JP2010034590A - Semiconductor device and method of mounting the same - Google Patents
Semiconductor device and method of mounting the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010034590A JP2010034590A JP2009256088A JP2009256088A JP2010034590A JP 2010034590 A JP2010034590 A JP 2010034590A JP 2009256088 A JP2009256088 A JP 2009256088A JP 2009256088 A JP2009256088 A JP 2009256088A JP 2010034590 A JP2010034590 A JP 2010034590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- semiconductor element
- sealing resin
- semiconductor device
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
Abstract
Description
本発明は、一般電気製品に使用される半導体素子を実装した高品質実装構造を有する半導体装置とその実装方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor device having a high-quality mounting structure on which a semiconductor element used for a general electric product is mounted, and a mounting method thereof.
近年、電気製品の小型、薄型化から電子回路基板も小型化が強く望まれている。そして、携帯電話端末をはじめとするモバイル機器は機能の増加が著しく、回路基板のICチップを樹脂モールドされたパッケージでなく裸のまま搭載するフリップチップ実装が強く求められている。 In recent years, downsizing of electronic circuit boards has been strongly demanded from the downsizing and thinning of electrical products. Mobile devices such as mobile phone terminals have a remarkable increase in functions, and there is a strong demand for flip chip mounting in which an IC chip of a circuit board is mounted barely instead of a resin molded package.
このため、様々な半導体素子の実装方法が提案、実用化されており、たとえば液晶モジュールにおけるフレキシブル基板に対するドライバ半導体素子の実装などでは、一般に導電性の粒子を分散させた異方性導電フィルムを半導体素子の実装における封止材として使用する半導体素子の実装方法が多く実用化されてきた。しかしながら、この実装方法では、半導体素子の狭ピッチ進化に対して、接合隣接の絶縁性などの限界が近づきつつあり、また耐湿信頼性の品質の面でも厳しくなってきている。このような問題点に対し、導電粒子を含まない樹脂のフィルムを半導体素子実装における封止材に用いた実装方法が特許文献1に開示されている。
For this reason, various semiconductor element mounting methods have been proposed and put into practical use. For example, in mounting a driver semiconductor element on a flexible substrate in a liquid crystal module, an anisotropic conductive film in which conductive particles are dispersed is generally used as a semiconductor. Many mounting methods of semiconductor elements used as a sealing material in mounting of elements have been put into practical use. However, in this mounting method, the limit of insulation adjacent to the junction is approaching the evolution of the narrow pitch of the semiconductor element, and the quality of moisture resistance reliability is becoming strict. In order to solve such a problem,
この電子機器の回路基板へICチップを接合する方法について、以下に説明する。図6(a1)(a2)に示すように、ウエハをダイシング装置により分割して半導体素子31を個片化し、この半導体素子31の電極パッド上に、Au線を用いたスタッドバンプ32をそれぞれ形成する。これらスタッドバンプ32の高さは通常70〜80μmである。
A method for bonding the IC chip to the circuit board of the electronic device will be described below. As shown in FIGS. 6A1 and 6A2, the wafer is divided by a dicing apparatus to divide the
次に図6(b)に示すように、回路基板33上の半導体素子実装領域に、導電粒子を含まない樹脂シート(封止樹脂)35を置き、圧着ツールを用いて加熱、加圧を行って前記樹脂シート35を回路基板33上に貼り付ける。この時、加熱は樹脂シート35が硬化反応を起こさないで、樹脂シート35の軟化を起こさせ、回路基板33への貼り付けを容易にする温度にすることが必要であり、この時の樹脂シート35の加熱温度は通常60〜100℃で行う。
Next, as shown in FIG. 6B, a resin sheet (sealing resin) 35 not containing conductive particles is placed in the semiconductor element mounting region on the
樹脂シート35上面に貼り付けられたセパレーターと呼ばれるフィルム35aをはがし、図6(c)に示すように、回路基板33上の基板電極34とスタッドバンプ32が接するように半導体素子31を位置合わせして、回路基板33上にマウントする。
The
図6(d)に示すように、加熱可能な圧着ツール37により、半導体素子31を回路基板33上に加熱、加圧して樹脂シート35の硬化反応を起こさせて圧着する。このときの圧着条件は通常180〜240℃、8〜30秒で行う。
As shown in FIG. 6D, the
上記工程により、半導体素子31の実装を容易に短時間に行え、かつ信頼性の高いCSP(チップサイズパッケージ)と呼ばれる半導体パッケージなどが提供されていた。
Through the above process, a semiconductor package called a CSP (chip size package) that can easily mount the
しかしながら、上記従来の半導体素子の実装方法は、以下のような問題点を有する。 However, the conventional method for mounting a semiconductor device has the following problems.
一般に、半導体パッケージにおいては、半導体素子を実装した半導体装置を回路基板にはんだ付けリフローする必要がある。しかしながら、半導体装置の封止の機能を有する樹脂シートが吸湿している場合では、はんだ付けリフローの急激な温度上昇によって半導体装置内の吸湿水分が急激に体積膨張を起こし、半導体装置の実装部が破壊されたり、また半導体装置の接合部の品質が低下するという問題が生じる。 In general, in a semiconductor package, it is necessary to solder and reflow a semiconductor device on which a semiconductor element is mounted on a circuit board. However, when the resin sheet having the function of sealing the semiconductor device absorbs moisture, the moisture absorption in the semiconductor device rapidly expands due to the rapid temperature rise of the soldering reflow, and the mounting portion of the semiconductor device becomes There arises a problem that the semiconductor device is broken or the quality of the junction of the semiconductor device is deteriorated.
そのため、従来の対策として、はんだ付け前に、半導体装置の乾燥工程を行うか、または半導体装置の保管時に高精度で湿度管理を行っており、これら乾燥工程および湿度管理が高コスト化の一因となっていた。 Therefore, as a conventional measure, the drying process of the semiconductor device is performed before soldering, or the humidity management is performed with high accuracy when the semiconductor device is stored, and the drying process and the humidity management are a cause of high cost. It was.
本発明は、上記問題点を解決する半導体装置およびその実装方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a semiconductor device that solves the above-described problems and a mounting method thereof.
請求項1記載の発明は、半導体素子と回路基板とを、前記半導体素子の電極上に形成したバンプと、前記回路基板上に設けた配線とを介して電気的に接合し、前記半導体素子と回路基板の間に封止樹脂を介在させた半導体装置において、前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な構造が、回路基板に形成された貫通穴により構成され、前記貫通穴の位置が、回路基板の半導体素子実装領域の隅部に形成されたものである。 According to the first aspect of the present invention, a semiconductor element and a circuit board are electrically joined to each other through a bump formed on an electrode of the semiconductor element and a wiring provided on the circuit board. In a semiconductor device in which a sealing resin is interposed between circuit boards, a structure capable of reducing the stress generated by a moisture absorption component contained in the sealing resin is configured by a through hole formed in the circuit board, and the through hole The positions of the holes are formed in the corners of the semiconductor element mounting region of the circuit board.
請求項2記載の発明は、吸湿成分により発生する応力を減少可能な構造が、回路基板に形成された貫通穴により構成され、前記貫通穴の位置が、回路基板の半導体素子実装領域の隣接する2辺から0.6mm以内の隅部に形成されたものである。 According to a second aspect of the present invention, the structure capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component is constituted by a through hole formed in the circuit board, and the position of the through hole is adjacent to the semiconductor element mounting region of the circuit board. It is formed at the corner within 0.6 mm from the two sides.
請求項3記載の発明は、貫通穴内に、封止樹脂の漏出を防止する閉塞用樹脂が充填されたものである。 According to the third aspect of the present invention, the through hole is filled with a closing resin for preventing leakage of the sealing resin.
請求項4記載の発明は、半導体素子の実装面と反対の面の貫通穴の開口部が、封止樹脂の漏出を防止する閉塞用シート状樹脂フィルムにより覆われたものである。 According to a fourth aspect of the present invention, the opening of the through hole on the surface opposite to the mounting surface of the semiconductor element is covered with a closing sheet-like resin film that prevents leakage of the sealing resin.
請求項5記載の発明は、半導体素子と回路基板とを、前記半導体素子の電極上に形成したバンプと、前記回路基板上に設けた配線とを介して電気的に接合し、前記半導体素子と回路基板の間に封止樹脂を介在させた半導体装置において、前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質として、封止樹脂の樹脂材料の透湿度が32〜58g/m2の範囲とされたものである。 According to a fifth aspect of the present invention, a semiconductor element and a circuit board are electrically joined to each other through a bump formed on an electrode of the semiconductor element and a wiring provided on the circuit board. In a semiconductor device in which a sealing resin is interposed between circuit boards, the moisture permeability of the resin material of the sealing resin is 32 to 58 g / as a material capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the sealing resin. The range is m 2 .
請求項6記載の発明は、半導体素子と回路基板とを、前記半導体素子の電極上に形成したバンプと、前記回路基板上に設けた配線とを介して電気的に接合し、前記半導体素子と回路基板の間に封止樹脂を介在させた半導体装置において、前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質として、封止樹脂の樹脂材料に添加される無機フィラー量が40〜60w%の範囲とされたものである。 According to a sixth aspect of the present invention, a semiconductor element and a circuit board are electrically joined to each other via a bump formed on an electrode of the semiconductor element and a wiring provided on the circuit board. In a semiconductor device in which a sealing resin is interposed between circuit boards, the amount of inorganic filler added to the resin material of the sealing resin is a material that can reduce the stress generated by the moisture absorption component contained in the sealing resin. The range is 40 to 60 w%.
請求項7記載の発明は、回路基板上に設けた配線上に、封止樹脂を介して半導体素子電極上のバンプを電気的に接合するに際し、回路基板上の半導体素子実装領域の隅部に、貫通穴を形成し、前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を前記貫通穴から脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧し、封止樹脂を硬化させて半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合するものである。 According to the seventh aspect of the present invention, when the bump on the semiconductor element electrode is electrically bonded to the wiring provided on the circuit board via the sealing resin, the corner of the semiconductor element mounting region on the circuit board is formed. Forming a through hole, and heating the semiconductor element, the circuit board, or the sealing resin to add the semiconductor element and the circuit board while dehumidifying moisture contained in the sealing resin from the through hole. The sealing resin is cured and the bumps of the semiconductor element are bonded to the wiring of the circuit board.
請求項8記載の発明は、前記貫通穴内に閉塞用樹脂を充填した後、加熱して脱湿しつつ加圧して接合し、前記閉塞用樹脂により封止樹脂の漏出を防止するものである。 According to an eighth aspect of the present invention, after the closing resin is filled in the through hole, heating and dehumidification are performed while applying pressure and bonding, and the sealing resin prevents leakage of the sealing resin.
請求項9記載の発明は、前記半導体素子の実装面に反対の面の貫通穴の開口部を閉塞用シート状樹脂フィルムにより覆った後、加熱して脱湿しつつ加圧して接合し、前記閉塞用シート状樹脂フィルムにより貫通穴からの封止樹脂の漏出を防止するものである。 In the invention according to claim 9, after the opening portion of the through hole on the opposite surface to the mounting surface of the semiconductor element is covered with a closing sheet-like resin film, it is heated and dehumidified to be pressed and bonded, The sealing resin sheet prevents leakage of the sealing resin from the through hole.
請求項10記載の発明は、回路基板上に設けた配線上に、封止樹脂を介して半導体素子電極上のバンプを電気的に接合するに際し、前記封止樹脂の樹脂材料の透湿度を、32g/m2以上で58g/m2以下とし、前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧して封止樹脂を硬化させ半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合するものである。 In the invention according to claim 10, when the bumps on the semiconductor element electrode are electrically bonded to the wiring provided on the circuit board through the sealing resin, the moisture permeability of the resin material of the sealing resin is 32 g / m 2 or more and 58 g / m 2 or less, and heating the semiconductor element, the circuit board, or the sealing resin to dehumidify moisture absorbed in the sealing resin, Is applied to cure the sealing resin to bond the bumps of the semiconductor element and the wiring of the circuit board.
請求項11記載の発明は、回路基板上に設けた配線上に、封止樹脂を介して半導体素子電極上のバンプを電気的に接合するに際し、前記封止樹脂の樹脂材料の無機フィラー量を、40〜60w%の範囲とし、前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧して封止樹脂を硬化させ半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合するものである。
The invention according to
請求項12記載の発明は、半導体素子の圧着時の封止樹脂の加熱温度を240〜280℃の範囲としたものである。 In the invention of claim 12, the heating temperature of the sealing resin at the time of pressure bonding of the semiconductor element is in the range of 240 to 280 ° C.
本発明によれば、加熱、加圧接合時に、封止樹脂の吸湿水分が効果的に脱湿されるので、吸湿水分の急激な体積膨張による実装部の破壊や、半導体装置の接合部への負荷を抑制でき、品質を低下させることがない。 According to the present invention, the moisture absorption moisture of the sealing resin is effectively dehumidified at the time of heating and pressure bonding, so that the mounting portion is destroyed due to the rapid volume expansion of moisture absorption moisture, or the semiconductor device is bonded to the junction. The load can be suppressed and the quality is not reduced.
請求項1、2または7記載の発明によれば、はんだ付けリフロー時に吸湿水分の急激な膨張により破壊されやすい半導体素子の隅部に対応する実装領域の隅部に貫通穴を形成することにより、封止樹脂からの脱湿を効果的に行うことができ、回路基板の実装部が破壊されるのを未然に防止することができる。
According to the invention of
請求項3または8記載の発明によれば、はんだ付けリフロー時に、閉塞用樹脂により、貫通穴から封止樹脂が外部に漏出するのを防止することができる。
According to invention of
請求項4または9記載の発明によれば、はんだ付けリフロー時に、閉塞用シート状樹脂フィルムにより、貫通穴から封止樹脂が外部に漏出するのを防止することができる。
According to invention of
請求項5または10記載の発明によれば、封止樹脂の透湿度を32g/m2以上で58g/m2以下とすることにより、封止樹脂からの吸湿水分の脱湿を容易にして、吸湿水分の急激な体積膨張による実装部の破壊や、半導体装置の接合部の品質低下を防止することができる。
According to the invention of
請求項6または11記載の発明によれば、封止樹脂の樹脂材料の無機フィラー量を40〜60w%とすることにより、特に吸湿後のリフロー接続信頼性を向上することができる。
According to invention of
請求項12記載の発明によれば、封止樹脂の加熱温度を240〜280℃とすることにより、樹脂硬化時の架橋密度を下げ、半導体装置の封止樹脂からの脱湿を容易にすることができる。 According to the twelfth aspect of the present invention, by setting the heating temperature of the sealing resin to 240 to 280 ° C., the crosslink density at the time of resin curing is lowered, and the dehumidification of the semiconductor device from the sealing resin is facilitated. Can do.
以下、本発明に係る半導体装置およびその実装方法の実施の形態を図1〜図5を用いて説明する。 Embodiments of a semiconductor device and a mounting method thereof according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
(第1の実施の形態)
まず、半導体装置およびその実装方法の第1の実施の形態を図1を用いて説明する。この第1の実施の形態では、はんだ付け時の温度上昇に起因して樹脂シート5に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な構造が、半導体素子1に形成された貫通穴11により構成されている。
(First embodiment)
First, a first embodiment of a semiconductor device and its mounting method will be described with reference to FIG. In the first embodiment, the structure capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the
図1(a)〜(e)は回路基板への半導体素子の実装方法と構造体を示している。 1A to 1E show a method for mounting a semiconductor element on a circuit board and a structure.
図1(a1)〜(a3)に示すように、半導体素子1は、たとえば厚みが0.4mm、サイズが12mm×12mmに形成され、4つの隅部にそれぞれ貫通穴11が形成されている。これら貫通穴11は、隣接する2辺から距離x1=0.6mm以内,y1=0.6mm以内の隅部に中心を有し、内径d1がたとえば0.3mmに形成されている。
As shown in FIGS. 1 (a1) to (a3), the
またこの半導体素子1の電極上に形成されたバンプ2の最小ピッチは120μmで、バンプ2としてスタッドバンプ形成方式で金バンプを形成し、このバンプ2の台座サイズは80μmとした。
The minimum pitch of the
ここで前記貫通穴11は、4つの隅部のうち少なくとも1箇所以上に形成されればよい。もちろん、四隅以外に貫通穴11を形成してもよいが、半導体素子1の四隅以外に貫通穴11を形成可能な領域がないためである。また貫通穴11の位置が、隣接する2辺から距離x1=0.6mm以内,y1=0.6mm以内であるのは、距離x1,y1を越えると、ICアクティブ領域に入るためである。さらに貫通穴11の内径d1は、0.1〜0.5mmの範囲が有効である。これは、貫通穴11は内径d1が0.1mm未満では穿孔できないためであり、また内径d1が0.5mmを越えると後述する樹脂シート5の樹脂漏れが発生するからである。なお、貫通穴11は1つの隅部に複数個を形成してもよい。
Here, the through
図1(b)に示すように、回路基板3はアルミナを主成分(96wt%)とするセラミック基板で、厚みが0.4mmに形成されている。前記回路基板3上に形成された電極4の材質はタングステンで、その表面に金メッキが施されている。この回路基板3に、厚みが60μmのエポキシ樹脂を主成分とする樹脂シート(封止樹脂)5が半導体素子1の実装領域に貼り付けられる。この樹脂シート5の貼り付け条件は、加熱温度が80℃で、加圧時間が3秒である。
As shown in FIG. 1B, the
図1(c)に示すように、回路基板3の電極4と半導体素子1のバンプ2が接するように位置合わせし、次いで実装ヘッドによりマウントされる。マウント時には、回路基板3を保持するステージ温度、実装ヘッド温度は常温とする。
As shown in FIG. 1C, the
図1(d)に示すように、圧着ツール7により、半導体素子1を上面から温度260℃に加熱して20秒間加圧し、回路基板3の電極4と半導体素子1のバンプ2とを接続し、封止機能を有する樹脂シート5の硬化を同時に行う。この時の接続抵抗値は10Ω/バンプである。
As shown in FIG. 1D, the crimping
図1(e1)(e2)は、半導体素子1を実装した半導体装置の構造を示している。
FIGS. 1E1 and 1E2 show the structure of a semiconductor device on which the
上記第1の実施の形態によれば、半導体素子1の隅部に形成された貫通穴11により、貫通穴11を介して樹脂シート5の吸湿成分を良好に逃がすことができ、吸湿成分による体積膨張に起因して発生する応力発生を抑制することができる。また貫通穴11により残った応力を吸収することができる。したがって、はんだ付けリフローによる実装部の破壊や接合部の品質低下を防止することができ、接続信頼性を向上して、乾燥工程や高精度な湿度管理が不要となり、半導体装置の製造コストを低減できる。
According to the first embodiment, the through
上記実装方法により製造された半導体装置のリフロー試験(一定環境で吸湿させた後リフローにより熱処理する試験:規格としてJEDECレベル1〜3があり、本評価はレベル2)を実施した結果を表1に示す。
Table 1 shows the results of performing a reflow test of a semiconductor device manufactured by the above mounting method (test for heat treatment by reflow after moisture absorption in a constant environment:
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態に係る半導体装置および回路基板への半導体素子の実装方法を図2を用いて説明する。この第2の実施の形態では、はんだ付け時の温度上昇に起因して樹脂シート5に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な構造が、回路基板3に形成された貫通穴21により構成されている。なお、第1の実施の形態と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
(Second Embodiment)
A semiconductor device and a method for mounting a semiconductor element on a circuit board according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the structure capable of reducing the stress generated by the hygroscopic component contained in the
図2(a)〜(c)に示すように、この半導体装置は、前記貫通穴を有しない半導体素子1を用いて、第1の実施の形態と同一条件で実装されたものである。
As shown in FIGS. 2A to 2C, this semiconductor device is mounted using the
すなわち、樹脂シート(封止樹脂)5が取り付けられる回路基板3の半導体素子実装領域3aの4つの隅部に貫通穴21がそれぞれ形成されている。これら貫通穴21は、半導体素子実装領域3aの隣接する2辺から距離x2=0.6mm以内,y2=0.6mm以内に中心を有し、内径d2がたとえば0.3mmに形成されている。
That is, the through
ここで前記貫通穴21は、回路基板3の半導体素子実装領域3aの4つの隅部のうち少なくとも1箇所以上であればよい。また貫通穴21の位置は、隣接する2辺から距離x2=0.6mm以内,y2=0.6mm以内であるのは、その距離x2,y2を越えるとICアクティブ領域に入るためである。さらに貫通穴21の内径d2は、0.1〜0.5mmの範囲が有効である。これは、貫通穴21は内径d2が0.1mm未満では穿孔できないためであり、また内径d2が0.5mmを越えると樹脂シート5の樹脂漏れが発生するからである。なお、貫通穴21は1つの隅部に複数個を形成してもよい。
Here, the through
上記第2の実施の形態によれば、回路基板3の半導体素子実装領域3aの隅部に形成された貫通穴21により、樹脂シート5の吸湿成分を良好に逃がすことができ、吸湿成分による体積膨張に起因して発生する応力発生を抑制することができる。また貫通穴21により残った応力を吸収することができる。したがって、はんだ付けリフローによる実装部の破壊や接合部の品質低下を防止することができ、接続信頼性を向上して、乾燥工程や高精度な湿度管理が不要となり、半導体装置の製造コストを低減できる。
According to the second embodiment, the through-
上記実装方法により製造された半導体装置のリフロー試験(一定環境で吸湿させた後リフローにより熱処理する試験:規格としてJEDECレベル1〜3があり、本評価はレベル2)を実施した結果を表2に示す。
Table 2 shows the results of performing a reflow test of a semiconductor device manufactured by the above mounting method (test to heat-treat by reflow after absorbing moisture in a constant environment:
上記実験によれば、回路基板3に貫通穴21を設けることにより、吸湿リフロー試験における接続信頼性を向上することができた。このときの1接続当たりの接続抵抗値は10Ω/バンプであった。
According to the above experiment, the connection reliability in the moisture absorption reflow test could be improved by providing the through
図3は、第2の実施の形態の第1変形例を示し、樹脂シート5の封止樹脂の漏れを防止するために貫通穴21に閉塞用樹脂22を充填した構造を示している。これにより、封止樹脂である樹脂シート5に替えて、液状樹脂を使用した場合でも、貫通穴21からの樹脂漏れを防止することができる。
FIG. 3 shows a first modification of the second embodiment, and shows a structure in which the through
図4は、第2の実施の形態の第2変形例を示し、封止樹脂の漏れを防止するために、貫通穴21の実装面の反対面を閉塞用樹脂シート(閉塞用シート状樹脂フィルム)23で覆う構造を示している。これにより、樹脂シート5に替えて液状樹脂を封止樹脂として使用した場合でも、閉塞用樹脂シート23により、貫通穴21からの樹脂漏れを防止することができる。
FIG. 4 shows a second modification of the second embodiment. In order to prevent leakage of the sealing resin, the surface opposite to the mounting surface of the through
(第3の実施の形態)
本発明に係る半導体装置および半導体素子の実装方法の第3の実施の形態を説明する。この第3の実施の形態では、はんだ付け時の温度上昇に起因して樹脂シート5に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質が、樹脂シート5の透湿度を選択することにより構成されている。なお、第1の実施の形態と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
(Third embodiment)
A semiconductor device and a semiconductor element mounting method according to a third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, the material capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the
図5に示すように、第1および第2の実施の形態における貫通穴11,21を有しない半導体素子1と回路基板3、および透湿度の異なる樹脂シート5を用いて、図1と同様の条件で半導体素子の実装を行ったものである。この実験では、樹脂シート5の透湿度が、17〜65g/m2の範囲内で6種類選択された。
As shown in FIG. 5, using the
ここで樹脂シート5は、熱硬化性樹脂であり、エポキシ系樹脂が選択されている。たとえばこのエポキシ系樹脂は、ビスフェノールA,Fを主成分とし、透湿性向上剤としてアクリル変性エポキシまたは熱可塑性樹脂であるブタジエンゴム、アクリロニトリル、アクリルが添加されたものである。
Here, the
上記第3の実施の形態によれば、樹脂シート5の脱湿構造を、透湿度が32〜58g/m2の範囲内とすることで、樹脂シート5の吸湿成分を良好に逃がすことができ、吸湿成分により発生する体積膨張に起因して発生する応力発生を抑制することができる。したがって、はんだ付けリフローによる実装部の破壊や接合部の品質低下を防止することができ、接続信頼性を向上して、乾燥工程や高精度な湿度管理が不要となり、半導体装置の製造コストを低減できる。
According to the said 3rd Embodiment, the moisture absorption component of the
(第4の実施の形態)
本発明に係る半導体装置および半導体素子の実装方法の第4の実施の形態を説明する。はんだ付け時の温度上昇に起因して樹脂シート5に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質が、樹脂シート5への無機フィラー添加量を選択して吸湿量を調整することにより構成されている。なお、第4の実施の形態は図5と同様であり、第1の実施の形態と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
(Fourth embodiment)
A semiconductor device and a semiconductor element mounting method according to a fourth embodiment of the present invention will be described. The material capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the
半導体装置は、貫通穴11を有しない半導体素子1を第1の実施の形態と同一条件で実装した。封止機能を有する樹脂シート5に、ほとんど吸湿しない無機フィラーを40〜60wt%の割合で添加することにより、シート全体で吸湿する樹脂の量を減少させ、樹脂シート5全体の吸湿量を減らしている。
In the semiconductor device, the
前記樹脂シート5は熱硬化性樹脂であり、エポキシ系樹脂が選択されている。たとえばこのエポキシ系樹脂は、ビスフェノールA,Fを主成分とし、透湿性向上剤としてアクリル変性エポキシまたは熱可塑性樹脂であるブタジエンゴム、アクリロニトリル、アクリルが添加されたものが採用された。また無機フィラーとして、シリカSiO2、またはアルミナAl2O3が採用される。このときの1接続当たりの接続抵抗値は10Ω/バンプであった。
The
上記第4の実施の形態によれば、樹脂シート5に添加する無機フィラーを40〜60wt%の割合とすることにより、樹脂シート5の吸湿量を大幅に減少させ、吸湿成分による体積膨張に起因して発生する応力発生を抑制することができる。したがって、はんだ付けリフローによる実装部の破壊や接合部の品質低下を防止することができ、接続信頼性を向上して、乾燥工程や高精度な湿度管理が不要となり、半導体装置の製造コストを低減できる。
According to the fourth embodiment, by setting the inorganic filler added to the
(第5の実施の形態)
本発明に係る半導体装置および半導体素子の実装方法の第5の実施の形態を説明する。この第5の実施の形態では、はんだ付け時の温度上昇に起因して樹脂シート5に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な方法として、半導体素子1と回路基板3との圧着温度条件を選択している。なお、第1の実施の形態と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of a semiconductor device and a semiconductor element mounting method according to the present invention will be described. In the fifth embodiment, as a method capable of reducing the stress generated by the hygroscopic component contained in the
この半導体装置は、第1および第2の実施の形態における貫通穴11,21を有しない半導体素子1と回路基板3とを、圧着ツール7を用いて、圧着温度条件を200〜320℃の範囲で変化させて、加圧(加熱)時間20秒で圧着して製造したもので、前記表3に示すように、樹脂シート5は、その透湿度を17から65g/m2の範囲で異なるものを選択している。この時、セラミック製の回路基板3の電極4と半導体素子1上のバンプ2の接続と封止機能を有する樹脂シート5の硬化が同時に行われている。このときの1接続当たりの接続抵抗値は10Ω/バンプであった。
This semiconductor device uses a crimping
前記表3に上記半導体装置のリフロー試験による樹脂シート5の透湿度条件とその結果を示している。
Table 3 shows the moisture permeability conditions and the results of the
前記表3によれば、圧着温度が240〜280℃の範囲で吸湿リフロー試験における接続信頼性を向上することができた。ここで、圧着温度が240℃未満では、リフロー加熱時の応力が大きく、実装部の破壊や接合部の品質低下が生じるおそれがあるからであり、また圧着温度が280℃を越えると、逆方向の応力が大きくなりすぎるためである。 According to Table 3, the connection reliability in the moisture absorption reflow test could be improved when the pressure bonding temperature was 240 to 280 ° C. Here, when the pressure bonding temperature is less than 240 ° C., the stress during reflow heating is large, and there is a possibility that the mounting portion may be broken or the quality of the bonded portion may be deteriorated. This is because the stress of becomes too large.
また加圧時間は20秒としたが、加圧時間は5〜30秒の範囲が好ましく、5秒未満では、樹脂シート5の硬化が不十分となり、また30秒を越えると、生産性が低下するからである。
The pressurization time is 20 seconds, but the pressurization time is preferably in the range of 5 to 30 seconds. If the pressurization time is less than 5 seconds, the
上記第5の実施の形態によれば、樹脂シート5の透湿度を32〜58g/m2の範囲とし、かつ半導体素子1と回路基板3との圧着温度条件を240〜280℃の範囲とすることにより、樹脂シート5の吸湿成分を良好に逃がすことができ、吸湿成分による体積膨張に起因して発生する応力発生を抑制することができる。したがって、はんだ付けリフローによる実装部の破壊や接合部の品質低下を防止することができ、接続信頼性を向上して、乾燥工程や高精度な湿度管理が不要となり、半導体装置の製造コストを低減できる。
According to the fifth embodiment, the moisture permeability of the
なお、上記第1〜第5の実施の形態を任意に選択して組合わせることもできる。 The first to fifth embodiments can be arbitrarily selected and combined.
本発明にかかる半導体装置およびその実装方法は、加熱、加圧接合時に、封止樹脂の吸湿水分が効果的に脱湿されるので、吸湿水分の急激な体積膨張による実装部の破壊や、半導体装置の接合部への負荷を抑制でき、品質を低下させることがなく、例えばCSPタイプの半導体装置に有用である。また例えば、携帯電話端末をはじめとするモバイル機器に供される半導体装置、例えば液晶モジュールのドライバに有用である。 In the semiconductor device and the mounting method thereof according to the present invention, the moisture absorption moisture of the sealing resin is effectively dehumidified at the time of heating and pressure bonding. The load on the junction of the device can be suppressed, and the quality is not deteriorated. For example, it is useful for a CSP type semiconductor device. For example, it is useful for a driver of a semiconductor device such as a liquid crystal module used in a mobile device such as a mobile phone terminal.
1 半導体素子
2 バンプ
3 回路基板
4 電極
5 樹脂シート
7 圧着ツール
11 貫通穴
21 貫通穴
22 閉塞用樹脂
23 閉塞用樹脂シート(閉塞用シート状樹脂フィルム)
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な構造が、回路基板に形成された貫通穴により構成され、前記貫通穴の位置が、回路基板の半導体素子実装領域の隅部に形成されたことを特徴とする半導体装置。 A semiconductor element and a circuit board are electrically bonded via bumps formed on the electrodes of the semiconductor element and wirings provided on the circuit board, and a sealing resin is provided between the semiconductor element and the circuit board. In a semiconductor device interposing
The structure capable of reducing the stress generated by the hygroscopic component contained in the sealing resin is constituted by a through hole formed in the circuit board, and the position of the through hole is at the corner of the semiconductor element mounting region of the circuit board. A semiconductor device formed.
前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質として、封止樹脂の樹脂材料の透湿度が32〜58g/m2の範囲とされたことを特徴とする半導体装置。 A semiconductor element and a circuit board are electrically bonded via bumps formed on the electrodes of the semiconductor element and wirings provided on the circuit board, and a sealing resin is provided between the semiconductor element and the circuit board. In a semiconductor device interposing
A semiconductor device characterized in that the moisture permeability of the resin material of the sealing resin is in the range of 32 to 58 g / m 2 as a material capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the sealing resin.
前記封止樹脂に含まれる吸湿成分により発生する応力を減少可能な材質として、封止樹脂の樹脂材料に添加される無機フィラー量が40〜60w%の範囲とされたことを特徴とする半導体装置。 A semiconductor element and a circuit board are electrically bonded via bumps formed on the electrodes of the semiconductor element and wirings provided on the circuit board, and a sealing resin is provided between the semiconductor element and the circuit board. In a semiconductor device interposing
A semiconductor device characterized in that the amount of inorganic filler added to the resin material of the sealing resin is in the range of 40 to 60 w% as a material capable of reducing the stress generated by the moisture absorption component contained in the sealing resin. .
回路基板上の半導体素子実装領域の隅部に、貫通穴を形成し、
前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を前記貫通穴から脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧し、封止樹脂を硬化させて半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合する
ことを特徴とする半導体装置の実装方法。 When electrically connecting the bumps on the semiconductor element electrode on the wiring provided on the circuit board via the sealing resin,
In the corner of the semiconductor element mounting area on the circuit board, through holes are formed,
Either the semiconductor element, the circuit board, or the sealing resin is heated to pressurize the semiconductor element and the circuit board while dehumidifying moisture contained in the sealing resin from the through hole, and the sealing resin is cured. A semiconductor device mounting method comprising bonding a bump of a semiconductor element and a wiring of a circuit board.
前記封止樹脂の樹脂材料の透湿度を、32g/m2以上で58g/m2以下とし、
前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧して封止樹脂を硬化させ半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合する
ことを特徴とする半導体装置の実装方法。 When electrically connecting the bumps on the semiconductor element electrode on the wiring provided on the circuit board via the sealing resin,
The moisture permeability of the resin material of the sealing resin is 32 g / m 2 or more and 58 g / m 2 or less,
The semiconductor element, the circuit board, or the sealing resin is heated to dehumidify moisture contained in the sealing resin and pressurize the semiconductor element and the circuit board to cure the sealing resin. A method of mounting a semiconductor device, comprising bonding a bump and a wiring of a circuit board.
前記封止樹脂の樹脂材料の無機フィラー量を、40〜60w%の範囲とし、
前記半導体素子、回路基板、封止樹脂のいずれかを加熱して封止樹脂に含まれる吸湿水を脱湿しつつ前記半導体素子と回路基板とを加圧して封止樹脂を硬化させ半導体素子のバンプと回路基板の配線とを接合する
ことを特徴とする半導体装置の実装方法。 When electrically connecting the bumps on the semiconductor element electrode on the wiring provided on the circuit board via the sealing resin,
The amount of inorganic filler in the resin material of the sealing resin is in the range of 40 to 60 w%,
The semiconductor element, the circuit board, or the sealing resin is heated to dehumidify moisture contained in the sealing resin and pressurize the semiconductor element and the circuit board to cure the sealing resin. A method of mounting a semiconductor device, comprising bonding a bump and a wiring of a circuit board.
The method for mounting a semiconductor device according to claim 10, wherein the heating temperature of the sealing resin at the time of pressure bonding of the semiconductor element is in a range of 240 to 280 ° C.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256088A JP5230580B2 (en) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | Semiconductor device and mounting method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256088A JP5230580B2 (en) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | Semiconductor device and mounting method thereof |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004354759A Division JP4436748B2 (en) | 2004-12-08 | 2004-12-08 | Semiconductor device and mounting method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010034590A true JP2010034590A (en) | 2010-02-12 |
JP5230580B2 JP5230580B2 (en) | 2013-07-10 |
Family
ID=41738625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256088A Expired - Fee Related JP5230580B2 (en) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | Semiconductor device and mounting method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5230580B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014174100A (en) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Humidity sensor |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09260433A (en) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Nitto Denko Corp | Manufacture of semiconductor device and semiconductor device provided thereby |
JPH1126627A (en) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Mitsui Chem Inc | Semiconductor mounting board |
JP2001127194A (en) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Sharp Corp | Flip chip semiconductor device and its manufacturing method |
JP2002076059A (en) * | 2000-09-01 | 2002-03-15 | Misuzu Kogyo:Kk | Circuit board |
-
2009
- 2009-11-09 JP JP2009256088A patent/JP5230580B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09260433A (en) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Nitto Denko Corp | Manufacture of semiconductor device and semiconductor device provided thereby |
JPH1126627A (en) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Mitsui Chem Inc | Semiconductor mounting board |
JP2001127194A (en) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Sharp Corp | Flip chip semiconductor device and its manufacturing method |
JP2002076059A (en) * | 2000-09-01 | 2002-03-15 | Misuzu Kogyo:Kk | Circuit board |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014174100A (en) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Humidity sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5230580B2 (en) | 2013-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5066529B2 (en) | Semiconductor element mounting structure and semiconductor element mounting method | |
US7009307B1 (en) | Low stress and warpage laminate flip chip BGA package | |
US7190066B2 (en) | Heat spreader and package structure utilizing the same | |
US7554191B2 (en) | Semiconductor device having a heatsink plate with bored portions | |
JP2008135521A (en) | Semiconductor device and its manufacturing method | |
JP4203031B2 (en) | Manufacturing method of multilayer electronic component | |
JP2007281129A (en) | Stacked semiconductor device | |
US9258890B2 (en) | Support structure for stacked integrated circuit dies | |
KR100748558B1 (en) | Chip size package and method of fabricating the same | |
JP2009105209A (en) | Electronic device and method of manufacturing the same | |
JP2010050262A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2007242684A (en) | Laminated semiconductor device and laminating method of device | |
JP5230580B2 (en) | Semiconductor device and mounting method thereof | |
TWI555101B (en) | Package structure and method of manufacture | |
JP4436748B2 (en) | Semiconductor device and mounting method thereof | |
JP2010135501A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2008277457A (en) | Multilayer semiconductor device and package | |
JP2007067053A (en) | Module with built-in component, and manufacturing method thereof | |
JP5851952B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
JP2002289735A (en) | Semiconductor device | |
JP2009188392A (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
JP2006286782A (en) | Wiring board, semiconductor device, and manufacturing method thereof | |
JP2009135279A (en) | Ceramic chip component | |
JP6019983B2 (en) | Semiconductor package inspection method and mounting method and mounting structure using the same | |
JP2000277564A (en) | Semiconductor device and manufacture thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130319 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |