JP2010047468A - Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 - Google Patents
Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010047468A JP2010047468A JP2009173431A JP2009173431A JP2010047468A JP 2010047468 A JP2010047468 A JP 2010047468A JP 2009173431 A JP2009173431 A JP 2009173431A JP 2009173431 A JP2009173431 A JP 2009173431A JP 2010047468 A JP2010047468 A JP 2010047468A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- refractive index
- yag
- yag single
- optical component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】組成式Y3Al5O12で表されるYAG単結晶であって、真空紫外域(波長200nm以下)における屈折率が2.05以上である。また、前記YAG単結晶はフッ素を含有することができる。フッ素は単結晶中の酸素原子と置換するかまたは酸素欠損を埋めるかのいずれか一方または両方を行うので、YAG単結晶の真空紫外域における透過率を向上させる。
【選択図】図2
Description
111 照明光学系
112 レチクル(マスク)
113 投影光学系
114 投影レンズ
115 液体供給装置
116 液体回収装置
117 液体
118 ステージ
119 露光基板
120 レジスト
Claims (6)
- 組成式Y3Al5O12で表されるYAG単結晶であって、真空紫外域における屈折率が2.05以上であることを特徴とするYAG単結晶。
- 波長193nmにおける屈折率が2.144〜2.145であることを特徴とする請求項1に記載のYAG単結晶。
- フッ素を含有することを特徴とする、請求項1または2に記載のYAG単結晶。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載のYAG単結晶から形成されていることを特徴とする光学部品。
- 光学部品を有する半導体関連機器であって、前記光学部品が請求項4に記載の光学部品であることを特徴とする半導体関連機器。
- 光学部品を有する光学関連機器であって、前記光学部品が請求項4に記載の光学部品であることを特徴とする光学関連機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009173431A JP5476565B2 (ja) | 2008-07-25 | 2009-07-24 | Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008192527 | 2008-07-25 | ||
JP2008192527 | 2008-07-25 | ||
JP2009173431A JP5476565B2 (ja) | 2008-07-25 | 2009-07-24 | Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010047468A true JP2010047468A (ja) | 2010-03-04 |
JP5476565B2 JP5476565B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=42064889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009173431A Expired - Fee Related JP5476565B2 (ja) | 2008-07-25 | 2009-07-24 | Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5476565B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10259716B2 (en) * | 2016-09-16 | 2019-04-16 | General Electric Company | Boron doped rare earth metal oxide compound |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05294724A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-09 | Kurosaki Refract Co Ltd | 固体レーザ用多結晶透明yagセラミックスの製造方法 |
WO2006089919A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical system, in particular objective or illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus |
JP2006251805A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Schott Ag | マイクロリトグラフィー用光学素子の作製方法、同方法により得られるレンズ系、及び同レンズ系の使用方法 |
-
2009
- 2009-07-24 JP JP2009173431A patent/JP5476565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05294724A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-09 | Kurosaki Refract Co Ltd | 固体レーザ用多結晶透明yagセラミックスの製造方法 |
WO2006089919A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical system, in particular objective or illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus |
JP2006251805A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Schott Ag | マイクロリトグラフィー用光学素子の作製方法、同方法により得られるレンズ系、及び同レンズ系の使用方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10259716B2 (en) * | 2016-09-16 | 2019-04-16 | General Electric Company | Boron doped rare earth metal oxide compound |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5476565B2 (ja) | 2014-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006251805A (ja) | マイクロリトグラフィー用光学素子の作製方法、同方法により得られるレンズ系、及び同レンズ系の使用方法 | |
JP2006113533A5 (ja) | ||
KR20070085869A (ko) | 마이크로리소그래피 투사 노광 장치용 투과 광학 요소 및대물체 | |
US6813070B2 (en) | Optical member for vacuum ultraviolet, and aligner and device manufacture method using same | |
JP2000081367A (ja) | 光透過性光学部材、その製造方法、その評価方法、および光リソグラフィー装置 | |
JP5824070B2 (ja) | 光学ガラス、光学素子、および光学機器 | |
JP2010514173A (ja) | 透過性光学素子 | |
JP2009272639A (ja) | 吸収縁域に近い波長に対しての光学素子の光透過性を増大するための装置及び方法 | |
WO2010010950A1 (ja) | ガーネット型単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 | |
JP5476565B2 (ja) | Yag単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 | |
JP2007005777A (ja) | 液浸式露光装置のラストレンズ | |
JP4959526B2 (ja) | BaLiF3単結晶体 | |
JP5237009B2 (ja) | ガーネット型単結晶、それを用いた光学部品およびその関連機器 | |
US20120152730A1 (en) | Glass composition for ultraviolet light and optical device using the same | |
JP4985138B2 (ja) | 透光性セラミックの着色改善方法、およびセラミックハイブリッドレンズの製造方法 | |
WO2006066816A1 (en) | Optical element | |
JP5606100B2 (ja) | ガラス組成物及びそれを用いた光学装置 | |
TW200401052A (en) | Below 160 nm optical lithography crystal materials and methods of making | |
JP2008081377A (ja) | 透光性セラミックス | |
JP5660582B2 (ja) | 酸化物単結晶 | |
US7935947B2 (en) | Glass composition for ultraviolet light and optical device using the same | |
JP2011026142A (ja) | フッ化物結晶の育成方法、フッ化物結晶及び光学部材 | |
Babkina et al. | Luminescent properties of (Cs, Rb) PbBr3 perovskite nanocrystals in borate glass | |
JP2009256150A (ja) | スピネル焼結体 | |
JP2002154897A (ja) | フッ化カルシウム単結晶の製造方法、フッ化カルシウム単結晶 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120719 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120723 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120719 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130430 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5476565 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |