JP2011244448A - マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20、30)は、応力残留問題を解決しマイクロホン感度をアップする。該マイクロホンは支持部(27)と振動膜(22)を包含する。該支持部(27)は該振動膜(22)の中心部分を支持し、これにより振動膜(22)が熱工程中に発生する応力を排除、放出し、該振動膜(22)を平坦に維持し、静電容量検出の精度をアップする。該マイクロホンはまた剛性振動膜(32)と弾性部品(33)を包含し得て、該剛性振動膜(32)は該弾性部品(33)上に設置され、これにより該剛性振動膜(32)が該弾性部品(33)の弾性作用により、背面電極(34)の方向に平行に移動し、該剛性振動膜(32)と該背面電極(34)間の静電容量変化を獲得し、比較的高い検出感度を具備する。
【選択図】図3B
Description
readout IC)(MS3110)に電気的に接続し、並びに半音波暗室(semi−anechoic chamber)においてラウドスピーカ(loudspeaker)の信号を収集した結果である。図からわかるように、サウンドレベルが94dB以下の時、上述のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン30の実施例の周波数検出範囲は10〜20,000Hzの間であった。
21 ベース
22 振動膜
221 固定端
222 自由端
23 固定部品
24 背面電極
25 放音孔
26 背面チャンバ
27 支持部
28 絶縁部品
30 マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン
31 ベース
32 剛性振動膜
33 弾性部品
34 背面電極
35 放音孔
37 支持部品
38 絶縁部品
39 構造強化部
Claims (13)
- マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、
背面チャンバ(26)が設置されたベース(21)と、
該ベース(21)に設置され、該背面チャンバ(26)に連通する複数の放音孔(25)が開孔された背面電極(24)と、
該ベース(21)に設置されて、一つの支持部(27)を包含する固定部品(23)と、
中心部分が該支持部(27)に支持されて、該背面電極(24)に平行且つ対向するように設置される振動膜(22)とを包含し、これにより該振動膜(22)上の応力が該支持部(27)より外向きに釈放されることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。 - 請求項1記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、該振動膜(22)は円形振動膜(22)とされ、且つ該支持部(27)が該振動膜(22)の中心を支持することを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項1記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、該振動膜(22)はフレキシブル振動膜(22)とされるか、剛性振動膜(32)とされることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項1記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、該背面電極(24)はさらに該背面電極(24)の一側に設置された複数の構造強化部を包含することを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項1記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、該ベース(21)の材料はシリコンとされ、該振動膜(22)の該背面電極(24)の材料はポリシリコンであることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項1記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、少なくとも一つの絶縁部品(28)をさらに包含し、該絶縁部品(28)は該振動膜(22)と該背面電極(24)の間に設置されて、該振動膜(22)が該背面電極(24)に接触するのを防止し、該絶縁部品(28)の材料は窒化シリコンとされることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(20)において、振動膜(22)を包含し、該振動膜(22)の中心部分は支持部品(37)により支持されて固定端(221)を形成し、該振動膜(22)の周縁にそれに対して自由端(222)が形成され、該振動膜(22)上の応力が該固定端(221)より該自由端(222)に向けて釈放されることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、
背面チャンバ(36)が設置されたベース(31)と、
該ベース(31)に設置され、該背面チャンバ(36)に連通する複数の放音孔(35)が開孔された背面電極(34)と、
該ベース(31)に設置された弾性部品(33)と、
該背面電極(34)に平行に設置され且つ該背面電極(34)に対応する位置に上記弾性部品(33)が設置された剛性振動膜(32)とを包含し、音波が該剛性振動膜(32)に作用する時、該剛性振動膜(32)は該弾性部品(33)の弾性作用により、該背面電極(34)に平行に該背面電極(34)の方向に移動することを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。 - 請求項8記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、支持部品(37)をさらに包含し、該支持部品(37)は該弾性部品(33)と該剛性振動膜(32)の間に設置され、これにより該剛性振動膜(32)が該弾性部品(33)に支持されることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項9記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、該剛性振動膜(32)は円形状とされ、且つ該支持部品(37)は該剛性振動膜(32)の円の中心を支持することを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項8記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、該剛性振動膜(32)及び該背面電極(34)は複数の構造強化部(39)を包含し、それぞれ該剛性振動膜(32)と該背面電極(34)の一側に設置されたことを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項8記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、該ベース(31)の材料はシリコンとされ、該剛性振動膜(32)と該背面電極(34)の材料はポリシリコンとされることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
- 請求項8記載のマイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン(30)において、少なくとも一つの絶縁部品(38)をさらに包含し、該絶縁部品(38)は該剛性振動膜(32)と該背面電極(34)の間に設置されて、該剛性振動膜(32)が該背面電極(34)に電気的に接触するのを防止し、該絶縁部品(38)の材料は窒化シリコンとされることを特徴とする、マイクロエレクトロマシンコンデンサマイクロホン。
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