JP2010032345A - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン層(活性層シリコン)/酸化シリコン層/シリコン層(基板シリコン)の3層構造を有するSOI基板からなる枠部23と、シリコン層(活性層シリコン)からなり、枠部の各辺から内側方向に突出する4本の梁22と、梁により支持される錘接合部21と、シリコン層(基板シリコン)からなり、錘接合部に酸化シリコン層を介して接合された基部25Aと、4本の梁と枠部で囲まれた4箇所の窓部24へ基部から突出した4個の突出部25Bと、各突出部から突出するとともに突出部の平面と段差を有する係合用凸部28とで構成される錘25と、シリコン層(活性層シリコン)からなり枠部の角部を挟む2辺に架設された板状の4個のストッパ部29と、を備え、係合用凸部28は先端側がストッパ部29下方に突出するように構成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、十分な強度を具備したストッパ部を有し、過度な加速度が加わっても破壊が防止される加速度センサと、このような加速度センサを簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記係合用凸部の頂部と前記ストッパ部との間隙は、5〜30μmの範囲内にあるような構成とした。
また、本発明の加速度センサの製造方法は、シリコン層(基板シリコン)に枠部と錘とを形成する工程において、4個の突出部から突出するとともにストッパ部の酸化シリコン層の下方に先端部が非接触で達する係合用凸部をRIE法で形成し、かつ、形成されたストッパ部は枠部の角部を挟む2辺に架設された板状であるため強度が高く、これにより、過度な加速度が加わっても梁の損傷等の破壊が防止された信頼性の高い加速度センサを製造することができる。
[加速度センサ]
図1は、本発明の加速度センサの一実施形態を示す平面図であり、図2は図1に示される加速度センサのI−I線における断面図、図3は図1に示される加速度センサのII−II線における断面図である。図1〜図3において、加速度センサ1は、センサ本体2と、このセンサ本体2に接合された支持基板3とを有している。センサ本体2は、酸化シリコン層13をシリコン層12(活性層シリコン)とシリコン層14(基板シリコン)で挟持した3層構造を有するSOI(Silicon On Insulator)基板11からなる。尚、本発明の加速度センサは、センサ本体2からなり、支持基板3を備えていないものであってもよく、この場合、パッケージ用基板に直接搭載してもよい。
また、センサ本体2を構成するシリコン層12(活性層シリコン)は、枠部23の4箇所の角部に、この角部を挟む2辺に架設された板状のストッパ部29(図1では斜線を付して示している)を備えている。図示例では、ストッパ部29は枠部23の角部を一点とした三角形状であり、小開口等が存在しない板状をなしている。
また、センサ本体2を構成するシリコン層14(基板シリコン)は、錘25と、この錘25の周囲に開口部27を介して位置する枠部26とを備えている。錘25は、その厚みが枠部26よりも薄いものであり、基部25Aと、この基部25Aから十字型の梁22の間(窓部24)方向に突出している4個の突出部25Bからなる。そして、錘25の基部25Aは、酸化シリコン層13を介してシリコン層12(活性層シリコン)の錘接合部21に接合されている。
上述の係合用凸部28は、その断面形状が長方形であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図6に例示したような種々の態様とすることができる。すなわち、係合用凸部28の形状は、その断面が台形状(図6(A))、半円形状(図6(B))であってもよい。また、突出部25Bの壁面25bに複数個(図示例では2個)の係合用凸部28を備えたもの(図6(C))とすることもできる。
上述の加速度センサの実施形態は例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。
図8は、本発明の加速度センサの製造方法の一例を示す工程図であり、上述の加速度センサ1の製造を例としたものである。尚、図8は、図3に示した断面形状に相当する部位を示している。
本発明では、シリコン層12(活性層シリコン)、酸化シリコン層13、シリコン層14(基板シリコン)の3層構造を有するSOI(Silicon On Insulator)ウェーハ11′に多面付けで加工を行うことができる。図8において、まず、各面付け毎に、錘接合部21、梁22、枠部23、ストッパ部29を形成するための溝部16をシリコン層12(活性層シリコン)に形成し、また、錘25の厚みを設定するための凹部17をシリコン層14(基板シリコン)に形成する(図8(A))。この溝部16、凹部17の形成は、例えば、マスクパターンを介して、シリコンの深堀エッチング手法であるRIE(Reactive Ion Etching)法により行うことができる。このRIE法としては、ICP(Inductive Coupled Plasma)方式、CCP(Capacitively Coupled Plasma)方式、ECP(Electron Coupled Plasma)方式、SWP(Surface Wave Plasma)方式、HWP(Helicon Wave Plasma)方式等を用いることができる。また、サンドブラスト法、ウエットエッチング法、フェムト秒レーザ法により溝部16、凹部17を形成することもできる。
尚、マスクパターン31の形成方法には特に制限はなく、例えば、感光性レジストを用いてフォトリソグラフィーによる形成する方法、樹脂層や金属層を配設し、これにレーザ描画により直接パターニングする方法等を用いることができる。
このような本発明の製造方法は、シリコン層14(基板シリコン)に枠部26と錘25とを形成する工程において、4個の突出部25Bから突出するとともにストッパ部29の酸化シリコン層13の下方に先端部28aが非接触で達する係合用凸部28をRIE法で形成するので、ストッパ部29の構造を、酸化シリコン層のエッチング除去の容易性を求めた従来のストッパ部構造(複数の小開口を備えた構造、棒状構造)とする必要がなく、板状構造とすることができ、強度が格段に向上したものとなる。これにより、過度な加速度が加わっても梁の損傷等の破壊が防止された信頼性の高い加速度センサを製造することができる。
また、上述の実施形態では、ピエゾ抵抗型の加速度センサを例として説明したが、本発明は、静電容量型の加速度センサにおいても同様に適用可能である。
2…センサ本体
3…支持基板
11…SOI基板
11′…SOIウェーハ
12…シリコン層(活性層シリコン)
13…酸化シリコン層
14…シリコン層(基板シリコン)
21…錘接合部
22…梁
23…枠部
24…窓部
25…錘
25A…錘の基部
25B…錘の突出部
26…枠部
27…開口部
28…係合用凸部
28a…係合用凸部の先端部
28b…係合用凸部の頂部
29…ストッパ部
31…マスクパターン
Claims (4)
- シリコン層(活性層シリコン)/酸化シリコン層/シリコン層(基板シリコン)の3層構造を有するSOI(Silicon On Insulator)基板からなる枠部と、
前記シリコン層(活性層シリコン)からなり、前記枠部の各辺から内側方向に突出する4本の梁と、該梁により支持される錘接合部と、
前記シリコン層(基板シリコン)からなり、前記錘接合部に前記酸化シリコン層を介して接合された基部と、前記4本の梁と枠部で囲まれた4箇所の窓部へ前記基部から突出した4個の突出部と、各突出部から突出するとともに前記突出部の前記シリコン層(活性層シリコン)側の平面と段差を有する係合用凸部とで構成される錘と、
前記シリコン層(活性層シリコン)からなり、前記枠部の角部を挟む2辺に架設された板状の4個のストッパ部と、を少なくとも備え、
前記係合用凸部は先端側が前記ストッパ部下方に突出し、係合用凸部の頂部とストッパ部との間に所定の間隙が設けられていることを特徴とする加速度センサ。 - 前記ストッパ部は、前記枠部の角部を一点とした三角形状であることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記係合用凸部の頂部と前記ストッパ部との間隙は5〜30μmの範囲内にあることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加速度センサ。
- 加速度センサの製造方法において、
シリコン層(活性層シリコン)/酸化シリコン層/シリコン層(基板シリコン)の3層構造を有するSOI(Silicon On Insulator)基板のシリコン層(活性層シリコン)に、枠部と、該枠部の各辺から内側方向に突出する4本の梁と、該梁により支持される錘接合部と、前記枠部の角部を挟む2辺に架設された4個のストッパ部とを形成する工程と、
前記シリコン層(基板シリコン)に、枠部と、該枠部の内側に非接触に位置する錘であって、前記錘接合部に前記酸化シリコン層を介して接合保持される基部と、前記4本の梁と枠部で囲まれた4箇所の窓部へ前記基部から突出した4個の突出部と、該突出部から突出するとともに前記ストッパ部の下方に先端部が非接触で達する係合用凸部と、からなる錘を形成する工程と、
露出している酸化シリコン層を除去する工程と、を少なくともを有し、
前記シリコン層(基板シリコン)に前記枠部と前記錘とを形成する工程では、前記酸化シリコン層が露出し、さらに、前記酸化シリコンに接触する前記係合用凸部にサイドエッチングが生じて前記係合用凸部の頂部が前記酸化シリコンから分離した状態となるまで、前記シリコン層(基板シリコン)側からマスクパターンを介してRIE(Reactive Ion Etching)法によるドライエッチングによって開口部を穿設することを特徴とするセンサの製造方法。
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JP2004198243A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 加速度センサとその製造方法 |
JP2006242692A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 加速度センサチップ |
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