JP2010039246A - レーザビーム整形装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一端からレーザ光を入力し他端から前記レーザの拡散光を放射状に放出する光ファイバと、該光ファイバの他端から所定の距離離れた位置でかつ、前記拡散光の光軸に配置され前記拡散光を所定のビーム径に制御するビーム制御光学系と、該ビーム制御光学系の後段に配置され前記所定のビーム径に制御されたビームの中央部の径を拡大し、周辺部の径を縮小する球面レンズ系と、該球面レンズ系の後段に配置され前記球面レンズ系から出射したビーム径を並行光とするコリメートレンズを配置した。
【選択図】 図1
Description
さらに、集光ディスク12とピンホールディスク13との間にはビームスプリッタ16が固定配置されている。
図7において、光源30は、光ファイバの端面の点光源であって、発散光を発光する。第1凸レンズ31は、光源30からの発散光を正の屈折力により光束を光軸側に屈折させてビーム径を絞りながら凹レンズ32に入射させる。凹レンズ32は、第1凸レンズ32の出射光を負の屈折力により光束を外側に屈折させてほぼ平行光にする。各レンズの球面収差は、光源から出力された際の光強度のガウス分布を平坦な光強度分布にする。
図8(a)において、凸レンズ34では、球面収差により、その外周側に入射する光束はレンズ近くの焦点距離f1に収束し、内周に入射する光束はf1よりも遠い焦点距離f2に収束する。
また、凹レンズ32は、第1凸レンズ31でビーム径全体が絞られるため、凹レンズ32の内側にビームが入射するので凹レンズ32の球面収差は弱くなり、ビーム全体を平行光に近くすると共に光強度分布を平坦にすることができる。第2凸レンズ33は、絞られたビーム径を拡大することでズーミングを可能にする。
なお、従来からレーザー光整形装置としては、一対のレンズアレイを組み合わせたホモジナイザを用いてレーザー光の光強度分布を均一化する構成が知られている。また、二つの非球面レンズを用いてレーザー光の強度分布を均一化するという技術も知られている。
一対のレンズアレイを組み合わせたホモジナイザを用いたり、二つの非球面レンズを用いてレーザー光の強度分布を均一化する場合、構成が複雑となり、コストが高くなり、アレイレンズと非球面レンズの加工性が悪いという問題がある。
また、空間的に均一パワー分布の平行レーザービームを生成するためであるが、できたビームパワー分布は均一になっていない。
図9(a),(b)において、縦軸はビームの相対強度を示し、横軸はビーム径を示している。なお、入射光はNA=0.09の光ファイバ端面からの発散光である。
これに対して、図9(b)は、光強度分布補正後の分布であって、光強度は、ビームの中心からの距離aで急峻に減衰していることが分かる。
しかしながら、光強度はビームの中心からの距離aで急峻に減衰しているが、シェーディングは約30%程度である(周辺パワーは中心より30%低くなっている)。
ニッポウディスク式共焦点顕微鏡のレーザービームを整形し、均一ビームで試料を照明し、カメラで捕らえる蛍光イメージのシェーディングを低減し、レーザーの光量利用効率を向上することを目的としている。
一端からレーザ光を入力し他端から前記レーザの拡散光を放射状に放出する光ファイバと、該光ファイバの他端から所定の距離離れた位置でかつ、前記拡散光の光軸に配置され前記拡散光を所定のビーム径に制御するビーム制御光学系と、該ビーム制御光学系の後段に配置され前記所定のビーム径に制御されたビームの中央部の径を拡大し、周辺部の径を縮小する球面レンズ系と、該球面レンズ系の後段に配置され前記球面レンズ系から出射したビーム径を並行光とするコリメートレンズを配置したことを特徴とする。
前記球面レンズ系は2枚の球面レンズの組み合わせとされ、光線追跡アルゴリズムを行ってレーザ波長の変動を補正するように2枚の球面レンズの距離と球面曲率と厚さを最適化したことを特長とする。
レーザビームの発散角の影響が最小となるように前記ファイバの他端からビーム整形レンズまでの距離を前後に移動させて調整したことを特徴とする。
一端からレーザ光を入力し他端からレーザの拡散光を放射状に放出する光ファイバと、光ファイバの他端から所定の距離離れた位置でかつ、拡散光の光軸に配置され拡散光を所定のビーム径に制御するビーム制御光学系と、ビーム制御光学系の後段に配置され所定のビーム径に制御されたビームの中央部の径を拡大し、周辺部の径を縮小する球面レンズ系と、球面レンズ系の後段に配置され球面レンズ系から出射したビーム径を並行光とするコリメートレンズを配置し、球面レンズ系は2枚の球面レンズの組み合わせとされ、光線追跡アルゴリズムを行ってレーザ波長の変動を補正するように2枚の球面レンズの距離と球面曲率と厚さを最適化し、レーザビームの発散角の影響が最小となるようにファイバの他端からビーム整形レンズまでの距離を前後に移動させて調整したので、レーザービームを整形し、均一ビームで試料を照明し、カメラで捕らえる蛍光イメージのシェーディングを低減し、レーザーの光量利用効率を向上するを実現することができる。
図1において、光源1は、光ファイバの端面の点光源であって、発散光を発光する。一方の面が球状に形成され、他方の面がフラット状に形成された第1レンズ2は光源1からの発散光を入射する。3は一方の面がフラット他方の面が凹レンズ状に形成された第2レンズであり、第1レンズを透過したレーザビームを透過させる。これらのレンズはフラットな面を対向させて所定の空間を隔てて配置されている。
上述の構成において第1,第2レンズは新しいアルゴリズムを用いて各レンズの曲率、厚さなどを最適化されている。
即ち、ファイバから出たビームはガウス分布であり、光線の分布は不均一となっている。そのため、コリメートレンズのところで各光線が均一に分布するように光線追跡アルゴリズムを行って第1、第2レンズの曲率、厚さなどを最適化する。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2 第1レンズ
3 第2レンズ
4 コリメートレンズ
9 集光レンズ
11 共焦点用光スキャナ
12 集光ディスク
13 ピンホールディスク
14 ドラム
15 モータ
16 ビームスプリッタ
17 対物レンズ
18 試料
20 カメラ
31 第1凸レンズ
32,35 凹レンズ
33 第2凸レンズ
19 ピーム拡大レンズ
20 光強度分布補正光学系
30 光源
31 第1凸レンズ
32,35 凹レンズ
33 第2凸レンズ
34 凸レンズ
35 凹レンズ
Claims (3)
- 一端からレーザ光を入力し他端から前記レーザの拡散光を放射状に放出する光ファイバと、該光ファイバの他端から所定の距離離れた位置でかつ、前記拡散光の光軸に配置され前記拡散光を所定のビーム径に制御するビーム制御光学系と、該ビーム制御光学系の後段に配置され前記所定のビーム径に制御されたビームの中央部の径を拡大し、周辺部の径を縮小する球面レンズ系と、該球面レンズ系の後段に配置され前記球面レンズ系から出射したビーム径を並行光とするコリメートレンズを配置したことを特徴とするレーザビーム整形装置。
- 前記球面レンズ系は2枚の球面レンズの組み合わせとされ、光線追跡アルゴリズムを行ってレーザ波長の変動を補正するように2枚の球面レンズの距離と球面曲率と厚さを最適化したことを特長とする請求項1に記載のレーザビーム整形装置。
- レーザビームの発散角の影響が最小となるように前記ファイバの他端からビーム整形レンズまでの距離を前後に移動させて調整したことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザビーム整形装置。
Priority Applications (1)
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JP2008202725A JP5343442B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | レーザビーム整形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008202725A JP5343442B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | レーザビーム整形装置 |
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JP2010039246A true JP2010039246A (ja) | 2010-02-18 |
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ID=42011865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005148344A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Showa Optronics Co Ltd | レーザ光強度分布変換光学系 |
JP2006317508A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Yokogawa Electric Corp | 光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡 |
JP2007121590A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点スキャナ |
JP2008145463A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 楕円ビーム整形光学系とその均一性向上方法 |
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2008
- 2008-08-06 JP JP2008202725A patent/JP5343442B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5343442B2 (ja) | 2013-11-13 |
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