭素素地体接合工程で、炭素素地成形体19の凹穴5の開口のそれぞれを塞口するように、第2炭素素地部材18bを炭素素地成形体19に接着して炭素素地接合体25を得ている。さらに、反応焼結工程で炭素素地接合体25にシリコンを拡散させることにより、それぞれ炭化ケイ素を主成分とする第1補強部材22及びリブ構造体3Aが一体化されたミラー母材構造部2Dを得ている。これにより、実施の形態1の軽量化ミラー1Aの製造方法の効果に加えて、ミラー母材構造部2Dの剛性を一層高めることができるという効果が得られる。   According to the fourth embodiment, rib structure 3A mainly composed of silicon carbide is obtained in the same manner as in the first embodiment. Further, in the carbon base body bonding step, the second carbon base member 18b is bonded to the carbon base body 19 so as to close each of the openings of the recessed holes 5 of the carbon base body 19 and the carbon base body 25 is bonded. Have gained. Furthermore, by diffusing silicon into the carbon base bonded body 25 in the reaction sintering step, the mirror base material structure portion 2D in which the first reinforcing member 22 and the rib structure 3A each having silicon carbide as a main component are integrated. It has gained. Thereby, in addition to the effect of the manufacturing method of the weight reduction mirror 1A of Embodiment 1, the effect that the rigidity of mirror base material structure part 2D can be improved further is acquired.

なお、この実施の形態4では、第1補強部材22は、リブ構造体3Aの他面に接合するものとして説明したが、軽量化ミラー1Cのリブ構造体3Cの他面に第1補強部材22を接合して得た軽量化ミラーでも、軽量化ミラー1Dと同様の効果が得られる。   In the fourth embodiment, the first reinforcing member 22 is described as being joined to the other surface of the rib structure 3A. However, the first reinforcing member 22 is attached to the other surface of the rib structure 3C of the lightening mirror 1C. The same effect as that of the lighter mirror 1D can be obtained even with the lighter mirror obtained by bonding.

また、第1素地母材成形工程と第2素地母材成形工程は同時進行するものとして説明したが、第1素地母材成形工程と第2素地母材成形工程は別々に行うものでもよい。
また、第1黒鉛化処理工程と第2黒鉛化処理工程は同時進行するものとして説明したが、第1黒鉛化処理工程と第2黒鉛化処理工程は別々に行うものでもよい。
Further, although the first base material forming step and the second base material forming step have been described as proceeding simultaneously, the first base material forming step and the second base material forming step may be performed separately.
Further, although the first graphitization treatment step and the second graphitization treatment step have been described as proceeding simultaneously, the first graphitization treatment step and the second graphitization treatment step may be performed separately.

また、第1黒鉛化処理工程と第2黒鉛化処理工程は、切削加工工程の前に行うものとして説明したが、反応焼結工程前に炭素素地接合体25に対して行うものでもよい。さらに、第1黒鉛化処理工程及び第2黒鉛化処理工程が行われていなくても、反応焼結工程で、炭素素地接合体25内の炭素以外の不純物が、炭素とシリコンとの反応を阻害せず、反応焼結工程で得られたミラー母材構造部2Dが、炭化ケイ素を主成分とする高い剛性を有するものであれば、特に第1黒鉛化処理工程及び第2黒鉛化処理工程は行う必要はない。 Moreover, although the 1st graphitization process process and the 2nd graphitization process process were demonstrated as what is performed before a cutting process, you may perform with respect to the carbon base | substrate joined body 25 before a reaction sintering process. Furthermore, even if the first graphitization treatment step and the second graphitization treatment step are not performed, impurities other than carbon in the carbon base assembly 25 inhibit the reaction between carbon and silicon in the reaction sintering step. If the mirror base material structure 2D obtained in the reactive sintering step has high rigidity mainly composed of silicon carbide, the first graphitization treatment step and the second graphitization treatment step are particularly There is no need to do it.

また、炭素素地体接合工程で、炭素素地成形体19の凹穴5の開口のそれぞれを塞口するように、第2炭素素地部材18bを炭素素地成形体19に接着して炭素素地接合体25を得るものとして説明した。しかし、炭素素地体接合工程は、第2炭素素地部材18bにも凹穴5を形成した他の炭素素地成形体を形成し、炭素素地成形体19及び他の炭素素地成形体のそれぞれの凹穴5の開口側端面間を接着して炭素素地接合体を得るものでもよい。   Further, in the carbon base body bonding step, the second carbon base member 18b is bonded to the carbon base green body 19 so as to close each of the openings of the recessed holes 5 of the carbon base green body 19, and the carbon base body bonded body 25. Explained as getting. However, in the carbon body bonding step, another carbon body formed body in which the recessed holes 5 are formed in the second carbon body member 18b is formed, and the respective recessed holes of the carbon body formed body 19 and the other carbon body formed bodies are formed. 5 may be used to obtain a carbon-based bonded body by bonding between the opening side end faces.

実施の形態5.
図9はこの発明の実施の形態5に係る軽量化ミラーの断面図である。
図9において、軽量化ミラー1Eは、ミラー機能部10A(第1ミラー体11a)と同じ材料で構成され、リブ構造体3Aの他面に接合された第2補強部材としてのガラスプレート26を備えている。
ガラスプレート26は、第1貫通孔4及び第2貫通孔12と同じ直径の第4貫通孔27が同軸に形成された円盤形状をなしている。そして、ガラスプレート26は、第4貫通孔27を第1貫通孔4に対応させてリブ構造体3Aに同軸に接合されている。
軽量化ミラー1Eの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
Embodiment 5 FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view of a lightening mirror according to Embodiment 5 of the present invention.
In FIG. 9, the lightening mirror 1E is made of the same material as the mirror functional unit 10A (first mirror body 11a), and includes a glass plate 26 as a second reinforcing member joined to the other surface of the rib structure 3A. ing.
The glass plate 26 has a disk shape in which a fourth through hole 27 having the same diameter as the first through hole 4 and the second through hole 12 is formed coaxially. The glass plate 26 is coaxially joined to the rib structure 3 </ b> A with the fourth through hole 27 corresponding to the first through hole 4.
Other configurations of the lightening mirror 1E are the same as those in the first embodiment.

軽量化ミラー1Eは、その一面側の壁が第1ミラー体11a及びリブ構造体3Aの底壁で構成され、他面側の壁が第1ミラー体11aと同じ材料のガラスプレート26により構成されている。第1ミラー体11a及びガラスプレート26の線膨張係数とリブ構造体3Aの線膨張係数は略同等であるので、他面に凹穴5の開口が露出する軽量化ミラー1Aに比べれば、軽量化ミラー1Eは、その一面側と他面側とで、線膨張係数が対称に近づく。
従って、軽量化ミラー1Eによれば、周囲の温度が変化した場合に、一面側及び他面側が同様に伸縮するので、軽量化ミラー1Aによる効果に加え、第1ミラー体11aに負荷される熱応力の影響を極力抑えることができるという効果が得られる。つまり、第1ミラー体11aの破損リスクを低減できる。
The light weight mirror 1E has a wall on one side made up of the first mirror body 11a and the bottom wall of the rib structure 3A, and a wall on the other side made up of a glass plate 26 made of the same material as the first mirror body 11a. ing. Since the linear expansion coefficient of the first mirror body 11a and the glass plate 26 and the linear expansion coefficient of the rib structure 3A are substantially equal, the weight can be reduced as compared with the light weight mirror 1A in which the opening of the recessed hole 5 is exposed on the other surface. The mirror 1E has a linear expansion coefficient that is nearly symmetrical between the one surface side and the other surface side.
Therefore, according to the lighter mirror 1E, when the ambient temperature changes, the one surface side and the other surface side expand and contract in the same manner. Therefore, in addition to the effect of the lighter mirror 1A, the heat applied to the first mirror body 11a. The effect that the influence of stress can be suppressed as much as possible is obtained. That is, the risk of damage to the first mirror body 11a can be reduced.

なお、この実施の形態5では、リブ構造体3Aの他面にガラスプレート26を接合するものとして説明したが、ガラスプレート26を、リブ構造体3B,3Cの第1ミラー体11aの取り付け面と反対側の面(他面)に接合したり、ミラー母材構造部2Dの第1補強部材22の露出面側に接合したりしたものでも、第1ミラー体11aに負荷される熱応力の影響を極力抑える効果が得られる。   In the fifth embodiment, the glass plate 26 is joined to the other surface of the rib structure 3A. However, the glass plate 26 is attached to the mounting surface of the first mirror body 11a of the rib structures 3B and 3C. Even if it is bonded to the opposite surface (other surface) or bonded to the exposed surface side of the first reinforcing member 22 of the mirror base material structure 2D, it is affected by the thermal stress applied to the first mirror body 11a. The effect which suppresses as much as possible is acquired.

次いで、軽量化ミラー1Eの製造方法について説明する。
軽量化ミラー1Eの製造方法の接合工程では、図示しないが、リブ構造体3Aの一面及びリブ部の端面(リブ構造体3Aの他面)にペースト化したガラスフリットを塗布し、第1ミラー体11aの他面、及びガラスプレート26の一面をそれぞれリブ構造体3Aの一面及び他面に合わせて炉内に配置している。そして、炉内の温度をガラスフリットの融点以上に上昇させ、所定時間経過させたのちに炉内の温度を下げる。これにより、一旦融解したガラスフリットが凝固するので、リブ構造体3Aと第1ミラー体11a並びにガラスプレート26とが一体化され、図9に示される軽量化ミラー1Eが得られる。
軽量化ミラー1Eの他の製造方法は、上記実施の形態1と同様である。
Next, a method for manufacturing the lighter mirror 1E will be described.
In the joining process of the manufacturing method of the light weight mirror 1E, although not shown, a pasted glass frit is applied to one surface of the rib structure 3A and the end surface of the rib portion (the other surface of the rib structure 3A), and the first mirror body The other surface of 11a and one surface of the glass plate 26 are arranged in the furnace so as to match the one surface and the other surface of the rib structure 3A, respectively. Then, the temperature in the furnace is raised above the melting point of the glass frit, and after a predetermined time has elapsed, the temperature in the furnace is lowered. Thereby, since the glass frit once melted is solidified, the rib structure 3A, the first mirror body 11a, and the glass plate 26 are integrated, and the lighter mirror 1E shown in FIG. 9 is obtained.
Other manufacturing methods of the lighter mirror 1E are the same as those in the first embodiment.

この実施の形態5によれば、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Aを、軽量化ミラー1Aの製造方法と同様に得ている。従って、軽量化ミラー1Eの製造方法によれば、軽量化ミラー1Aの製造方法と同様の効果が得られる。   According to the fifth embodiment, the rib structure 3A mainly composed of silicon carbide is obtained in the same manner as the manufacturing method of the lightening mirror 1A. Therefore, according to the manufacturing method of the lightweight mirror 1E, the same effect as the manufacturing method of the lightweight mirror 1A can be obtained.

実施の形態6.
図10はこの発明の実施の形態6に係る軽量化ミラーの正面図である。
図10において、軽量化ミラー1Fのミラー機能部10Bが、第1ミラー体11aと同じ材料からなり、それぞれミラー分割体としての複数の第2ミラー体11bにより形成されている。第2ミラー体11bのそれぞれは、正三角形の平板形状であり、その一面は研磨されて反射面を構成している。
そして、第2ミラー体11bは、反射面を外方に向けてリブ構造体3Aの厚み方向の一面にほぼ隙間なく、かつ、規則正しく配置された状態で、リブ構造体3Aに接合されている。
なお、軽量化ミラー1Fの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
Embodiment 6 FIG.
FIG. 10 is a front view of a lightening mirror according to Embodiment 6 of the present invention.
In FIG. 10, the mirror functional unit 10B of the lightening mirror 1F is made of the same material as that of the first mirror body 11a, and is formed by a plurality of second mirror bodies 11b each serving as a mirror divided body. Each of the second mirror bodies 11b has an equilateral triangular flat plate shape, and one surface thereof is polished to constitute a reflecting surface.
And the 2nd mirror body 11b is joined to 3 A of rib structures in the state arrange | positioned regularly with almost no clearance at one surface of the rib structure 3A in the thickness direction with the reflection surface facing outward.
The other configuration of the light weight mirror 1F is the same as that of the first embodiment.

軽量化ミラー1Fのミラー機能部10Bは、複数の第2ミラー体11bで構成されている。従って、軽量化ミラー1Aのようにミラー機能部10Aを一つの部材で構成する第1ミラー体11aに比べ、第2ミラー体11bは、成形や、反射面を構成するための研磨加工などがしやすい。また、製造過程で、第2ミラー体11bの一つが破損しても、容易に交換できる。これにより、軽量化ミラー1Fでは、軽量化ミラー1Aの効果に加え、製品歩留りが上がるので製造コストを抑えることができる効果も得られる。   The mirror function unit 10B of the lightening mirror 1F is composed of a plurality of second mirror bodies 11b. Therefore, the second mirror body 11b is molded or polished to form a reflecting surface, as compared with the first mirror body 11a in which the mirror functional unit 10A is configured by a single member like the lightweight mirror 1A. Cheap. Further, even if one of the second mirror bodies 11b is damaged during the manufacturing process, it can be easily replaced. Thereby, in the light weight mirror 1F, in addition to the effect of the light weight mirror 1A, the product yield is increased, so that the manufacturing cost can be suppressed.

また、第2ミラー体11bとリブ構造体3Aの線膨張係数は略等しいが、リブ構造体3Aを大きくした場合には、軽量化ミラー1Fの周囲温度が変動すると、リブ構造体3Aとミラー機能部10Bの歪み量に差が生じる。しかし、ミラー機能部10Bが、分割された複数の第2ミラー体11bにより構成されているので、隣接する第2ミラー体11bの間に、第2ミラー体11bの個々に発生する熱応力を吸収させることができる。
従って、軽量化ミラー1Fによれば、軽量化ミラー1Aによる効果に加え、ミラー機能部10Bの破損するリスクを低減できるという効果が得られる。
Further, the linear expansion coefficients of the second mirror body 11b and the rib structure 3A are substantially equal. However, when the rib structure 3A is enlarged, if the ambient temperature of the lightening mirror 1F varies, the rib structure 3A and the mirror function A difference occurs in the amount of distortion of the portion 10B. However, since the mirror function unit 10B is constituted by the plurality of divided second mirror bodies 11b, the thermal stress generated individually in each of the second mirror bodies 11b is absorbed between the adjacent second mirror bodies 11b. Can be made.
Therefore, according to the lighter mirror 1F, in addition to the effect of the lighter mirror 1A, an effect that the risk of breakage of the mirror function unit 10B can be reduced.

軽量化ミラー1Fの製造方法の接合工程では、図示しないが、複数の第2ミラー体11bをペースト状のガラスフリットを塗布したリブ構造体3Aの一面に配列して炉内配置している。そして、炉内の温度をガラスフリットの融点以上の温度まで上昇させて所定時間経過させた後、炉内の温度を下げる。これにより、一旦融解したガラスフリットが凝固するので、リブ構造体3Aと第2ミラー体11bとが一体化され、図10に示される軽量化ミラー1Fが得られる。
軽量化ミラー1Fの他の製造方法は、上記実施の形態1と同様である。
In the joining step of the manufacturing method of the lightening mirror 1F, although not shown, a plurality of second mirror bodies 11b are arranged on one surface of a rib structure 3A coated with paste-like glass frit and arranged in the furnace. And after raising the temperature in a furnace to the temperature more than melting | fusing point of a glass frit and making it pass for a predetermined time, the temperature in a furnace is lowered | hung. Thereby, since the glass frit once melted is solidified, the rib structure 3A and the second mirror body 11b are integrated, and the lightening mirror 1F shown in FIG. 10 is obtained.
Other manufacturing methods of the lighter mirror 1F are the same as those in the first embodiment.

この実施の形態6によれば、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Aを、実施の形態1と同様に得ている。従って、軽量化ミラー1Fの製造方法によれば、軽量化ミラー1Aの製造方法と同様の効果が得られる。   According to the sixth embodiment, rib structure 3A mainly composed of silicon carbide is obtained in the same manner as in the first embodiment. Therefore, according to the manufacturing method of the lightweight mirror 1F, the same effect as the manufacturing method of the lightweight mirror 1A can be obtained.

なお、上記実施の形態6では、第2ミラー体11bのそれぞれの外形は正三角形であるものとして説明したが、第2ミラー体11bの外形は正三角形であるものに限定されず、他の多角形や、外形に曲線を有するものなどでもよい。また、単一の外形形状の第2ミラー体11bによりミラー機能部10Bを構成するものに限定されず、複数の外形形状からなる第2ミラー体によりミラー機能部10Bを構成するものでもよい。   In the sixth embodiment, the outer shape of each of the second mirror bodies 11b is assumed to be an equilateral triangle. However, the outer shape of the second mirror body 11b is not limited to that of an equilateral triangle, and other various shapes. It may be a square or one having a curved outer shape. Moreover, it is not limited to what comprises the mirror function part 10B with the 2nd mirror body 11b of a single external shape, The mirror function part 10B may be comprised with the 2nd mirror body which consists of a some external shape.

実施の形態7.
図11はこの発明の実施の形態7に係る軽量化ミラーの正面図、図12は図11のXII−XII矢視断面図、図13は図11のA部拡大図である。
Embodiment 7 FIG.
11 is a front view of a lightening mirror according to Embodiment 7 of the present invention, FIG. 12 is a cross-sectional view taken along arrow XII-XII in FIG. 11, and FIG. 13 is an enlarged view of part A in FIG.

図11〜図13において、軽量化ミラー1Gのミラー母材構造部2Eを構成するリブ構造体3Dには、リブ構造穴としての母材貫通穴8bがリブ構造体3Dの両面に開口するように、リブ部6dを介して隣接するように形成されている。このとき、母材貫通穴8bの開口形状は、正六角形になっている。
また、ミラー機能部10Cが、一面に反射面を有するミラー分割体としての複数の第3ミラー体11cにより構成されている。第3ミラー体11cのそれぞれは、母材貫通穴8bの開口形状よりやや大きな正六角形の外形を有する平板であり、その一面は研磨されて反射面を構成している。より具体的には、第3ミラー体11cの各辺の長さは、リブ部6dの壁厚の半分の長さだけ、母材貫通穴8bの各辺の長さより長くなっている。
11 to 13, in the rib structure 3D constituting the mirror base material structure 2E of the light weight mirror 1G, a base material through hole 8b as a rib structure hole is opened on both surfaces of the rib structure 3D. , Adjacent to each other through the rib portion 6d. At this time, the opening shape of the base material through hole 8b is a regular hexagon.
Further, the mirror function unit 10C is constituted by a plurality of third mirror bodies 11c as mirror divided bodies having a reflecting surface on one surface. Each of the third mirror bodies 11c is a flat plate having a regular hexagonal outer shape slightly larger than the opening shape of the base material through hole 8b, and one surface thereof is polished to constitute a reflecting surface. More specifically, the length of each side of the third mirror body 11c is longer than the length of each side of the base material through hole 8b by half the wall thickness of the rib portion 6d.

そして、第3ミラー体11cのそれぞれが、リブ構造体3Dの一面側の開口の一つ一つの開口を塞口するように、反射面(一面)を外方に向けて、リブ構造体3Dの一面にほぼ隙間なく、かつ、規則正しく配置されている。このとき、第3ミラー体11cのそれぞれは、各外縁部からリブ部6dの壁厚の半分の長さの領域が、リブ部6dの一端面に支持されるようにリブ構造体3Dに接合されている。
軽量化ミラー1Gの他の構成は、上記実施の形態1と同様である。
Then, each of the third mirror bodies 11c has the reflecting surface (one surface) facing outward so that each of the openings on one surface side of the rib structure 3D is closed, and the rib structure 3D There are almost no gaps on one side, and they are regularly arranged. At this time, each of the third mirror bodies 11c is joined to the rib structure 3D so that a region having a length half the wall thickness of the rib portion 6d from each outer edge portion is supported by one end face of the rib portion 6d. ing.
Other configurations of the lighter mirror 1G are the same as those in the first embodiment.

軽量化ミラー1Gのミラー機能部10Cは、分割された複数の第3ミラー体11cにより構成されている。従って、軽量化ミラー1Gによれば、軽量化ミラー1Aの効果に加え、軽量化ミラー1Fと同様に、製品歩留りが向上するので製造コストを抑え、かつ、ミラー機能部10Cの損傷リスクを低減できるという効果が得られる。   The mirror function unit 10C of the light weight mirror 1G is configured by a plurality of divided third mirror bodies 11c. Therefore, according to the lighter mirror 1G, in addition to the effect of the lighter mirror 1A, the product yield is improved, so that the manufacturing cost can be reduced and the risk of damage to the mirror function unit 10C can be reduced. The effect is obtained.

軽量化ミラー1Gの製造方法は、軽量化ミラー1Aの製造方法において、切削加工工程で、凹穴5を形成するのに代え、母材貫通穴8bを形成している。
また、軽量化ミラー1Gの製造方法の接合工程では、図示しないが、ペースト状のガラスフリットをリブ部6dの端面に塗布し、第3ミラー体11cのそれぞれが、リブ部6dの端面に支持されるように配列したものを炉内に配置している。そして、炉内の温度をガラスフリットの融点以上の温度まで上昇させ、所定時間経過させたのちに炉内の温度を下げる。これにより、一旦融解したガラスフリットが凝固するので、リブ構造体3Dと第3ミラー体11cとが一体化され、図11〜図13に示される軽量化ミラー1Gが得られる。
なお、軽量化ミラー1Gの他の製造方法は上記実施の形態1と同様である。
In the manufacturing method of the lighter mirror 1G, the base material through hole 8b is formed instead of forming the concave hole 5 in the cutting process in the manufacturing method of the lighter mirror 1A.
In the joining process of the manufacturing method of the lightening mirror 1G, although not shown, paste-like glass frit is applied to the end surface of the rib portion 6d, and each of the third mirror bodies 11c is supported on the end surface of the rib portion 6d. Such an array is arranged in the furnace. Then, the temperature in the furnace is raised to a temperature equal to or higher than the melting point of the glass frit, and after a predetermined time has elapsed, the temperature in the furnace is lowered. Thereby, since the glass frit once melted is solidified, the rib structure 3D and the third mirror body 11c are integrated, and the weight-reduced mirror 1G shown in FIGS. 11 to 13 is obtained.
The other manufacturing method of the light weight mirror 1G is the same as that of the first embodiment.

この実施の形態7では、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Dを、実施の形態1と同様に得ている。従って、軽量化ミラー1Gの製造方法によれば、軽量化ミラー1Aの製造方法と同様の効果が得られる。   In the seventh embodiment, a rib structure 3D mainly composed of silicon carbide is obtained in the same manner as in the first embodiment. Therefore, according to the manufacturing method of the lightweight mirror 1G, the same effect as the manufacturing method of the lightweight mirror 1A can be obtained.

この実施の形態7では、第3ミラー体11cのそれぞれが、リブ構造体3Dの一面側の開口の一つ一つの開口を塞口するように、かつ、各外縁部からリブ部6dの壁厚の半分の長さの領域が、リブ部6dの一端面に支持されるようにリブ構造体3Dに接合されるものとして説明した。しかし、例えば、母材貫通孔の開口形状が正三角形の場合などは、隣接する2つの母材貫通孔の外形で構成される四角形に対応する形状の第3ミラー体を準備し、当該の外縁部が、隣接する母材貫通孔を区画するリブ部の端面に支持されるようにしてリブ構造体と第3ミラー体とを接合してもよい。つまり、リブ構造体の母材貫通孔(または凹穴)の開口を有する側に第3ミラー体11cを接合する場合、第3ミラー体11cは、その外縁部が、リブ部の端面に支持されるようにリブ構造体に接合されていれば、一つ一つの母材貫通孔の開口する必要もないし、その外形も母材貫通孔の開口形状に一致させる必要もない。   In the seventh embodiment, each of the third mirror bodies 11c closes each of the openings on one surface side of the rib structure 3D, and the wall thickness of the rib portion 6d from each outer edge portion. It has been described that the half length region is joined to the rib structure 3D so as to be supported by one end face of the rib portion 6d. However, for example, when the opening shape of the base material through hole is an equilateral triangle, a third mirror body having a shape corresponding to a quadrangle formed by the outer shapes of two adjacent base material through holes is prepared, and the outer edge of the third mirror body is prepared. The rib structure and the third mirror body may be joined so that the portion is supported by the end face of the rib portion that partitions the adjacent base material through hole. That is, when the third mirror body 11c is joined to the side of the rib structure that has the opening of the base material through hole (or the concave hole), the outer edge of the third mirror body 11c is supported by the end face of the rib portion. If it is joined to the rib structure as described above, it is not necessary to open each of the base material through holes, and it is not necessary to match the outer shape of the base material through holes.

実施の形態8.
図14はこの発明の実施の形態8に係る軽量化ミラーの断面図、図15は図14のXV−XV矢視断面図、図16は図15のB部拡大図である。
Embodiment 8 FIG.
14 is a cross-sectional view of a lightening mirror according to an eighth embodiment of the present invention, FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line XV-XV in FIG. 14, and FIG.

図14〜図16において、軽量化ミラー1Hのミラー機能部10Dは、円盤状の第4ミラー体11dにより構成され、その一面側は研磨されて反射面となっている。そして、複数の切り込み群28が第4ミラー体11dの他面(リブ構造体3Aとの接合面)に形成されている。   14-16, the mirror function part 10D of the weight reduction mirror 1H is comprised by the disk shaped 4th mirror body 11d, and the one surface side is grind | polished and becomes a reflective surface. A plurality of cut groups 28 are formed on the other surface of the fourth mirror body 11d (joint surface with the rib structure 3A).

切り込み群28のそれぞれは、互いに所定の間隔をあけて所定の方向に延在する複数の第1切り込み28aと、互いに所定の間隔をあけ、かつ、第1切り込みのそれぞれに直交するように延在する複数の第2切り込み28bにより構成されている。
第1切り込み28aのそれぞれ及び第2切り込み28bのそれぞれは、第4ミラー体11dの外周縁部の2点間を接続するように形成されている。また、第1切り込み28aのそれぞれは、深さ方向を第4ミラー体11dの厚さ方向に一致させて形成されている。このとき、第1切り込み28aのそれぞれは、図16に示されるように、深さ方向に垂直な断面における面積が第4ミラー体11dの他面側ほど大きくなる口開き状に形成されている。図示しないが、第2切り込み28bのそれぞれも、第1切り込み28bと同様の口開き状に形成されている。
Each of the cut groups 28 has a plurality of first cuts 28a extending in a predetermined direction with a predetermined interval from each other, and extending so as to be orthogonal to each of the first cuts with a predetermined interval between each other. The plurality of second cuts 28b.
Each of the first cuts 28a and each of the second cuts 28b are formed so as to connect two points on the outer peripheral edge of the fourth mirror body 11d. Each of the first cuts 28a is formed so that the depth direction thereof coincides with the thickness direction of the fourth mirror body 11d. At this time, as shown in FIG. 16, each of the first cuts 28a is formed in an aperture shape in which the area in a cross section perpendicular to the depth direction increases toward the other surface side of the fourth mirror body 11d. Although not shown, each of the second cuts 28b is also formed in the same opening shape as the first cuts 28b.

そして、第4ミラー体11dは、その他面をリブ構造体3Aの一面に合わせてリブ構造体3Aに接合されている。
軽量化ミラー1Hの他の構成は上記実施の形態1と同様である。
The fourth mirror body 11d is joined to the rib structure 3A with the other surface aligned with one surface of the rib structure 3A.
Other configurations of the lightening mirror 1H are the same as those in the first embodiment.

上記のように構成された軽量化ミラー1Hによれば、切り込み群28が第4ミラー体11dの他面に形成されている。これにより、第4ミラー体11dの線膨張係数とリブ構造体3Aの線膨張係数の僅かな相違から、仮にリブ構造体3Aの歪み量と第4ミラー体11dの歪み量に差が生じた場合でも、第4ミラー体11dへの熱応力が切り込み群28によって吸収される。従って、実施の形態1の効果に加えて、第4ミラー体11dが破損することを未然に防止することができるとういう効果が得られる。
また、軽量化ミラー1Hの製造方法は上記実施の形態1と同様である。つまり、炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体3Aを、実施の形態1と同様に得ている。従って、軽量化ミラー1Hの製造方法によれば、軽量化ミラー1Aの製造方法と同様の効果が得られる。
According to the weight-reducing mirror 1H configured as described above, the cut group 28 is formed on the other surface of the fourth mirror body 11d. Thereby, if there is a difference between the distortion amount of the rib structure 3A and the distortion amount of the fourth mirror body 11d due to a slight difference between the linear expansion coefficient of the fourth mirror body 11d and the linear expansion coefficient of the rib structure 3A. However, the thermal stress applied to the fourth mirror body 11d is absorbed by the cut group 28. Therefore, in addition to the effect of the first embodiment, the effect that the fourth mirror body 11d can be prevented from being damaged can be obtained.
The manufacturing method of the lighter mirror 1H is the same as that of the first embodiment. That is, a rib structure 3A mainly composed of silicon carbide is obtained in the same manner as in the first embodiment. Therefore, according to the manufacturing method of the lightweight mirror 1H, the same effect as the manufacturing method of the lightweight mirror 1A can be obtained.

この実施の形態8では、第4ミラー体11dの他面に、所定の方向に延在する複数の第1切り込み28a、及び複数の第1切り込み28aの延在方向に直交する複数の第2切り込み28bからなる切り込み群28が形成されるものとして説明した。さらに、第1切り込み28a、及び第2切り込み28bのそれぞれが、第4ミラー体11dの外周縁部の2点間を接続するように形成されるものとして説明した。しかし、切り込み群28は、複数の第1切り込み、及び複数の第2切り込みにより構成されるものに限定されない。切り込み群28は、所定の角度で交差するように複数の切り込みを形成してもよいし、所定の長さの切り込みを第4ミラー体11dの他面に離散して形成するものでもよい。   In the eighth embodiment, a plurality of first cuts 28a extending in a predetermined direction and a plurality of second cuts orthogonal to the extending direction of the plurality of first cuts 28a are formed on the other surface of the fourth mirror body 11d. It has been described that the cut group 28 made of 28b is formed. Further, the first cut 28a and the second cut 28b have been described as being formed so as to connect two points on the outer peripheral edge of the fourth mirror body 11d. However, the cut group 28 is not limited to the one formed by a plurality of first cuts and a plurality of second cuts. The cut group 28 may be formed with a plurality of cuts so as to intersect at a predetermined angle, or may be formed with discrete cuts of a predetermined length on the other surface of the fourth mirror body 11d.

さらに、切り込み群28は、ミラー機能1Bを構成する第2ミラー体11bのそれぞれの他面、及びミラー機能部1Cを構成する第3ミラー体11cのそれぞれの他面に構成されても、第2ミラー体11b及び第3ミラー体11cの破損防止の効果がえられる。   Furthermore, even if the cut group 28 is configured on each other surface of the second mirror body 11b constituting the mirror function 1B and each other surface of the third mirror body 11c constituting the mirror function unit 1C, The effect of preventing breakage of the mirror body 11b and the third mirror body 11c is obtained.

なお、上記実施の形態2,4及び5において、軽量化ミラー1B,1D,1Eのそれぞれは、リブ構造穴としての凹穴5の開口が、それぞれ第1ミラー体11a、第1補強部材22、及びガラスプレート26により塞口されるものとして説明した。このような構成の軽量化ミラー1B,1D,1Eを、当該軽量化ミラー1B,1D,1Eの製造時と異なる気圧の環境下で使用する場合には、小穴を凹穴5の内外を連通するように、ミラー母材構造部2B,2Dのミラー機能部10Aの接合面と反対側に形成しておくことが望ましい。   In the second, fourth, and fifth embodiments, each of the light weight mirrors 1B, 1D, and 1E has an opening of the concave hole 5 as a rib structure hole, respectively, the first mirror body 11a, the first reinforcing member 22, And it demonstrated as what is plugged up by the glass plate 26. FIG. When the lightening mirrors 1B, 1D, and 1E having such a configuration are used in an environment of atmospheric pressure different from that at the time of manufacturing the lightening mirrors 1B, 1D, and 1E, the small holes communicate with the inside and outside of the recessed holes 5. Thus, it is desirable to form the mirror base material structures 2B and 2D on the side opposite to the bonding surface of the mirror function part 10A.

この発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの前面図である。It is a front view of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの背面図である。It is a rear view of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1のIII−III矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 1. この発明の実施の形態1に係る軽量化ミラーの製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2に係る軽量化ミラーの断面図である。It is sectional drawing of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3に係る軽量化ミラーの断面図である。It is sectional drawing of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 3 of this invention. この発明の実施の形態4に係る軽量化ミラーの断面図である。It is sectional drawing of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態4に係る軽量化ミラーの製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態5に係る軽量化ミラーの断面図である。It is sectional drawing of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 5 of this invention. この発明の実施の形態6に係る軽量化ミラーの正面図である。It is a front view of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 6 of this invention. この発明の実施の形態7に係る軽量化ミラーの正面図である。It is a front view of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 7 of this invention. 図11のXII−XII矢視断面図である。It is XII-XII arrow sectional drawing of FIG. 図11のA部拡大図である。It is the A section enlarged view of FIG. この発明の実施の形態8に係る軽量化ミラーの断面図である。It is sectional drawing of the weight reduction mirror which concerns on Embodiment 8 of this invention. 図14のXV−XV矢視断面図である。It is XV-XV arrow sectional drawing of FIG. 図15のB部拡大図である。It is the B section enlarged view of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1A〜1H 軽量化ミラー、3A〜3D リブ構造体、5 凹穴(リブ構造穴)、8a,8b 母材貫通穴(リブ構造穴)、10A〜10D ミラー機能部、11b 第2ミラー体(ミラー分割体)、11c 第3ミラー体(ミラー分割体)、18a 第1炭素素地母材、18b 第2炭素素地部材、19 炭素素地成形体、21 シリコン、22 第1補強部材、26 ガラスプレート(第2補強部材)、28a,28b 切り込み。   1A to 1H Lightweight mirror, 3A to 3D Rib structure, 5 Concave hole (Rib structure hole), 8a, 8b Base material through hole (Rib structure hole), 10A to 10D Mirror function part, 11b Second mirror body (Mirror (Divided body), 11c third mirror body (mirror divided body), 18a first carbon base material, 18b second carbon base member, 19 carbon base molded body, 21 silicon, 22 first reinforcing member, 26 glass plate (first 2 reinforcing members), 28a, 28b.

Claims (13)

炭素、または炭素と炭化ケイ素の混合材料を主成分とする素地母材に圧縮成形を施して板状の第1炭素素地部材を得る第1素地母材成形工程と、
上記第1炭素素地部材の厚さ方向に穴方向が一致する複数のリブ構造穴を該第1炭素素地部材に切削により形成して炭素素地成形体を得る切削加工工程と、
上記炭素素地成形体に溶融したシリコンを含浸させ、該炭素素地成形体の炭素と該シリコンとを反応焼結させてリブ構造体を得る反応焼結工程と、
ガラス材料からなるミラー機能部を、反射面を外方に向けて上記リブ構造体の一面に接合する接合工程と、
を備えることを特徴とする軽量化ミラーの製造方法。
A first base material forming step of obtaining a plate-like first carbon base member by subjecting the base material mainly composed of carbon or a mixed material of carbon and silicon carbide to compression molding;
A cutting step of forming a plurality of rib structure holes whose hole directions coincide with the thickness direction of the first carbon base member by cutting the first carbon base member to obtain a carbon base formed body;
A reaction sintering step of impregnating molten carbon into the carbon base molded body, and reacting and sintering carbon of the carbon base molded body and the silicon to obtain a rib structure;
A bonding step of bonding a mirror functional unit made of a glass material to one surface of the rib structure with a reflecting surface facing outward;
The manufacturing method of the weight reduction mirror characterized by providing.
上記反応焼結工程に先立って、上記第1炭素素地部材または上記炭素素地成形体に黒鉛化処理を施すことを特徴とする請求項1記載の軽量化ミラーの製造方法。   The method for producing a light-weight mirror according to claim 1, wherein the first carbon base member or the carbon base compact is subjected to graphitization prior to the reaction sintering step. 炭素、または炭素と炭化ケイ素の混合材料を主成分とする素地母材に圧縮成形を施して板状の第2炭素素地部材を得る第2素地母材成形工程と、
上記切削加工工程後に上記リブ構造穴の開口を塞口するように上記第2炭素素地部材を上記炭素素地成形体に接合する炭素素地体接合工程と、を有し、
上記反応焼結工程では、上記炭素素地成形体とともに上記第2炭素素地部材に溶融したシリコンを含浸させて上記炭素素地成形体及び上記第2炭素素地部材のそれぞれの炭素と該シリコンとを反応焼結させ、上記リブ構造体に一体化された第1補強部材を作製することを特徴とする請求項1記載の軽量化ミラーの製造方法。
A second base material forming step of obtaining a plate-like second carbon base member by compressing the base material mainly composed of carbon or a mixed material of carbon and silicon carbide;
A carbon green body bonding step of bonding the second carbon green body member to the carbon green body molded body so as to close the opening of the rib structure hole after the cutting process,
In the reaction sintering step, the second carbon base member is impregnated with molten silicon together with the carbon base compact, and the carbon of the carbon base compact and the second carbon base member are reacted with the silicon. The method of manufacturing a lightweight mirror according to claim 1, wherein the first reinforcing member integrated with the rib structure is manufactured.
上記反応焼結工程に先立って、上記切削加工工程前の第1炭素素地部材及び第2炭素素地母材に、または上記第1素地成形体と上記第2炭素素地部材との接合体に黒鉛化処理を施すことを特徴とする請求項3記載の軽量化ミラーの製造方法。   Prior to the reaction sintering step, graphitization is performed on the first carbon base member and the second carbon base base material before the cutting step, or on the joined body of the first base green body and the second carbon base member. 4. The method for manufacturing a light weight mirror according to claim 3, wherein the treatment is performed. 穴方向を厚さ方向とするリブ構造穴がリブ部を介して隣接するように複数形成された炭化ケイ素を主成分とするリブ構造体と、
反射面を外方に向けて上記リブ構造体の厚み方向の一面に接合され、炭化ケイ素と同一または略同等の線膨張係数を有するガラス材料からなるミラー機能部と、
を備えることを特徴とする軽量化ミラー。
A rib structure mainly composed of silicon carbide formed so that a plurality of rib structure holes whose thickness direction is the hole direction are adjacent to each other through the rib portion;
A mirror functional part made of a glass material having a linear expansion coefficient equal to or substantially the same as that of silicon carbide, which is bonded to one surface in the thickness direction of the rib structure with the reflecting surface facing outward;
A lightweight mirror comprising:
上記ミラー機能部は複数のミラー分割体に分割されていることを特徴とする請求項5記載の軽量化ミラー。   6. The lightweight mirror according to claim 5, wherein the mirror function unit is divided into a plurality of mirror divided bodies. 上記リブ構造穴が上記リブ構造体の厚み方向の両面に開口するように形成されていることを特徴とする請求項5または請求項6記載の軽量化ミラー。   7. The lightweight mirror according to claim 5, wherein the rib structure hole is formed so as to open on both surfaces of the rib structure in the thickness direction. 上記リブ構造穴が上記リブ構造体の厚み方向の他面に開口するように形成されていることを特徴とする請求項5または請求項6記載の軽量化ミラー。   7. The lightweight mirror according to claim 5, wherein the rib structure hole is formed so as to open on the other surface in the thickness direction of the rib structure. 上記リブ構造体と同じ材料からなる第1補強部材が、上記リブ構造体の厚み方向の他面に接合されていることを特徴とする請求項7または請求項8記載の軽量化ミラー。   The lightening mirror according to claim 7 or 8, wherein a first reinforcing member made of the same material as that of the rib structure is joined to the other surface in the thickness direction of the rib structure. 上記リブ構造穴が上記リブ構造体の厚み方向の一面に開口するように形成されていることを特徴とする請求項5または請求項6記載の軽量化ミラー。   7. The lightweight mirror according to claim 5, wherein the rib structure hole is formed so as to open on one surface in the thickness direction of the rib structure. 上記ミラー機能部と同じ材料からなる第2補強部材が上記第1補強部材の露出面に接合されていることを特徴とする請求項9に記載の軽量化ミラー。   The lightweight mirror according to claim 9, wherein a second reinforcing member made of the same material as that of the mirror function part is joined to an exposed surface of the first reinforcing member. 上記ミラー機能部と同じ材料からなる第2補強部材が上記リブ構造体の厚み方向の他面に接合されていることを特徴とする請求項7、請求項8、及び請求項10のいずれか1項に記載の軽量化ミラー。   The second reinforcing member made of the same material as that of the mirror function part is bonded to the other surface in the thickness direction of the rib structure, wherein the second reinforcing member is any one of claims 7, 8, and 10. The lightweight mirror according to item. 切り込みが上記ミラー機能部の他面に形成されていることを特徴とする請求項5乃至請求項12のいずれか1項に記載の軽量化ミラー。   The light-weight mirror according to any one of claims 5 to 12, wherein a cut is formed on the other surface of the mirror function part.
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