JP2010062396A - 駆動装置、露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】
耐久性が高い駆動装置を提供する。
【解決手段】
光学素子を第１方向である光軸方向に変位させる駆動装置であって、前記光学素子に取り付けられる第１部材である出力部材（３）と、少なくとも１つのリンク部材と複数のジョイントからなるリンク機構を介して出力部材（３）に連結される第２部材である中間部材（３３）と、出力部材（３）を光軸方向に変位させる第１駆動手段であるピエゾアクチュエータ（５１）と、中間部材（３３）を出力部材（３）と一体的に光軸方向に変位させる第２駆動手段であるピエゾアクチュエータ（５２）と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、光学素子を駆動する駆動装置に関する。さらに、このような駆動装置を用いて投影光学系の一部を構成する光学素子を駆動する露光装置に関する。

半導体素子やマイクロデバイスの製造におけるリソグラフィ工程で使用される露光装置は、原版のパターンを基板に転写する装置である。半導体素子の集積度は年々増す一方であり、高集積度の回路パターンを作成するためには、投影光学系の収差やディストーションの低減が不可欠である。

そこで、投影光学系の収差やディストーションを低減させるため、駆動装置を用いて投影光学系の一部の光学素子を光軸方向に変位させ、あるいは傾けることが考えられる。
光学素子を駆動する駆動装置として特許文献１には、１軸方向に変位するアクチュエータを複数配置した構成が記載されている。この駆動装置は、光学素子の接線方向に変位するアクチュエータと、アクチュエータの変位を方向変換して光軸方向の変位として出力するリンク機構とを備え、リンク機構は複数のリンク部材をフレクシャで連結して構成される。
特開２００６−２６１４８１号公報

上述のような、リンク機構を備える駆動装置では、ピエゾアクチュエータを繰り返し駆動すると、フレクシャに対して繰り返し応力が発生し、長期間使用すると、フレクシャが疲労破断する可能性がある。
フレクシャが破断すると交換が必要となるため、例えば露光装置では交換時間が装置のスループットを低下させてしまう。したがって、駆動装置の耐久時間を長くすることが望まれていた。
そこで、本発明は、耐久性が高い駆動装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の駆動装置は、光学素子を第１方向に変位させる駆動装置であって、前記光学素子に取り付けられる第１部材と、少なくとも１つのリンク部材と複数のジョイントからなるリンク機構を介して前記第１部材に連結される第２部材と、前記第１部材を前記第１方向に変位させる第１駆動手段と、前記第２部材を前記第１部材と一体的に前記第１方向に変位させる第２駆動手段と、を備えることを特徴としている。

また、別の観点において本発明の駆動装置は、光学素子を第１方向に変位させる駆動装置であって、前記光学素子に取り付けられる第１部材と、第１フレクシャを介して前記第１部材に連結される第２部材と、第２フレクシャを介して前記第２部材に連結される第３部材と、前記第１部材を前記第１方向に変位させる第１駆動手段と、 前記第２部材を前記第１方向に変位させる第２駆動手段と、を備え、前記第１駆動手段を駆動したときに、前記第１フレクシャよりも前記第２フレクシャの方が変形量が大きく、前記第２駆動手段を駆動したときに、前記第２フレクシャよりも前記第１フレクシャの方が変形量が大きくなるように構成されることを特徴としている。

本発明によれば、耐久性が高い駆動装置を提供することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
図９の全体構成図を参照して、本発明の実施例の露光装置を説明する。以下に説明する露光装置は一例であり、この構成に限定されるものではない。
露光装置１００は、スリット照明下で原版であるレチクル２５をスキャン駆動し、これに同期して基板であるウェハ２８をスキャン駆動しながら露光動作を行なうスキャナ式露光装置である。露光装置１００は、照明光学系２４と、レチクル２５を搭載して移動するレチクルステージ２６と、投影光学系２１と、投影光学系２１を支持する鏡筒定盤２２と、ウェハを搭載して移動するウェハステージ２９と、を備える。

照明光学系２４は、レチクル２５に光を種々の照明モードにて照射する。レチクル架台２７は、レチクルステージ２６を鏡筒定盤２２上に支持するための架台である。投影光学系２１は複数のレンズユニット２１ａを積重ねてなり、各々のレンズユニット２１ａは、少なくとも１つのレンズと、レンズを収納する鏡筒からなる。鏡筒定盤２２は投影光学系２１を支持し、鏡筒定盤は除振機構２２ａを介して床３１に設置された本体２３に支持される。除振機構２２ａにより、床３１から投影光学系２１に伝達する振動を低減させている。ウェハステージ２９はレチクルステージ２６のスキャン動作に同期してスキャン駆動される。また、ウェハステージ２９はウェハの光軸方向の位置を調整するための微動機構を備える。

本発明の駆動装置は、上記構成における複数のレンズユニット２１ａの少なくとも１つにおいてレンズ（光学素子）を駆動するために用いられる。レンズ制御手段３０は、所定の制御フローに従って駆動装置を制御する手段である。レンズ制御手段３０は、気圧センサ等の各種センサ情報や、予め記憶された情報にもとづいてレンズの駆動を制御する。これにより、投影光学系２１の収差，ディストーション等の影響を低減することができる。

図７（ａ）〜（ｃ）は、本実施例の駆動装置を搭載したレンズユニット２１ａを示す図である。図７（ａ）はレンズ１１及びレンズ枠１２を取り除いた平面図、図７（ｂ）はレンズ１１及びレンズ枠１２を搭載した平面図、図７（ｃ）は図７（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。図７（ａ）、図７（ｂ）において紙面垂直方向がレンズの光軸方向（Ｚ方向、第１方向）となる。

レンズユニット２１ａは、レンズ１１と、レンズ１１を保持するレンズ枠１２と、レンズ１１を光軸方向に駆動する駆動装置８と、レンズ１１の位置を検出するレンズ位置検出手段１０と、これらの収納する鏡筒９とを備える。鏡筒９は、駆動装置８及びレンズ位置検出手段１０を固定する平坦部９ａと、隣接する他のレンズユニットと結合するための円筒部９ｂを有する。本実施例では、駆動装置８およびレンズ位置検出手段１０が３つ、鏡筒９の平坦部９ａに設置される。レンズ位置検出手段１０は、半導体レーザを用いた干渉型測長器、静電容量変位計、リニアエンコーダ、差動トランス変位計等が、要求精度に応じて好適に用いられる。

レンズ１１を保持するレンズ枠１２には上面６箇所にフランジ状の突起（フランジ部）が設けられる。６箇所のうちの３箇所のフランジ部は、後述する駆動装置８の出力部材（第１部材）に、レンズ枠取付ネジ１３を用いて締結される。また、他の３箇所のフランジ部はレンズ位置検出用のターゲットとして利用される。その状態を図７（ｃ）を参照して説明するが、レンズ位置検出手段１０にレーザ干渉型の位置検出センサを用いた場合の例であり、レンズ１１の光軸方向と半径方向に検出用レーザビームを投射し、その反射光の干渉情報から、レンズ枠１２の３箇所（フランジ部近傍）の光軸方向及び半径方向の位置（変位）を検出する。

以上の構成において、３つの駆動装置８を等量だけ駆動するとレンズ１１を光軸方向に並進駆動することができる。また３つの駆動装置の駆動量に差を設けることで、図７（ｂ）に示したθａ及びθｂ方向のチルト駆動が可能である。この際、レンズ位置検出手段１０の光軸方向の出力をフィードバックすることで、レンズ１１の並進駆動量及びチルト駆動量を正確に制御できる。

また、レンズ位置検出手段１０の半径方向の出力をモニタすることで、レンズ１１の光軸に直交した平面内での平行偏心に伴う像のシフト量を計算する。この計算結果を、図９に示したウェハステージ２９の駆動量に加えることで、レンズ１１の偏心に伴うレチクル像のアライメント誤差を解消する。

次に、図１を参照しつつ駆動装置８の構成について説明する。図１は図７におけるＢ−Ｂ断面図である。
駆動装置８は、レンズ１１を第１方向である光軸方向（矢印３ａおよびその逆方向）に変位させる装置である。ここで、光学素子を光軸方向に変位させるとは、レンズを部分的に変位させて、変形させる場合を含む。駆動装置８は、光軸方向に垂直な光学素子の接線方向（図１における左右方向、第２方向）に変位するピエゾアクチュエータ５１，５２を備える。
本実施例では、ピエゾアクチュエータ５１を１つ配置し、その両側にピエゾアクチュエータ５２を配置した例を示し、駆動装置はピエゾアクチュエータ５１を中心として左右対称な構成としている。

以下の説明では左右の片方の構成について説明し、他方については同様であるものとして説明を省略する。
ピエゾアクチュエータ５１の両端には入力部材１ａ，フレクシャ４ｃ，リンク部材１ｂ，フレクシャ４ｄが連結され、フレクシャ４ｄには出力部材３が連結される。出力部材３は、レンズ１１に取り付けられる部材であり、駆動装置の出力部として機能する。ピエゾアクチュエータ５１の接線方向の変位は、これらの部材およびフレクシャ（ジョイント）からなるリンク機構１ａ，１ｂ，４ｃ，４ｄによって光軸方向の変位に変換されて、出力部材３に伝わる。

出力部材３はフレクシャ６ａ，リンク部材６ｃ，フレクシャ６ｂを介して中間部材３３に連結される。また、入力部材１ａはフレクシャ４ｂ，リンク部材１ｃ，フレクシャ４ａを介して中間部材３３に連結される。ピエゾアクチュエータ５２の両端には固定部材３４と入力部材２ａが連結される。固定部材３４は、前述した鏡筒９の平坦部９ａにねじ等によって締結される。入力部材２ａは、フレクシャ５ｃ，リンク部材２ｂ，フレクシャ５ｄを介して中間部材３３に連結される。

ピエゾアクチュエータ５２の接線方向の変位は、これらの部材およびフレクシャからなるリンク機構５ｃ，リンク部材２ｂ，フレクシャ５ｄによって光軸方向の変位に変換されて、中間部材３３に伝わる。中間部材３３は、フレクシャ７ａ，リンク部材７ｃ，フレクシャ７ｂを介して固定部材３４に連結される。入力部材２ａは、フレクシャ５ｂ，リンク部材２ｃ，フレクシャ５ａを介して固定部材３４に連結される。
フレクシャとして弾性ヒンジ、板ばね等を用いることができるが、フレクシャ以外の転がりや滑りを利用したジョイント機構を用いてもよい。
ピエゾアクチュエータの代わりに、ねじやプランジャを用いたアクチュエータなどの他のアクチュエータを用いてもよい。

本実施例では、好適な例として、出力部材３、中間部材３３、固定部材３４および第１フレクシャ６ａ、６ｂ及び第２フレクシャ７ａ、７ｂ等は、単一の部材を加工することにより一体的に形成される。しかしながら、上述の説明における「連結」とは、一体形成される場合のみならず、複数の部材を締結、あるいは、溶接で接合される場合を含む。

以上の駆動装置の動作を図２〜図５を参照しつつ説明する。図２は図１のリンク機構を模式的に示した図である。
図２は、ピエゾアクチュエータ５１，５２を駆動していない状態を示す図である。図に示すように、リンク部材４ａは接線方向に対してθ_{１_０} 傾けて配置され、リンク部材１ｂは接線方向に対してθ_{２_０}傾けて配置される。

図３は、ピエゾアクチュエータ５１を接線方向にｘ１だけ変位させた状態を示す図である。ピエゾアクチュエータ５１を変位させると、ピエゾアクチュエータ５１に連結される入力部材１ａも同様に接線方向に変位する。すると、フレクシャ４ｃおよびフレクシャ４ｄが変形しながらリンク部材４ａの角度が変化して、出力部材３が光軸方向に変位する。

そのときに、フレクシャ４ａ，４ｂも変形しながらリンク部材１ｃの角度が変化し、フレクシャ６ａ，６ｂが変形しながらリンク部材６ｃの角度も変化する。いいかえると、フレクシャ４ｃおよび４ｄは、出力部材３の光軸方向への変位と入力部材１ａの接線方向への変位とが連動するように構成される。また、フレクシャ４ａ，４ｂは入力部材１ａが中間部材３３に対して光軸方向に変位することを制限するように構成される。

図４は、ピエゾアクチュエータ５２を接線方向にｘ１だけ変位させた状態を示す図である。ピエゾアクチュエータ５２を変位させると、ピエゾアクチュエータ５２に連結される入力部材２ａも同様に接線方向に変位する。すると、フレクシャ５ｃおよびフレクシャ５ｄが変形しながらリンク部材２ｂの角度が変化して、中間部材３３が光軸方向に変位する。

そして、中間部材３３に連結された出力部材３も光軸方向に変位する。そのときに、フレクシャ５ａ，５ｂも変形しながらリンク部材２ｃの角度が変化し、フレクシャ７ａ，７ｂが変形しながらリンク部材７ｃの角度も変化する。いいかえると、フレクシャ５ｃ，５ｄは、中間部材３３の光軸方向への変位と入力部材２ａの接線方向への変位が連動するように構成される。また、フレクシャ５ａ，５ｂは入力部材１ａが固定部材３４に対して光軸方向に変位することを制限するように構成される。
リンク機構は、光軸方向に対して傾けて配置され、第１ジョイントであるフレクシャ４ｃおよび４ｄを介して第１部材である入力部材１ａに連結され、第２ジョイントであるフレクシャ５ｃ，５ｄを介して第２部材である中間部材３３に連結される第１リンク部材を備える。さらに、リンク機構は、入力部材１ａの中間部材３３に対する光軸方向の変位と、中間部材３３の光軸方向に垂直な接線方向への変位とが連動するように構成される。

ここで注目すべき点は、ピエゾアクチュエータ５２を駆動することにより、中間部材３３と出力部材３を一体的に光軸方向に変位させるようにしている点である。具体的には、ピエゾアクチュエータ５１を駆動するときには、第１フレクシャであるフレクシャ４ｃ，４ｄ，６ａ，６ｂの変形量が第２フレクシャであるフレクシャ５ｃ，５ｄ，７ａ，７ｂの変形量よりも大きくなるように構成されている。さらに、ピエゾアクチュエータ５２を駆動するときにはフレクシャ５ｃ，５ｄ，７ａ，７ｂの変形量がフレクシャ４ａ，４ｄ，６ａ，６ｂの変形量よりも大きくなるように構成されている。

これにより、ピエゾアクチュエータ５２を駆動したときにフレクシャ４ｃ，４ｄ，６ア，６ｂを大きく変形させず、ピエゾアクチュエータ５１を駆動したときにフレクシャ５ｃ，５ｄ，７ａ，７ｂを大きく変形させない構成となっている。
ピエゾアクチュエータ５１と５２を使いわけることによって駆動装置の耐久性を向上させることが可能となる。

たとえば、ピエゾアクチュエータ５１を駆動頻度が高いが駆動ストロークが小さくてもよい駆動時に使用し、ピエゾアクチュエータ５２を駆動頻度が少ないが要求される駆動ストロークが大きい駆動時にしようするといったことが考えられる。
ピエゾアクチュエータ５２の駆動回数が数万回以下の場合を想定すると、０.２％耐力もしくはそれ以上の耐力まで使用できるため、ピエゾアクチュエータ５１と比較して１.５倍もしくはそれ以上の駆動ストロークをとることが出来る。

ここで、理想的に式で表すと
入力部材１ａへの入力量：ｘ１
リンク部材１ｃの駆動前角度：θ_{１_０}
リンク部材１ｃの長さ：ｌ_{１_０}（一定）
リンク部材１ｂの駆動前角度：θ_{２_０}
リンク部材１ｂの長さ：ｌ_{２_０}（一定）
リンク部材１ｃの駆動後角度：θ_{１_１}
リンク部材１ｂの駆動後角度：θ_{２_１}
入力部材１ａへの入力による出力部材３の駆動量： ｘ３_１ａ（矢印３ａ方向を＋とする）として、下記の式で表される。
ｘ３_１ａ≒−ｘ１×（tａn^-１（θ_{１_０}）+ tａn^-１（θ_{２_０}））

ここで、図１、図２、図３、図４の実施例においては、θ_{１_０}≒９０°として記載しているが、これにかぎられない。例えば０°≦θ_{１_０}≦９０°ならば、ｘ３_１ａは−（図面下方向）に駆動量が調整される。また、９０°≦θ_{１_０}≦１８０°ならばｘ３_１ａは＋（図面上方向）に駆動量が調整される。
θ_{１_０}と同様に、θ_{２_０}も調整が可能である。

また、ｘ１、θ_{１_０、}θ_{２_０}を機構配置上の制約などで一定としなければならない場合、ｌ_{１_０}及びｌ_{２_０}の長さを変更することで、ｘ１、θ_{１_０、}θ_{２_０}を変更することなくｘ３_１ａを増減することが可能である。例えば、０°≦θ_{２_０}≦９０°ならばｌ_{２_０}を増やすことで、ｘ３_１ａを＋方向に増加させることが可能である。
ｌ_{１_０}、ｌ_{２_０}を増やした場合、フレクシャ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ各々に生じる変形は小さく出来るので、駆動機構の耐久、寿命、駆動範囲上はｌ_{１_０}、ｌ_{２_０}は大きい方が良い傾向にある。しかし、露光装置のような、十分なスペースが確保できない装置においては、ｌ_{１_０}、ｌ_{２_０}、θ_{１_０}、θ_{２_０}、ｘ１の最適化が必要となる。

ここで、入力部の分解能が十分にある場合、本実施例の駆動装置としては入力量ｘ１に対して駆動量ｘ３_１ａが多い方が好適で、『組合せ（１）：９０≦θ_{１_０}≦１８０°、０°≦θ_{２_０}≦９０°』もしくは『組合せ（２）：０°≦θ_{１_０}≦９０°、９０°≦θ_{２_０}≦１８０°』の組合せが好適である。
組合せ（１）、（２）の選択は『入力部材を押し引きどちらで利用できるか』及び『出力部材を図面上下どちら方向に動かしたいか』によって判断される。

また、入力部材の分解能が不十分で、分解能を向上させたい場合、『組合せ（３）：９０°≦θ_{１_０}≦１８０°、０°≦θ_{２_０}≦９０°』もしくは『組合せ（２）：０°≦θ_{１_０}≦９０°、９０°≦θ_{２_０}≦１８０°』の組合せが好適である。
組合せ（１）、（２）の選択は『入力部材を押し引きどちらで利用できるか』及び『出力部材３を矢印３ａ方向あるいはその逆方向に動かしたいか』によって判断される。

なお、入力部材１ａへの入力は、ピエゾアクチュエータ５１から直接入力されても良いし、不図示のリンク機構あるいは他の変位伝達機構を介して入力されても良い。
同様に、入力部材２ａへの入力は、ピエゾアクチュエータ５２から直接入力されても良いし、不図示のリンク機構あるいは他の変位伝達機構を介して入力されても良い。

本実施例では出力部材３に対してリンク機構を左右対称に配置している。これにより、駆動反力が相殺されて無駄な変形を防ぐことができ、さらに、出力部材３の変位が光軸方向以外の方向成分をもつことを抑えることができる。しかしながら、部材３の両側に配置したリンク機構を部材３に対して非対称に配置してもよい。また、左右の入力部材に異なる変位量を与えても良い。

以上のように、本実施例の駆動装置は、レンズ（光学素子）に取り付けられる出力部材３（第１部材）と、少なくとも１つのリンク部材と複数のフレクシャ（ジョイント）からなるリンク機構４ｃ，１ｂ，４ｄを介して出力部材と連結される入力部材１ａ（第２部材）とを備える。そして、出力部材を光軸方向（第１方向）に変位させるピエゾアクチュエータ５１（第１駆動手段）と、入力部材１ａを出力部材３と一体的に光軸方向（矢印３ａおよびその逆方向）に変位させる第２駆動手段であるピエゾアクチュエータ５２とを備える。

前述のように、入力部材１ａがリンク機構４ａ，１ｃ，４ｂを介して中間部材３３に連結され、リンク機構４ｃ，１ｂ，４ｄを介して出力部材３に連結されている。そのため、第２駆動手段であるピエゾアクチュエータ５２は、中間部材３３、入力部材１ａ、出力部材３を一体的に変位させることができる。
これにより、ピエゾアクチュエータ５２を駆動させたときにはリンク機構４ｃ，１ｂ，４ｄの疲労を低減できるため、駆動装置の耐久性を向上させることができる。

また、本実施例の駆動装置は、レンズ（光学素子）に取り付けられる出力部材（第１部材）と、フレクシャ６ａ，６ｂ（第１フレクシャ）を介して出力部材に連結される中間部材（第２部材）と、複数のフレクシャ７ａ，７ｂ（ジョイント）からなる第２リンク機構を介して中間部材（第２部材）に連結される固定部材３４（第３部材）と、出力部材を光軸方向に変位させるピエゾアクチュエータ５１（第１駆動手段）と、固定部材３４に対して中間部材を光軸方向に変位させるピエゾアクチュエータ５２と、を備える。
これにより、ピエゾアクチュエータ５２を駆動させたときにはフレクシャ６ａ，６ｂの疲労を低減できるため、駆動装置の耐久性を向上させることができる。

そして、ピエゾアクチュエータ５１を駆動したときに、フレクシャ７ａ，７ｂよりもフレクシャ６ａ，６ｂの方が変形量が大きく、ピエゾアクチュエータ５２を駆動したときに、フレクシャ６ａ，６ｂよりもフレクシャ７ａ，７ｂの方が変形量が大きくなるように構成される。

本実施例によれば、フレクシャ５ｃ，５ｄ，７ａ，７ｂを含むリンク機構と、フレクシャ４ａ，４ｄ，６ａ，６ｂを含むリンク機構とを概ね独立に構成しているため、フレクシャに加わる応力を分散させることができる。また、ピエゾアクチュエータ５１と５２の変位は直列に部材３に伝わるため、一方のピエゾアクチュエータで大きなストロークで変位させつつ、他方のピエゾアクチュエータで微調整を行うことも可能である。

次に、図５を参照して、本発明の実施例２を説明する。
実施例１においてピエゾアクチュエータ５１の変位方向が接線方向であったのに対して、実施例２ではピエゾアクチュエータ５１の変位方向が光軸方向である点が異なる。

次に、図６を参照して、本発明の実施例３を説明する。
実施例１が左右対称であるのに対して、実施例３では左右非対称である。

次に、図８を参照して、本発明の実施例４を説明する。
実施例１における図７の構成がレンズを変位させる構成であったのに対して、本実施例４では、レンズを積極的に変形させる構成となっている。
具体的には、レンズ枠固定部１４を設けることにより、本実施例の駆動装置８を駆動した際にレンズ枠固定部１４が概ね変位しないようにしている。この構成により、レンズ１１およびレンズ枠１２を変形させる。

ここで、レンズ枠固定部１４は鏡筒９に対して概ね剛体として直接結合しても良いし、図８には不図示の別の駆動装置を介して取り付けても良い。駆動装置８を介してレンズ枠固定部１４と鏡筒９を結合した場合、レンズ枠固定部１４に設けられた不図示の駆動装置の駆動量が概ねゼロになるように制御をかければ、概ね剛体として結合した場合と同様の挙動を示し、任意の量を駆動すれば光学要素であるレンズ１１に対する駆動と変形を同時に行うことが出来る。
なお、図７及び図８の実施例では、駆動装置８を３個有するが、駆動装置８の配置数は１つ以上であればいくつでもよい。

（デバイス製造方法の実施例）
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して、感光剤を塗布した基板（ウェハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより形成、製造される。他の周知の工程には、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等を含む。

本発明の実施例１の駆動装置の断面構成図である。 本発明の実施例１の駆動装置の模式的構成図である。 入力部材１ａを駆動したときの本発明の実施例１の模式的構成図である。 入力部材２ａを駆動したときの本発明の実施例１の模式的構成図である。 入力部材の変位方向を変更した本発明の実施例２の駆動装置の模式的構成図である。 左右非対称に変更した本発明の実施例３の駆動装置の模式的構成図である。 本発明の実施例の駆動装置をレンズ駆動装置に適用した構成図である。 本発明の実施例の駆動装置をレンズ変形装置に適用した構成図である。 本発明の実施例の駆動装置を搭載する半導体露光装置の全体構成図である。

符号の説明

１ａ，２ａ：入力部材
３：出力部材
４ａ,４ｂ,４ｃ,４ｄ，５ａ,５ｂ,５ｃ,５ｄ，６ａ,６ｂ，７ａ,７ｂ：フレクシャ
１ｂ，１ｃ，２ｂ，２ｃ，６ｃ，７ｃ：リンク部材
８：駆動装置 ９：鏡筒 １０：レンズ位置検出手段
１１：レンズ １２：レンズ枠 １３：レンズ枠取り付けネジ
１４：レンズ枠固定部 ２１：投影光学系
２２：鏡筒定盤 ２３：本体 ２４：照明光学系
２５：レチクル ２６：レチクルステージ ２７：レチクル架台
２８：ウェハ ２９：ウェハステージ ３０：レンズ制御手段
３３：中間部材 ３４：固定部材

Claims (6)

1. 光学素子を第１方向に変位させる駆動装置であって、
   前記光学素子に取り付けられる第１部材と、
   少なくとも１つのリンク部材と複数のジョイントからなるリンク機構を介して前記第１部材に連結される第２部材と、
   前記第１部材を前記第１方向に変位させる第１駆動手段と、
   前記第２部材を前記第１部材と一体的に前記第１方向に変位させる第２駆動手段と、を備えることを特徴とする駆動装置。
2. 少なくとも１つのリンク部材と複数のジョイントからなる第２リンク機構を介して前記第２部材に連結される第３部材を備え、
   前記第２駆動手段は前記第３部材に対して前記第２部材を変位させることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記リンク機構は、
   前記第１方向に対して傾けて配置され、第１ジョイントを介して前記第１部材に連結され、第２ジョイントを介して前記第２部材に連結される第１リンク部材を備え、
   前記第１部材の前記第２部材に対する前記第１方向の変位と、前記第２部材の第１方向に垂直な第２方向への変位とが連動するように構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。
4. 光学素子を第１方向に変位させる駆動装置であって、
   前記光学素子に取り付けられる第１部材と、
   第１フレクシャを介して前記第１部材に連結される第２部材と、
   第２フレクシャを介して前記第２部材に連結される第３部材と、
   前記第１部材を前記第１方向に変位させる第１駆動手段と、
   前記第２部材を前記第１方向に変位させる第２駆動手段と、を備え、
   前記第１駆動手段を駆動したときに、前記第１フレクシャよりも前記第２フレクシャの方が変形量が大きく、
   前記第２駆動手段を駆動したときに、前記第２フレクシャよりも前記第１フレクシャの方が変形量が大きくなるように構成されることを特徴とする駆動装置。
5. 原版に光を照射する照明光学系と、
   原版からの光を基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、
   前記投影光学系が、請求項１乃至４のいずれか１つに記載の駆動装置を備えることを特徴とする露光装置。
6. 請求項５記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   露光された前記基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。

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