JP2010065289A - 分極曲線測定装置及び分極曲線測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電解液槽内の電流密度分布に応じた分極曲線を高精度に求めることができ、実際の電解メッキに際して被メッキ物表面に均一なメッキ膜等を形成することを可能とする分極曲線測定装置を得る。
【解決手段】電解液槽2内において、電解液3に、対極4、作用極5及びルギン管6が浸漬されており、対極4と作用極5と間の距離が、ある方向において異なるように、対極4及び作用極5が配置されている、分極曲線測定装置1。
【選択図】図1
【解決手段】電解液槽2内において、電解液3に、対極4、作用極5及びルギン管6が浸漬されており、対極4と作用極5と間の距離が、ある方向において異なるように、対極4及び作用極5が配置されている、分極曲線測定装置1。
【選択図】図1
Description
本発明は、電解メッキのメッキ状態などを解析するのに用いられる分極曲線を得るための分極曲線測定装置及び分極曲線測定方法に関する。
電解メッキの状態を把握するために、分極曲線を測定する方法が用いられている。分極曲線は、実験的に求められるものであり、電位と電流密度との関係を示す非線形の関数である。電流密度は、電位勾配と電解質の電気伝導度の積で表わされる。
電解メッキでは、カソードの電流密度から、カソード上に付着する金属のメッキ速度やメッキ膜厚を計算することができる。従って、電解液槽の構造、電解液の組成、アノード及びカソードの材料などに応じて、事前に分極曲線を測定しておくことにより、電解メッキの条件を制御することができる。
下記の特許文献1には、上記分極曲線を測定する試験装置が開示されている。図9は、特許文献1に記載の試験装置を示す概略構成図である。この試験装置1001は、水槽1002を有する。水槽1002内に、測定槽1003、補助槽1004及び参照槽1005が配置されている。測定槽1003及び補助槽1004は、試験溶液で満たされている。そして、測定槽1003内に、対極1006及び試料1007が配置されている。ルギン管1008が、測定槽1003と補助槽1004との間にかけ渡されている。なお、参照槽1005は、補助槽1004と塩橋1009により連続されており、参照槽1005に参照電極1009が配置されている。ガルバノスタット1011は、上記対極1006及び参照電極1010に接続されている。
ところで、電解メッキなどが行われる実際の電解液槽ではなく、この種の試験装置1001では、小型の測定槽1003、補助槽1004及び参照槽1005を用いて分極曲線が測定されている。このような分極曲線を得るための装置は種々提案されているが、いずれにしても、実際に行われるメッキに先立ち、小さな試験槽を用いて分極曲線を求めていた。そのため、上記のようにして求められた分極曲線を用い、例えば有限要素法などにより、大面積の被メッキ物表面のメッキ状態に対応する電流分布を解析したとしても、実際にメッキされる大面積の被メッキ物表面のメッキ状態を高精度に推定することはできなかった。
他方、下記の特許文献2には、ビーカーなどの専用の試験槽を用いずに、実際にメッキを行う電解処理槽内に、作用極である試料極と、対極と、ルギン管とを浸漬し、分極曲線を測定する方法が開示されている。
特開平9−125225号公報
特開2007−270320号公報
上述した通り、特許文献1に記載のような従来の試験装置を用いて分極曲線を測定する方法では、実際のメッキを行う電解液槽内の電流分布に応じた分極曲線を高精度に得ることはできなかった。そのため、大きな被メッキ物にメッキ膜を形成する場合に、被メッキ物の位置によって膜厚にばらつきが生じることがあった。
他方、特許文献2に記載の分極曲線測定方法では、実際にメッキが行われる電解液処理槽内において分極曲線が測定される。しかしながら、この方法では、実際のメッキに用いられる大きな電解液処理槽を用いているため、小さなスケールで、多数の試験を行うことができなかった。従って、様々なメッキ液について、分極曲線を高精度に求めることができなかった。
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、様々な電解液についての分極曲線を容易に得ることができ、しかも電解液中の電流分布を高精度に反映した分極曲線を得ることができ、従って、被メッキ物における位置によるメッキ膜のばらつきを低減することを可能とする分極曲線測定装置及び測定方法を提供することにある。
本発明に係る分極曲線測定装置は、電解液槽と、前記電解液槽内に貯留されている電解液と、前記電解液中に浸漬されている作用極と、前記電解液中に浸漬されている対極と、参照電極と、前記電解液中に浸漬されており、前記参照電極に接続されているルギン管とを備え、ある方向において、前記対極と前記作用極との間の距離が変化するように前記対極及び前記作用極が配置されており、電解液中の作用極と対極との間に流れる電流値とルギン管と作用極との間の電位差を求めることにより、電解液の分極曲線を測定する、分極曲線測定装置である。
本発明に係る分極曲線測定装置のある特定の局面では、上記作用極と上記対極とは非平行に配置されている。作用極と対極とを非平行に配置するだけで、電解液の深さ方向において、対極と作用極との間の距離が確実に変化される。
本発明に係る分極曲線測定装置の他の特定の局面では、前記電解液槽が、垂直方向に延びる第1の内壁と、第1の内壁と対向されており、第1の内壁に対して非平行に延びる第2の内壁とを有し、前記作用極が前記第1,第2の内壁の内の一方に沿うように設けられており、前記対極が前記第1,第2の内壁の内の他方に沿うように設けられている。この場合には、上記第1の内壁及び第2の内壁を有する電解液槽を用意し、第1,第2の内壁の内面に沿うように、作用極または対極を設けるだけで、作用極と対極とを容易に配置することができる。また、第1,第2の内壁に沿うように、作用極または対極が設けられるので、電解液槽内の容積を大きくすることができる。
本発明に係る分極曲線測定装置のさらに他の特定の局面では、前記電解液槽が台形柱の形状を有する。この場合には、対極と作用極との間の距離が、台形の上底と下底とを結ぶ方向において変化する電解液槽を容易に形成することができる。また、作用極と対極との間の非平行度や距離などを高精度に設定することが容易である。
本発明に係る分極曲線測定方法は、電解液槽内に貯留されている電解液に作用極と対極とルギン管とを浸漬し、ルギン管を電解液槽外に配置された参照電極に接続し、作用極と対極との間に流れる電流と、前記ルギン管と前記作用極との間の電位差とを求めることにより前記電解液の分極曲線を測定する分極曲線測定方法であって、ある方向において、前記対極と前記作用極との間の距離が変化するように前記作用極及び前記対極を配置して、前記作用極と前記対極との間に流れる電流値及び前記ルギン管と前記作用極との間の電位差を求める、分極曲線測定方法である。
本発明に係る分極曲線測定方法のある特定の局面では、前記作用極と前記対極とを非平行に配置して分極曲線が求められる。この場合は、作用極と対極とを非平行に配置するだけで、ある方向において、対極と作用極との間の距離を容易に変化させることができる。
本発明に係る分極曲線測定装置及び分極曲線測定方法によれば、ある方向において、対極と作用極との間の距離が変化するように、対極及び作用極が配置されているので、上記ある方向における作用極の位置によって、作用極と対極との間に流れる電流密度及び上記電位差が異なることになる。そのため、実際にメッキを行う際の被メッキ物における電解液槽内の場所による電流密度ばらつきを反映した分極曲線を得ることができる。従って、小さなスケールの電解液槽を用いた試験においても、分極曲線を高精度に得ることができる。よって、様々なメッキ液について小スケールの多数の実験を行い、高精度に分極曲線を得ることができる。
従って、分極曲線を高精度に求めることができるので、被メッキ物に実際にメッキするにあたり、被メッキ物における電解液槽内の場所によるメッキ膜のばらつきが生じ難い。よって、大きな面積の被メッキ物に対しても、均一な厚みのメッキ膜を高精度に形成することが可能となる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図1は、本発明の一実施形態に係る分極曲線測定装置を示す概略構成図であり、図2(a)は該分極曲線測定装置の平面図であり、(b)は、正面断面図である。
分極曲線測定装置1は、電解液槽2を有する。電解液槽2内に、電解液3が貯留されている。
電解液槽2は、電解液3を貯留し得る適宜の材料からなる。このような材料としては、アクリル系樹脂、もしくは塩化ビニル系樹脂のような合成樹脂、またはガラスなどを例示することができる。また、表面にゴムライニング層が形成された材料などを用いてもよい。電解液槽2は、本実施形態では、台形の底板2aと、上方に台形の開口部2bとを有する台形柱状の形状を有する。
底板2aの一方の辺から垂直方向に第1の内壁2cが延ばされている。第1の内壁2cと対向するように、第2の内壁2dが設けられている。第2の内壁2dは、底板2aから垂直方向に延び、かつ水平方向において第1の内壁2cとの間の距離が変化するように水平方向において傾斜されている。すなわち、電解液槽2内の水平方向において、第1,第2の内壁2c,2dの間の距離が変化するように、第1の内壁2cが第3の内壁2eから第4の内壁2f側にいくに連れて、第1の内壁2c側に近接するように傾斜されている。第3,第4の内壁2e,2fは、垂直方向に延び、互いに対向されている。
上記電解液槽2内においては、第1の内壁2cに沿うように、対極4が設けられている。対極4は矩形板状の形状を有し、底板2aに対して垂直方向に延ばされている。また、上記対極4と対向するように、第2の内壁2dの内面に沿うように、作用極5が設けられている。作用極5もまた、矩形板状の形状を有する。作用極5は、第2の内壁2dの内面に沿うように設けられているので、対極4と作用極5との間の距離は、電解液槽2内において、第3の内壁2eから第4の内壁2f側にいくにつれて小さくなっている。
上記対極4及び作用極5は、適宜の電極材料からなる。このような対極4の材料としては、白金などの不溶性陽極材料、あるいはNiメッキに際してのNi、Snメッキに際してのSnもしくはCuメッキに際してのCuのような可溶性陽極材料などを挙げることができる。作用極5に用いる材料としては、銅や真鍮などを挙げることができる。
また、上記電解液3内に、ルギン管6が浸漬されている。ルギン管6の先端から遠ざかるにつれて、ルギン管6は、上方に延ばされており、塩橋7により参照セル8により接続されている。参照セル8内には、飽和塩化カリウム水溶液が貯留されており、該飽和塩化カリウム水溶液内に、Ag/AgClからなる参照電極9が浸漬されている。
直流電源10が、電流計11を介して対極4に接続されている。また、直流電源10は、上記作用極5にも接続されている。他方、電位差計12が上記作用極5及び参照電極9に電気的に接続されている。電位差計12は、上記作用極5と参照電極9との間の電位差を測定する。この状態において、ルギン管6を、作用極5の面の近傍において、作用極5の面内方向に沿って、対極4からの距離が変化するよう走査させる。このとき、ルギン管6の走査に従い、電位の値が変化する。またこの電位の値の変化に従い、電流密度も変化する。それぞれの測定点における電流密度の値の測定が難しい場合には、測定点直下の作用極5に析出した膜厚を測定し、これより電流密度を算出してもよい。このようにして得られた電位の値と電流密度の値より、分極曲線が得られる。
上記電解液3としては、実際のメッキに用いられるメッキ液と同一組成の電解液が用いられる。このような電解液としては、電解質水溶液である限り特に限定されないが、例えば、ピロリン酸銅、硫酸銅、またはシアン化銅などを含む水溶液が用いられる。
本実施形態の分極曲線測定装置1を用いた分極曲線測定方法を説明する。上記分極曲線測定装置1を用意した後、メッキ液として用いられる電解液3を、電解液槽2内に貯留し、直流電源10から電流を流し、ポテンショ/ガルバノスタット13により電位差及び電流密度を測定し、分極曲線を得る。この場合、第3及び第4の内壁2e,2fを結ぶ方向において、対極4と作用極5との間の距離が順次変化しているため、本実施形態によれば、電解液3の様々な位置における分極特性に応じた分極曲線を確実に得ることができる。これを図3〜図8を参照して説明する。
比較のために、第1の比較例として、図3に示す従来の分極曲線測定装置及び第2の比較例として図4に示す従来の他の例に係る分極曲線測定装置を用意した。
図3に示す第1の比較例の分極曲線測定装置201では、電解液槽202内に、メッキ液203が貯留されている。そして、メッキ液203に対極204、作用極205及びルギン管206が浸漬されている。ここでは、棒状の対極204と、矩形板状の作用極205とが用いられており、作用極205は、面方向が垂直方向とされており、対極204についても垂直方向へ延ばされている。従って、対極204と作用極205との間の距離は、メッキ液203内においてほぼ一定とされている。
ルギン管206に塩橋207を介して参照セル208が接続されている。参照セル208は、上記実施形態の参照セルと同様に構成されている。さらに、図3に示した分極曲線測定装置201では、上記実施形態と同様に、直流電源10、電流計11及び電位差計12を含むポテンショ/ガルバノスタット210を用いて、分極曲線か求められる。
他方、図4に示す第2の比較例の分極曲線測定装置221は、作用極が回転電極222からなり該回転電極222がモータ223により回転駆動されることを除いては、図3に示した分極曲線測定装置201とほぼ同様に構成されている。この回転電極222は、例えば白金などからなり、棒状部の下端面に円形の電極が組み込まれている形態を有し、軸方向周りにモータ223により回転される。もっとも、回転電極222の軸方向は、垂直方向であり、従って、対極204と回転電極222との間の距離は、電解液内方向においてほぼ一定とされている。
上記実施形態及び第1,第2の比較例の分極曲線測定装置201,221を用い、分極曲線を測定した。なお、用いたメッキ液はピロリン酸銅メッキ液であり、Cu2+イオンの濃度は34g/L、pHは8.6、温度が55℃とした。また、図1及び図2において、第4の内壁2fの水平方向に沿う長さA=48mm、第1の内壁2cの水平方向に沿う長さB=65mm、第3の内壁2eの長さD=100mm、電解液槽2の深さC=65mm、第2の内壁2dの水平方向の長さE=100mmとした。結果を図5に示す。
図5から明らかなように、平衡電位からの電位差が僅かに変化した場合でも、第2の比較例の分極曲線測定装置221を用いた場合には、電流密度が大きく変化し、第1の比較例の分極曲線測定装置201を用いた場合においても、電位差が僅かに変化した場合でも、電流密度が大きく変化していた。これに対して、上記実施形態によれば、平衡電位からの電位差が変化していた場合、電流密度は緩やかに変化していることがわかる。
なお、分極曲線測定装置201では、電位走査速度を1mV/秒とし、第2の比較例では、電極回転速度を1500rpm、電位差走査速度を1mV/秒とした。
有限要素法により、図5において求められた3つの分極曲線について、図1に示した電解液槽における電流分布を解析した。電流分布の範囲としては、作用極の一端から他端までとした。
また、上記電解液槽2を上記メッキ液で満たし実際に被メッキ物に電解銅メッキを行い、作用極5に析出したCuメッキ膜の厚み分布を求めた。厚み分布の範囲は、同様に、作用極の一端から他端までの範囲で求めた。
上記のようにして、有限要素法により求められた電流分布と、実際のメッキ膜の膜厚分布とを対比した。結果を図6〜図8に示す。なお、図6は、電流値を0.1Aとし、20分通電した場合の結果を示し、図7は、0.5Aの電流を10分通電した場合の結果を示し、図8は1Aの電流を10分通電した場合の結果を示す。
図6〜図8において、横軸は、電解液槽2内における作用極の一端から他端に向けての位置を示す。すなわち、図1及び図2における作用極5の長さD=100mmとし、作用極の各長さ位置における実際に成膜されたCuメッキ膜の厚みをプロットするとともに、上記実施形態及び第1,第2の比較例における有限要素法により求められた電流分布に対応する各膜厚分布曲線を、実線、一点鎖線及び破線で示す。
図6〜図8から明らかなように、電流値が0.1A、0.5A及び1Aのいずれにおいても、第1,第2の比較例と比べ、上記実施形態によれば、実際に形成されたメッキ膜の膜厚と、有限要素法により求められた電流分布とが近接していることがわかる。すなわち、上記実施形態の分極曲線測定方法により得られた分極曲線を用いれば、実際のメッキ工程により形成されるメッキ液内の各位置におけるメッキ膜の厚み分布に等しい電流分布を得ることができる。よって、第1,第2の比較例に比べ、実際のメッキ膜厚分布に近い電流分布密度を得ることができるので、上記分極曲線測定方法により得られた分極曲線を用いることにより、高精度に、メッキ膜の膜厚を制御し得ることがわかる。
また、上記実施形態で得られた分布曲線は、第1,第2の比較例で得られた分極曲線と大きく異なっており、単に電解液を十分に攪拌したりすることなどの条件を変更しても得られない分極特性である。本実施形態において実際のメッキに際してのメッキ膜厚分布に対応した電流密度が得られる分極曲線を得ることができるのは、作用極5の各位置において、作用極5と対極4との間の距離が異なるため、電流密度分布をより正確に反映した分極曲線が得られることによると考えられる。
よって、上記本実施形態によれば、比較的小さな試験用の電解液槽2を用いて様々なメッキ液を用いて分極特性を得、該分極特性に応じて、実際にメッキを行う場合のメッキ膜の膜厚の制御を高精度に行うことが可能となる。なお、上記実施形態では、対極4を第1の内壁2cに、作用極5を第2の内壁2dに沿うように形成したが、逆に、垂直方向に延びる第1の内壁2cとに沿うように作用極を配置し、斜め方向に延びる第2の内壁2dの内面に沿うように対極を配置してもよい。
また、上記実施形態では、台形柱状の電解液槽を用いたが、図1の台形柱を横転した形状、すなわち上方の開口部が矩形であり、正面形状が台形である形状であってもよい。すなわち、本発明において、対極4と作用極5との間の距離がある方向において変化する場合のある方向は、上記実施形態のように水平方向である必要は必ずしもなく、垂直方向等の他の方向であってもよい。もっとも、ルギン管の走査が容易であるため、上記実施形態のように台形柱の形状が望ましい。
1…分極曲線測定装置
2…電解液槽
2a…底板
2b…開口部
2c…第1の内壁
2d…第2の内壁
2e,2f…第3,第4の内壁
3…電解液
4…対極
5…作用極
6…ルギン管
7…塩橋
8…参照セル
9…参照電極
10…直流電源
11…電流計
12…電位差計
13…ポテンショ/ガルバノスタット
2…電解液槽
2a…底板
2b…開口部
2c…第1の内壁
2d…第2の内壁
2e,2f…第3,第4の内壁
3…電解液
4…対極
5…作用極
6…ルギン管
7…塩橋
8…参照セル
9…参照電極
10…直流電源
11…電流計
12…電位差計
13…ポテンショ/ガルバノスタット
Claims (6)
- 電解液槽と、
前記電解液槽内に貯留されている電解液と、
前記電解液中に浸漬されている作用極と、
前記電解液中に浸漬されている対極と、
参照電極と、
前記電解液中に浸漬されており、前記参照電極に接続されているルギン管とを備え、
ある方向において、前記対極と前記作用極との間の距離が変化するように前記対極及び前記作用極が配置されている、分極曲線測定装置。 - 前記作用極と前記対極とが非平行に配置されている、請求項1に記載の分極曲線測定装置。
- 前記電解液槽が、垂直方向に延びる第1の内壁と、第1の内壁と対向されており、第1の内壁に対して非平行方向に延びる第2の内壁とを有し、前記作用極が前記第1,第2の内壁の内の一方に沿うように設けられており、前記対極が前記第1,第2の内壁の内の他方に沿うように設けられている、請求項1または2に記載の分極曲線測定装置。
- 前記電解液槽が台形柱の形状を有する、請求項3に記載の分極曲線測定装置。
- 電解液槽内に貯留されている電解液に作用極と対極とルギン管とを浸漬し、ルギン管を電解液槽外に配置された参照電極に接続し、作用極と対極との間に流れる電流と、前記ルギン管と前記作用極との間の電位差とを求めることにより前記電解液の分極曲線を測定する分極曲線測定方法であって、
ある方向において前記対極と前記作用極との間の距離が変化するように前記作用極及び前記対極を配置して、前記作用極と前記対極との間に流れる電流値及び前記ルギン管と前記作用極との間の電位差を求める、分極曲線測定方法。 - 前記作用極と前記対極とを非平行に配置して分極曲線を求める、請求項5に記載の分極曲線測定方法。
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JP7233588B1 (ja) | 2022-05-10 | 2023-03-06 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
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- 2008-09-11 JP JP2008233872A patent/JP2010065289A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2023166684A (ja) * | 2022-05-10 | 2023-11-22 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
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