JP2010060362A - ずれ測定装置およびずれ測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡便かつ短時間で光学系の球面収差を測定する。
【解決手段】第１および第２のマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイと、第１および第２のマイクロレンズのそれぞれに対して少なくも３つの受光素子を設けて光束を受光する受光素子アレイと、第１のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち互いに異なる第１および第２の受光素子を選択するとともに、第２のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち第１および第２の受光素子に対応する第３および第４の受光素子を選択する選択手段と、第１の受光素子で得られる出力と第３の受光素子で得られる出力とにより第１信号列を生成するとともに、第２の受光素子で得られる出力と第４の受光素子で得られる出力とにより第２信号列を生成し、第１信号列と第２信号列とのずれ量を測定する測定手段と、選択手段が選択する受光素子対を変更することにより測定手段により複数のずれ量を求める制御手段とを備える。
【選択図】図５

Description

本発明は、光学系に入射する光線について、入射光の光軸からの位置に依存させて入射光線が所定面と交差する位置に関するずれ量を測定するずれ測定装置とずれ測定方法に関する。

従来から、結像光学系の球面収差を測定する方法として、所定の入射高ｈで結像光学系に入射する光線が、結像光学系の焦点面近傍において光軸に垂直な２つの面に入射してできる第１点像と第２点像とを結ぶ直線が光軸と交わる位置ｚ(ｈ)を、光線の入射高ｈを順次変更して複数求め、入射高ｈに対する位置ｚ(ｈ)をプロットして結像光学系の球面収差を測定する方法が知られている。

この出願の発明に関連する先行技術文献としては次のものがある。
第４ 光の鉛筆 鶴田 匡夫著 新技術コミュニケーションズ １９９７年

しかしながら、上述した従来の収差測定方法は非常に煩雑で工数がかかるという問題がある。

（１） 請求項１の発明は、第１および第２のマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイと、第１および第２のマイクロレンズのそれぞれに対して少なくも３つの受光素子を設けて光束を受光する受光素子アレイと、第１のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち互いに異なる第１および第２の受光素子を選択するとともに、第２のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち第１および第２の受光素子に対応する第３および第４の受光素子を選択する選択手段と、第１の受光素子で得られる出力と第３の受光素子で得られる出力とにより第１信号列を生成するとともに、第２の受光素子で得られる出力と第４の受光素子で得られる出力とにより第２信号列を生成し、第１信号列と第２信号列とのずれ量を測定する測定手段と、選択手段が選択する受光素子対を変更することにより測定手段により複数のずれ量を求める制御手段とを備える。
（２） 請求項２の発明は、請求項１に記載のずれ測定装置において、制御手段は、選択手段が選択する受光素子対を変更する際に、該受光素子対の一方を同一とし、他方を少なくとも３つの受光素子のうちの他の受光素子に変更する。
（３） 請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のずれ測定装置において、選択手段は、少なくとも３つの受光素子のうち、互いに隣り合う受光素子を第１および第２受光素子または第３および第４受光素子として選択する。
（４） 請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、受光素子アレイは、少なくとも３つの受光素子が二次元状に配列されており、制御手段は、受光素子の配列方向に沿って選択手段が選択する受光素子対を変更することにより、複数方向のずれ量を求める。
（５） 請求項５の発明は、請求項４に記載のずれ測定装置において、受光素子アレイは、複数種類のパターン像からの光束を受光するものであり、制御手段は、選択手段が選択する受光素子対の並び方向とパターン像の種類とを対応付ける。
（６） 請求項６の発明は、請求項５に記載のずれ測定装置において、所定パターンは、コントラストの境界が延びる方向が互いに異なる複数種類のパターン像であり、制御手段は、選択手段が選択する受光素子対の並び方向とコントラストの境界が延びる方向とを対応付ける。
（７） 請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、測定手段は、異なる波長の光束を受光して得られる出力に基づいて、異なる波長に対応したずれ量を求める。
（８） 請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、受光素子アレイは、光学系を介した光束を受光するものであり、ずれ量に基づいて光学系への入射光の光軸からの距離に依存した横収差を算出する。
（９） 請求項９の発明は、第１および第２のマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイと、第１および第２のマイクロレンズのそれぞれに対して少なくとも３つの受光素子を設けて光束を受光する受光素子アレイとを設け、第１のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち互いに異なる第１および第２の受光素子を選択するとともに、第２のマイクロレンズに対応する少なくとも３つの受光素子のうち第１および第２の受光素子に対応する第３および第４の受光素子を選択し、第１の受光素子で得られる出力と第３の受光素子で得られる出力とにより第１信号列を生成するとともに、第２の受光素子で得られる出力と第４の受光素子で得られる出力とにより第２信号列を生成し、第１信号列と第２信号列とのずれ量を測定し、選択する受光素子対を変更することにより複数のずれ量を求めるずれ測定方法である。

本発明によれば、簡便に光学系の収差を測定することができる。

図１は一実施の形態の収差測定装置の構成を示す。一実施の形態の収差測定装置１は、図２に示すように、チャート像表示装置２に表示されたチャート像からの光を測定対象の結像光学系３の異なる部分瞳を介して受光し、それらのチャート像のずれ量を像ズレ検出装置４により検出して結像光学系３の入射光の光軸からの位置に依存した収差を測定する。ここで、像ズレ検出装置４により検出される像のズレ量は、部分瞳の中心を光線の入射高とする結像光学系３の横収差を表す。

チャート表示装置２は、測定対象の結像光学系３を挟んで像ズレ検出装置１の反対側に設置され、図３に示すような黒色のバーを並べたチャートを表示する。チャートは、図３(ａ)に示すような１本線のエッジチャート、好ましくは図３(ｂ)、(ｃ)に示すような複数の境界を有する多本線のエッジチャートで、かつ、偽検出を避けるために黒色バーの幅と配置間隔を変え、配列周期に変化があるチャートを用いるのが望ましい。

図４は像ズレ検出装置４の構成を示し、(ａ)がその横断面図、(ｂ)が結像光学系３側から見た正面図である。像ズレ検出装置４は、複数のマイクロレンズ（例えばこの実施例ではＬ１〜Ｌ６）を一列に配列したマイクロレンズアレイ４１と、複数の受光素子（例えばこの実施例ではＳ１〜Ｓ６）を一列に配列した受光素子アレイ４２とを備え、結像光学系３から入射した光束を各マイクロレンズＬ１〜Ｌ６を介して各受光素子Ｓ１〜Ｓ６により受光する。なお、マイクロレンズおよび受光素子の個数はこの実施例に限定されない。また、受光素子Ｓ１〜Ｓ６は、この実施例では複数の受光部が縦８個、横８個のマトリクス状に配列された受光素子を例に上げて説明するが、受光素子内の受光部の数と配置はこの実施例に限定されない。

ここで、図５を参照して像のズレ量の検出原理を説明する。説明を解りやすくするために、図５では、像ズレ検出装置４が、５個のマイクロレンズＬ１〜Ｌ５が一列に配列されたマイクロレンズアレイと、５個の受光素子群Ｓ１〜Ｓ５が一列に配列された受光素子アレイとを備えているものとして説明する。測定対象の結像光学系３の瞳面には、結像光学系３の光軸と交わる点を通る直線上に、受光素子群Ｓ１〜Ｓ５の受光部ａ(ｉ)〜ｅ(ｉ)（ただしｉ＝１〜５）に対応する５個の部分瞳Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅを考える。なお、部分瞳Ｃは結像光学系３の光軸と結像光学系３の瞳面との交点を中心とする部分瞳である。

マイクロレンズＬ１〜Ｌ５のレンズ面（図５に破線で示す）を像ズレ検出面としたとき、各マイクロレンズＬ１〜Ｌ５のレンズ面に結像された像について考察する。結像光学系３の部分瞳Ｃを通過した光束に関して、マイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のレンズ面にできた像に寄与する光は、各受光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５の受光部ｃ(1)、ｃ(2)、ｃ(3)、ｃ(4)、ｃ(5)で受光される。ここで、結像光学系３の部分瞳Ｃを通過した光束による受光部ｃ(1)、ｃ(2)、ｃ(3)、ｃ(4)、ｃ(5)の検出像を、｛ｃ(i)｝（ｉ＝１，２，３，４，５）で表す。

同様に、結像光学系３の部分瞳Ａを通過した光束に関して、マイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のレンズ面にできた像に寄与する光は、各受光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５の受光部ａ(1)、ａ(2)、ａ(3)、ａ(4)、ａ(5)で受光され、これらの受光部の検出像を｛ａ(i)｝（ｉ＝１，２，３，４，５）で表す。結像光学系３の部分瞳Ｂを通過した光束に関して、マイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のレンズ面にできた像に寄与する光は、各受光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５の受光部ｂ(1)、ｂ(2)、ｂ(3)、ｂ(4)、ｂ(5)で受光され、これらの受光部の検出像を｛ｂ(i)｝（ｉ＝１，２，３，４，５）で表す。

また、結像光学系３の部分瞳Ｄを通過した光束に関して、マイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のレンズ面にできた像に寄与する光は、各受光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５の受光部ｄ(1)、ｄ(2)、ｄ(3)、ｄ(4)、ｄ(5)で受光され、これらの受光部の検出像を｛ｄ(i)｝（ｉ＝１，２，３，４，５）で表す。結像光学系３の部分瞳Ｅを通過した光束に関して、マイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のレンズ面にできた像に寄与する光は、各受光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５の受光部ｅ(1)、ｅ(2)、ｅ(3)、ｅ(4)、ｅ(5)で受光され、これらの受光部の検出像を｛ｅ(i)｝（ｉ＝１，２，３，４，５）で表す。

今、図６(ａ)に示すように、物点Ｏからの光束のうち結像光学系３の各入射高の位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅに入手した光線が、像面Ｉにおいて、それぞれａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅの位置に入射するものとする。各位置Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅに入射する光線の像面Ｉにおける入射位置ａ、ｂ、ｄ、ｅの、近軸のＣに入射する光線の像面Ｉの入射位置ｃに対する位置ズレ量Ｓac、Ｓbc、Ｓdc、Ｓecが横収差である。そして、この位置ズレ量Ｓac、Ｓbc、Ｓdc、Ｓecを求めるために、図４、図５に示すような像ズレ検出装置を用いる。

次に、像｛ｃ(i)｝を基準にした像｛ａ(i)｝のズレ量Ｓacを演算する。同様に、像｛ｃ(i)｝を基準にした像｛ｂ(i)｝のズレ量Ｓbc、像｛ｄ(i)｝のズレ量Ｓdc、像｛ｅ(i)｝のズレ量Ｓecをそれぞれ演算する。

このような２像のズレ量は、例えば次のようにして求める。ここでは、２像に関する信号列を｛ａ(i)｝、｛ｂ(i)｝（ｉ＝１、２、・・）として説明する。まず、２像に関する信号列｛ａ(i)｝、｛ｂ(i)｝の相関量Ｃ(N)を次式により算出する。
Ｃ(N)＝Σ｜ａ(i)−ｂ(i)｜ ・・・（１）
（１）式において、Σはｉ＝ｐＬ〜ｑＬの総和演算を表し、Ｎ＝ｉ−ｊが２像に関する信号列のシフト量、すなわち２像の像ズレ量である。離散的に求められた相関量Ｃ(N)に基づいて、三点内挿の手法により連続的な相関量の最小値を与えるシフト量（像ズレ量）Ｌを求める。ここで、シフト量Ｎのときの相関量をＣ０とし、シフト量(Ｎ−１)のときの相関量をＣｒとし、シフト(Ｎ＋１)のときの相関量をＣｆとすると、シフト量（像ズレ量）Ｌは（２）式により求められる。
ＤＬ＝０．５・（Ｃｒ−Ｃｆ），
Ｅ＝max{Ｃｆ−Ｃ０、Ｃｒ−Ｃ０}，
Ｌ＝Ｎ＋ＤＬ／Ｅ ・・・（２）

このようにして算出された像ズレ量Ｓac、Ｓbc、Ｓdc、Ｓecを並べれば、それぞれ部分瞳Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの中心を光線の入射高とする結像光学系３の横収差を表し、図６(ｂ)に示すように部分瞳Ｃを基準にした場合の横収差図を描くことができる。なお、横収差図から縦収差図に書き直す方法は周知であり、説明を省略する。収差測定装置１のマイクロコンピューター（不図示）は、像ズレ検出装置４により検出されたズレ量に基づいて結像光学系３の収差特性を演算する。

このように、一実施の形態の収差測定装置によれば、測定対象の結像光学系の横収差特性を簡便に測定することができ、しかも、像ズレ検出装置４の受光素子アレイ４２から出力される像信号をコンピューターを用いて演算処理するので、高速な測定が可能になる。なお、図５ではマイクロレンズＬ１〜Ｌ５は大きく描かれているが、マイクロレンズのピッチが５０μなら５個作ったら２５０μ、１０個作っても５００μであり、焦点面上の充分小さな領域の横収差が測れる。

なお、上述した実施例では結像光学系３の光軸上の部分瞳Ｃを基準にし、部分瞳Ｃと他の部分瞳Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅとの間の像のズレ量Ｓac、Ｓbc、Ｓdc、Ｓecを検出し、これらの像ズレ量に基づいて結像光学系３の球面収差を測定する例を示したが、隣接する部分瞳の間の像のズレ量が求められる部分瞳対の組み合わせにしたがって像ズレ量を求め、収差を測定してもよい。例えば図５に示す例では、部分瞳ＡとＢの間の像ズレ量Ｓabと、部分瞳ＢとＣの間の像ズレ量Ｓbcと、部分瞳ＣとＤの間の像ズレ量Ｓcdと、部分瞳ＤとＥの間の像ズレ量Ｓdeとを求め、これらの像ズレ量に基づいて収差を測定してもよい。

上述した一実施の形態では、複数のマイクロレンズを一列に配列したマイクロレンズアレイと、複数の受光素子を一列に配列した受光素子アレイを用いた像ズレ検出装置４の実施例を示したが、図７に示すように、複数のマイクロレンズを二次元状に配列したマイクロレンズアレイと、複数の受光素子を二次元状に配列した受光素子アレイを用いて像ズレ量を検出するようにしてもよい。図７に示す変形例では、複数のマイクロレンズと複数の受光素子を偶数列と奇数列で互いに違いに並べ（偶数列と奇数列でマイクロレンズの横方向のピッチの半分だけずらして並べる）、二次元配列を形成している。この場合、チャート回転装置などにより図３(ｂ)、(ｃ)に示すようにチャートの方向を切り換えれば、結像光学系３の複数の方向における収差を測定することができる。

複数の像ズレ量の扱い方を再度説明する。目標とするところは、基準の部分瞳を決めて（例えばＣ）、別のすべての部分瞳からの光線による像を、基準部分瞳からの光線による像とのズレとして表すことである。そのためには、１つの像ズレに関して、それを求めるために用いた２つの部分瞳の片方を共有し、他方を異にするもう１つのずれ量があればよい。つまり、こうして求められた複数のずれ量において、第１信号列と第２信号列とから計算された両信号のズレ量である第１ズレ量と、第１信号列と第３信号列とから計算された両信号のズレ量である第２ズレ量とをもとにして、共通に持つ第１信号列を媒介にして第１信号列と第２信号列と第３信号列の３信号列の相互ズレ量を、基準となる一つの信号列に対する相対的ズレ量（複数）として計算し記録する手段、あるいはさらにこれを繰り返して４つ以上の信号列を、基準となる一つの信号列に対する相対的ズレ量（複数）ｘ１、ｘ２、ｘ３、・・として計算し記録する手段を有する。ここで、Ｓac＝ｘ１、Ｓbc＝ｘ２、Ｓcc＝ｘ３、Ｓdc＝ｘ４、Ｓec＝ｘ５に相当する。

さらに、横収差として読み取るためには、図６(ｂ)の横軸は光線の光軸からの入射高ｈiの大きさにとるのが好ましい。ここで、入射高ｈiの大きさは光軸と部分瞳中心の距離に相当する。つまり、複数の信号列について、基準となる一つの信号列に対する複数の相対的ズレ量を、複数の信号列に起因する部分瞳中心の光軸からの高さｈiを横軸にとり、該相対的ズレ量ｘiを縦軸にとって表現した座標値の列（ｈ1,ｘ1）、（ｈ2,ｘ2）、（ｈ3,ｘ3）、・・を計算し記録する手段を有する。

撮影レンズと像ズレ検出面の距離が変わると、図６(ｂ)の折れ線に原点を通り所定の傾きを有する直線を加算したグラフになる。横収差としてはこの一定の傾き成分を除去して扱うのが扱いやすい。これには一定の傾き成分を除去するのに適当な係数αを用いてα・ｈiを算出して補正すればよい。つまり、複数の信号列について、基準となる一つの信号列に対する複数の相対的ズレ量を、複数の信号列に起因する部分瞳中心の光軸からの高さｈを横軸にとり、相対的ズレ量を縦軸にとって表現した座標値の列から、適当な係数αを用いてｙi＝ｘi−α・ｈiを算出し、座標値の列（ｈ1,ｙ2）、（ｈ2,ｙ2）、（ｈ3,ｙ3）、・・を計算し記録する手段を有する。

また、図８に示すように、偶数列の受光素子列５１で求めた像ズレ量と、これと同一の瞳対に関して奇数列の受光素子列５２で求めた像ズレ量とを平均し、瞳対を変えながらそれぞれの瞳対に対する平均ズレ量を求めて横収差を測定することによって、さらに収差の測定精度を向上させることができる。さらに、図９に示すように、偶数行の受光素子行５３で求めた像ズレ量と、これと同一の瞳対に関して奇数行の受光素子列５４で求めた像ズレ量とを平均し、瞳対を変えながらそれぞれの瞳対に対する平均ズレ量を求めて横収差を測定することによって、縦方向（図８の検出方向から９０度回転させた方向）においてさらに収差の測定精度を向上させることができる。

さらに、図１０に示すように、赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂなどの特定波長の光源を有する照明装置２１によりチャート面を照明すれば、特定波長における結像光学系３の収差特性を測定することができる。さらに、ディスプレイ上にチャートを表示し、これを回転させたり、色を変えたりすれば、簡易的にチャートを表示することができる。

なお、上述した実施の形態とそれらの変形例において、実施の形態と変形例とのあらゆる組み合わせが可能である。

一実施の形態のずれ測定装置の構成を示す 収差の測定原理を説明するための図 チャート例を示す図 像ズレ検出装置の構成を示す図 像ズレ量の検出方法を説明するための図 横収差の例およびその測定結果を示す図 複数のマイクロレンズと受光素子を二次元状に配列した像ズレ検出装置を示す図 マイクロレンズと受光素子を二次元配列した像ズレ検出装置による変形例の像ズレ検出方法を説明するための図 マイクロレンズと受光素子を二次元配列した像ズレ検出装置による他の変形例の像ズレ検出方法を説明するための図 チャート表示装置の変形例を示す図

符号の説明

１；収差測定装置、２；チャート像表示装置、３；結像光学系、４；像ズレ検出装置、２１；照明装置、４１；マイクロレンズアレイ、４２；受光素子アレイ、Ｌ１〜Ｌ６；マイクロレンズ、Ｓ１〜Ｓ６；受光素子、a(1)〜a(5)、b(1)〜b(5)、c(1)〜c(5)、d(1)〜d(5)、e(1)〜e(5)；受光部

Claims (9)

1. 第１および第２のマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイと、
   前記第１および第２のマイクロレンズのそれぞれに対して少なくも３つの受光素子を設けて光束を受光する受光素子アレイと、
   前記第１のマイクロレンズに対応する前記少なくとも３つの受光素子のうち互いに異なる第１および第２の受光素子を選択するとともに、前記第２のマイクロレンズに対応する前記少なくとも３つの受光素子のうち前記第１および第２の受光素子に対応する第３および第４の受光素子を選択する選択手段と、
   前記第１の受光素子で得られる出力と前記第３の受光素子で得られる出力とにより第１信号列を生成するとともに、前記第２の受光素子で得られる出力と前記第４の受光素子で得られる出力とにより第２信号列を生成し、前記第１信号列と前記第２信号列とのずれ量を測定する測定手段と、
   前記選択手段が選択する受光素子対を変更することにより前記測定手段により複数の前記ずれ量を求める制御手段とを備えることを特徴とするずれ測定装置。
2. 請求項１に記載のずれ測定装置において、
   前記制御手段は、前記選択手段が選択する受光素子対を変更する際に、該受光素子対の一方を同一とし、他方を前記少なくとも３つの受光素子のうちの他の受光素子に変更することを特徴とするずれ測定装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のずれ測定装置において、
   前記選択手段は、前記少なくとも３つの受光素子のうち、互いに隣り合う受光素子を前記第１および第２受光素子または前記第３および第４受光素子として選択することを特徴とするずれ測定装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、
   前記受光素子アレイは、前記少なくとも３つの受光素子が二次元状に配列されており、
   前記制御手段は、前記受光素子の配列方向に沿って前記選択手段が選択する受光素子対を変更することにより、複数方向の前記ずれ量を求めることを特徴とするずれ測定装置。
5. 請求項４に記載のずれ測定装置において、
   前記受光素子アレイは、複数種類のパターン像からの光束を受光するものであり、
   前記制御手段は、前記選択手段が選択する受光素子対の並び方向と前記パターン像の種類とを対応付けることを特徴とするずれ測定装置。
6. 請求項５に記載のずれ測定装置において、
   前記所定パターンは、コントラストの境界が延びる方向が互いに異なる複数種類のパターン像であり、
   前記制御手段は、前記選択手段が選択する受光素子対の並び方向と前記コントラストの境界が延びる方向とを対応付けることを特徴とするずれ測定装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、
   前記測定手段は、異なる波長の前記光束を受光して得られる出力に基づいて、前記異なる波長に対応した前記ずれ量を求めることを特徴とするずれ測定装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載のずれ測定装置において、
   前記受光素子アレイは、光学系を介した光束を受光するものであり、
   前記ずれ量に基づいて前記光学系への入射光の光軸からの距離に依存した横収差を算出することを特徴とするずれ測定装置。
9. 第１および第２のマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイと、前記第１および第２のマイクロレンズのそれぞれに対して少なくとも３つの受光素子を設けて光束を受光する受光素子アレイとを設け、
   前記第１のマイクロレンズに対応する前記少なくとも３つの受光素子のうち互いに異なる第１および第２の受光素子を選択するとともに、前記第２のマイクロレンズに対応する前記少なくとも３つの受光素子のうち前記第１および第２の受光素子に対応する第３および第４の受光素子を選択し、
   前記第１の受光素子で得られる出力と前記第３の受光素子で得られる出力とにより第１信号列を生成するとともに、前記第２の受光素子で得られる出力と前記第４の受光素子で得られる出力とにより第２信号列を生成し、前記第１信号列と前記第２信号列とのずれ量を測定し、
   前記選択する受光素子対を変更することにより複数の前記ずれ量を求めることを特徴とするずれ測定方法。

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