JP2010060494A - 姿勢計測装置 - Google Patents

姿勢計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010060494A
JP2010060494A JP2008228192A JP2008228192A JP2010060494A JP 2010060494 A JP2010060494 A JP 2010060494A JP 2008228192 A JP2008228192 A JP 2008228192A JP 2008228192 A JP2008228192 A JP 2008228192A JP 2010060494 A JP2010060494 A JP 2010060494A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
light
illumination
pattern light
difference image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008228192A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5141452B2 (ja
Inventor
Hiroki Yokoi
宏紀 横井
Toshio Endo
利生 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2008228192A priority Critical patent/JP5141452B2/ja
Priority to EP09169347.3A priority patent/EP2161537B1/en
Priority to US12/585,113 priority patent/US8472701B2/en
Publication of JP2010060494A publication Critical patent/JP2010060494A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5141452B2 publication Critical patent/JP5141452B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2513Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/50Depth or shape recovery
    • G06T7/521Depth or shape recovery from laser ranging, e.g. using interferometry; from the projection of structured light

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

【課題】多関節の物体の姿勢を様々な場面において高速、高精度に、かつ低コストの装置によって計測する。
【解決手段】測定対象の物体に面放射光を照射する面放射光照明部と、測定対象の物体にパターン光を照射するパターン光照明部と、測定対象の物体を撮像する撮像部と、面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理部と、面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出部と、パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出部と、抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理部とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、人間の手や腕、ロボットのアーム等の多関節の物体の姿勢を計測する技術に関する。
物体の形状・姿勢の自動計測技術としては、一般に3次元形状計測法に基づく方式が知られている。
第1の方式として、ライン状のレーザ光をガルバノミラーで動かしつつ対象物体に照射しながら対象物体をカメラで撮像し、画像中のライン光反射位置(曲線)から対象物体の詳細な3次元形状を計測する光切断法が知られている。この方式の利点は、極めて高精度に対象物体の形状を計測できることである。
また、第2の方式として、対象物体へ一様な光を照射し、その際の対象物体をカメラで撮像し、近い箇所は明るく、遠い箇所は暗く写る性質を利用して画像上の各位置での奥行きを求める方式がある。
また、3次元形状計測法に基づかない第3の方式として、対象物体に複数のマーカを取り付け、そのマーカの位置を計測する方式が知られている。
これらの方式により、対象物体の形状等を計測し、形状のデータから関節位置を検出し、その角度を求める等の計算処理により物体の姿勢を求めることができる。
特開2004−328657号公報 特開2007−174566号公報
上述した従来の方式には、それぞれ以下のような問題点がある。
第1の方式は、レーザ照射機構等が必要となり、装置が特殊であり、装置のサイズが大きい、コストが非常に高い、スキャンに時間がかかる、といった問題があり、適用範囲は特殊用途に限られるという問題がある。
第2の方式は、対象物体の表面の材質、模様等が個体等によらず不変であることが仮定されており、個体差や表面の物性変化等がある場合には正確に計測ができなくなるため、適用範囲は極めて限定されるという問題がある。
第3の方式は、対象物体にマーカを取り付ける必要があるため手間がかかり、またそもそもマーカの取り付けが不可能な場合には適用できないという問題がある。
一方、特許文献1には、撮影対象にストロボ光を照射して第1画像を撮像し、同対象に光を照射せずに第2画像を撮像し、両画像の差分から第3画像を得て、この第3画像から同対象の奥行き情報を算出する技術が開示されている。しかしながら、奥行きを輝度から算出しているため、対象の反射率、形状等により正確に計測することができないという、上述した第2の方式と同様の問題がある。
また、特許文献2には、フラッシュに切替前の個眼像と切替後の個眼像との差分に基づき、フラッシュで赤くなる目を検出し、検出された目の位置に基づいて画像中の顔領域を抽出する技術が開示されている。しかしながら、顔輪郭は通常の画像処理により検出しているため、対象の状態、背景の変化等により正確に検出できず、精度が低くなるという問題がある。
上記の従来の問題点に鑑み、人間の手や腕、ロボットのアーム等の多関節の物体の姿勢を様々な場面において高速、高精度に、かつ低コストの装置によって計測することを目的とする。
この姿勢計測装置の一実施態様では、測定対象の物体に面放射光を照射する面放射光照明部と、測定対象の物体にパターン光を照射するパターン光照明部と、測定対象の物体を撮像する撮像部と、面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理部と、面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出部と、パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出部と、抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理部とを備える。
開示の姿勢計測装置にあっては、多関節の物体の姿勢を様々な場面において高速、高精度に、かつ低コストの装置によって計測することができる。
以下、本発明の好適な実施形態につき説明する。
<構成>
図1は本発明の一実施形態にかかる姿勢計測装置の構成例を示す図である。
図1において、姿勢計測装置1は、照明・撮像制御部101と面放射光照明部102とパターン光照明部103と撮像部104と画像記録部105と照明差分画像処理部106と輪郭・特徴点抽出部107と3次元パターン反射位置算出部108とカメラ・パターン照明位置関係パラメタ保持部109とモデルマッチング処理部110とモデルデータ保持部111と姿勢パラメタ出力部112とを備えている。
照明・撮像制御部101は、面放射光照明部102およびパターン光照明部103による照明のオン・オフの制御と、撮像部104による撮像の制御を行う機能を有している。
面放射光照明部102は、測定対象となる多関節物体2に対し、撮影範囲を隙間なく照らす面放射光を照射する機能を有している。
パターン光照明部103は、測定対象となる多関節物体2に対し、反射箇所を識別可能な局所離散的な2次元のパターン光を照射する機能を有している。
撮像部104は、測定対象となる多関節物体2を撮像し、画像データを出力する機能を有している。撮像する画像は、基本的には、面放射光照明部102による面放射光を照射した状態と、パターン光照明部103によるパターン光を照射した状態と、いずれの照明も行わない状態との3種類である。ただし、面放射光照明部102による面放射光とパターン光照明部103によるパターン光の強度を変える等により、面放射光照明部102による面放射光とパターン光照明部103によるパターン光を同時に照射した状態と、いずれの照明も行わない状態との2種類とすることもできる。
図2は面放射光照明部102、パターン光照明部103および撮像部104の構成例を示す図である。(a)は撮像部104の前面(撮像方向側)に設けられた面放射光照明部102から多関節物体2に対して面放射光を照射している状態を示している。(b)は撮像部104の前面に設けられたパターン光照明部103から、複数のスポット光からなるパターン光を照射している状態を示している。各スポット光の多関節物体2上の反射点は、スポット光の配置を円環状にする等により、撮像画像(後述する差分画像)の解析によりパターン上の箇所(照射元)を識別できるようになっている。(c)は(b)に代わる例を示しており、撮像部104の前面に設けられたパターン光照明部103から、格子状のパターン光を照射している状態を示している。この場合も、各格子光の多関節物体2上の反射点は、撮像画像(差分画像)の解析によりパターン上の箇所(格子座標X、Y)を識別できるようになっている。なお、対象の多関節物体2が曲がっている場合や、傾いている場合には格子もそれに応じて歪むが、隣接する格子点の位置関係は不変なため、それらの変動によらず対応を求めることができる。その他に、図示はしていないが、モアレパターン光をパターン光として用いることもできる。モアレパターン光は上記の格子光に類似するが、レーザ光を回折格子に通すなどすると、格子の形状や間隔により様々なモアレと呼ばれるパターンを投影することができる。
パターン光に含まれる各パターンの識別は、大別して、トポロジー性による識別と、局所判別性による識別とがある。トポロジー性による識別とは、パターン光に含まれる各パターンの配置(隣接関係)から各パターンを識別することをいう。トポロジー性による識別が行えるパターン光にはトポロジー連続性があるといえる。パターン光に含まれる各パターンの照射元(照射原点)の3次元座標および2次元画像上の2次元座標と、各パターンの照射方向の3次元方向および2次元画像上の2次元方向は既知であり、照射原点座標が小さい光線の反射点ほど内側に現れる性質を持つため、2次元画像上で照射原点が内側(カメラ光軸に近い)のパターンの照射元から順に照射方向に沿って辿り、そこに反射点があれば、その照射元からのパターンに対応する反射点であると特定することができる。多関節物体2の関節変動が小さく、凸形状的な性質が満たされる対象の場合には、このトポロジー性による識別を用いることができる。ただし、このような性質を満たさず、複雑な形状変化を起こし、観測パターン中にトポロジー性を失う形の欠損が発生する場合には、次の局所判別性による識別を用いる必要がある。
局所判別性による識別とは、パターン光に含まれるパターンの各々の、形状、大きさ、位置等についてのユニークさから各パターンを識別することをいう。局所判別性による識別が行えるパターン光には局所判別性があるといえる。
図2(b)に示したスポット光によるパターン光の例では、トポロジー性による識別が行える場合には、各スポット光に違いを付ける必要はない。局所判別性による識別が必要な場合には、スポット光の場所に応じ、形状を変える(異なる一部に欠けもしくは突出を設ける等)、形状を同じにして大きさを変える等の工夫を行えばよい。
図2(c)に示した格子光によるパターン光の例では、トポロジー性による識別が行える場合には、各格子光に違いを付ける必要はない。局所判別性による識別が必要な場合には、格子光の場所毎に格子の形状を変える、格子の間隔を変える等の工夫を行えばよい。
なお、モアレパターン光をパターン光として用いる場合には、モアレパターン自体にユニークさを有しているため、トポロジー性による識別と局所判別性による識別の両者に用いることができる。
図1に戻り、画像記録部105は、撮像部104で撮像された3種類もしくは2種類の画像データを記憶する機能を有している。
照明差分画像処理部106は、画像記録部105に記憶された3種類もしくは2種類の画像データから、面放射光を照射した場合と照射していない場合の画像データの差分である面放射光照明差分画像データと、パターン光を照射した場合と照射していない場合の画像データの差分であるパターン光照明差分画像データとを生成する機能を有している。面放射光とパターン光とを同時に照射した場合には、強度等の違いを利用して差分画像データを生成する。
輪郭・特徴点抽出部107は、照明差分画像処理部106で得られた面放射光照明差分画像データから、画像処理により多関節物体2の輪郭と関節の曲がり部分の特徴点を抽出する機能を有している。輪郭および特徴点は、輪郭特徴点座標データリストとして次段に出力される。
3次元パターン反射位置算出部108は、照明差分画像処理部106で得られたパターン光照明差分画像データから、画像処理および数値計算によりパターン光による各反射点の3次元座標を算出する機能を有している。各反射点の3次元座標は、パターン反射点3次元座標リストとして次段に出力される。
カメラ・パターン照明位置関係パラメタ保持部109は、3次元パターン反射位置算出部108による数値計算に必要となるパラメタを保持している。具体的には、後述する計算式で用いられる、撮像部104のレンズの焦点距離f、距離比率(3次元上の距離と2次元画像上の距離(画素数等)の比率)Cpx、Cpy、各光源(識別子i)についての照射原点座標(Lxi、Lyi、Lzi)、照射方向ベクトル(Lxdi、Lydi、Lzdi)等が保持されている。これらは、予め測定されて求められた値が保持される。
モデルマッチング処理部110は、輪郭・特徴点抽出部107で抽出された輪郭および特徴点を示す輪郭特徴点座標データリストと、3次元パターン反射位置算出部108で算出された各反射点の3次元座標を示すパターン反射点3次元座標リストとから、モデルデータ保持部111に保持された多関節物体2のモデルデータとマッチング処理を行うことにより、多関節物体2の姿勢パラメタを決定する機能を有している。
モデルデータ保持部111は、多関節物体2を構成する各パーツ(ブロック)の特徴点の座標および多関節物体2全体の傾き、各関節の角度等のデータを保持している。図3はモデルデータ保持部111に保持されるモデルデータの例を示す図であり、パーツ表面座標リスト、全体の傾き、関節の角度等が含まれている。なお、上記のように形状を離散的な数値列で表す方法には多種多様な既存の方法がある。例えば、複数の閉じた平面の組み合わせで表現する方法や、それをさらに進め、双三次のスプライン曲面表現等により、比較的少数の点で代表的に表現することにより、曲がった形状も効率的に表現することができる。そのような表現を適用することで、一般に後段のモデルマッチングにおいて、より高速に処理を行うことができる。
図1に戻り、姿勢パラメタ出力部112は、モデルマッチング処理部110で決定された姿勢パラメタを外部に出力する機能を有している。
多関節物体2は、面放射光照明部102による面放射光やパターン光照明部103によるパターン光をある程度拡散的に反射する性質を有していることを前提としている。すなわち、光を吸収するような材質や、鏡面反射のみで反射光が撮像部104で捉えられないような材質である場合は除外される。なお、人体表面は拡散反射する性質を有するため、適用可能である。また、多関節物体2は撮像部104に近接し、その他の物体が多関節物体2と撮像部104の間に入らず、多関節物体2のすぐ後ろ等の照明差分画像中の輪郭やパターン反射点の抽出を妨げる位置にその他の物体がないこと(照明差分画像から、面放射光照明差分画像には多関節物体2のシルエットが明暗境界として映ること、またパターン光照明差分画像には多関節物体2に反射したパターンが映ること)を仮定する。
<動作>
図4は姿勢計測装置1の全体的な処理例を示すフローチャートである。
図4において、先ず、照明・撮像制御部101は面放射光照明部102およびパターン光照明部103のオン・オフを制御し、撮像部104により多関節物体2の撮像を行う(ステップS1)。より詳しくは、面放射光照明部102のみをオンして面放射光による照明下で撮像部104により多関節物体2の撮像を行い(ステップS11)、パターン光照明部103のみをオンしてパターン光による照明下で撮像部104により多関節物体2の撮像を行い(ステップS12)、面放射光照明部102およびパターン光照明部103をオフして無照明下(自然光は存在してよい)で多関節物体2の撮像を行う(ステップS13)。なお、これらの撮像の順序は自由に変えてよい。面放射光による照明下での撮像で面放射光照射画像データが得られ、パターン光による照明下での撮像でパターン光照射画像データが得られ、無照明下での撮像で照明非照射画像データが得られ、これらは画像記録部105に一時的に記録される。
図5は面放射光照射画像、パターン光照射画像および照明非照射画像の例を示す図であり、(a)は面放射光照射画像、(b)はパターン光照射画像、(c)は照明非照射画像の例である。(a)の面放射光照射画像では、面放射光の照射により多関節物体(2)が明るく撮像されるが、外光によるノイズも含まれている。なお、この時点では画像の2値化は行っていないため、多関節物体(2)の表面には凹凸に起因する陰影や関節部分の切れ目等も映されるが、図面上は省略してある。(b)のパターン光照射画像では、パターン光の照射により多関節物体(2)上の反射点が明るく撮像されるが、外光によるノイズも含まれている。なお、反射点の部分には多関節物体(2)の凹凸に起因する陰影や関節部分の切れ目等も映されるが、図面上は省略してある。(c)の照明非照射画像では、外光による多関節物体(2)およびその他の部分の画像が撮像されている。
次いで、図4に戻り、照明差分画像処理部106は画像記録部105に記憶された画像データから差分画像を生成する(ステップS2)。すなわち、照明差分画像処理部106は、面放射光照射画像データと照明非照射画像データとから両者の差分である面放射光照明差分画像データを生成し(ステップS21)、パターン光照射画像データと照明非照射画像データとから両者の差分であるパターン光照明差分画像データを生成する(ステップS22)。
図6は面放射光照明差分画像およびパターン光照明差分画像の例を示す図であり、(a)は面放射光照明差分画像データ、(b)はパターン光照明差分画像データの例である。すなわち、(a)の面放射光照明差分画像データでは、図5(a)(c)の差分をとることにより、外光によるノイズが相殺され、面放射光による反射成分のみが残る。なお、この時点では画像の2値化は行っていないため、多関節物体(2)の表面には凹凸に起因する陰影や関節部分の切れ目等も映されているが、図面上は省略してある。図6(b)のパターン光照明差分画像データでは、図5(b)(c)の差分をとることにより、外光によるノイズが相殺され、パターン光による反射成分のみが残る。なお、反射点の部分には多関節物体(2)の凹凸に起因する陰影や関節部分の切れ目等も映されるが、図面上は省略してある。
次いで、図4に戻り、輪郭・特徴点抽出部107および3次元パターン反射位置算出部108は、照明差分画像処理部106で得られた面放射光照明差分画像データおよびパターン光照明差分画像データに基づき、特徴位置の算出を行う(ステップS3)。すなわち、輪郭・特徴点抽出部107は照明差分画像処理部106で得られた面放射光照明差分画像データから、画像処理により多関節物体2の輪郭と関節の曲がり部分の特徴点を抽出し(ステップS31)、3次元パターン反射位置算出部108は照明差分画像処理部106で得られたパターン光照明差分画像データから、画像処理および数値計算によりパターン光による各反射点の3次元座標を算出する(ステップS32)。
以下、輪郭・特徴点抽出部107の処理をより詳細に説明する。先ず、輪郭・特徴点抽出部107は面放射光照明差分画像から2値化、境界検出等により輪郭位置を抽出する(ステップS311)。すなわち、2値化により多関節物体2の表面と背景が分離されることになり、表面と背景のシルエット境界に沿って画素を辿ることにより輪郭を抽出する。次いで、輪郭・特徴点抽出部107は抽出した輪郭位置に沿って関節による曲がりの発生する特徴点を抽出し、輪郭特徴点座標データリストを作成する(ステップS312)。輪郭特徴点座標データリストは、(x21、y21、P1)、(x22、y22、P2)、・・といった形式をしており、x21、x22、・・は特徴点の2次元画像上のx座標、y21、y22、・・は特徴点の2次元画像上のy座標、P1、P2、・・は特徴点の識別子である。図7は輪郭・特徴点抽出の例を示す図であり、(a)の面放射光照明差分画像から(b)のように輪郭を抽出し、(c)のように特徴点(○で表示)を抽出する。特徴点が対向する部分は関節に相当し、対向する特徴点を線で結ぶことによりパーツに分割することができる。
以下、3次元パターン反射位置算出部108の処理をより詳細に説明する。先ず、3次元パターン反射位置算出部108はパターン光照明差分画像データから2値化、境界検出等により反射点の個々のパターンを抽出し(ステップS321)、画像中を探索することで照明照射元IDと対応付けを行い(ステップS322)、カメラ・パターン照明位置関係パラメタ保持部109のパラメタに基づいて各パターン反射位置の3次元座標を算出し、パターン反射点3次元座標リストを作成する(ステップS323)。パターン反射点3次元座標リストは(x31、y31、z31)、(x32、y32、z32)、・・といった形式をしており、x31、x32、・・は反射点の3次元上のx座標、y31、y32、・・は反射点の3次元上のy座標、z31、z32、・・は反射点の3次元上のz座標である。
反射点の照明照射元IDとの対応付け(ステップS322)は、トポロジー性による識別と、局所判別性による識別とでは手法が異なる。局所判別性による識別の場合は、反射点のパターンの形状、大きさ等から直接に照明照射元IDとの対応付けを行うことができる。トポロジー性による識別の場合は以下のように行う。
図8は焦点P、照射原点Pおよび反射点Pの3次元的関係と画像上の2次元的関係の例を示す図である。(a)は撮像方向に対して横方向から見た図であり、基準点となる焦点Pから若干ずれた位置にある照射原点Pから照射方向ベクトルVの方向にパターン光の1パターンが照射され、多関節物体2の表面に当たって反射点Pとなる。(b)は(a)の状態を撮像側の2次元画像上に投影したものであり、照射原点Pの延長線上に反射点Pが存在する。なお、焦点Pを基準とした反射点Pの2次元座標をx、yとしている。
2次元画像上の照射原点Pの2次元座標および照射方向ベクトルVの方向(2次元座標成分)はパターン光の個々のパターンにつき既知であるため、各パターンの照射原点Pから照射方向ベクトルVの方向を辿って反射点Pに行き着くかどうかを確認することにより、反射点Pがどのパターン光の中のどのパターンに対応するかを識別することができる。
図9はスポット状のパターン光の場合の照射元の特定の例を示す図であり、(a)のパターン光照明差分画像から、(b)のように照射元の光線が特定できた状態を示している。図10は格子状のパターン光の場合の照射元の特定の例を示す図であり、(a)のパターン光照明差分画像から、(b)のように照射元の格子座標が特定できた状態を示している。
図4に戻り、各パターン反射位置の3次元座標の算出(ステップS323)は次のように行う。すなわち、図8(a)の3次元的な配置関係から、iを照明照射元IDとし、照射原点Pの3次元座標を(Lxi、Lyi、Lzi)、照射方向ベクトルVを(Lxdi、Lydi、Lzdi)、反射点Pの3次元座標を(x3i、y3i、z3i)、照射原点Pから反射点Pまでの距離(スカラ値)を変数l(エル)とすると、
の関係式がある。
また、反射点Pの2次元画像上の2次元座標(画像上から測定)を(x2i、y2i)、撮像部104のレンズの焦点距離をf、3次元上の距離と2次元画像上の距離(画素数等)の比率をx座標、y座標方向それぞれCpx、Cpyとすることで、
の関係式がある。
これらの式のうち、未知数はx3i、y3i、z3i、l(エル)の4個であり、式の数は5個(ベクトル式(1)は3個に分解可)であるため、解くことが可能であり、反射点Pの3次元座標(x3i、y3i、z3i)を求めることができる。
次いで、図4に戻り、モデルマッチング処理部110は、輪郭・特徴点抽出部107で抽出された輪郭および特徴点を示す輪郭特徴点座標データリストと、3次元パターン反射位置算出部108で算出された各反射点の3次元座標を示すパターン反射点3次元座標リストとから、モデルデータ保持部111に保持された多関節物体2のモデルデータとマッチング処理を行うことで、全体姿勢パラメタと各関節角度リストを生成する(ステップS4)。全体姿勢パラメタは(Xa,Ya,Za,D0,D1,D2)といった形式をしており、Xa、Ya、Zaは3次元位置、D0、D1、D2は傾きを示している。各関節角度リストは(d0,d1,d2,d4,・・)といった形式をしており、d0、d1、d2、d4、・・は各関節の角度を示している。
図11はモデルマッチングの概要を示す図であり、輪郭および特徴点の2次元画面上の位置による制約、各パーツ上の反射点の3次元座標による制約をモデルデータに当てはめることにより、モデルデータの姿勢パラメタが決定される様子を示している。すなわち、特徴点により分割された領域と、各領域の輪郭座標値と、対応付けられたパターン点3次元座標値の組を単位として、モデルデータ(数値モデル)の平行移動・回転・各関節角度の各パラメタの内、適合する姿勢・形状パラメタを部分毎に当てはめ、算出することで、多関節物体2の姿勢、形状パラメタを求める。一般に、多関節物体の各部位は剛体と仮定でき、従って内部数点の3次元位置および輪郭の画像上位置から部分的な平行移動、位置、傾きのパラメタを算出することができる。ただし、本処理では、関節を介して剛体の部位が連結しているため、パラメタ算出においては各部位のパラメタを整合させる必要がある。このような制約の下での複数部位のパラメタ算出は、例えばロボットの姿勢制御等で用いられる、一般的な動的パラメタマッチング手法を用いて算出することができる。
ブロック(剛体部分)の輪郭特徴候補位置の座標リストに対しモデルデータを適合させ、3次元平行移動・回転変換パラメタ(姿勢パラメタ)を求める方法は、各種既存の技術がある。それを用いる場合の例を以下に示す。
(i)中央のブロックの輪郭特徴の画像上特徴位置等に対し、モデルデータの該当ブロックを適合させる姿勢パラメタを求める。
(ii)中央ブロックに連結するブロックの姿勢パラメタは、中央ブロックの姿勢パラメタを基準として連結部の関節角度パラメタ分の自由度になる。既存の変換パラメタ計算技法を応用し、(i)で求めた中央ブロックの姿勢パラメタとモデルデータおよび各ブロックの輪郭特徴候補位置データからこの関節角度パラメタを求める。これにより、各ブロックの姿勢パラメタが求まる。
(iii)姿勢パラメタが既に求まっているブロックに未計算のブロックが連結していれば、(ii)と同様に、既計算ブロックを基準((ii)の中央ブロックにあたる)として、未計算ブロックの姿勢パラメタを計算する。
(iv)全ブロックの姿勢パラメタが計算完了すれば終了する。
なお、(i)〜(iii)は、途中で端のパラメタから、全体の当てはまりが良くなるよう、逆に内側のパラメタを補正する等、様々なバリエーションが存在するが、基本的な性質として、連結するブロック間で整合が取れるよう、パラメタを徐々に求めることで、一般に精度良く、かつ高速にパラメタを求めることができる。
次いで、図4に戻り、姿勢パラメタ出力部112はモデルマッチング処理部110の生成した全体姿勢パラメタおよび各関節角度リストを外部に出力し(ステップS5)、一連の処理を終了する。
<総括>
以上説明したように、開示の実施形態によれば、次のような利点がある。
(1)照明差分画像中の輪郭および少数のパターン反射位置の3次元座標値を求め、これらから姿勢を計測するため、データ量が必要最小限となり、高速に処理することができる。
(2)輪郭およびパターン反射位置は、照明反射の有無により計測するため、個体によって様々に変化する部位毎の反射特性に拠らず高精度に計測可能である。従って、各部位の光学特性が様々に異なっていても適用可能である。
(3)レーザスキャン機構のような特殊な装置を必要としないため、低コストで実現することができる。
(4)総じて、様々に変形する多関節物体の姿勢を、低コストで、高速かつ高精度に計測することができる。
以上、本発明の好適な実施の形態により本発明を説明した。ここでは特定の具体例を示して本発明を説明したが、特許請求の範囲に定義された本発明の広範な趣旨および範囲から逸脱することなく、これら具体例に様々な修正および変更を加えることができることは明らかである。すなわち、具体例の詳細および添付の図面により本発明が限定されるものと解釈してはならない。
(付記1)
測定対象の物体に面放射光を照射する面放射光照明部と、
測定対象の物体にパターン光を照射するパターン光照明部と、
測定対象の物体を撮像する撮像部と、
面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理部と、
面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出部と、
パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出部と、
抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理部と
を備えたことを特徴とする姿勢計測装置。
(付記2)
前記照明差分画像処理部は、面放射光による照明下で撮像した面放射光照射画像と、パターン光による照明下で撮像したパターン光照射画像と、無照明下で撮像した照明非照射画像とに基づき、面放射光照射画像と照明非照射画像とから面放射光照明差分画像を生成し、パターン光照射画像と照明非照射画像とからパターン光照明差分画像を生成する
ことを特徴とする付記1に記載の姿勢計測装置。
(付記3)
前記照明差分画像処理部は、面放射光とパターン光とを同時に照射して撮像した画像から、面放射光とパターン光の強度の違いを利用して面放射光照明差分画像およびパターン光照明差分画像を生成する
ことを特徴とする付記1に記載の姿勢計測装置。
(付記4)
前記パターン光は、トポロジー連続性を有し、
前記3次元パターン反射位置算出部は、トポロジー性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
ことを特徴とする付記1乃至3のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
(付記5)
前記パターン光は、局所判別性を有し、
前記3次元パターン反射位置算出部は、局所判別性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
ことを特徴とする付記1乃至3のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
(付記6)
前記パターン光は、複数のスポット光である
ことを特徴とする付記1乃至5のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
(付記7)
前記パターン光は、格子光である
ことを特徴とする付記1乃至5のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
(付記8)
前記パターン光は、モアレパターン光である
ことを特徴とする付記1乃至5のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
(付記9)
測定対象の物体に面放射光もしくはパターン光を照射する照明工程と、
測定対象の物体を撮像する撮像工程と、
面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理工程と、
面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出工程と、
パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出工程と、
抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理工程と
を備えたことを特徴とする姿勢計測方法。
(付記10)
前記照明差分画像処理工程は、面放射光による照明下で撮像した面放射光照射画像と、パターン光による照明下で撮像したパターン光照射画像と、無照明下で撮像した照明非照射画像とに基づき、面放射光照射画像と照明非照射画像とから面放射光照明差分画像を生成し、パターン光照射画像と照明非照射画像とからパターン光照明差分画像を生成する
ことを特徴とする付記9に記載の姿勢計測方法。
(付記11)
前記照明差分画像処理工程は、面放射光とパターン光とを同時に照射して撮像した画像から、面放射光とパターン光の強度の違いを利用して面放射光照明差分画像およびパターン光照明差分画像を生成する
ことを特徴とする付記9に記載の姿勢計測方法。
(付記12)
前記パターン光は、トポロジー連続性を有し、
前記3次元パターン反射位置算出工程は、トポロジー性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
ことを特徴とする付記9乃至11のいずれか一項に記載の姿勢計測方法。
(付記13)
前記パターン光は、局所判別性を有し、
前記3次元パターン反射位置算出工程は、局所判別性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
ことを特徴とする付記9乃至11のいずれか一項に記載の姿勢計測方法。
本発明の一実施形態にかかる姿勢計測装置の構成例を示す図である。 面放射光照明部、パターン光照明部および撮像部の構成例を示す図である。 モデルデータ保持部に保持されるモデルデータの例を示す図である。 姿勢計測装置の全体的な処理例を示すフローチャートである。 面放射光照射画像、パターン光照射画像および照明非照射画像の例を示す図である。 面放射光照明差分画像およびパターン光照明差分画像の例を示す図である。 輪郭・特徴点抽出の例を示す図である。 焦点、照射原点および反射点の3次元的関係と画像上の2次元的関係の例を示す図である。 スポット状のパターン光の場合の照射元の特定の例を示す図である。 格子状のパターン光の場合の照射元の特定の例を示す図である。 モデルマッチングの概要を示す図である。
符号の説明
1 姿勢計測装置
101 照明・撮像制御部
102 面放射光照明部
103 パターン光照明部
104 撮像部
105 画像記録部
106 照明差分画像処理部
107 輪郭・特徴点抽出部
108 3次元パターン反射位置算出部
109 カメラ・パターン照明位置関係パラメタ保持部
110 モデルマッチング処理部
111 モデルデータ保持部
112 姿勢パラメタ出力部

Claims (6)

  1. 測定対象の物体に面放射光を照射する面放射光照明部と、
    測定対象の物体にパターン光を照射するパターン光照明部と、
    測定対象の物体を撮像する撮像部と、
    面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理部と、
    面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出部と、
    パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出部と、
    抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理部と
    を備えたことを特徴とする姿勢計測装置。
  2. 前記照明差分画像処理部は、面放射光による照明下で撮像した面放射光照射画像と、パターン光による照明下で撮像したパターン光照射画像と、無照明下で撮像した照明非照射画像とに基づき、面放射光照射画像と照明非照射画像とから面放射光照明差分画像を生成し、パターン光照射画像と照明非照射画像とからパターン光照明差分画像を生成する
    ことを特徴とする請求項1に記載の姿勢計測装置。
  3. 前記照明差分画像処理部は、面放射光とパターン光とを同時に照射して撮像した画像から、面放射光とパターン光の強度の違いを利用して面放射光照明差分画像およびパターン光照明差分画像を生成する
    ことを特徴とする請求項1に記載の姿勢計測装置。
  4. 前記パターン光は、トポロジー連続性を有し、
    前記3次元パターン反射位置算出部は、トポロジー性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
  5. 前記パターン光は、局所判別性を有し、
    前記3次元パターン反射位置算出部は、局所判別性による識別によりパターン光に含まれるパターンと反射位置との対応関係を特定し、既知の位置関係より反射位置の3次元座標を算出する
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の姿勢計測装置。
  6. 測定対象の物体に面放射光もしくはパターン光を照射する照明工程と、
    測定対象の物体を撮像する撮像工程と、
    面放射光を照射した場合と照射していない場合の面放射光照明差分画像、および、パターン光を照射した場合と照射していない場合のパターン光照明差分画像を生成する照明差分画像処理工程と、
    面放射光照明差分画像から測定対象の物体の輪郭および特徴点を抽出する輪郭・特徴点抽出工程と、
    パターン光照明差分画像から測定対象の物体上の反射点の3次元座標を算出する3次元パターン反射位置算出工程と、
    抽出された輪郭および特徴点、ならびに、算出された反射点の3次元座標に基づき、予め測定対象の物体の姿勢パラメタをモデル化したモデルデータとマッチングを行うことにより、姿勢パラメタを特定するモデルマッチング処理工程と
    を備えたことを特徴とする姿勢計測方法。
JP2008228192A 2008-09-05 2008-09-05 姿勢計測装置及び姿勢計測方法 Active JP5141452B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008228192A JP5141452B2 (ja) 2008-09-05 2008-09-05 姿勢計測装置及び姿勢計測方法
EP09169347.3A EP2161537B1 (en) 2008-09-05 2009-09-03 Optical position measuring apparatus based on projection of grid patterns
US12/585,113 US8472701B2 (en) 2008-09-05 2009-09-03 Position measuring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008228192A JP5141452B2 (ja) 2008-09-05 2008-09-05 姿勢計測装置及び姿勢計測方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010060494A true JP2010060494A (ja) 2010-03-18
JP5141452B2 JP5141452B2 (ja) 2013-02-13

Family

ID=41278544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008228192A Active JP5141452B2 (ja) 2008-09-05 2008-09-05 姿勢計測装置及び姿勢計測方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8472701B2 (ja)
EP (1) EP2161537B1 (ja)
JP (1) JP5141452B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016099306A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 株式会社ミツトヨ 画像測定装置及び測定装置
WO2017170519A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 加熱調理器
CN112161619A (zh) * 2020-09-16 2021-01-01 杭州思锐迪科技有限公司 位姿检测方法、三维扫描路径规划方法和检测系统

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8284988B2 (en) * 2009-05-13 2012-10-09 Applied Vision Corporation System and method for dimensioning objects using stereoscopic imaging
US9250324B2 (en) 2013-05-23 2016-02-02 GM Global Technology Operations LLC Probabilistic target selection and threat assessment method and application to intersection collision alert system
WO2015000890A1 (en) 2013-07-02 2015-01-08 Roche Diagnostics Gmbh Estimation of food volume and carbs
CN105874349B (zh) * 2015-07-31 2018-06-12 深圳市大疆创新科技有限公司 探测装置、探测系统、探测方法,以及可移动设备
WO2017056544A1 (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 富士フイルム株式会社 測距装置、測距方法、及び測距プログラム
US9928441B2 (en) 2015-11-20 2018-03-27 Infinity Augmented Reality Israel Ltd. Method and a system for determining radiation sources characteristics in a scene based on shadowing analysis
KR102000067B1 (ko) 2017-01-16 2019-09-17 엘지전자 주식회사 이동 로봇
JP2019084609A (ja) * 2017-11-06 2019-06-06 セイコーエプソン株式会社 ロボット制御装置、ロボットおよびロボットシステム
CN109990705B (zh) * 2019-03-21 2020-07-14 上海交通大学 基于视觉的机器人末端测温枪坐标系标定方法及系统
DE102021003728B4 (de) * 2021-07-20 2023-04-20 Daimler Truck AG Verfahren zum Betreiben einer Gated-Kamera, Steuervorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens, Gated-Kamera-Vorrichtung mit einer solchen Steuervorrichtung und Kraftfahrzeug mit einer solchen Gated-Kamera-Vorrichtung
CN114544052B (zh) * 2022-01-19 2023-03-28 清华大学 触觉传感器、机器人、实现触觉信息获取的方法及装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136220A (ja) * 1994-11-14 1996-05-31 Mazda Motor Corp 物品の位置検出方法およびその装置
JPH08185503A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Mitsubishi Electric Corp 画像処理装置
JPH0942940A (ja) * 1995-08-03 1997-02-14 Canon Inc 3次元物体の形状計測方法及び装置
JPH10206135A (ja) * 1997-01-21 1998-08-07 Agency Of Ind Science & Technol 3次元物体位置姿勢決定方法
JPH1123238A (ja) * 1997-04-25 1999-01-29 General Electric Co <Ge> 3次元の整形体を測定並びに監視するシステム
JP2002081923A (ja) * 2000-09-08 2002-03-22 Toru Yoshizawa モアレ縞の投影による物体の三次元形状測定法及びその装置
JP2004117235A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置
JP2005315728A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Hiroshima Univ 表面形状計測装置、表面形状計測方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5548667A (en) * 1991-05-24 1996-08-20 Sony Corporation Image processing system and method thereof in which three dimensional shape is reproduced from two dimensional image data
JPH0922453A (ja) * 1993-12-16 1997-01-21 Chintai Ri 手の立体形状入力方式
US6751344B1 (en) * 1999-05-28 2004-06-15 Champion Orthotic Investments, Inc. Enhanced projector system for machine vision
JP2003269928A (ja) * 2002-03-12 2003-09-25 Nec Corp 3次元形状計測方法および装置ならびにプログラム
JP2004328657A (ja) 2003-04-28 2004-11-18 Toshiba Corp 画像入力装置、画像入力方法およびプログラム
US7319941B1 (en) * 2003-12-22 2008-01-15 The Mathworks, Inc. Translating mates in geometric models into joint blocks in block diagram models
US7454841B2 (en) * 2005-11-01 2008-11-25 Hunter Engineering Company Method and apparatus for wheel alignment system target projection and illumination
JP4265600B2 (ja) 2005-12-26 2009-05-20 船井電機株式会社 複眼撮像装置
WO2008033329A2 (en) * 2006-09-15 2008-03-20 Sciammarella Cesar A System and method for analyzing displacements and contouring of surfaces

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136220A (ja) * 1994-11-14 1996-05-31 Mazda Motor Corp 物品の位置検出方法およびその装置
JPH08185503A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Mitsubishi Electric Corp 画像処理装置
JPH0942940A (ja) * 1995-08-03 1997-02-14 Canon Inc 3次元物体の形状計測方法及び装置
JPH10206135A (ja) * 1997-01-21 1998-08-07 Agency Of Ind Science & Technol 3次元物体位置姿勢決定方法
JPH1123238A (ja) * 1997-04-25 1999-01-29 General Electric Co <Ge> 3次元の整形体を測定並びに監視するシステム
JP2002081923A (ja) * 2000-09-08 2002-03-22 Toru Yoshizawa モアレ縞の投影による物体の三次元形状測定法及びその装置
JP2004117235A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置
JP2005315728A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Hiroshima Univ 表面形状計測装置、表面形状計測方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016099306A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 株式会社ミツトヨ 画像測定装置及び測定装置
WO2017170519A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 加熱調理器
CN108885009A (zh) * 2016-03-29 2018-11-23 松下知识产权经营株式会社 加热烹调器
JPWO2017170519A1 (ja) * 2016-03-29 2019-02-07 パナソニックIpマネジメント株式会社 加熱調理器
CN112161619A (zh) * 2020-09-16 2021-01-01 杭州思锐迪科技有限公司 位姿检测方法、三维扫描路径规划方法和检测系统
CN112161619B (zh) * 2020-09-16 2022-11-15 思看科技(杭州)股份有限公司 位姿检测方法、三维扫描路径规划方法和检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
EP2161537B1 (en) 2020-10-28
JP5141452B2 (ja) 2013-02-13
US8472701B2 (en) 2013-06-25
US20100061623A1 (en) 2010-03-11
EP2161537A2 (en) 2010-03-10
EP2161537A3 (en) 2011-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5141452B2 (ja) 姿勢計測装置及び姿勢計測方法
JP5570126B2 (ja) 物体の姿勢を求める方法及び装置
CN107084663B (zh) 位置确定方法、测量装置及测量系统
US11436750B2 (en) Optical tracking system and optical tracking method
JP5467404B2 (ja) 3d撮像システム
JP5051493B2 (ja) 三次元計測用マーカとこれを用いた三次元計測方法
US20180338090A1 (en) Image processing system, image processing device, and image processing program
JP2012215394A (ja) 三次元計測装置および三次元計測方法
JP6858878B2 (ja) 3dモデルの試験対象物への自動アライメント
US11033337B2 (en) Optical tracking system and optical tracking method
KR20210019014A (ko) 공간의 복잡한 표면에서 지점의 위치를 결정하기 위한 방법 및 플랜트
US9245375B2 (en) Active lighting for stereo reconstruction of edges
JP6621351B2 (ja) レーザー加工用の画像処理装置及び画像処理方法
JP2017040600A (ja) 検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体
JP7353757B2 (ja) アーチファクトを測定するための方法
JP2007093412A (ja) 3次元形状測定装置
JP5647084B2 (ja) 面法線計測装置、面法線計測システム及び面法線計測プログラム
CN110969659B (zh) 一种被动式标记点的空间定位装置和方法
JP4218283B2 (ja) ターゲット投影式3次元形状計測方法および装置
JP5360467B2 (ja) 欠陥検査装置
JP5280918B2 (ja) 形状測定装置
Peng et al. 3D digitizing technology in product reverse design
US20230333028A1 (en) Method and system for inspecting a surface with artifical intelligence assist
JP7442752B1 (ja) 被検査体の形状検査方法
CN110785624B (zh) 多个取向的成像传感器的对准系统

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110613

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120919

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121023

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121105

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5141452

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150