JP2010060666A - 照明装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型・簡易な構成で、騒音や振動の発生もなく異なる波長の光を選択的または同時に射出させることができるようにする。
【解決手段】分離された光路L1,L2毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路L1,L2に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する液体レンズ4,9を備えることで、各々の液体レンズ4,9の焦点距離を電気的制御によって変化させるだけで異なる波長λ1,λ2の各々の光路L1,L2毎の光の遮断・通過の制御が可能となるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】分離された光路L1,L2毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路L1,L2に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する液体レンズ4,9を備えることで、各々の液体レンズ4,9の焦点距離を電気的制御によって変化させるだけで異なる波長λ1,λ2の各々の光路L1,L2毎の光の遮断・通過の制御が可能となるようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微測光装置や分光測光装置、画像解析装置等の測光システムに用いられ、例えば赤外域から紫外域に至る波長域の光の中から所定波長域の光を抽出して射出させる照明装置に関するものである。
波長の異なる複数の光をサンプルに対して交互に照射して、測光情報や画像情報を得る技術が知られている。このための照明装置として、例えば特許文献1に示されるものがある。特許文献1に示される装置では、光源からの光路をダイクロイックミラー(光路分離手段)で2つの光路に分離し、さらに各々の光路上に設けられた波長変換素子によって波長λ1,λ2の光を生成し、さらに回転円板上に設けられた開口部を通して波長λ1,λ2の光が各々結合レンズを経て集光し、目的とする光ファイバに入射するように構成されている。ここで、回転円板は、円周上に複数の光透過用の開口部を有するが、いずれの開口部も他方の光路に対向しないように配置されていることを特徴としている。これにより、例えば波長λ1の光路が開口部に一致する時にはλ2の光路は開口部に対向せず回転円板によって遮断され、逆に、波長λ2の光路が開口部に一致する時にはλ1の光路は開口部に対向せず回転円板によって遮断されるように開口部が位置決め配置されており、回転円板の回転に伴って2種類の波長光を交互に射出させることができる。
しかしながら、特許文献1に示される装置では、回転円板を回転駆動するための駆動モータが必要で装置が大型化・重量化してしまう。また、駆動系が発熱するため、放熱ユニットが必要であり、さらには駆動に伴い騒音・振動が発生してしまう。さらには、波長切換えのタイミングは常に一定間隔である上に、2種類以上の波長に対応することは難しい。また、異なる波長の複数の光を同時に射出させることもできない。
また、特許文献2によれば、稼動ミラーとアパーチャとを用いたシャッタデバイスが示されているが、この場合も、ガルバノスキャナミラーやDMDなどの稼動ミラーを用いる必要があり、稼動部およびその駆動源を要するものであり、駆動に伴い騒音・振動が発生してしまい、小型・簡易に構成する上では不十分である。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型・簡易な構成で、騒音や振動の発生もなく異なる波長の光を選択的または同時に射出させることができる照明装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる照明装置は、異なる波長の照明光を射出する光源からの光路を波長に応じた複数の光路に分離する光路分離手段と、分離された前記複数の光路を統合して射出部に導く光路合成手段と、分離された前記光路毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する可変焦点レンズと、を備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる照明装置は、上記発明において、前記可変焦点レンズは、液体レンズであることを特徴とする。
また、本発明にかかる照明装置は、上記発明において、分離された前記光路毎に、前記可変焦点レンズよりも後段の光軸上に配設させた光路制限手段をさらに備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる照明装置は、上記発明において、前記光源からの照明光を平行光にする液体レンズからなるレンズと、前記射出部に設けられて射出光を集光させる液体レンズからなるレンズとをさらに備え、これらレンズの焦点距離を前記可変焦点レンズの焦点距離の変化に同期させて変化させる同期制御手段を備えることを特徴とする。
本発明にかかる照明装置によれば、分離された光路毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する可変焦点レンズを備えるので、各々の可変焦点レンズの焦点距離を電気的制御によって変化させるだけで波長の異なる各々の光路毎の光の遮断・通過の制御が可能となり、よって、機械的な駆動機構を必要としない小型・簡易な構成で、騒音や振動の発生もなく、異なる波長の光を選択的に射出させることや、異なる波長の光を同時に射出させることができるという効果を奏する。
以下、本発明にかかる照明装置を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
図1は、本実施の形態1にかかる照明装置の構成例および動作例を示す概略側面図であり、図2は、その動作の他例を示す概略側面図である。本実施の形態1にかかる照明装置は、まず、光源1から射出される異なる波長λ1,λ2を含む波長域の照明光を平行光にするコリメートレンズ2を備える。また、コリメートレンズ2の光路上には、この光路を、波長λ1,λ2に応じた複数の光路L1,L2に分離する光路分離手段としてのダイクロイックミラー3,8が配置されている。ダイクロイックミラー3は、波長λ1の光を反射し、他の波長域の光を透過させることで、波長λ1用の光路L1を分離形成するためのものである。また、ダイクロイックミラー8は、波長λ2の光を反射し、他の波長域の光を透過させることで、波長λ2用の光路L2を分離形成するためのものである。なお、λ1,λ2用の2波長のみを射出する光源1を用いる場合であれば、ダイクロイックミラー8は単なるミラーであってもよい。
図1は、本実施の形態1にかかる照明装置の構成例および動作例を示す概略側面図であり、図2は、その動作の他例を示す概略側面図である。本実施の形態1にかかる照明装置は、まず、光源1から射出される異なる波長λ1,λ2を含む波長域の照明光を平行光にするコリメートレンズ2を備える。また、コリメートレンズ2の光路上には、この光路を、波長λ1,λ2に応じた複数の光路L1,L2に分離する光路分離手段としてのダイクロイックミラー3,8が配置されている。ダイクロイックミラー3は、波長λ1の光を反射し、他の波長域の光を透過させることで、波長λ1用の光路L1を分離形成するためのものである。また、ダイクロイックミラー8は、波長λ2の光を反射し、他の波長域の光を透過させることで、波長λ2用の光路L2を分離形成するためのものである。なお、λ1,λ2用の2波長のみを射出する光源1を用いる場合であれば、ダイクロイックミラー8は単なるミラーであってもよい。
また、光路L1上には、液体レンズ4とピンホール5とコリメートレンズ6とミラー7とが順に配設されている。液体レンズ4は、制御器15による電気的制御によって印加する電圧を変えることにより焦点距離が変化する可変焦点レンズである。液体レンズ4の光軸φ1は、この液体レンズ4より前段側の光路L1上の光軸と特定の距離f1だけ離れた位置で交差して液体レンズ4より後段側の光路L1の光軸とをずらすように斜め配置されている。また、ピンホール5は、液体レンズ4より後段側で液体レンズ4から特定の距離f1だけ離れた位置に配置された光路制限手段であり、液体レンズ4の光軸φ1から所定量オフセットさせた位置(液体レンズ4より後段側の光路L1の光軸上の位置)に開口が位置するように配設されている。コリメートレンズ6は、ピンホール5より後段側で光路L1上に配置されたもので、発散光を平行光にするためのものである。ミラー7は、波長λ1の光の光路L1を、最終的に射出部に配置されている結合レンズ13と光ファイバ14とによって構成される光路に一致させるよう偏向させるためのものである。
一方、光路L2上には、液体レンズ9とピンホール10とコリメートレンズ11とダイクロイックミラー12とが順に配設されている。液体レンズ9は、制御器16による電気的制御によって印加する電圧を変えることにより焦点距離が変化する可変焦点レンズである。液体レンズ9の光軸φ2は、この液体レンズ9より前段側の光路L2上の光軸と特定の距離f1だけ離れた位置で交差して液体レンズ9より後段側の光路L2の光軸とをずらすように斜め配置されている。また、ピンホール10は、液体レンズ9より後段側で液体レンズ9から特定の距離f1だけ離れた位置に配置された光路制限手段であり、液体レンズ9の光軸φ2から所定量オフセットさせた位置(液体レンズ9より後段側の光路L2の光軸上の位置)に開口が位置するように配設されている。コリメートレンズ11は、ピンホール10より後段側で光路L2上に配置されたもので、発散光を平行光にするためのものである。ダイクロイックミラー12は、波長λ2の光の光路L2を、最終的に射出部に配置されている結合レンズ13と光ファイバ14とによって構成される光路に一致させるように反射させるとともに、ミラー7で偏向された波長λ1の光の光路L1を結合レンズ13と光ファイバ14とによって構成される光路に一致させる光路合成手段である。
なお、光ファイバ14の先は、測光対象機器、例えば蛍光顕微鏡や紫外線顕微鏡、さらにそれらの顕微鏡が組み込まれた半導体基板やFPD(フラットパネルディスプレイ)のガラス基板等の検査装置などに接続されている。
このような構成において、図1は、波長λ1,λ2の両方の光を光ファイバ14に入射させる動作例を示している。まず、光源1から射出された照明光は、コリメートレンズ2で平行光となり、ダイクロイックミラー3によって波長λ1の光は反射され、それ以外の波長光は透過することで、光路が分離される。光路L1上を進行する波長λ1の光は、斜め配置された液体レンズ4に入射する。このとき、図1に示すように、液体レンズ4の焦点距離が制御器15によって特定の距離f1に設定されていれば、波長λ1の光は、液体レンズ4から特定の距離f1離れた位置に配置されたピンホール5の開口をそのまま透過する。すなわち、波長λ1用の光路L1は、開状態となる。ピンホール5を透過した波長λ1の光は、コリメートレンズ6によって再び平行光にされた後、ミラー7によって偏向され、最終的にダイクロイックミラー12を透過し、結合レンズ13によって集光されて光ファイバ14に入射する。
一方、ダイクロイックミラー3を透過した波長λ1以外の光は、ダイクロイックミラー8によって波長λ2の光のみが反射され、光路L2上を進行する。光路L2上を進行する波長λ2の光は、斜め配置された液体レンズ9に入射する。このとき、図1に示すように、液体レンズ9の焦点距離が制御器16によって特定の距離f1に設定されていれば、波長λ2の光は、液体レンズ9から特定の距離f1離れた位置に配置されたピンホール10の開口をそのまま透過する。すなわち、波長λ2用の光路L2は、開状態となる。ピンホール10を透過した波長λ2の光は、コリメートレンズ11によって再び平行光にされた後、ダイクロイックミラー12で反射され、結合レンズ13によって集光されて光ファイバ14に入射する。
このようにして、波長λ1,λ2用の光路L1,L2は、ともに開状態となり、波長λ1,λ2の光が、ダイクロイックミラー12によって合成されて、同時に光ファイバ14に入射することとなる。
一方、図2は、波長λ1の光のみを光ファイバ14に入射させる動作例を示している。ここで、波長λ1用の光路L1側の状態は、図1の場合と同じであるので、説明を省略する。波長λ2用の光路L2側にあっては、波長λ2の光が斜め配置された液体レンズ9に入射するが、制御器16によって液体レンズ9の焦点距離が、特定の距離f1よりも短い距離f2に可変設定されているため、図2に示すように、ピンホール10よりも手前位置で収束・発散しており、かつ、主光線がピンホール10の開口の軸から外れているため、波長λ2の光はピンホール10を透過できず、光路L2は遮断された閉状態となる。よって、波長λ1の光のみが光ファイバ14に入射することとなる。
なお、図2では、液体レンズ9の焦点距離が特定の距離f1よりも短くなるように可変させた場合に光路L2が閉状態となるように説明したが、液体レンズ9の焦点距離が特定の距離f1よりも長くなるように可変させた場合に光路L2が閉状態となるように設定してもよい。また、液体レンズ9の焦点距離を特定の距離f1から微妙に変化させることで、波長λ2の光がピンホール10上に投影されるスポット径の大きさが変化することを利用し、ピンホール10へ入射する光の量をコントロールすることで光量調整を行うようにしてもよい。なお、光路L1を閉状態とさせる場合は、上記光路L2が閉状態となる動作と同様に液体レンズ4を駆動させればよい。これにより、液体レンズ4,9の焦点距離を交互に切換えて可変させれば光路L1と光路L2のそれぞれの開閉状態を切換えることができる。
このようにして、本実施の形態1によれば、液体レンズ4,9を用い、制御器15,16によって液体レンズ4,9の焦点距離を適宜電気的に可変制御することで、光ファイバ14へ入射させる光の波長を、波長λ1のみ、波長λ2のみ、あるいは、波長λ1,λ2の両方、というように任意に切換えることができ、その切換えタイミングも自由に制御することができる。
本実施の形態1の照明装置によれば、波長に応じて分離された光路L1,L2毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路L1,L2に対して斜め配置されて制御器15,16による電気的制御により焦点距離が変化する液体レンズ4,9を備えるので、各々の液体レンズ4,9の焦点距離を電気的制御によって変化させるだけで異なる波長λ1,λ2の各々の光路毎の光の遮断・通過の制御が可能となり、よって、機械的な駆動機構を必要としない小型・簡易な構成で、騒音や振動の発生もなく、異なる波長λ1,λ2の光を選択的に射出させることや、異なる波長λ1,λ2の光を同時に射出させることができるものである。
(実施の形態2)
図3は、本実施の形態2にかかる照明装置の構成例および動作例を示す概略側面図であり、図4は、その動作の他例を示す概略側面図である。実施の形態1で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。
図3は、本実施の形態2にかかる照明装置の構成例および動作例を示す概略側面図であり、図4は、その動作の他例を示す概略側面図である。実施の形態1で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。
通常、レンズは波長毎に焦点距離が異なる。そのため、照明光の平行光への変換を固定焦点距離のレンズで行うと、以下の問題が生ずる。すなわち、コリメートレンズ2の焦点距離を波長λ1の光に適合させると、波長λ2の光では平行度がずれ、逆に、コリメートレンズ2の焦点距離を波長λ2の光に適合させると、波長λ1の光では平行度がずれてしまう。いずれにしても、平行度がずれると、光路上で広がってしまい、ケラレなどが生じてしまうと照明光の伝達効率が低下してしまうことがある。また、結合レンズ13に関しても、固定焦点距離のレンズを用いると、異なる波長の光が入射した場合、光ファイバ14の端面で集光位置の違いによりケラレが発生し、複数の波長光に対して結合効率を最適化することができなくなってしまう。
そこで、本実施の形態2の照明装置は、コリメートレンズ2に代えて液体レンズ17を設けるとともに、結合レンズ13に代えて液体レンズ18を設けたものである。液体レンズ17は、コリメートレンズ2と同じく光源1からの照明光を平行光にするためのものであり、制御器19による電気的制御によって印加する電圧を変えることにより焦点距離が変化する。液体レンズ18は、結合レンズ13と同じく光ファイバ14に向かう射出光を集光させるためのものであり、制御器20による電気的制御によって印加する電圧を変えることにより焦点距離が変化する。ここで、液体レンズ17,18の焦点距離の変化は、液体レンズ4,9の焦点距離の変化に同期させて行われるもので、制御器15,16,19,20は、互いに連動して制御を行う同期制御手段を構成している。
まず、図3に示す動作例の場合について説明する。図3は、図2に示した場合と同様に、制御器15,16による液体レンズ4,9の電気的制御で、波長λ1用の光路L1が開状態、波長λ2用の光路L2が閉状態にある場合を示している。このような場合、まず、制御器19は、制御器15,16による制御に連動同期して、光源1と液体レンズ17との距離が照明光中の波長λ1の光を平行光にするのに最適な焦点距離となるように、液体レンズ17の焦点距離を変化させる。ここでは、波長λ1の光のみが最適化され、他の波長の光についての平行度は考慮されない。
一方、液体レンズ18に関しては、ダイクロイックミラー12を透過した波長λ1の光が光ファイバ14の端面付近で集光し、波長λ1の光の全てが光ファイバ14に入射するように、制御器20は、制御器15,16による制御に連動同期して液体レンズ18の焦点距離を変化させる。この場合も、波長λ1の光のみが最適化され、他の波長の光については考慮されない。
また、図4に示す動作例の場合について説明する。図4は、図3の場合と逆に、制御器15,16による液体レンズ4,9の電気的制御で、波長λ1用の光路L1が閉状態、波長λ2用の光路L2が開状態にある場合を示している。このような場合、まず、制御器19は、制御器15,16による制御に連動同期して、光源1と液体レンズ17との距離が照明光中の波長λ2の光を平行光にするのに最適な焦点距離となるように、液体レンズ17の焦点距離を変化させる。ここでは、波長λ2の光のみが最適化され、他の波長の光についての平行度は考慮されない。
一方、液体レンズ18に関しては、ダイクロイックミラー12で反射された波長λ2の光が光ファイバ14の端面付近で集光し、波長λ2の光の全てが光ファイバ14に入射するように、制御器20は、制御器15,16による制御に連動同期して液体レンズ18の焦点距離を変化させる。この場合も、波長λ2の光のみが最適化され、他の波長の光については考慮されない。
このようにして、液体レンズ4,9の焦点距離の変化に対して、液体レンズ17,18の焦点距離を同期させて変化させることで、各々の波長の光を光ファイバ14に効率よく導くことができる。すなわち、波長の異なる光の伝達効率を高めながら、波長切換えを行うことができる。
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、上述の実施の形態では、λ1,λ2なる2種類の波長の例で説明したが、扱う波長の種類に応じて分離される光路を増やし、その光路毎に液体レンズ等の可変焦点レンズを配設することで、2波長以上の波長切換えにも対応することが可能である。
1 光源
3 ダイクロイックミラー
4 液体レンズ
5 ピンホール
8 ダイクロイックミラー
9 液体レンズ
10 ピンホール
12 ダイクロイックミラー
14 光ファイバ
15,16 制御器
17,18 液体レンズ
19,20 制御器
3 ダイクロイックミラー
4 液体レンズ
5 ピンホール
8 ダイクロイックミラー
9 液体レンズ
10 ピンホール
12 ダイクロイックミラー
14 光ファイバ
15,16 制御器
17,18 液体レンズ
19,20 制御器
Claims (4)
- 異なる波長の照明光を射出する光源からの光路を波長に応じた複数の光路に分離する光路分離手段と、
分離された前記複数の光路を統合して射出部に導く光路合成手段と、
分離された前記光路毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する可変焦点レンズと、
を備えることを特徴とする照明装置。 - 前記可変焦点レンズは、液体レンズであることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 分離された前記光路毎に、前記可変焦点レンズよりも後段の光軸上に配設させた光路制限手段をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の照明装置。
- 前記光源からの照明光を平行光にする液体レンズからなるレンズと、前記射出部に設けられて射出光を集光させる液体レンズからなるレンズとをさらに備え、これらレンズの焦点距離を前記可変焦点レンズの焦点距離の変化に同期させて変化させる同期制御手段を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224050A JP2010060666A (ja) | 2008-09-01 | 2008-09-01 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224050A JP2010060666A (ja) | 2008-09-01 | 2008-09-01 | 照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010060666A true JP2010060666A (ja) | 2010-03-18 |
Family
ID=42187557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008224050A Withdrawn JP2010060666A (ja) | 2008-09-01 | 2008-09-01 | 照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010060666A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106264742A (zh) * | 2015-06-23 | 2017-01-04 | 三鹰光器株式会社 | 手术用立体观察装置 |
CN111982281A (zh) * | 2020-08-13 | 2020-11-24 | 广州爱闪思光电科技有限公司 | 一种波长可调的光源系统 |
-
2008
- 2008-09-01 JP JP2008224050A patent/JP2010060666A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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