JP2010050369A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板10に第1の受光素子13A及び第2の受光素子13Bを形成する。次に、第1の受光素子13Aが検出した光に応じた電流値(即ち光に対する相対感度を示す電流値)と、第2の受光素子13Bが検出した光に応じた電流値(即ち光に対する相対感度を示す電流値)との差分を算出する演算回路50を形成する。次に、第1の受光素子13Aを覆って、緑色帯域と赤外線帯域の光成分を透過する第1の緑色透過フィルタ15Aを形成し、第2の受光素子13Bを覆って、第1の緑色透過フィルタ15Aと同様の第2の緑色透過フィルタ15Bを形成する。さらに、第2の受光素子13Bを覆う第2の緑色透過フィルタ15Bを覆って、赤色帯域と赤外線帯域の光成分を透過する赤色透過フィルタ16を形成する。
【選択図】図2
Description
13A 第1の受光素子 13B 第2の受光素子
14,114,119 絶縁膜 15A 第1の緑色透過フィルタ
15B 第2の緑色透過フィルタ 16 赤色透過フィルタ
17A,17B 電極 18 層間絶縁膜
19,115 接着剤層 20,117 支持体
116 赤外線カットフィルタ 118 パッド電極
120 配線 121 保護膜
122 バンプ電極
Claims (8)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された第1の受光素子及び第2の受光素子と、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子を覆って形成され、緑色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第1の光学カラーレジストと、
前記第2の受光素子のみを覆って形成され、赤色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第2の光学カラーレジストと、
前記第1の受光素子が検出した光に応じた電流値と、前記第2の受光素子が検出した光に応じた電流値との差分を算出する演算回路と、を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子を覆って、接着剤層を介して前記半導体基板に貼り合わされた支持体を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された第1の受光素子及び第2の受光素子と、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子を覆って、接着剤層を介して前記半導体基板に貼り合わされた支持体と、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子と重畳して前記支持体に形成され、緑色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第1の光学カラーレジストと、
前記第2の受光素子のみを覆って前記半導体基板に形成され、赤色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第2の光学カラーレジストと、
前記第1の受光素子が検出した光に応じた電流値と、前記第2の受光素子が検出した光に応じた電流値との差分を算出する演算回路と、を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記緑色帯域は500nm〜600nmの波長帯域に含まれ、前記赤色帯域は600nm〜700nmの波長帯域に含まれ、前記赤外線帯域は700nm〜1200nmの波長帯域に含まれることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体基板を準備し、
前記半導体基板に第1の受光素子及び第2の受光素子を形成する工程と、
前記第1の受光素子が検出した光に応じた電流値と、前記第2の受光素子が検出した光に応じた電流値との差分を算出する演算回路を前記半導体基板に形成する工程と、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子を覆って、緑色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第1の光学カラーレジストを形成する工程と、
前記第2の受光素子のみを覆って、赤色帯域の光を透過する第2の光学カラーレジストを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子を覆って、接着剤層を介して前記半導体基板に支持体を貼り合わせる工程を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 緑色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第1の光学カラーレジストが形成された支持体と、半導体基板を準備し、
前記半導体基板に第1の受光素子及び第2の受光素子を形成する工程と、
前記第1の受光素子が検出した光に応じた電流値と、前記第2の受光素子が検出した光に応じた電流値との差分を算出する演算回路を前記半導体基板に形成する工程と、
赤色帯域及び赤外線帯域の光を透過する第2の光学カラーレジストを、前記第2の受光素子のみを覆って前記半導体基板に形成する工程と、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子に対して前記第1の光学カラーレジストが重畳するように、接着剤層を介して前記半導体基板に前記支持体を貼り合わせる工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記緑色帯域は500nm以上600nm未満の波長帯域に含まれ、前記赤色帯域は600nm以上〜700nm未満の波長帯域に含まれ、前記赤外線帯域は700nm以上〜1200nm以下の波長帯域に含まれることを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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