JP2010056192A - 面発光型照射デバイス、面発光型照射装置、および液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】比較的少ない消費エネルギーで、光硬化性樹脂や光硬化性インクを比較的短時間に硬化させる。
【解決手段】基体の主面に形成された複数の反射鏡構造体と、前記反射鏡構造体内のそれぞれに設置された、各々異なる波長分布の光を発する複数の発光素子と、各発光素子からの発光を各々独立して制御する制御信号が入力される、各発光素子それぞれと接続された入力端子と、を備えたことを特徴とする面発光型照射デバイスを提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、紫外線硬化型樹脂や塗料の硬化に使用される面発光型照射デバイス、面発光型照射装置、および液滴吐出装置に関する。

紫外線硬化型の樹脂や塗料は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野から光ピックアップ等の組立工程における小物部品の接着固定の分野まで広く使用されている。従来、かかる紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線照射装置の光源としては、一般に高圧水銀ランプや低圧水銀ランプ等の蛍光ランプが使用されてきた。従来から一般的に用いられている紫外線硬化型の樹脂は、かかる水銀ランプからの光（例えば波長３６５ｎｍ付近にピークをもつ紫外線）の照射によって硬化され易いように設計されているものが比較的多い。

特許文献１には、高圧水銀ランプ等を用いた紫外線照射装置と比べて小型で、かつオゾン等の有害物質の発生の少ない紫外線照射装置として、ＵＶ光を発するＵＶＬＥＤ素子が複数配列されたＵＶＬＥＤアレイを光源として用いた、面発光型照射デバイス装置が開示されている。
特開２００４−３５８７６９号公報

上述のように、従来一般的に用いられている紫外線硬化型樹脂は、高圧水銀ランプからの発光（例えば３６５ｎｍ付近にピークをもつ紫外線）に対して良好に硬化されるよう設計されたものが多い。高圧水銀ランプからの発光は、比較的広い波長範囲にわたって発光強度が拡がっており、紫外線硬化樹脂が硬化する際の光吸収スペクトル、すなわち紫外線硬化樹脂の硬化に寄与する光も、比較的広い波長分布をもっている。また当然、ＵＶＬＥＤアレイからの発光と、高圧水銀ランプからの発光と、は波長分布が異なっている。このため、例えば高圧水銀ランプからの発光によって比較的良好に硬化されるように設計された紫外線硬化型樹脂に対し、特許文献１記載の面発光型照射デバイス装置を用いた場合、紫外線硬化型樹脂の硬化に際して、比較的多くの光（ＬＥＤの発光）を照射する必要があった。すなわち、特許文献１記載の面発光型照射装では、紫外線硬化型樹脂の硬化に際して、比較的多くのエネルギーを必要とする場合が多かった。本発明はかかる課題を解決する目的でなされたものである。

上記課題を解決するために、本願発明は、基体の主面に形成された複数の反射鏡構造体と、前記反射鏡構造体内のそれぞれに設置された、各々異なる波長分布の光を発する複数種類の発光素子と、前記発光素子の発光を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記発光素子からの発光を種類毎に独立して制御し、前記反射鏡構造体内から照射される照射光の波長分布特性を調整することを特徴とする面発光型照射装置を提供する。

なお、前記制御部は、前記発光素子を同一種類毎に発光させた各場合の、前記反射鏡構造体内からの照射光の波長分布特性それぞれに基づいて、前記発光素子からの発光を、種類毎に独立して制御することが好ましい。

また、前記制御部は、所望の波長分布特性の情報に応じて、前記反射鏡構造体内からの照射光の波長分布特性が、前記所望の波長分布特性に近づくよう、前記発光素子の駆動電流の大きさを種類毎に独立して制御することが好ましい。

本発明は、また、光硬化性物質の液滴を対象体に向けて吐出し、前記対象体に前記液滴を被着される吐出手段と、前記対象体に被着された前記液滴に、前記主面が対向するよう配置された上述の面発光型照射装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置を、併せて提供する。

なお、前記面発光型照射装置の前記制御部は、前記光硬化性物質の種類に応じて、各発光素子からの発光強度を、それぞれ独立して調整することが好ましい。また、前記光硬化性物質は、紫外線硬化インクであることが好ましい。

本発明は、また、基体の主面に形成された複数の反射鏡構造体と、前記反射鏡構造体内のそれぞれに設置された、各々異なる波長分布の光を発する複数の発光素子と、各発光素子からの発光を各々独立して制御する制御信号が入力される、各発光素子それぞれと接続された入力端子と、を備えたことを特徴とする面発光型照射デバイスを、併せて提供する。

なお、前記反射鏡構造体は、前記主面に形成された凹部と、前記凹部の内面の少なくとも側面部分に被着された反射層とからなり、複数の前記発光素子が、前記凹部の底面に設置されていることが好ましい。

また、前記反射層は、発光素子の配置位置に応じて、層構成が部分的に異なっていることが好ましい。

本発明の面発光型照射デバイス、面発光型照射装置、および液滴吐出装置では、比較的少ない消費エネルギーで、光硬化性樹脂や光硬化性インクを比較的短時間に硬化させることができる。

以下、本発明に係る面発光型照射デバイス、面発光型照射装置、および液滴吐出装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の実施の形態は、例示するものであって、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の面発光照射装置の一実施形態である照射装置１０について説明する図であり、（ａ）は照射装置１０の概略上面図、（ｂ）は照射装置１０の概略断面図である。照射装置１０は、照射ヘッド２０と、制御部３０と、入力手段４０と、を有して構成されている。照射ヘッド２０は、例えばアルミナ等のセラミックからなる絶縁基板１１に、複数の発光部１２が配置されており、照射ヘッド２０の後述する各入力端子２４ａ、２４ｂ等は、接続ライン１３を介して制御部３０と接続されている。本実施形態において制御部３０は、照射ヘッド２０とは別体に構成されており、例えばＣＰＵやメモリを備えたコンピュータであってもよく、また回路が組み合わされて構成された、メモリを備えた専用装置であってもよい。入力手段４０は、ＣＤ−ＲＯＭやＵＳＢメモリ等の外部記憶媒体に記憶されたデータを読み取る公知の読取手段や、操作ボタンやキーボード、マウス等を備えた公知の入力デバイス等で構成されている。照射装置１０では、入力手段４０が読み取った（または入力手段４０から入力された）制御条件が、制御部３０が備えるメモリに記憶される。

発光部１２は、絶縁基板１１の一方主面に設けられた凹部１２の底面に配置された、各々異なる波長分布の光を発する複数の発光素子１６ａおよび１６ｂ、凹部１２の傾斜した側面に形成された反射層２２ａおよび２２ｂ、各発光素子１６ａおよび１６ｂと各々接続した入力端子２４ａおよび２４ｂ、各発光素子１６ａおよび１６ｂと共通に接続したグランド端子２６、を備えている。入力端子２４ａおよび２４ｂは、接続ライン１３を介して制御部３０と電気的に接続されており、発光素子１６ａおよび１６ｂには、制御部３０からそれぞれ異なる駆動電流（発光素子を発光させるための電流）が入力される構成となっている。

照射ヘッド２０では、複数の発光部１２のいずれにも、発光素子１６ａと１６ｂとが各々配置されている。発光素子１６ａおよび１６ｂは、例えば公知のＬＥＤ発光素子であり、各ＬＥＤ発光素子は各々異なる波長分布の光を発する。

凹部１２の傾斜した側面には、反射層２２ａおよび２２ｂとが形成されている。反射層２２ａおよび２２ｂは、銀（Ａｇ）メッキや金（Ａｕ）メッキなどの金属性薄膜層であってもよく、その他の無機材料および有機材料が積層されて構成されていてもよい。反射層２２ａは、凹部１２の側面のうち、発光素子１６ａに比較的近い部分に形成されており、反射層２２ｂは、凹部１２の側面のうち、発光素子１６ｂに比較的近い部分に形成されている。反射層２２ａと反射層２２ｂとには、発光素子１６ａからの発光および発光素子１６ｂからの発光の双方が入射し、反射層２２ａおよび反射層２２ｂは、これら発光素子１６ａからの発光および発光素子１６ｂからの発光を、図１中の上側方向に反射する。反射層２２ａには、発光素子１６ａからの発光および発光素子１６ｂからの発光のうち、より近接した発光素子１６ａからの発光がより多く入射される。同様に、反射層２２ｂには、より近接した発光素子１６ｂからの発光がより多く入射される。反射層２２ａは、発光素子１６ａからの発光を反射するに適した層構成にされている。すなわち、反射層２２ａの材質、厚さ、（積層膜の場合は、各層の材質や厚さ）、形成方法などが、発光素子１６ａからの発光の波長分布に併せて調整されている。同様に、反射層２２ｂは、発光素子１６ｂからの発光を反射するに適した層構成とされている。また、反射層の構造に限定されず、例えば反射鏡の斜面の角度（絶縁基板１１の主面とのなす角）や、発光素子と斜面との距離（例えば、凹部１２の底面の径）を、各発光素子の配置位置に応じて、部分的に変更してもよい。

本実施形態の照射ヘッド２０では、絶縁基板１１の一方主面に、内面に反射層が設けられた複数の凹部１２を比較的高密度に配置するとともに、各凹部１２に、異なる種類の発光素子１６ａおよび１６ｂを配置している。本実施形態の照射ヘッド２０では、それぞれ異なる波長分布特性の光を発する複数種類の発光素子それぞれを、絶縁基板１１の一方主面に、比較的高い密度で配置することができるとともに、各発光素子からの発光を反射層によって絶縁基板に略垂直方向に向けて照射させることができる。本実施形態の照射ヘッド２０では、絶縁基板１１の一方主面と略垂直な方向に向けて、比較的広い面積範囲から、比較的高強度の光を照射することができる。

本実施形態の照射ヘッド２０では、制御部３０から各発光素子に入力される駆動電流が調整されることで、照射ヘッド２０に配置された複数の発光素子について、発光素子の種類毎に発光強度が調整される。すなわち、制御部３０は、照射ヘッド２０に配置された複数の発光素子１６ａの発光強度を一括して調整するとともに、複数の発光素子１６ｂの発光強度を一括して調整する。制御部３０は、制御部３０が備える図示しないメモリに記憶された制御条件に基づき、複数の発光素子１６ａおよび複数の発光素子１６ｂに入力する駆動電流の大きさを調整して、複数の発光素子１６ｂの発光強度を一括して調整する。

図２は、照射ヘッド２０から照射される光の波長分布を示す図である。図２（ａ）は、複数の発光素子１６ａに所定の駆動電流を入力した際に、照射ヘッド２０から照射される発光の波長分布特性を示し、図２（ｂ）は、上記所定の駆動電流と同じ大きさの駆動電流を、複数の発光素子１６ｂに入力した際に、照射ヘッド２０から照射される発光の波長分布特性を示す。図２（ａ）に示す波長分布特性は、凹部１２の反射層２２ａおよび２２ｂによって反射された後の、発光素子１６ａからの光の波長分布特性である。同様に、図２（ｂ）に示す波長分布特性は、凹部１２の反射層２２ａおよび２２ｂによって反射された後の、発光素子１６ｂからの光の波長分布特性である。図２（ｃ）のＸ１は、複数の発光素子１６ａと複数の発光素子１６ｂとに、それぞれ同時に上記所定の駆動電流を入力した際に、照射ヘッド２０から照射される発光の波長分布特性を示している。

制御部３０から複数の発光素子１６ａに入力される駆動電流が増減されると、複数の発光素子１６ａからの発光は、図２（ａ）に示す波長分布の特性を略同一に維持したまま、各波長域の発光強度の絶対値が増減される。同様に、制御部３０から複数の発光素子１６ｂに入力される駆動電流が増減されると、複数の発光素子１６ｂからの発光は、図２（ｂ）に示す波長分布の特性は維持したまま、各波長域の発光強度の絶対値が増減される。照射装置１０では、制御部３０から複数の発光素子１６ａに入力される駆動電流の大きさと、制御部３０から複数の発光素子１６ｂに入力される駆動電流の大きさと、をそれぞれ独立して制御することで、複数の発光素子１６ａと複数の発光素子１６ｂとの双方に駆動電流を入力した際の、照射ヘッド２０から照射される発光の波長分布特性を変化させることができる。例えば、複数の発光素子１６ａに入力する駆動電流に比べて、複数の発光素子１６ｂに入力する駆動電流を小さくすることで、照射ヘッド２０から、例えば図２（ｃ）のＸ２に示すような波長分布の光を照射することができる。また例えば、複数の発光素子１６ａに入力する駆動電流に比べて、複数の発光素子１６ｂに入力する駆動電流を大きくすることで、照射ヘッド２０から、例えば図２（ｃ）のＸ３に示すような波長分布の光を照射することができる。

本実施形態の照射装置１０では、制御部３０が、制御部３０が備える図示しないメモリに記憶された制御条件に基づいて、複数の発光素子１６ａおよび複数の発光素子１６ｂに入力する駆動電流の大きさを調整して、複数の発光素子１６ｂの発光強度を一括して調整する。本実施形態の照射装置１０では、例えば入力手段４０から、例えば図３に破線で示すような、実際に照射したい光の波長分布特性を示すデータが入力される。制御部３０は、この波長分布特性の発光が得られるよう、各発光素子１６ａおよび１６ｂに各々入力する駆動電流の大きさを調整する。この際、例えば、制御部３０は、メモリ３０に予め記憶された、発光素子１６ａのみを発光させた際の、照射ヘッド２０からの発光の強度（各波長域の発光強度）と駆動電流との関係、および、発光素子１６ｂのみを発光させた際の、照射ヘッド２０からの発光の強度（各波長域の発光強度）と駆動電流との関係についてのデータベースを参照し、所望の波長分布特性および発光強度を得るために、各発光素子に入力する駆動電流の大きさを計算して求める。制御部３０では、各発光素子１６ａおよび発光素子１６ｂに、上記計算によって求めた大きさの駆動電流を各々入力し、例えば図３に実線で示すような、波長分布特性および発光強度（各波長域の発光強度）を有する光を、照射ヘッド２０から照射させる。本実施形態の照射装置１０では、このように、所望の波長分布特性および発光強度を有する光を、広い面積範囲（発光部１２の配置範囲全体）から照射することができる。

なお、本実施形態では、制御部３０を、照射ヘッド２０とは別体に構成している。本発明において、制御部３０は、例えば駆動回路として照射ヘッド２０に設置されたものであってもよく、特に限定されない。また、本実施形態では、各発光素子からの発光強度を各々独立して制御するために、各発光素子に入力する駆動電流の大きさを調整している。各発光素子からの発光強度を各々独立して制御するために、例えば、各発光素子に入力する駆動電流の入力タイミングを変化させてもよく、入力する駆動電流を時間変調させてもよい。本発明における制御信号の態様については、特に限定されない。

図４（ａ）および（ｂ）は、照射装置１０を備えて構成される、本発明の液滴装置の一例である、インクジェットプリンタ５０について説明する図であり、図４（ａ）は、インクジェットプリンタ５０の概略上面図である。また、図４（ｂ）は、インクジェットプリンタ５０の概略断面図である。

インクジェットプリンタ５０は、一方向（図中Ｘ方向）に搬送される、例えば紙などの記録媒体５２の表面に、インクジェットヘッド７０からインク滴を吐出するとともに、記録媒体５２の表面に付着させたインク滴に所定の波長分布の光を照射して、記録媒体５２に付着したインク滴を硬化させる。インクジェットプリンタ５０は、記録媒体５２が載置されるプラテン５４と、送りローラ６２と押えローラ６４とを有して構成された搬送手段６０と、インクジェットヘッド７０をプラテン５４に対して相対移動させる移動機構８０と、照射装置１０と、を有して構成されている。

インクジェットヘッド７０は、プラテン５４に載置されて搬送される記録媒体５２の表面に、外部から入力される画像信号に応じて光硬化性のインク滴を吐出する。インクジェットヘッド７０は、従来公知の、いわゆるサーマル型やバブル型などの、公知のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド７０は、移動機構８０が備えるガイドレール８２に沿って、図中Ｙ方向に沿って往復移動される。

記録媒体５２は、搬送手段６０によって、例えば図中Ｘ方向に沿って搬送される。記録媒体５２の移動にともない、インクジェットヘッド７０も図中Ｙ方向に沿って移動される。インクジェットヘッド７０には、これら記録媒体５２やインクジェットヘッド７０の移動にともない、図示しない制御部から画像信号が送られる。インクジェットヘッド７０では、この画像信号に応じて、記録媒体に向けて光硬化性のインク滴を吐出し、記録媒体５２の表面に画像信号に応じた画像パターン（インク滴のパターン）を形成する。

照射装置１０は、複数の発光素子１６ａおよび複数の発光素子１６ｂから発せられた光が、記録媒体５２の表面に照射されるよう配置されている。照射装置１０の照射ヘッド２０は、インクジェットヘッド７０に対し、記録媒体５２よりも下流側に配置されている。すなわち、インクジェットプリンタ５０では、インクジェットヘッド７０から吐出されて記録媒体５２の表面に付着したインク滴に、各発光素子１６ａおよび１６ｂからの光が照射されるよう構成されている。

照射装置１０の制御部１０の図示しないメモリには、インクジェットヘッド７０から吐出されるインク滴を硬化するのに比較的良好な光の特徴を示すデータ、具体的には、吐出するインク滴を硬化するのに適した波長分布特性および発光強度（各波長域の発光強度）を表すデータが入力されている。照射装置１０では、制御部３０が、予め入力されているこの入力データに基づいて、複数の発光素子１６ａおよび複数の発光素子１６ｂに入力する駆動電流の大きさを調整する。

例えば、制御部３０には、予め、図３に破線で示すような、インクジェットヘッド７０を硬化するに適した波長分布特性を示すデータが入力されている。照射装置１０から、この波長分布特性を比較的高精度に再現する光を、インクジェットヘッド７０から吐出されたインク滴に照射することができれば、余分な波長成分の光を含まない比較的低エネルギーの光で、インク滴を硬化させることができる。インクジェットプリンタ５０では、制御部３０が、各発光素子１６ａおよび発光素子１６ｂに入力すべき、このインク滴特有の波長分布特性に応じた大きさの駆動電流を計算して求める。インクジェットプリンタ５０では、制御部３０から、各発光素子１６ａおよび発光素子１６ｂに適した駆動電流が入力されて、例えば図３に実線で示すような波長分布特性を有する光を、照射ヘッド２０から照射することができる。このため、インクジェットプリンタ５０では、照射ヘッド２０から比較的低エネルギーの光を照射し、比較的短時間にインク滴を硬化させることができる。

すなわち、インクジェットプリンタ５０では、比較的少ない駆動電流で各発光素子１６ａおよび１６ｂを発光させて、記録媒体５２に付着したインク滴を、比較的短時間で硬化させることができる。例えば、インクジェットヘッド７０から照射されるインク滴について、このインク滴の硬化に適した波長分布特性が、図５のＬ１に示すような波長分布特性であったとする。このような特性をもつインク滴を比較的短時間に硬化させるのに、例えば発光素子１６ａの発光のみを利用する場合、発光素子１６ａから、例えば図５のＬ２に示すような比較的大きな強度分布の光を照射する必要がある。同様に、例えば発光素子１６ｂの発光のみを利用する場合、発光素子１６ｂから、例えば図５のＬ３に示すような比較的大きな強度分布の光を照射する必要がある。本実施形態のインクジェットプリンタ５０では、制御部３０から各発光素子１６ａおよび発光素子１６ｂに、このインク滴特有の波長分布特性に応じた大きさの駆動電流を各々入力して、インク滴の硬化に適した波長分布特性を有する光を、照射ヘッド２０から照射することが可能であり、インクジェットプリンタ５０におけるエネルギー消費効率は、比較的良好とされている。

上述のように、従来一般的に用いられている光硬化性樹脂やインクは、高圧水銀ランプからの発光（例えば３６５ｎｍ付近にピークをもつ紫外線）に対して良好に硬化されるよう設計されたものが多い。このため、ＬＥＤ発光素子を用いて構成した比較的小型の照射ヘッドを、従来の光硬化樹脂や光硬化インクの硬化に用いた場合、ＬＥＤから比較的多くの光量の光を照射する必要があり、エネルギー消費効率が比較的悪くなっていた。インクジェットプリンタ５０では、従来一般に用いられている、例えば高圧水銀ランプからの発光（例えば３６５ｎｍ付近にピークをもつ紫外線）に対して良好に硬化されるよう設計されたインク滴であっても、各発光素子からの発光強度を比較的抑えつつ、比較的短時間に硬化することができる。また、本実施形態のインクジェットプリンタ５０では、光硬化性樹脂やインクの種類によらず、使用する光硬化性樹脂やインクそれぞれに対応する波長分布特性の光を、効率良く照射することができる。

インクジェットプリンタ５０では、インクジェットヘッド７０から吐出されて記録媒体５２に付着されたインク滴に対し、付着直後に、このインク滴の硬化に適した波長分布特性の光を照射することができる。このため、インクジェットプリンタ５０では、記録媒体５０に付着したインク滴が、時間の経過にしたがって拡がり（滲んで）、記録媒体上のインク滴がぼやけることが抑制される。このため、インクジェットプリンタ５０では、記録媒体５２の表面に、比較的高精細な画像を形成することができる。

本実施形態では、インクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタに、面発光照射デバイスを適用した例を示している。本発明の面発光照射デバイスは、例えば対象体表面にスピンコートした光硬化樹脂を硬化させる専用装置など、各種類の光硬化樹脂の硬化に適用することができ、用途については特に限定されない。

以上、本発明の面発光型照射デバイス、面発光型照射装置、および液滴吐出装置について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行ってもよいのはもちろんである。

本発明の面発光照射装置の一実施形態である照射装置について説明する図であり、（ａ）は概略上面図、（ｂ）は概略断面図である。 図１に示す照射装置の照射ヘッドから照射される光の波長分布を示す図であり、（ａ）は、一方の種類の発光素子に所定の駆動電流を入力した際に、照射ヘッドから照射される発光の波長分布特性を示し、（ｂ）は、上記所定の駆動電流と同じ大きさの駆動電流を、他方の種類の発光素子に入力した際に、照射ヘッドから照射される発光の波長分布特性を示す。 照射したい光の波長分布特性と、図１に示す照射装置から実際に照射される光の波長分布特性と、を示す図である。 本発明の液滴装置の一例のインクジェットプリンタについて説明する図であり、（ａ）は概略上面図、（ｂ）は概略断面図である。 図４に示すインクジェットヘッドから吐出されるインク滴に適した波長分布特性、およびインクジェットヘッドプリンタにおいて照射される光について説明する図である。

符号の説明

１０ 照射装置
１１ 絶縁基板
１２ 発光部
１３ 接続ライン
１６ａ、１６ｂ 発光素子
２０ 照射ヘッド
２２ａ、２２ｂ 反射層
２４ａ、２４ｂ 入力端子
２６ グランド端子
３０ 制御部
４０ 入力手段
５０ インクジェットプリンタ
５２ 記録媒体
５４ プラテン
６０ 搬送手段
６２ 送りローラ
６４ 押えローラ
７０ インクジェットヘッド
８０ 移動機構
８２ ガイドレール

Claims (9)

1. 基体の主面に形成された複数の反射鏡構造体と、
   前記反射鏡構造体内のそれぞれに設置された、各々異なる波長分布の光を発する複数種類の発光素子と、
   前記発光素子の発光を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記発光素子からの発光を種類毎に独立して制御し、前記反射鏡構造体内から照射される照射光の波長分布特性を調整することを特徴とする面発光型照射装置。
2. 前記制御部は、前記発光素子を同一種類毎に発光させた各場合の、前記反射鏡構造体内からの照射光の波長分布特性それぞれに基づいて、
   前記発光素子からの発光を、種類毎に独立して制御することを特徴とする請求項１記載の面発光型照射装置。
3. 前記制御部は、
   所望の波長分布特性の情報に応じて、前記反射鏡構造体内からの照射光の波長分布特性が、前記所望の波長分布特性に近づくよう、前記発光素子の駆動電流の大きさを種類毎に独立して制御することを特徴とする請求項１または２記載の面発光型照射装置。
4. 光硬化性物質の液滴を対象体に向けて吐出し、前記対象体に前記液滴を被着される吐出手段と、
   前記対象体に被着された前記液滴に、前記主面が対向するよう配置された、請求項１〜３のいずれかに記載の面発光型照射装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
5. 前記面発光型照射装置の前記制御部は、
   前記光硬化性物質の種類に応じて、各発光素子からの発光強度を、それぞれ独立して調整することを特徴とする請求項４記載の液滴吐出装置。
6. 前記光硬化性物質は、紫外線硬化インクであることを特徴とする請求項４または５記載の液滴吐出装置。
7. 基体の主面に形成された複数の反射鏡構造体と、
   前記反射鏡構造体内のそれぞれに設置された、各々異なる波長分布の光を発する複数の発光素子と、
   各発光素子からの発光を各々独立して制御する制御信号が入力される、各発光素子それぞれと接続された入力端子と、を備えたことを特徴とする面発光型照射デバイス。
8. 前記反射鏡構造体は、前記主面に形成された凹部と、前記凹部の内面の少なくとも側面部分に被着された反射層とからなり、
   複数の前記発光素子が、前記凹部の底面に設置されていることを特徴とする請求項７記載の面発光型照射デバイス。
9. 前記反射層は、発光素子の配置位置に応じて、層構成が部分的に異なっていることを特徴とする請求項７または８記載の面発光型照射デバイス。

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