JP2010057167A - 指向性マイクロフォン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中央部に開口311を有するベース31と、ベース31の開口311上に架け渡されているブリッジ11と、ブリッジ11の中央部で支持軸321を介して弾性支持されている振動板32と、開口311に振動板32と空隙を設けて対向配置され、ベース31に保持されている固定電極13A〜13Dを複数備え、ブリッジ111の中央部に設けられ、音波の入射によって振動板32の入射面が音源方向に応じて傾くように、振動板32の支持軸321を側方から弾性支持する複数の弾性部材32とを備える。よって、音源方向の音波に関する集音特性が向上し、指向性の高いマイクロフォンが得られる。また、マイクロフォン全体の向きを変えなくとも、音源方向に応じて自動的に指向方向の調整を行うことができる。さらに、複数の弾性部12によって振動板32を支持しているので、支持部分の耐久性向上を図ることができる。
【選択図】図1
Description
請求項2の発明による指向性マイクロフォンは、中央部に空所を有するベース基板と、ベース基板の空所上に架け渡されている梁構造と、複数に分割された分割板のそれぞれが梁構造の中央部で弾性支持されている振動板と、空所に分割板と空隙を設けて対向配置され、ベース基板に保持されている分割電極を複数備えて構成される固定電極と、音波の入射によって複数の分割板のそれぞれの入射面が音源方向に応じて傾くように、梁構造の中央部に設けられた支持軸の側周に分割板を各々弾性支持する複数の弾性部材とを備えることを特徴とする。
請求項3の発明による指向性マイクロフォンは、中央部に空所を有するベース基板と、第1櫛歯電極が形成されている振動板と、振動板が入射する音波の方向に応じて変位するように、ベース基板の空所上において振動板を複数の弾性部材を介して弾性支持する支持部と、ベース基板に保持された複数の分割電極で構成され、第1櫛歯電極と空隙を有して噛合する第2櫛歯電極が分割電極の各々に形成されている固定電極とを備え、振動板、支持部および固定電極をSOI(Silicon on Insulator)基板の同一Si層により形成したことを特徴とする。
また、請求項9の発明のように、複数の分割電極と振動板との間の静電容量を、検出部により分割電極の各々に対応して個別に検出し、検出部で検出された各静電容量に基づいて演算部により音源の方向を特定するようにしても良い。
−第1の実施の形態−
図1,2は、本実施の形態の指向性マイクロフォンの概略構成を示す図である。図1はマイクロフォン1の正面図であり、図2は図1のD1−D1断面図である。マイクロフォン1は、図2に示すように下部Si層30,SiO2層20,上部Si層10の3層構造を有するSOI(Silicon on Insulator)基板を用いて、マイクロマシニング技術、或いはフォトリソグラフィー技術により作製される。
ここでは、図4に示すように、狭い間隙を隔てて向かい合った平行平板電極を考える。これは、複数の固定電極13A〜13Dを一つの固定側電極100とすれば、外力により変位する電極101は振動板32に対応する。
一般的に、実際に使用する状態においては平行平板電極間にかかる直流電圧Epは、図5に示すように何らかのインピーダンスを通じて供給される。このインピーダンスは、コンデンサーマイクロフォンなどの応用においては通常大きな値を持っている。そのため、電極101の変位により静電容量が変化した場合、直流電圧Ep も変化する。また、平行平板電極の静電容量C0と抵抗R0とによる時定数も相当に大きな値となるため、マイクロフォンとして使用する周波数範囲では電荷の移動はほとんど行われない。
e=−R0i …(19)
とでき、また、次式(20)が成り立つので、式(19),(20)を式(18)に代入することにより次式(21)が得られる。この等価回路は図6のように書き表すことができる。
v=jω・x …(20)
δP=(P0+Psinω(t+59ns))-(P0+Psinωt)
で表される。59nsという値は周期1msに対して約17000分の一であり、位相にして約0.021°であるから、この条件下ではδPはPに対して最大でも約2500分の一以下となり、半開放状態では密閉状態に対して明らかに圧力差が小さいことが分かる。そのため、一般に穴が開いていた場合、音波をうける振動体としては感度が小さすぎ、入力された音波が共振周波数であるような特別な状態のときのみ反応する。
図13は、本発明に係る指向性マイクロフォン1の第2の実施の形態を示す図である。図1に示したマイクロフォン1は、固定電極13A〜13Dと振動板32とが平行に対向配置された平行平板型のコンデンサーマイクロフォンを構成していた。一方、図13に示すマイクロフォン1は、櫛歯電極型のコンデンサーマイクロフォンを構成している。なお、図1の場合と同様の構成要素には同様の符号を付した。
上述した第1および第2の実施の形態では、音源が斜め方向にある場合には、振動板はベース31の面に対して傾くように変位した。一方、本実施の形態では、振動板がベース31の面に平行に変位するような構成としている。
(1)中央部に開口311を有するベース31と、ベース31の開口311上に架け渡されているブリッジ11と、ブリッジ11の中央部で支持軸321を介して弾性支持されている振動板32と、開口311に振動板32と空隙を設けて対向配置され、ベース31に保持されている固定電極13A〜13Dを複数備え、ブリッジ111の中央部に設けられ、音波の入射によって振動板32の入射面が音源方向に応じて傾くように、振動板32の支持軸321を側方から弾性支持する複数の弾性部材32とを備える。その結果、音源方向の音波に関する集音特性が向上し、指向性の高いマイクロフォンが得られる。また、マイクロフォン全体の向きを変えてやらなくとも、音源の位置に合わせて自動的に指向方向の調整を行うことができる。さらに、複数の弾性部12によって振動板32を支持しているので、従来のような一点支持構造に比べて支持部分の耐久性向上を図ることができる。
(2)指向性マイクロフォンは、中央部に開口311を有するベース31と、ベース31の開口311上に架け渡されているブリッジ11と、複数に分割された分割振動板32A〜32Dのそれぞれがブリッジ11の中央部で弾性支持されている振動板32と、開口311に分割振動板32A〜32Dと空隙を設けて対向配置され、ベース31に保持されている電極13A〜13Dを複数備えて構成される固定電極と、音波の入射によって複数の分割振動板32A〜32Dのそれぞれの入射面が音源方向に応じて傾くように、ブリッジ11の中央部に設けられた中心部111の側周に分割振動板32A〜32Dを各々弾性支持する複数の弾性部12とを備える。複数の分割振動板32A〜32Dが各々傾くことにより、より指向性が向上する。
(3)振動板32には櫛歯電極322,323が形成されていて、その振動板32は、入射する音波の方向に応じて変位するように、ベース31の開口311上において複数の弾性部12により弾性支持されている。また、固定電極はベース31に保持された複数の分割電極23A〜23Dで構成され、櫛歯電極322,323と空隙を有して噛合する櫛歯電極232,233が分割電極23A〜23Dの各々に形成されている。櫛歯電極とすることで静電容量の変化を大きくすることができ、検出感度の向上を図ることができる。さらに、振動板32、弾性部12および固定電極をSOI(Silicon on Insulator)基板の同一Si層により形成したことにより、エッチング加工が簡略化されると共に、マイクロフォンの小型化を図ることができる。
(4)なお、図13に示すように、振動板32を複数に分割し、それらが音圧により傾くように構成しても良いし、図15や図17(b)に示すように振動板32、32a〜32dが面方向(すなわち、面と平行な方向)に変位するように構成しても良い。図17(b)の構成の場合、振動板が複数の分割振動板32a〜32dに分割することで、指向性のさらなる向上を図ることができる。
(5)振動板32をその面方向に移動可能に弾性支持し、振動板32の音波入射面に斜面325を形成することで、音圧の作用により振動板を櫛歯電極の対向面方向に変位させるようにしても良い。その結果、振動板の変位に対する静電容量変化を大きくすることができ、マイクロフォンの指向性および音源方向特定性能を向上させることができる。
(6)複数の固定電極23A〜23Dと振動板32との間の静電容量を、固定電極23A〜23Dの各々に対応して電圧検出回路200により電圧として個別に検出し、その電圧に基づいて歩行特定回路201において音源の方向を特定する。このように構成することで、一つのマイクロフォンで音源の特定を行うことができる。
Claims (9)
- 中央部に空所を有するベース基板と、
前記ベース基板の空所上に架け渡されている梁構造と、
前記梁構造の中央部で支持軸を介して弾性支持されている振動板と、
前記空所に前記振動板と空隙を設けて対向配置され、前記ベース基板に保持されている分割電極を複数備えて構成される固定電極と、
前記梁構造の中央部に設けられ、音波の入射によって前記振動板の入射面が音源方向に応じて傾くように、前記振動板の支持軸を側方から弾性支持する複数の弾性部材とを備えることを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 中央部に空所を有するベース基板と、
前記ベース基板の空所上に架け渡されている梁構造と、
複数に分割された分割板のそれぞれが前記梁構造の中央部で弾性支持されている振動板と、
前記空所に前記分割板と空隙を設けて対向配置され、前記ベース基板に保持されている分割電極を複数備えて構成される固定電極と、
音波の入射によって前記複数の分割板のそれぞれの入射面が音源方向に応じて傾くように、前記梁構造の中央部に設けられた前記支持軸の側周に前記分割板を各々弾性支持する複数の弾性部材とを備えることを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 中央部に空所を有するベース基板と、
第1櫛歯電極が形成されている振動板と、
前記振動板が入射する音波の方向に応じて変位するように、前記ベース基板の空所上において前記振動板を複数の弾性部材を介して弾性支持する支持部と、
前記ベース基板に保持された複数の分割電極で構成され、前記第1櫛歯電極と空隙を有して噛合する第2櫛歯電極が前記分割電極の各々に形成されている固定電極とを備え、
前記振動板、前記支持部および前記固定電極をSOI(Silicon on Insulator)基板の同一Si層により形成したことを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項3に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記振動板は複数の分割板に分割され、
前記支持部は、前記ベース基板の空所上に架け渡されている梁構造と、音波の入射によって前記分割板の入射面が音源方向に応じて傾くように、前記複数の分割板のそれぞれを前記梁構造の中央部で弾性支持する弾性部材とを備えることを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項3に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記支持部は、音波の入射によって前記振動板の面方向に移動可能なように前記振動板を弾性支持することを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項5に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記振動板の音波入射面に斜面を形成したことを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項6に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記斜面は、前記振動板の中央部が凸となるような凸面を形成することを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項5または6に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記振動板を前記分割電極に対応して複数の分割板で構成し、
前記支持部は、前記複数の分割板の各々を個別に弾性支持することを特徴とすることを特徴とする指向性マイクロフォン。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の指向性マイクロフォンにおいて、
前記複数の分割電極と前記振動板との間の静電容量を、前記分割電極の各々に対応して個別に検出する検出部と、
前記検出部で検出された各静電容量に基づいて音源の方向を特定する演算部とを備えたことを特徴とする指向性マイクロフォン。
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