JP2010058883A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】重なりチップ部品を外観検査前に簡易にして確実に排除し、チップ部品の検査効率を大幅に向上することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、部品供給機構(2,4)から所定の搬送路(14)に順次供給されたチップ部品をカメラ(18a〜18f)により撮像してその外観を検査する外観検査装置であって、部品供給機構は、複数のチップ部品が上下に重なった重なりチップ部品を排除して搬送路への供給対象から除外する排除機構(32)を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、複数のチップ部品の１つずつ搬送しながらカメラにてその外観を撮像して検査する外観検査装置に関する。

近時、回路基板に実装されて電子機器に組み込まれる抵抗やコンデンサ等のチップ部品は益々小型化される傾向にあり、回路基板に実装する前にその不良品を排除することが重要である。そして、この種のチップ部品の外観検査装置は、例えばボールフィーダを用いて複数のチップ部品を１列に整列させた後、リニアフィーダを介して円盤状（またはリング状）の搬送路上に順次１つずつ供給して搬送しながら、搬送路に沿って設けた複数台のカメラにてチップ部品の各面（上面、下面および４つの側面）を順に撮像し、欠けの有無や大きさ（寸法）等に基づいてその良否を判定して不良品を排除するように構成される（例えば特許文献１を参照）。

また、ボールフィーダは、椀体の内側面に形成した螺旋状のガイドと、この椀体の偏心振動とを利用して、椀体に供給された複数のチップ部品をガイドに沿って１列に整列させ、椀体の上端部に設けられたガイドの終端からチップ部品を１つずつ送り出すものが知られている（例えば特許文献２を参照）。
特開２００４−３４５８５９号公報 特開２０００−２０３７１３号公報

ところで、チップ部品の外形寸法は例えば０．２ｍｍや０．４ｍｍ程度であって非常に小さいため、埃程度の不純物の付着によって複数のチップ部品が上下に接着されて重なった重なりチップ部品を形成することがある。
このような重なりチップ部品は、ボールフィーダにおける振動によっても容易に分離されないことが多く、チップ部品の寸法の良否を判定するまでもなく外観検査に不適当な状態にあるとして事前に排除する必要がある。

しかしながら、上記各従来技術ではこの点につき格別な配慮がなされていないため、重なりチップ部品がリニアフィーダを介して上記搬送路を搬送されると、外観検査に不適当な状態にあるにも拘わらず、上記各カメラにて撮像がなされる。
また、重なりチップ部品が再検査品として回収されて再びボールフィーダに供給される場合には、重なりチップ部品以外のチップ部品とともに１列に整列させられて搬送路に順次１つずつ供給されるため、これらにより、本来正規に検査されるべきチップ部品の検査効率が著しく低下するとの問題がある。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、重なりチップ部品を外観検査前に簡易にして確実に排除し、チップ部品の検査効率を大幅に向上することができる外観検査装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するべく、請求項１記載の外観検査装置は、部品供給機構から所定の搬送路に順次供給されたチップ部品をカメラにより撮像してその外観を検査する外観検査装置であって、部品供給機構は、複数のチップ部品が上下に重なった重なりチップ部品を排除して搬送路への供給対象から除外する排除機構を備えることを特徴としている。
また、請求項２記載の発明では、請求項１において、部品供給機構は、チップ部品の高さと同程度の所定高さを有するガイドに沿って複数のチップ部品を１列に整列させて順次１つずつ搬送路に供給するものであって、排除機構は、重なりチップ部品のガイドを超えた高さ部分に圧縮空気を吹き付けて重なりチップ部品をガイドから吹き飛ばすエアノズルと、エアノズルに圧縮空気を供給する供給弁とを備えることを特徴としている。

更に、請求項３記載の発明では、請求項２において、供給弁は、エアノズルに圧縮空気を連続供給することを特徴としている。
更にまた、請求項４記載の発明では、請求項３において、ガイドは、段階的に切り欠かれた多段壁からなり、エアノズルは、多段壁の異なる高さを超える高さ位置にそれぞれ設けられることを特徴としている。

また、請求項５記載の発明では、請求項４において、供給弁は、複数のエアノズルに圧縮空気を切り換えて供給することを特徴としている。
更に、請求項６記載の発明では、請求項５において、排除機構は、複数のエアノズルごとに異なる圧力の圧縮空気を供給する圧力調整手段を備えることを特徴としている。

従って、請求項１記載の本発明の外観検査装置によれば、部品供給機構は、複数のチップ部品が上下に重なった重なりチップ部品を排除して搬送路への供給対象から除外する排除機構を備える。これにより、重なりチップ部品が搬送路を搬送されてカメラにて撮像がなされたり、部品供給機構に再度戻されたりすることを防止することをでき、チップ部品の検査効率を大幅に向上することができる。

また、請求項２記載の発明によれば、排除機構は、重なりチップ部品のガイドを超えた高さ部分に圧縮空気を吹き付けて重なりチップ部品をガイドから吹き飛ばすエアノズルと、エアノズルに圧縮空気を供給する供給弁とを備える。これにより、本来正規に外観検査されるべきチップ部品に影響を与えることなく、重なりチップ部品のみを外観検査前に確実に排除することができる。

更に、請求項３記載の発明によれば、供給弁は、エアノズルに圧縮空気を連続供給する。これにより、重なりチップ部品が形成されているか否かを検出するためのカメラを含めたセンサなどを設けなくとも、重なりチップ部品を外観検査前に簡易にして確実に排除することができる。
更にまた、請求項４記載の発明によれば、ガイドは、段階的に切り欠かれた多段壁からなり、エアノズルは、多段壁の異なる高さを超える高さ位置にそれぞれ設けられる。これにより、異なる規格であって異なる高さを有するチップ部品から形成された重なりチップ部品をそれぞれガイドから吹き飛ばすことができるため、規格が異なる重なりチップ部品であっても外観検査前に確実に排除することができる。

また、請求項５記載の発明によれば、供給弁は、複数のエアノズルに圧縮空気を切り換えて供給する。これにより、圧縮空気の供給経路、ひいては排除機構を簡素化することができるため、重なりチップ部品を外観検査前に更に簡易にして排除することができる。
更に、請求項６記載の発明によれば、排除機構は、複数のエアノズルごとに異なる圧力の圧縮空気を供給する圧力調整手段を備える。これにより、異なる規格であって異なる重量を有するチップ部品から形成された重なりチップ部品をガイドからそれぞれ吹き飛ばすことができるため、規格が異なる重なりチップ部品であっても外観検査前に更に確実に排除することができる。

以下、図面を参照し本発明の一実施形態に係る外観検査装置について先ず第１実施形態から説明する。
図１は、本実施形態の外観検査装置の概略構成図を示している。
この外観検査装置は、複数のチップ部品Ｐを１つずつ送り出すボールフィーダ（部品供給機構）２と、ボールフィーダ２から送り出されたチップ部品Ｐを搬送するリニアフィーダ（部品供給機構）４と、リニアフィーダ４から搬送されたチップ部品Ｐを搬送しながら外観検査を行うための円環状のリング体６とから構成されている。

ボールフィーダ２は、複数のチップ部品Ｐが供給される椀体８を備え、椀体８に偏心振動を付与することにより、複数のチップ部品Ｐを椀体８の外周部に形成される螺旋状ガイド（ガイド）１０に沿って１列に整列させ、整列されたチップ部品Ｐを椀体８の上端部に設けられた螺旋状ガイド１０の終端からリニアフィーダ４に向けて順次１つずつ送り出している。

リニアフィーダ４は、ボールフィーダ２から送り出されたチップ部品Ｐをリング体６に導く直線ガイド（ガイド）１２を備え、直線ガイド１２に往復振動を付与することにより、チップ部品Ｐをリング体６に順次導いている。
リング体６は、図示しないモータにより一定の周速度で回転駆動され、その上端面にはチップ部品Ｐを載置して搬送するための搬送路１４がリング体６の略３／４周に亘って形成されている。

リング体６の搬送路１４上を搬送されるチップ部品Ｐの位置は、光電センサ１６により検出され、光電センサ１６の出力はチップ部品Ｐの外観検査を行うための後述するカメラ１８ａ〜１８ｆの制御と、これらの検査結果に基づくチップ部品Ｐの選別制御とに用いられる。
詳しくは、搬送路１４上には、搬送路１４と直線ガイド１２との接続位置からチップ部品Ｐの搬送方向にて下流側に所定の距離を隔てた第１の位置に上面カメラ１８ａが設けられ、上面カメラ１８ａはチップ部品Ｐの上面を撮像する。

また、第１の位置から更に下流側に所定の距離を隔てた第２の位置、及び第２の位置から更に下流側に所定の距離を隔てた第３の位置には、それぞれ第１の側面カメラ１８ｂ、第２の側面カメラ１８ｃが設けられ、第１及び第２の側面カメラ１８ｂ，１８ｃはチップ部品Ｐの両側面をそれぞれ撮像する。
更に、第３の位置から更に下流側に所定の距離を隔てた第４の位置には第１及び第２の端面カメラ１８ｄ，１８ｅが設けられ、第１及び第２の端面カメラ１８ｄ,１８ｅはチップ部品Ｐの両端面を斜め方向からそれぞれ撮像する。

これらの５台のカメラ１８ａ〜１８ｅにより、搬送路１４に載置されたチップ部品Ｐの下面を除く５面がそれぞれ撮像され、チップ部品Ｐの外観検査が行われる。そして、この外観検査によって不良であると判定されたチップ部品Ｐは、第４の位置から更に下流側の第５の位置にて、排除機構２０により搬送路１４から排除される。
排除機構２０は、リング体６の内側に設けられたエアノズル２２によって搬送路１４に載置されたチップ部品Ｐに圧縮空気を吹き付けることによりチップ部品Ｐを搬送路１４から吹き飛ばして不良品ストッカ２４に落とし込むように構成される。

一方、カメラ１８ａ〜１８ｅによる外観検査において異常が認められなかったチップ部品Ｐは、第５の位置の更に下流側の第６の位置にて搬送路１４に接続された吸着型回転板２６に乗せ替えられる。
吸着型回転板２６は、その外周側下面に複数の吸着孔を円環状に配列したものであり、搬送路１４に載置されているチップ部品Ｐの上面を吸着することでチップ部品Ｐをリング体６から吸着型回転板２６に乗せ替えて移動し、下面カメラ１８ｆにてチップ部品Ｐの下面を撮像させる。そして、下面カメラ１８ｆによるチップ部品Ｐの下面に対する検査結果に応じて吸着型回転板２６によるチップ部品Ｐの吸引解除タイミングを制御することで、外観検査に最終的に合格したチップ部品Ｐは良品ストッカ２８に、また最終的に不合格であったチップ部品Ｐは上述した不良品ストッカ２４に落とし込まれる。

ここで、搬送路１４の上面カメラ１８ａよりも上流側には光電センサ３０が設けられており、光電センサ３０はリニアフィーダ４から搬送路１４にチップ部品Ｐが供給されるタイミングを検出している。光電センサ３０にて検出されたチップ部品Ｐの供給タイミングを基準とし、光電センサ１６の出力に基づいてカメラ１８ａ〜１８ｅによるチップ部品Ｐの撮像タイミングがそれぞれ制御されるとともに、排除機構２０による不良品の排除タイミングが制御される。また、これらの制御と同期して、吸着型回転板２６に移動されたチップ部品Ｐの下面カメラ１８ｆによる撮像タイミングと、その検査結果に基づくチップ部品Ｐの良品ストッカ２８または不良品ストッカ２４への選別処理とがそれぞれ制御される。

ところで、チップ部品Ｐは、その外形寸法が例えば０．２ｍｍや０．４ｍｍ程度であって非常に小さいため、埃程度の不純物の付着によって複数のチップ部品Ｐが上下に重なった重なりチップ部品Ｐ_Ｌを形成することがある。この重なりチップ部品Ｐ_Ｌはチップ部品Ｐ同士が完全に接着されて形成されることが多いが、単に複数のチップ部品Ｐが重なっただけのものもある。本実施形態では、この重なりチップ部品Ｐ_Ｌを排除するための重なりチップ部品排除機構（排除機構）３２を備えている。

排除機構３２は、例えばボールフィーダ２に設けられ、ボールフィーダ２の内側に設けられたエアノズル３４によって螺旋状ガイド１０の終端に導かれる重なりチップ部品Ｐ_Ｌに圧縮空気を吹き付けることにより重なりチップ部品Ｐ_Ｌを螺旋状ガイド１０から吹き飛ばして不良品ストッカ３６に落とし込むように構成され、重なりチップ部品Ｐ_Ｌを排除して直線ガイド１２、ひいては搬送路１４への供給対象から除外している。

図２は、図１のＡ方向からみた排除機構３２の斜視図を示している。この図２の場合には、上側チップ部品Ｐ_Ｕと下側チップ部品Ｐ_Ｄとからなる２つのチップ部品Ｐが上下に重なって重なりチップ部品Ｐ_Ｌが形成されている。
螺旋状ガイド１０は、ボールフィーダー２の内側から順に内側ガイド３８，外側ガイド４０から構成され、これらガイド３８，４０はチップ部品Ｐの高さと同程度かそれ以上の所定高さＨを有している。換言すると、ガイド３８，４０により形成された所定深さＤの溝４２の底部にチップ部品Ｐが載置されてリニアフィーダ４に供給される。

内側ガイド３８側には、このガイド３８を超えた重なりチップ部品Ｐ_Ｌの高さ部分、即ち上側チップ部品Ｐ_Ｕの側面４４に圧縮空気を吹き付け可能な高さ位置にエアノズル３４が設けられている。
エアノズル３４には、圧縮空気の供給経路４６により、供給弁４８を介して所定圧力の圧縮空気が形成される圧縮空気源５０が接続され、排除機構３２を機能させるときは、供給弁４８は常時開弁されてエアノズル３４に圧縮空気を連続供給している。

一方、外側ガイド４０は、内側ガイド３８のエアノズル３４が設けられる位置に対向する所定範囲において撤去され、代わりに、エアノズル３４により吹き飛ばされた重なりチップ部品Ｐ_Ｌを落とし込むための排出口５２が開口されている。
図３は、図２のＢ−Ｂ方向からみた排除機構３２の縦断面図を示している。
排出口５２は、椀体８とＬ字状をなすＬ字ガイド５４との間に形成され、Ｌ字ガイド５４は、上方においてガイド３８側に水平に屈曲されている。このＬ字ガイド５４の水平部５４ａはガイド３８，４０と同程度かそれ以上の高さに位置づけられる。これより、重なりチップ部品Ｐ_Ｌ以外のチップ部品Ｐが排出口５２に落とし込まれることが防止され、更にエアノズル３４からの圧縮空気の圧力によって上側チップ部品Ｐ_Ｕが下側チップ部品Ｐ_Ｄと離間した場合には、上側チップ部品Ｐ_Ｕのみが排出口３２に落とし込まれる。

一方、Ｌ字ガイド５４の鉛直部５４ｂは、重なりチップ部品Ｐ_Ｌ、または上側チップ部品Ｐ_Ｕの落とし込みが可能な所定の距離ｄだけ椀体８から離間した位置に位置づけられ、不良ストッカ３６まで重なりチップ部品Ｐ_Ｌを導くべく下方に延設されている。
以上のように、本実施形態では、このような排除機構３２を備えることにより、重なりチップ部品Ｐ_Ｌを排除して搬送路１４への供給対象から除外することができるため、重なりチップ部品Ｐ_Ｌが搬送路１４を搬送されてカメラ１８ａ〜１８ｆにて撮像がなされたり、外観の再検査のために回収されてボールフィーダ２に再度戻されたりすることを防止することができ、チップ部品Ｐの検査効率を大幅に向上することができる。

また、エアノズル３４によって重なりチップ部品Ｐ_Ｌのガイド３８を超えた高さ部分に圧縮空気を吹き付けて重なりチップ部品Ｐ_Ｌを吹き飛ばし排出口５２に落とし込むため、本来正規に外観検査されるべきチップ部品Ｐに影響を与えることなく、重なりチップ部品Ｐ_Ｌのみを外観検査前に確実に排除することができる。
しかも、チップ部品Ｐ同士が完全に接着されないで重なりチップ部品Ｐ_Ｌが形成された場合には、エアノズル３４からの圧縮空気により重なりチップ部品Ｐ_Ｌを構成する上側チップ部品Ｐ_Ｕがのみを排出口５２に落とし込むことができ、重なりチップ部品Ｐ_Ｌを外観検査前に解消して正規のチップ部品Ｐに分離することができる。

更に、エアノズル３４には供給弁４８によって圧縮空気が連続供給されるため、重なりチップ部品Ｐ_Ｌが形成されているか否かを検出するためのカメラを含めたセンサなどを設けなくとも、重なりチップ部品Ｐ_Ｌを外観検査前に簡易にして確実に排除することができる。
次に、第２実施形態について、図４の排除機構３２をボールフィーダ２の内側からみた概略構成図を参照して説明する。

当該第２実施形態では、螺旋状ガイド１０は、異なる規格のチップ部品Ｐの異なる高さ応じて段階的に切り欠かれた多段壁からなる内側ガイド５６から構成され、エアノズル３４がこの多段壁の異なる高さ位置にそれぞれ設けられる他は上記第１実施形態と略同様の構成をなしている。
本実施形態では、内側ガイド５６がチップ部品Ｐの搬送方向から順に第１の高さ位置（高さＨ_１）、第２の高さ位置（高さＨ_２）、第３の高さ位置（高さＨ_３）の順に段階的に高くなっている。

このガイド５６の第１〜第３の高さ位置を超える位置には、それぞれエアノズル５８，６０，６２が設けられている。
詳しくは、これらエアノズル５８，６０，６２は、異なる規格の高さが異なる図示しないチップ部品Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３から構成される異なる高さの図示しない重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３のガイド５６を超えた高さ部分、即ち各重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３をそれぞれ構成する上側チップ部品Ｐ_Ｕ１、Ｐ_Ｕ２、Ｐ_Ｕ３の側面にそれぞれ圧縮空気を吹き付け可能な高さに設けられる。

また、各エアノズル５８，６０，６２には、圧縮空気の供給経路４６により、四方弁（供給弁）６４を介して圧縮空気源５０が接続されている。排除機構３２を機能させるときは、外観検査が行なわれるチップ部品Ｐの規格がチップ部品Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３の何れの規格であるかを予め確認した上で、これに対応するエアノズル５８，６０，６２のうちの何れかを選択し、選択されたエアノズル５８，６０，６２のうちの何れかに圧縮空気を連続供給するべく四方弁６４が切り換えられて常時開弁される。

また、図５の排除機構３２をボールフィーダ２の内側からみた概略構成図に示されるように、四方弁６４の他、各エアノズル５８，６０，６２ごとに異なる圧力の圧縮空気を供給するための圧力調整弁（圧力調整手段）６６，６８，７０をそれぞれ各エアノズル５８，６０，６２と四方弁６４との間の供給経路４６に介挿させても良い。この場合には、圧力調整弁６６，６８，７０は、それぞれ重量の異なる重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３を吹き飛ばして排出口５２に落とし込むことが可能な圧力の圧縮空気を得るべく予め設定される。

以上のように、第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に、重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３を外観検査前に簡易にして確実に排除し、チップ部品Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３の検査効率を大幅に向上することができる。
特に当該第２実施形態では、内側ガイド５６が段階的に切り欠かれた多段壁からなり、各エアノズル５８，６０，６２は、多段壁の異なる高さＨ_１〜Ｈ_３を超える第１〜第３の高さ位置にそれぞれ設けられるため、異なる規格であって異なる高さを有するチップ部品Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３からそれぞれ形成された重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３であっても外観検査前に確実に排除することができる。

また、四方弁６４が各エアノズル５８，６０，６２に圧縮空気を切り換えて供給することにより、圧縮空気の供給経路４６、ひいては排除機構３２を簡素化することができるため、重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３を外観検査前に更に簡易にして排除することができる。
更に、排除機構３２が各エアノズル５８，６０，６２ごとに異なる圧力の圧縮空気を供給する圧力調整弁６６，６８，７０を備えることにより、異なる規格であって異なる重量を有するチップ部品Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３から形成された重なりチップ部品Ｐ_Ｌ１、Ｐ_Ｌ２、Ｐ_Ｌ３であっても外観検査前に更に確実に排除することができる。

以上で本発明の一実施形態についての説明を終えるが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。
例えば、上記各実施形態では、排除機構３２をボールフィーダ２に設けているが、これに限らず、リニアフィーダ４に設けても良い。また、チップ部品Ｐの搬送方向にて上面カメラ１８ａの上流側の搬送路１４をチップ部品Ｐの外観検査前の部品供給機構の一部と捉えれば、上面カメラ１８ａの上流側の搬送路１４に設けても差し支えない。但し、ボールフィーダ２に設けることにより、外観検査前のより早い段階で重なりチップ部品Ｐ_Ｌを排除することができ好ましい。

また、上記各実施形態では、重なりチップ部品Ｐ_Ｌは２つに重なるチップ部品Ｐにより形成されているが、チップ部品Ｐが３つ以上重なる場合にも適用可能である。
更に、上記各実施形態では、所定の規格の重なりチップ部品Ｐ_Ｌを排除するためのエアノズルは１つしか設けられていないが、これを複数設けることにより、重なりチップ部品Ｐ_Ｌを更に確実に吹き飛ばして排除することができ好適である。

最後に、上記各実施形態では、リング体６を搬送路１４とした外観検査装置を例に説明したが、チップ部品Ｐを直線状に搬送しながら外観検査する装置にも同様に適用することができることは勿論である。

本発明の第１実施形態に係る外観検査装置を示した概略構成図である。 図１のＡ方向からみた重なりチップ部品排除機構を示した斜視図である。 図２のＢ−Ｂ方向からみた重なりチップ部品排除機構を示した縦断面図である。 本発明の第２実施形態に係る重なりチップ部品排除機構をボールフィーダの内側から示した概略構成図である。 図４の重なりチップ部品排除機構の変形例を示した概略構成図である。

符号の説明

２ ボールフィーダ（部品供給機構）
４ リニアフィーダ（部品供給機構）
１０ 螺旋状ガイド（ガイド）
１２ 直線ガイド（ガイド）
１４ 搬送路
１８ａ〜１８ｆ カメラ
３２ 重なりチップ部品排除機構（排除機構）
３４，５８，６０，６２ エアノズル
４８ 供給弁
６４ 四方弁（供給弁）
６６，６８，７０ 圧力調整弁（圧力調整手段）

Claims (6)

1. 部品供給機構から所定の搬送路に順次供給されたチップ部品をカメラにより撮像してその外観を検査する外観検査装置であって、
   前記部品供給機構は、複数の前記チップ部品が上下に重なった重なりチップ部品を排除して前記搬送路への供給対象から除外する排除機構を備えることを特徴とする外観検査装置。
2. 前記部品供給機構は、前記チップ部品の高さと同程度の所定高さを有するガイドに沿って複数の前記チップ部品を１列に整列させて順次１つずつ前記搬送路に供給するものであって、
   前記排除機構は、前記重なりチップ部品の前記ガイドを超えた高さ部分に圧縮空気を吹き付けて前記重なりチップ部品をガイドから吹き飛ばすエアノズルと、
   前記エアノズルに圧縮空気を供給する供給弁と
   を備えることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記供給弁は、前記エアノズルに圧縮空気を連続供給することを特徴とする請求項２に記載の外観検査装置。
4. 前記ガイドは、段階的に切り欠かれた多段壁からなり、
   前記エアノズルは、多段壁の異なる高さを超える高さ位置にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項３に記載の外観検査装置。
5. 前記供給弁は、複数の前記エアノズルに圧縮空気を切り換えて供給することを特徴とする請求項４に記載の外観検査装置。
6. 前記排除機構は、複数の前記エアノズルごとに異なる圧力の圧縮空気を供給する圧力調整手段を備えることを特徴とする請求項５に記載の外観検査装置。

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