JP2010153428A - 光電変換装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板2の一面に複数の光電変換素子B,Cを形成する第1工程と、複数の光電変換素子Bを覆うように可視光領域の少なくとも一部の波長領域の光を遮蔽するカラーフィルタ10を形成する第2工程と、半導体基板2の一面側に支持基体16を接着する第3工程と、光電変換素子Bを覆い、光電変換素子Cを覆わないように、赤外光領域の光を遮蔽する赤外カットフィルタ18を支持基体16上に形成する第4工程と、を含む製造方法により光電変換装置を製造する。
【選択図】図1
Description
第1の実施の形態における光電変換装置100について説明する。図1は、チップサイズパッケージ構造を適用した光電変換装置100の断面図である。ただし、図1は、光電変換装置100の構造が明確になるように示した模式図である。
Claims (6)
- 半導体基板の一面に複数の光電変換素子を形成する第1工程と、
前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆うように可視光領域の少なくとも一部の波長領域の光を遮蔽するカラーフィルタを形成する第2工程と、
前記半導体基板の前記一面側に支持基体を接着する第3工程と、
前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆い、前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆わないように、赤外光領域の光を遮蔽する赤外カットフィルタを前記支持基体上に形成する第4工程と、
を備える光電変換装置の製造方法。 - 請求項1に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第4工程は、前記カラーフィルタで覆われている光電変換素子を覆い、前記カラーフィルタで覆われていない光電変換素子を覆わないように前記赤外カットフィルタを形成することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項1に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第2工程は、前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆うように可視光領域の第1波長領域の光を遮蔽する第1カラーフィルタを形成し、前記第1カラーフィルタで覆われた前記光電変換素子の少なくとも一部を覆うように可視光領域の前記第1波長領域とは異なる第2波長領域の光を遮蔽する第2カラーフィルタを形成し、
前記第4工程は、前記第1カラーフィルタ及び前記第2カラーフィルタにより覆われた前記光電変換素子以外を覆い、前記第1カラーフィルタ及び前記第2カラーフィルタにより覆われた前記光電変換素子を覆わないように前記赤外カットフィルタを形成することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第4工程は、
前記複数の光電変換素子を覆うように赤外カットフィルタを形成する工程と、
前記赤外カットフィルタの一部を除去する工程と、
を含むことを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第1工程は、
前記半導体基板の一面に第1の導電型と第2の導電型の界面を有し、前記赤外カットフィルタで覆われない前記光電変換素子と前記赤外カットフィルタで覆われる前記光電変換素子とを構成し、
前記半導体基板の一面からの前記赤外カットフィルタで覆われない前記光電変換素子の前記界面の深さが、前記赤外カットフィルタで覆われる前記光電変換素子の前記界面の深さに比べ、深く形成することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 一面に複数の光電変換素子が形成された半導体基板と、
前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆うように形成された可視光領域の少なくとも一部の波長領域の光を遮蔽するカラーフィルタと、
前記半導体基板の前記一面側に接着された支持基体と、
前記支持基体上に前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆い、前記複数の光電変換素子の少なくとも一部を覆わないように形成された赤外光領域の光を遮蔽する赤外カットフィルタと、
を備えることを特徴とする光電変換装置。
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JP2008327142A JP2010153428A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 光電変換装置及びその製造方法 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177416A (ja) * | 1992-12-07 | 1994-06-24 | Nippondenso Co Ltd | 光センサー |
JP2006318947A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Rohm Co Ltd | 受光装置およびそれを用いた電子機器 |
JP2008098516A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 光電変換装置 |
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2008
- 2008-12-24 JP JP2008327142A patent/JP2010153428A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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