JP2010025908A - リニアスケールとリニアエンコーダとアブソリュート型リニアエンコーダとアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とするリニアスケールにおいて、インク塗布或いはレーザー光加工にて低反射域を形成することにより製造を容易化したアブソリュートリニアスケール、及びそれを用いたエンコーダ、アクチュエータ。
【選択図】 図1
Description
まず、特許文献1及び特許文献2に開示されているアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、何れもその構成が複雑であり、且つ、コストが高いという問題があった。又、リニアスケール部及び検出ヘッド部のコンパクト化が困難であるという問題があった。さらに、信号の伝送が複雑であるという問題があった。
例えば、特許文献1に開示されているアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、静電容量式と光電式を併用することにより少ないトラック数で高分解能と広い測長範囲を実現している。しかしながら、検出手段、コードパターンともに2系統必要であり、そのためコンパクト化は不可能であった。
又、特許文献2に記載されたアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、位相差の異なるリニアスケールを用いることにより2組のリニアスケールまで減少させることができるが、その精度確保にはやや複雑な信号処理を必要としており、やはりコンパクト化を実現することは困難であった。
このような問題に対して、本件特許本出願人は、特願2007−54972号を出願している(未だ未公開)。そこにはバッテリーバックアップを用いたアブソリュート型リニアエンコーダが開示されている。しかしながら、その場合には、バッテリーバックアップを用いなければならず、そのバッテリーバックアップ時間があまり長くないという問題があるとともに、バッテリーの設置スペースが必要になってしまうという問題があった。
又、請求項2によるリニアスケールは、請求項1記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略1064nmより短いことを特徴とするものである。
又、請求項3によるリニアスケールは、請求項2記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略650nmより短いことを特徴とするものである。
又、請求項4によるリニアスケールは、 請求項2記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略750〜900nmであることを特徴とするものである。
又、請求項5によるリニアスケールは、請求項1〜請求項4の何れかに記載のリニアスケールを用いたことを特徴とするものである。
又、請求項6によるアブソリュート型リニアエンコーダは、一つのインクリメンタルリニアスケールと略90度の位相差間隔を持つ2種類の信号の検出器とを主構成とするインクリメンタルリニアスケール部と、PN符号系列アブソリュートリニアスケールと1つ又は複数の検出器を主構成とするアブソリュートリニアスケール部と、を具備してなるアブソリュート型リニアエンコーダにおいて、上記リニアスケールはレーザー光を用いて加工したものであることを特徴とするものである。
又、請求項7によるリニアスケールは、高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とすることを特徴とするものである。
又、請求項8によるリニアスケールは、 請求項7記載のリニアスケールにおいて、 上記高反射率の長尺部材が鏡面仕上げされている圧延材であることを特徴とするものである。
又、請求項9によるリニアスケールは、 請求項8記載のリニアスケールにおいて、 圧延により鏡面仕上げされていることを特徴とするものである。
又、請求項10によるリニアスケールは、請求項7記載のリニアスケールにおいて、 アルミが蒸着されている高反射率のテープを用いることを特徴とするものである。
又、請求項11によるリニアスケールは、インク塗布にて低反射部を形成することを特徴とするものである。
又、請求項12によるリニアスケールは、請求項11記載のリニアスケールにおいて、インク塗布をインクジェット或いはディスペンサー或いは転写にて行うことを特徴とするものである。
又、請求項13によるリニアスケールは、高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とするリニアスケールにおいて、インク塗布或いはレーザー光加工にて低反射部を形成することを特徴とするものである。
又、請求項14によるアブソリュート型リニアエンコーダは、請求項7又は請求項11又は請求項13に記載されたリニアスケールを用いたことを特徴とするものである。
又、請求項15によるアクチュエータは、請求項6又は請求項14記載のアブソリュート型リニアエンコーダを用いたことを特徴とするものである。
又、請求項2によるリニアスケールは、請求項1記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略1064nmより短いことを特徴とするものであり、それによって、多数のスケール素材におけるレーザー光の吸収率(%)を高めることができ{特に、鉄(Fe)やニッケル(Ni)}、精度の高い良品質のリニアスケールを容易に得ることができる。
又、請求項3によるリニアスケールは、請求項2記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略650nmより短いことを特徴とするものであり、それによって、多数のスケール素材に関してレーザー光の吸収率(%)を高めることができ{特に、鉄(Fe)やニッケル(Ni)、銅(Cu)、金(Au)}、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項4によるリニアスケールは、請求項1記載のリニアスケールにおいて、レーザー光の波長が略750〜900nmであることを特徴とするものであり、それによって、多数のスケール素材{特に、アルミニウム(Al)}に関してレーザー光の吸収率(%)を高めることができ、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項5によるリニアエンコーダは、請求項1〜請求項4の何れかに記載のリニアスケールを用いたことを特徴とするものであり、リニアエンコーダの製造を容易化することができる。
又、請求項6によるアブソリュート型リニアエンコーダは、一つのインクリメンタルリニアスケールと略90度位相差を持つ2種類の信号の検出器を主構成とするインクリメンタルリニアスケール部と、PN符号系列アブソリュートリニアスケールと1つ又は複数の検出器を主構成とするアブソリュートリニアスケール部と、よりなるアブソリュート型リニアエンコーダにおいて、レーザー光を用いて加工したリニアスケールを用いたことを特徴とするものであり、それによって、アブソリュート型リニアエンコーダの製造を容易化することができる。
又、請求項7によるリニアスケールは、高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とすることを特徴とするものであり、それによって、リニアスケールの製造を容易化することができる。
又、請求項8によるリニアスケールは、 請求項7記載のリニアスケールにおいて、 上記高反射率の長尺部材が鏡面仕上げされている圧延材であることを特徴とするものであり、それによって、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項9によるリニアスケールは、 請求項8記載のリニアスケールにおいて、 圧延により鏡面仕上げされていることを特徴とするものであり、それによって、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項10によるリニアスケールは、請求項7記載のリニアスケールにおいて、 アルミが蒸着されている高反射率のテープを用いることを特徴とするものであり、それによって、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項11によるリニアスケールは、インク塗布にて低反射部を形成することを特徴とするものであり、それによって、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、請求項12によるリニアスケールは、請求項11記載のリニアスケールにおいて、インク塗布をインクジェット或いはディスペンサー或いは転写にて行うことを特徴とするものであり、所望のリニアスケールを容易に製造することができる。
又、請求項13によるリニアスケールは、高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とするリニアスケールにおいて、インク塗布或いはレーザー光加工にて低反射部を形成することを特徴とするものであり、それによって、所望のリニアスケールを容易に製造することができる。
又、請求項14によるアブソリュート型リニアエンコーダは、請求項7又は請求項11又は請求項13に記載されたリニアスケールを用いたことを特徴とするものであり、所望のアブソリュート型リニアエンコーダを容易に製造することができる。
又、請求項15によるアクチュエータは、請求項6又は請求項14記載のアブソリュート型リニアエンコーダを用いたことを特徴とするものであり、所望の構成のアクチュエータを容易に製造することができるものである。
尚、ボールねじ5と駆動モータ7の出力軸が一体化されたものもある。
尚、このLFSRについては追って詳細に説明する。
尚、本実施の形態では一つのZ相検出器39を使用するように構成しているが、二つ以上のZ相検出器を使用する構成も考えられる。
以上が本実施の形態によるアクチュエータ及びそこに使用されているアブソリュート型リニアエンコーダの概略の構成である。以下、各部の構成をその作用・効果を交えながらさらに詳細に説明していく。
因みに、この実施の形態では16分割することにより分解能を5μmまで向上させるようにしている。
因みに、インクリメンタルリニアスケール31側の出力信号の分割数を上げると原信号の信号品質要求が高くなる。さらに、上記分割器41として安価な抵抗分割器を使用することはできなくなり、かなり高価なDSPタイプの分割器を使用することになる。
L=2m−1―――(I)
但し、
L:PN符号系列長
m:ビット数(検出連続信号数)
である。
PN符号系列は二値(0/1、ここでは白黒)の擬似ランダム系列の一つであって、比較的短い連続したm個の信号によって長大な信号周期(L)を得ることができる信号系列である。例えば、m=15個であればPN符号系列長(L)は、既に説明した式(I)によれば、次の式(II)に示すようなものとなる。
L =215−1=32767―――(II)
又、本実施の形態における上記LFSRの場合には、前述したように、0ビットと1ビットの信号がXORゲート51を介して14ビットへフィードバックされるように構成されている。
S=80μm×32767=約2.6m―――(III)
尚、式(I)、(II)から明らかなように、アブソリュートリニアスケール部側のPN符号系列の上記検出連続信号数mを増加させることにより長いストロークが実現できる。
因みに、この実施の形態では次の式(IV)に示すような移動範囲で済む構成になっている。
80μm×15=1.2mm―――(IV)
すなわち、インクリメンタルリニアスケール31の比較的粗いスケールピッチ80μmとアブソリュートリニアスケール33の比較的短い検出連続信号数(m=15)とを組合せることにより、高分解能(5um)と長ストローク(約2.6m)が同時に得られる構成になっている。
尚、LFSRの演算により求めてもよい。
一般に、この種のリニアスケールは、例えば、リソグラフィーやエッチングによって製作される。そのようなリソグラフィーやエッチングを行うためにはリニアスケールと同様のパターン加工が施されたマスクが必要となる。そして、リニアスケールの長さが短い場合には一枚のマスクで、且つ、一度の露光で済む。これに対して、リニアスケールが長い場合には、リニアスケールを一定距離移動させながら同一のマスクを繰り返し使用しながら多数回の露光を行うことになる。
尚、図5に波長約1μm(1000nm)以下での各種金属のレーザー光吸収率のデータを示す。図5は縦軸にレーザー光吸収率(%)をとり横軸に波長(nm)をとり、各種金属、すなわち、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、アルミニウム(Al)のレーザー光吸収率(%)を示している。図5中線図aが銅(Cu)、線図bが金(Au)、線図cがニッケル(Ni)、線図dが鉄(Fe)、線図eがアルミニウム(Al)のレーザー光吸収率(%)を夫々示している。
因みに、この実施の形態の場合にはステンレス鋼を例に挙げて説明するものとする。
尚、本実施の形態ではインクリメンタルリニアスケール31は線幅40ミクロンであり、PN符号系列アブソリュートリニアスケール33は線幅80ミクロンである。
例えば、前記第1、第2の実施の形態の場合には、検出連続信号数mを「15」としたが、アブソリュートリニアエンコーダの必要な分解能およびストロークで最適な検出連続信号数mの値は変わってくるので、例えば、より長いストロークでは検出連続信号数mとして「17〜18」が適している場合もある。
又、前記第1、第2の実施の形態の場合にはZ相検出器を一つとしたが、それに限定されるものではない。例えば、二個用いることも考えられ、その場合にはZ相信号は二つになるが、二つのZ相検出器を約m/2ビットだけ離間させた設置することにより連続信号検出のための移動距離を約半分にすることができる。
又、前記第2の実施の形態では、インクジェット法を例に挙げて説明したが、少なくともX方向に線引きできるものであればその他の方法でも構わない。例えば、多点化するか或いはX方向に走査できるアクチュエータを付与することによってX方向の線引きが可能なディスペンサーを使用することも考えられ、さらに、転写でも良い。
その他、図示した構成はあくまで一例であり、様々な変形が考えられる。
3 スライダ
5 ボールねじ
7 駆動モータ
9 ガイド
11 ガイド
21 リニアスケール部
23 検出ヘッド部
25 コントローラ部
31 インクリメントリニアスケール
33 アブソリュートリニアスケール
35 A相検出器
37 B相検出器
39 Z相検出器
41 分割器
43 同期回路
45 ラインドライバ
47 ラインレシーバ
49 コントローラ
61 ステンレス鋼帯
63 インクジェットヘッド
Claims (15)
- レーザー光を用いて加工したことを特徴とするリニアスケール。
- 請求項1記載のリニアスケールにおいて、
レーザー光の波長が略1064nmより短いことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項2記載のリニアスケールにおいて、
レーザー光の波長が略650nmより短いことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項2記載のリニアスケールにおいて、
レーザー光の波長が略750〜900nmであることを特徴とするリニアスケール。 - 請求項1〜請求項4の何れかに記載のリニアスケールを用いたことを特徴とするリニアエンコーダ。
- 一つのインクリメンタルリニアスケールと略90度の位相差間隔を持つ2種類の信号の検出器とを主構成とするインクリメンタルリニアスケール部と、PN符号系列アブソリュートリニアスケールと1つ又は複数の検出器を主構成とするアブソリュートリニアスケール部と、を具備してなるアブソリュート型リニアエンコーダにおいて、
上記リニアスケールはレーザー光を用いて加工したものであることを特徴とするアブソリュート型リニアエンコーダ。 - 高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とすることを特徴とするリニアスケール。
- 請求項7記載のリニアスケールにおいて、
上記高反射率の長尺部材が鏡面仕上げされている圧延材であることを特徴とするリニアスケール。 - 請求項8記載のリニアスケールにおいて、
圧延により鏡面仕上げされていることを特徴とするリニアスケール。 - 請求項7記載のリニアスケールにおいて、
アルミが蒸着されている高反射率のテープを用いることを特徴とするリニアスケール。 - インク塗布にて低反射部を形成することを特徴とするリニアスケール。
- 請求項11記載のリニアスケールにおいて、
インク塗布をインクジェット或いはディスペンサー或いは転写にて行うことを特徴とするリニアスケール。 - 高反射率の長尺部材又は高反射率のテープを主構成とするリニアスケールにおいて、インク塗布或いはレーザー光加工にて低反射部を形成することを特徴とするリニアスケール。
- 請求項7又は請求項11又は請求項13に記載されたリニアスケールを用いたことを特徴とするアプソリュート型リニアエンコーダ。
- 請求項5記載のリニアエンコーダ又は請求項6又は請求項14記載のアブソリュート型リニアエンコーダを用いたことを特徴とするアクチュエータ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013029328A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Canon Inc | スケール及びその製造方法並びにアブソリュートエンコーダ |
EP2597431A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-05-29 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04143619A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出装置 |
JPH10332360A (ja) * | 1997-06-02 | 1998-12-18 | Mitsutoyo Corp | 変位検出器のスケール製造装置 |
JP2003166855A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
JP2004045255A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Okuma Corp | エンコーダのスケール製造方法およびスケール製造装置 |
-
2008
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04143619A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出装置 |
JPH10332360A (ja) * | 1997-06-02 | 1998-12-18 | Mitsutoyo Corp | 変位検出器のスケール製造装置 |
JP2003166855A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
JP2004045255A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Okuma Corp | エンコーダのスケール製造方法およびスケール製造装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013029328A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Canon Inc | スケール及びその製造方法並びにアブソリュートエンコーダ |
EP2597431A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-05-29 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
US9258007B2 (en) | 2011-11-22 | 2016-02-09 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder including base member having roughened surface and manufacturing method of scale |
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