JP2010032622A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. ミクロ光学系とマクロ光学系との結像位置を共有した観察装置において、
   前記ミクロ光学系の射出瞳位置を瞳リレー光学系でリレーすることによってできた第１の瞳位置とし、
   前記マクロ光学系の射出瞳位置である瞳位置を第２の瞳位置としたときに、
   前記第１の瞳位置と前記第２の瞳位置が略一致することを特徴とする観察装置。
2. 前記瞳リレー光学系は２群構成であって、物体側から、
   正の屈折力を持つ第１瞳リレー光学系レンズ群と、
   正の屈折力を持つ第２瞳リレー光学系レンズ群とで構成され、
   前記第１瞳リレー光学系レンズ群と前記第２瞳リレー光学系レンズ群との間に１次像が結像することを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
3. 前記マクロ光学系は、物体側から前記第２の瞳位置までが３群構成であって、
   負の屈折力をもつ第１マクロ光学系レンズ群と、
   負の屈折力をもつ第２マクロ光学系レンズ群と、
   正の屈折力をもつ第３マクロ光学系レンズ群とで構成されることを特徴とする請求項２に記載の観察装置。
4. 前記第１マクロ光学系レンズ群と前記第２マクロ光学系レンズ群は互いに凹面を向かい合わせて配置されることを特徴とする請求項３に記載の観察装置。
5. 前記第３マクロ光学系レンズ群と前記第２瞳リレー光学系レンズ群は同一に設計されたレンズ群であることを特徴とする請求項２に記載の観察装置。
6. 前記第３マクロ光学系レンズ群と前記第２瞳リレー光学系レンズ群は共有されることを特徴とする請求項２に記載の観察装置。
7. 前記マクロ光学系と前記ミクロ光学系を光路分割する第１の光路分割素子は、
   前記第１瞳リレー光学系レンズ群と前記第２瞳リレー光学系レンズ群の間に配置されることを特徴とする請求項６に記載の観察装置。
8. 前記第１の光路分割素子と前記結像位置との間には、結像レンズが配置されることを特徴とする請求項７に記載の観察装置。
9. 前記第１の光路分割素子と前記結像レンズと間には、照明光学系と観察光学系を光路分割する第２の光路分割素子が配置され、
   前記第２の光路分割素子はダイクロイックミラーと励起フィルターと吸収フィルターで構成され、
   前記励起フィルターが前記第１の瞳位置に略一致することを特徴とする請求項８に記載の観察装置。
10. 前記照明光学系はフライアイレンズを備え、
    前記フライアイレンズは前記励起フィルターに近接されて配置されることを特徴とする請求項９に記載の観察装置。
11. 前記結像位置に撮像素子を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０の何れかに記載の観察装置。
12. 前記結像位置をズーム光学系でリレーする位置に撮像素子を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０の何れかに記載の観察装置。
13. 前記ミクロ光学系の焦点面と前記マクロ光学系の焦点面は同一平面上に配置され、
    回転ステージによって、前記ミクロ光学系と前記マクロ光学系の間で標本を移動させることを特徴とする請求項１から請求項１０の何れかに記載の観察装置。