JP2010019672A - Substrate body - Google Patents

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彩生 假家
Kosuke Miura
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate body with through conductive members suitable for pitch narrowing. <P>SOLUTION: This substrate body B is made by sticking an anisotropically conductive sheet 20 on a substrate 11. A part of the substrate for disposing the conductive sheet 20 thereon is determined by positioning pins. On the conductive sheet 20, the through conductive members 22 are dispersedly disposed in each of disposition zones for respective substrate-side conductors 15. A plurality of through conductive members 22 constitute a through conductive member group 22g in each of the disposition zones for the respective substrate-side conductors 15. Continuity is given to a substrate-side conductor 15 and a counter conductor 33 with a conductive member 22 put between them. When pitch narrowing is performed, erroneous connection or short circuiting can be prevented from occurring even if the position or size of the counter conductor 33 varies. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の検査や、配線板等の接続に用いられる異方導電性シートを配置した基板体に関する。   The present invention relates to a substrate body on which an anisotropic conductive sheet used for inspection of electronic components and connection of wiring boards and the like is arranged.

従来、各種電子部品の検査は、プローブピンを用いて行われている。検査には、半導体デバイスのバーンイン試験や、各種配線板のコネクタの電気的接続試験等がある。配線板には,FPC(フレキシブルプリント配線板),PCB(プリント基板)等がある。   Conventionally, inspection of various electronic components has been performed using probe pins. The inspection includes a burn-in test of a semiconductor device and an electrical connection test of connectors of various wiring boards. Examples of the wiring board include FPC (flexible printed wiring board) and PCB (printed circuit board).

ところが、電子部品の高密度実装化が進むと、プローブピンが押し当てられる電極の数も多くなり、かつ、挟ピッチ化されている。そのため、電極に押し当てるためのバネ式プローブピンのコストが極めて高くなっている。   However, with the progress of high-density mounting of electronic components, the number of electrodes to which the probe pins are pressed increases and the pitch is reduced. Therefore, the cost of the spring-type probe pin for pressing against the electrode is extremely high.

そこで、最近では、バネ式プローブピンに代えて、異方導電性シートを用いるケースが増えている。異方導電性シートは、板厚方向のみに導電性を示すものである。異方導電性シートは、相手側導体と基板側導体との平面上の位置が一致していれば、両者間が導通するように設けられている。異方導電性シート中の導電部材の位置と、相手側導体および基板側導体の位置との整合は不要なので、挟ピッチ化に有利である。   Therefore, recently, an increasing number of cases use anisotropic conductive sheets instead of spring-type probe pins. The anisotropic conductive sheet exhibits conductivity only in the thickness direction. The anisotropic conductive sheet is provided so as to conduct between the mating conductor and the board-side conductor when the positions on the plane match. Since it is not necessary to align the position of the conductive member in the anisotropic conductive sheet with the positions of the mating conductor and the board-side conductor, it is advantageous for reducing the pitch.

特許文献1の技術では、弾性高分子シートからなるフレーム板に、貫通導電部材となる多数の孔を形成したものを用いている。各孔には、ワイヤや導電ペーストを埋め込んだ導通部が設けられている。
特許文献2の技術では、高強度樹脂等の弾性高分子からなるフレーム板を用いている。そして、フレーム板の孔を導電性磁性体粒子を充填した貫通導電部材で埋めている。
特許文献3の技術では、フレーム板として多孔質PTFEを用い、各孔の内壁部に、無電解めっきにより貫通導電部材を形成する技術が開示されている。
In the technique of Patent Document 1, a frame plate made of an elastic polymer sheet is used in which a large number of holes serving as penetrating conductive members are formed. Each hole is provided with a conductive portion embedded with a wire or conductive paste.
In the technique of Patent Document 2, a frame plate made of an elastic polymer such as high-strength resin is used. The holes in the frame plate are filled with a through conductive member filled with conductive magnetic particles.
In the technique of Patent Document 3, a technique is disclosed in which porous PTFE is used as a frame plate and a through conductive member is formed on the inner wall portion of each hole by electroless plating.

また、特許文献4には、基板に、特許文献3の異方導電性シートを貼り合わせた検査装置が開示されている。この検査装置では、電子部品を異方導電性シートに押し当てて、検査を行なう。そして、基板から、検査回路に向かってリード線が延びている。
特開平9−35789号公報 特開平9−320667号公報 特開2004−265844号公報 特開2007−292537号公報
Patent Document 4 discloses an inspection apparatus in which the anisotropic conductive sheet of Patent Document 3 is bonded to a substrate. In this inspection apparatus, an electronic component is pressed against an anisotropic conductive sheet for inspection. A lead wire extends from the substrate toward the inspection circuit.
JP 9-35789 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-320667 JP 2004-265844 A JP 2007-292537 A

上記特許文献1〜4の技術のように、検査装置に異方導電性シートを用いた基板を装着することにより、挟ピッチのプローブピンを用いる必要がない。よって、低コストで検査装置を構成することができる利点がある。しかしながら、特許文献1〜4の技術において、以下のような不具合を生じるおそれもあった。   By mounting a substrate using an anisotropic conductive sheet on the inspection apparatus as in the techniques of Patent Documents 1 to 4, it is not necessary to use probe pins with a narrow pitch. Therefore, there is an advantage that the inspection apparatus can be configured at low cost. However, in the techniques of Patent Documents 1 to 4, there is a possibility of causing the following problems.

図7は、相手側導体133と、基板側導体115の間に異方導電性シート120を挟んだ状態を上方から見た平面図である。異方導電性シート120において、多孔質樹脂からなるフレーム板121に、貫通導電部材122が均一に配置されている。貫通導電部材122の位置が、相手側導体133や基板側導体115の位置と一致している必要はない。また、全ての貫通導電部材122が、相手側導体133または基板側導体115に接触している必要はない。相手側導体133と基板側導体115との平面上の位置が一致していれば、異方導電性シート120中のいずれかの貫通導電部材122を介して、両者が導通する。一般に、異方導電性シート120の貫通導電部材122のピッチは、電子部品の電極等の相手側導体133のピッチよりも十分小さい。   FIG. 7 is a plan view of the state in which the anisotropic conductive sheet 120 is sandwiched between the mating conductor 133 and the board-side conductor 115 as viewed from above. In the anisotropic conductive sheet 120, penetrating conductive members 122 are uniformly arranged on a frame plate 121 made of a porous resin. The position of the penetrating conductive member 122 does not have to coincide with the position of the counterpart conductor 133 or the board-side conductor 115. Further, it is not necessary for all the through conductive members 122 to be in contact with the mating conductor 133 or the board-side conductor 115. If the positions of the counterpart conductor 133 and the board-side conductor 115 on the plane coincide with each other, they are conducted through any of the through conductive members 122 in the anisotropic conductive sheet 120. In general, the pitch of the through conductive members 122 of the anisotropic conductive sheet 120 is sufficiently smaller than the pitch of the counterpart conductor 133 such as an electrode of an electronic component.

しかしながら、上記従来の技術では、相手側導体133の挟ピッチ化がさらに進むと、以下のような不具合が生じる。図8は、図7における電極間のピッチをさらに小さくした場合の平面図である。   However, in the above conventional technique, when the pitch of the counterpart conductor 133 is further increased, the following problems occur. FIG. 8 is a plan view when the pitch between the electrodes in FIG. 7 is further reduced.

図8に示すように、3つの基板側導体115a,115b,115cと、相手側導体133a,133b,133cがある場合に、導体の位置や大きさにずれが生じたとする。図8に示す例では、相手側導体133aが同図に示す貫通導電部材102aに接触している。ところが、貫通導電部材102aは、基板側導体115aに隣接する基板側導体115bに接触している。したがって、相隣接する基板側導体115a,115bが導通することになる。つまり、誤接続や短絡を生じるおそれがあった。反面、貫通導電部材102を極小化すると、基板側導体115と相手側導体133との導通不良を招くおそれがあった。
同様の不具合は、異方導電性シートを、FPC等の配線板同士の接続に用いた場合にも生じる。
As shown in FIG. 8, when there are three substrate-side conductors 115a, 115b, and 115c and the counterpart conductors 133a, 133b, and 133c, it is assumed that the position and size of the conductors are shifted. In the example shown in FIG. 8, the counterpart conductor 133a is in contact with the penetrating conductive member 102a shown in FIG. However, the through conductive member 102a is in contact with the board-side conductor 115b adjacent to the board-side conductor 115a. Accordingly, the adjacent substrate-side conductors 115a and 115b become conductive. That is, there is a possibility of causing an erroneous connection or a short circuit. On the other hand, if the penetrating conductive member 102 is minimized, there is a risk of causing a conduction failure between the substrate-side conductor 115 and the counterpart-side conductor 133.
The same problem occurs when an anisotropic conductive sheet is used for connection between wiring boards such as FPC.

本発明の目的は、挟ピッチ化に対応しうる基板体を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a substrate body that can cope with a narrow pitch.

本発明の基板体は、電子部品を検査するための検査装置や、配線板間の電気的接続用コネクタに配置されるものである。基板体は、基板側導体が形成された基板と、異方導電性シートと、異方導電性シートの位置決め機構とを備えている。そして、異方導電性シートに、基板側導体が配置された領域ごとに、分散して貫通導電部材を配置している。
異方導電性シートとしては、たとえば特許文献1〜4に記載されているものを任意に選択して用いることができる。
The substrate body of the present invention is arranged in an inspection device for inspecting electronic components and a connector for electrical connection between wiring boards. The substrate body includes a substrate on which a substrate-side conductor is formed, an anisotropic conductive sheet, and an anisotropic conductive sheet positioning mechanism. And in the anisotropic conductive sheet, penetrating conductive members are arranged in a dispersed manner for each region where the board-side conductor is arranged.
As the anisotropic conductive sheet, for example, those described in Patent Documents 1 to 4 can be arbitrarily selected and used.

これにより、基板体を検査装置やコネクタにセットして、電子部品の検査や配線板の接続などを行うことができる。貫通導電部材は、従来のように均一に配置されているのではなく、基板側導体の配置領域に分散して配置されている。また、位置決め機構により、基板側導体と貫通導電部材との平面的な位置を整合させることができる。よって、基板側導体や相手側導体が挟ピッチ化されたときにも、誤接続や短絡のおそれを抑制することができる。   Thereby, a board | substrate body can be set to a test | inspection apparatus or a connector, and an electronic component test | inspection, a wiring board connection, etc. can be performed. The through-conductive members are not arranged uniformly as in the prior art, but are distributed in the arrangement area of the board-side conductors. Further, the planar position of the substrate-side conductor and the through conductive member can be aligned by the positioning mechanism. Therefore, even when the board-side conductor or the counterpart-side conductor has a narrow pitch, the possibility of erroneous connection or short circuit can be suppressed.

その場合、各貫通導電部材を、少なくとも一部で前記基板側導体に接触させておくことが好ましい。これにより、基板側導体と相手側導体の導通不良を抑制することができる。   In that case, it is preferable that at least a part of each penetrating conductive member is in contact with the substrate-side conductor. Thereby, the conduction | electrical_connection defect of a board | substrate side conductor and the other party conductor can be suppressed.

貫通導電部材は、基板側導体の配置領域ごとに複数個ずつ設けられて、貫通導電部材群となっていることが好ましい。これにより、相手側導体と基板側導体との位置がずれたときにも、より確実に両者を導通させることができる。   It is preferable that a plurality of penetrating conductive members are provided for each substrate-side conductor arrangement region to form a penetrating conductive member group. Thereby, even when the positions of the counterpart conductor and the substrate conductor are shifted, both can be more reliably conducted.

異方導電性シートは、多孔質樹脂からなる基材と、基材の多孔質樹脂の表面に形成された無電解めっき層とを備えていることが好ましい。これにより、挟ピッチ化に適した貫通導電部材を有する基板体が得られる。   The anisotropic conductive sheet preferably includes a base material made of a porous resin and an electroless plating layer formed on the surface of the porous resin of the base material. Thereby, the board | substrate body which has the penetration conductive member suitable for pinching pitch is obtained.

本発明の基板体によると、挟ピッチ化に対応しうる基板体を提供することができる。   According to the substrate body of the present invention, it is possible to provide a substrate body that can cope with a narrow pitch.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査装置Aの断面図である。図2は、基板体Bの裏面図である。図2において、嵌合部材16の図示は省略されている。図3は、基板体Bの縦断面図である。ただし、図1,図2には、各要部の部分断面を示しており、図中に示される全ての部材が共通の切断面に存在しているわけではない。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a sectional view of an inspection apparatus A according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a rear view of the substrate body B. FIG. In FIG. 2, the fitting member 16 is not shown. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the substrate body B. As shown in FIG. However, FIG. 1 and FIG. 2 show partial cross-sections of the main parts, and not all members shown in the drawings are present on a common cut surface.

図1に示すように、検査装置Aは、下側治具41と、上側治具43と、両治具間で上下動可能な可動治具42とを有している。下側治具41と、上側治具43とは、支柱44によって互いに固定されている。可動治具42は、バネ部材47によって、上側治具43側に引っ張られている。そして、ハンドル45によって、可動治具42を下方に押圧する構造となっている。
また、可動治具42には、基板体Bの外部電極13に対応して、バネ式プローブピン(外部端子)40が配置されている。バネ式プローブピン40の基端側から、検査用の信号を外部に送るための配線40aが延びている。
As shown in FIG. 1, the inspection apparatus A includes a lower jig 41, an upper jig 43, and a movable jig 42 that can move up and down between both jigs. The lower jig 41 and the upper jig 43 are fixed to each other by a column 44. The movable jig 42 is pulled to the upper jig 43 side by a spring member 47. The movable jig 42 is pressed downward by the handle 45.
The movable jig 42 is provided with spring-type probe pins (external terminals) 40 corresponding to the external electrodes 13 of the substrate body B. A wiring 40a for sending an inspection signal to the outside extends from the proximal end side of the spring-type probe pin 40.

図2及び図3に示すように、基板体Bは、基板11と、異方導電性シート20と、嵌合部材16とを備えている。基板11の主面(図3における上側の面)上には、挟ピッチ化された基板側導体15が配置されている。そして、挟ピッチ化された領域ごとに、複数の異方導電性シート20が貼り付けられている。基板11には、各異方導電性シート20ごとに2本の位置決めピン18が設けられている。位置決めピン18は、異方導電性シート20のピン穴に嵌合している。これにより、異方導電性シート20の基板11上における配置部位が定まっている。ただし、位置決め機構は、位置決めピンとピン穴との組み合わせに限定されるものではない。たとえば、基板11に段差等を設けて、異方導電性シート22を段差部に係合させるなど、他の位置決め機構を採用することができる。   As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate body B includes a substrate 11, an anisotropic conductive sheet 20, and a fitting member 16. On the main surface of the substrate 11 (the upper surface in FIG. 3), substrate-side conductors 15 having a narrow pitch are disposed. And the some anisotropic conductive sheet 20 is affixed for every area | region made into the pinch pitch. The substrate 11 is provided with two positioning pins 18 for each anisotropic conductive sheet 20. The positioning pin 18 is fitted in the pin hole of the anisotropic conductive sheet 20. Thereby, the arrangement | positioning site | part on the board | substrate 11 of the anisotropically conductive sheet 20 is defined. However, the positioning mechanism is not limited to a combination of positioning pins and pin holes. For example, other positioning mechanisms such as providing a step or the like on the substrate 11 and engaging the anisotropic conductive sheet 22 with the stepped portion can be employed.

本実施の形態においては、異方導電性シート20は、特許文献3や特許文献4に記載されているものが用いられている。すなわち、図4の斜視図に示すように、多孔質PTFE膜からなるフレーム板21に、貫通導電部材22を設けたものである。多孔質PTFE膜は、気孔率が20〜80%程度の多数の微細孔を有するPTFEによって構成されている。フレーム板21には、貫通孔23が形成されている。そして、貫通孔23の内壁面および微細孔内を含む内壁部に、無電解めっきを施すことにより、貫通導電部材22が形成されている。異方導電性シート20は、例えば、特開2004−265844号公報(特許文献3)に記載の方法により製造することができる。
ただし、異方導電性シート20として、特許文献1や特許文献2に記載されている種類のものを用いてもよい。
In the present embodiment, the anisotropic conductive sheet 20 described in Patent Document 3 or Patent Document 4 is used. That is, as shown in the perspective view of FIG. 4, a through conductive member 22 is provided on a frame plate 21 made of a porous PTFE membrane. The porous PTFE membrane is made of PTFE having a large number of micropores with a porosity of about 20 to 80%. A through hole 23 is formed in the frame plate 21. And the through-conductive member 22 is formed by performing electroless plating on the inner wall portion including the inner wall surface of the through-hole 23 and the inside of the fine hole. The anisotropic conductive sheet 20 can be manufactured, for example, by the method described in JP-A-2004-265844 (Patent Document 3).
However, the anisotropic conductive sheet 20 may be of the type described in Patent Document 1 or Patent Document 2.

基板11の裏面には、裏面電極12が形成されている。基板側導体15と、裏面電極12とは、スルーホール導電部17を介して、互いに導通している。基板11の裏面において、裏面電極12と外部電極13とは、配線14を介して互いに導通している。スルーホール導電部17,裏面電極12,及び配線14により、基板側導体15と外部電極13とを電気的に接続する接続部材が構成されている。   A back electrode 12 is formed on the back surface of the substrate 11. The substrate-side conductor 15 and the back electrode 12 are electrically connected to each other through the through-hole conductive portion 17. On the back surface of the substrate 11, the back electrode 12 and the external electrode 13 are electrically connected to each other through the wiring 14. The through-hole conductive portion 17, the back electrode 12, and the wiring 14 constitute a connection member that electrically connects the substrate-side conductor 15 and the external electrode 13.

基板11には、電源ラインやグランドラインなどの電極に接続される,バネ式プローブピン25が設けられている。電源ライン等の電極は、挟ピッチ化された領域外に配置されているので、異方導電性シート20を用いる必要はない。これにより、無駄な異方導電性シート20をなくし、製造コストを削減することができる。バネ式プローブピン25は、スルーホール導電部や配線14を介して、外部電極13に導通している。
なお、基板11には、基板側導体15と相手側導体33との位置決めを行うための1対の位置決めピン26が設けられている。電子部品は、下側ジグ41の凹部にセットされるが、嵌合状態ではなく、遊びがある状態でセットされるに過ぎないからである。
The substrate 11 is provided with spring-type probe pins 25 connected to electrodes such as a power supply line and a ground line. Since the electrodes such as the power supply line are disposed outside the region having the narrow pitch, it is not necessary to use the anisotropic conductive sheet 20. Thereby, useless anisotropic conductive sheet 20 can be eliminated and manufacturing cost can be reduced. The spring-type probe pin 25 is electrically connected to the external electrode 13 through the through-hole conductive portion and the wiring 14.
The substrate 11 is provided with a pair of positioning pins 26 for positioning the substrate-side conductor 15 and the counterpart-side conductor 33. This is because the electronic component is set in the concave portion of the lower jig 41 but is not set in a fitted state but only in a state where there is play.

基板11の裏面側には、基板体Bを可動治具42に嵌合させるための嵌合部材16が設けられている。嵌合部材16は、ベークライト,アクリル樹脂等の樹脂によって構成されている。そして、バネ式プローブピン25や位置決めピン26の基端側は、嵌合部材16中に埋め込まれている。図1に示すように、基板体Bは、嵌合部材16を可動治具42の凹部に嵌合させて、可動治具42に取り付けられている。このとき、バネ式プローブピン40の先端は、外部電極13に押し当てられる。これにより、外部電極13から、外部に信号が取り出される。   A fitting member 16 for fitting the substrate body B to the movable jig 42 is provided on the back side of the substrate 11. The fitting member 16 is made of a resin such as bakelite or acrylic resin. The proximal end sides of the spring-type probe pin 25 and the positioning pin 26 are embedded in the fitting member 16. As shown in FIG. 1, the substrate body B is attached to the movable jig 42 by fitting the fitting member 16 into the concave portion of the movable jig 42. At this time, the tip of the spring-type probe pin 40 is pressed against the external electrode 13. As a result, a signal is extracted from the external electrode 13 to the outside.

図5は、相手側導体33と基板側導体22との間に異方導電性シート20を挟んだ状態を拡大して示す平面図である。
同図に示すように、各基板側導体15の配置領域ごとに、貫通導電部材22が分散して配置されている。この実施の形態では、各基板側導体15の配置領域ごとに、複数の貫通導電部材22が貫通導電部材群22gを構成している。ただし、各基板側導体15の配置領域ごとに、単一の貫通導電部材22が配置されているだけでもよい。また、図5中の1つの貫通導電部材22aのように、基板側導体15から部分的にはみ出ていてもよいものとする。貫通導電部材22は、基板側導体15に、少なくとも一部で接触していればよいものとする。
FIG. 5 is an enlarged plan view showing a state in which the anisotropic conductive sheet 20 is sandwiched between the counterpart conductor 33 and the substrate side conductor 22.
As shown in the figure, penetrating conductive members 22 are distributed and arranged for each arrangement region of the board-side conductors 15. In this embodiment, a plurality of penetrating conductive members 22 constitute a penetrating conductive member group 22g for each arrangement region of the board-side conductors 15. However, a single penetrating conductive member 22 may be arranged for each arrangement region of the board-side conductors 15. Further, it may be partially protruded from the board-side conductor 15 like one through conductive member 22a in FIG. The penetrating conductive member 22 only needs to be in contact with the substrate-side conductor 15 at least partially.

図5に示すように、共通の貫通導電部材群22g中の貫通導電部材22同士の距離X1は、相隣接する貫通導電部材群22g中の貫通導電部材22同士の距離X2よりも小さい。また、共通の貫通導電部材群22g中の貫通導電部材22同士の距離X1は、基板側導体15同士の距離(ピッチ)p1よりも小さい。
貫通導電部材22が、基板側導体15に、少なくとも一部で接触していることが好ましい。特に、貫通導電部材22が、基板側導体15に、断面積の半分以上の部分で接触していることがより好ましい。
As shown in FIG. 5, the distance X1 between the through conductive members 22 in the common through conductive member group 22g is smaller than the distance X2 between the through conductive members 22 in the adjacent through conductive member groups 22g. Further, the distance X1 between the penetrating conductive members 22 in the common penetrating conductive member group 22g is smaller than the distance (pitch) p1 between the substrate-side conductors 15.
The penetrating conductive member 22 is preferably in contact with the substrate-side conductor 15 at least partially. In particular, it is more preferable that the penetrating conductive member 22 is in contact with the board-side conductor 15 at a portion of half or more of the cross-sectional area.

本実施の形態では、貫通導電部材22を千鳥配置パターンとしているが、碁盤目状パターン、その他のパターンでもよい。   In the present embodiment, the penetrating conductive members 22 have a staggered arrangement pattern, but a grid pattern or other patterns may be used.

異方導電性シート20は、貫通孔23の径が、10μm(0.01mm)以下まで小さくできる。また、貫通導電部材22のピッチは25μm(0.025mm)以下まで、十分に挟ピッチ化することができる。したがって、基板側導体15の幅が0.1mm以下で、基板側導体15のピッチp1が0.05mm以下に挟ピッチ化されていっても、十分な余裕を持って対応することがきる。   The anisotropic conductive sheet 20 can reduce the diameter of the through hole 23 to 10 μm (0.01 mm) or less. Further, the pitch of the through conductive members 22 can be sufficiently reduced to 25 μm (0.025 mm) or less. Therefore, even if the width of the board-side conductor 15 is 0.1 mm or less and the pitch p1 of the board-side conductor 15 is 0.05 mm or less, it is possible to cope with a sufficient margin.

次に、電子部品の検査手順について説明する。
図1に示す状態の前、つまり電子部品を取り付ける前には、可動治具42は、バネ部材47により、上方に引き上げられている。この状態で、電子部品(本実施の形態では、FPC31のコネクタ32)を下側治具41にセットする。コネクタ32には、挟ピッチの相手側導体33が設けられている。また、挟ピッチ以外の領域には、電源ラインやグランドラインの特殊電極33aが設けられている。
Next, an electronic component inspection procedure will be described.
Before the state shown in FIG. 1, that is, before the electronic component is attached, the movable jig 42 is pulled upward by the spring member 47. In this state, the electronic component (in this embodiment, the connector 32 of the FPC 31) is set on the lower jig 41. The connector 32 is provided with a counterpart conductor 33 having a narrow pitch. Further, a special electrode 33a for a power supply line or a ground line is provided in a region other than the sandwiching pitch.

基板体Bと上側治具42とは、嵌合部材16により比較的高精度に位置決めされるが、電子部品は形状のばらつきが大きい。そのために、位置決めピン26が装着されているが、基板側導体15に比べ、相手側導体33の位置等のばらつきは大きい。反面、電子部品の微細化に伴う相手側導体33の挟ピッチ化が、進行しつつある。   The substrate body B and the upper jig 42 are positioned with relatively high accuracy by the fitting member 16, but the electronic components vary greatly in shape. For this purpose, the positioning pin 26 is mounted, but the variation in the position and the like of the mating conductor 33 is larger than that of the board conductor 15. On the other hand, the pitch of the mating conductor 33 accompanying the miniaturization of electronic components is progressing.

次に、ハンドル45により、可動治具42を下方に移動させる。そして、位置決めピン26により、コネクタ32の相手側導体33と、基板体Bの基板側導体15との平面上の位置を整合させる。つまり、位置決めピン18,26により、基板側導体15,相手側導体33,および貫通導電部材群22gの位置が整合される(図5参照)。
そして、異方導電性シート20に相手側導体33を押し当てる。これにより、基板側導体15と相手側導体33とが、貫通導電部材22を間に挟んで導通する。なお、特殊電極33aには、バネ式プローブピン25を押し当てる。
Next, the movable jig 42 is moved downward by the handle 45. Then, the positioning pins 26 align the positions of the mating conductor 33 of the connector 32 and the board-side conductor 15 of the board body B on the plane. That is, the positioning pins 18 and 26 align the positions of the board-side conductor 15, the mating conductor 33, and the through-conductive member group 22g (see FIG. 5).
Then, the counterpart conductor 33 is pressed against the anisotropic conductive sheet 20. Thereby, the board | substrate side conductor 15 and the other party conductor 33 electrically conduct on both sides of the penetration conductive member 22. The spring type probe pin 25 is pressed against the special electrode 33a.

図示されていないが、配線40a及びFPC31の他端は、検査用回路に接続されている。そして、バネ式プローブピン40の配線40aと、FPC31との導通状態を検査することで、コネクタ32の良否等を判定することができる。   Although not shown, the wiring 40a and the other end of the FPC 31 are connected to an inspection circuit. And the quality of the connector 32 etc. can be determined by test | inspecting the electrical connection state of the wiring 40a of the spring type probe pin 40, and FPC31.

上述のように、電子部品は形状のばらつきが大きく、基板側導体15に比べ、相手側導体33の位置等のばらつきは大きい。反面、電子部品の微細化に伴う相手側導体33の挟ピッチ化が、進行しつつある。
それに対し、本実施の形態では、貫通導電部材22を基板側導体15の配置領域ごとに分散して配置し、位置決めピン18を設けている。これにより、基板側導体15と貫通導電部材22との位置整合を確保することができる。
そして、図5に示すように、相手側導体33がずれても、隣接領域の貫通導電部材22に接触する事態は避けることができる。よって、基板側導体15や相手側導体33のピッチが、0.05mm以下まで挟ピッチ化されても、誤接続や短絡の発生を抑制することができる。
As described above, the electronic component has a large variation in shape, and the variation in the position and the like of the counterpart conductor 33 is larger than that of the board-side conductor 15. On the other hand, the pitch of the mating conductor 33 accompanying the miniaturization of electronic components is progressing.
On the other hand, in the present embodiment, the penetrating conductive member 22 is arranged in a distributed manner for each arrangement region of the board-side conductor 15 and the positioning pin 18 is provided. Thereby, the position alignment of the board | substrate side conductor 15 and the penetration conductive member 22 is securable.
And as shown in FIG. 5, even if the other party conductor 33 slip | deviates, the situation which contacts the penetration conductive member 22 of an adjacent area | region can be avoided. Therefore, even if the pitch of the board-side conductor 15 and the counterpart-side conductor 33 is reduced to 0.05 mm or less, the occurrence of erroneous connection or short circuit can be suppressed.

貫通導電部材22は、基板側導体15の配置領域ごとに複数個(貫通導電部材群22g)設けられていることが好ましい。こうすれば、相手側導体33と基板側導体15との位置がずれたときにも、より確実に両者を導通させることができる。   It is preferable that a plurality of penetrating conductive members 22 (penetrating conductive member group 22g) are provided for each arrangement region of the substrate-side conductor 15. In this way, even when the positions of the counterpart conductor 33 and the board-side conductor 15 are deviated, they can be more reliably conducted.

異方導電性シート20は、多孔質樹脂からなる基材と、基材の多孔質樹脂の表面に形成された無電解めっき層とを備えていることが好ましい。これにより、挟ピッチ化に適した貫通導電部材22を有する基板体Bが得られる。   The anisotropic conductive sheet 20 preferably includes a base material made of a porous resin and an electroless plating layer formed on the surface of the porous resin of the base material. Thereby, the board | substrate body B which has the through-conductive member 22 suitable for pinching pitch is obtained.

本実施の形態においては、基板体Bの定期交換時には、基板体B全体を検査装置Aから取り外せばよく、異方導電性シート20を剥がす必要がない。よって、検査基板の交換の時間と手間が低減される。ただし、本発明の基板体Bの構造は、この例に限定されるものではない。たとえば、特許文献4に開示されているように、基板11の全体に大きな異方導電性シート20が貼り付けられているものでもよい。   In the present embodiment, when the substrate body B is periodically replaced, it is only necessary to remove the entire substrate body B from the inspection apparatus A, and it is not necessary to peel off the anisotropic conductive sheet 20. Therefore, the time and labor for replacing the inspection board are reduced. However, the structure of the substrate body B of the present invention is not limited to this example. For example, as disclosed in Patent Document 4, a large anisotropic conductive sheet 20 may be attached to the entire substrate 11.

上記実施の形態1では、被検査物である電子部品として、FPC31のコネクタ32を検査する例について説明した。しかし、本発明の検査装置Aや基板体Bは、半導体デバイスのバーンイン試験や、PCB等の他の種類の配線板のコネクタ等の電気的接続試験等にも用いることができる。さらに、検査装置だけでなく、実施の形態2のごとく、コネクタ等の接続部としても用いることができる。   In the first embodiment, the example in which the connector 32 of the FPC 31 is inspected as the electronic component that is the inspection object has been described. However, the inspection apparatus A and the substrate body B of the present invention can also be used for a burn-in test of a semiconductor device, an electrical connection test of a connector of another type of wiring board such as a PCB, and the like. Furthermore, it can be used not only as an inspection apparatus but also as a connection part such as a connector as in the second embodiment.

(実施の形態2)
図6(a),(b)は、本発明の実施の形態2に係る接続構造体Cの接続前、および接続後の構造を示す断面図である。接続構造体Cにおいて、リジッドプリント配線板(PCB)は、リジッド基板50と、その上の配線である相手側導体51とを有している。FPC(基板体)は、フレキシブル基板60と、その上の配線である基板側導体61とを有している。フレキシブル基板60には、貫通導電部材22を有する異方導電性シート20が貼り付けられている。
(Embodiment 2)
6A and 6B are cross-sectional views showing structures before and after connection of the connection structure C according to Embodiment 2 of the present invention. In the connection structure C, a rigid printed wiring board (PCB) has a rigid substrate 50 and a counterpart conductor 51 that is a wiring thereon. The FPC (substrate body) includes a flexible substrate 60 and a substrate-side conductor 61 that is a wiring thereon. An anisotropic conductive sheet 20 having a through conductive member 22 is attached to the flexible substrate 60.

フレキシブル基板60には、位置決めピン18が設けられている。位置決めピン18は、異方導電性シート20のピン穴に嵌合している。これにより、異方導電性シート20の基板11上における配置部位が定まっている。実施の形態1と同様に、位置決め機構は、位置決めピンとピン穴との組み合わせに限定されるものではない。たとえば、フレキシブル基板60に段差等を設けて、異方導電性シート22を段差部に係合させるなど、他の位置決め機構を採用することができる。   Positioning pins 18 are provided on the flexible substrate 60. The positioning pin 18 is fitted in the pin hole of the anisotropic conductive sheet 20. Thereby, the arrangement | positioning site | part on the board | substrate 11 of the anisotropically conductive sheet 20 is defined. As in the first embodiment, the positioning mechanism is not limited to a combination of positioning pins and pin holes. For example, other positioning mechanisms such as providing a step or the like on the flexible substrate 60 and engaging the anisotropic conductive sheet 22 with the stepped portion can be employed.

図示しないが、本実施の形態においても、貫通導電部材22は、図5に示す通りの配置パターンを有している。すなわち、貫通導電部材22は、平面上で、FPCの基板側導体61の配置領域毎に、分散して配置されている。本実施の形態では、FPC及び異方導電性シート20により、本発明の基板体が構成されている。   Although not shown, also in the present embodiment, the penetrating conductive member 22 has an arrangement pattern as shown in FIG. That is, the penetrating conductive members 22 are arranged in a distributed manner for each arrangement region of the FPC board-side conductor 61 on the plane. In the present embodiment, the FPC and the anisotropic conductive sheet 20 constitute the substrate body of the present invention.

リジッド基板50には、支持部52と、支持部52の軸56の回りにロック部55とが接着剤等により連結されている。接続時には、図6(a)に示すように、FPCと異方導電性シート20とを、支持部52の内部に挿入する。   A support portion 52 and a lock portion 55 around an axis 56 of the support portion 52 are connected to the rigid substrate 50 by an adhesive or the like. At the time of connection, as shown in FIG. 6A, the FPC and the anisotropic conductive sheet 20 are inserted into the support portion 52.

次に、図6(b)に示すように、ロック部55を軸56の回りに回動させて、FPC83をRCBに押し付ける。これにより、異方導電性シート20の貫通導電部材22がリジッド基板60上の相手側導体61に接触し、両者が導通する。ロック部55の先端部は、最下方位置において、支持部52の側方に延びる両腕部(図示せず)に係止される。また、周知慣用の手段により、ロック部55の係止は、解除可能に設けられている。この構造は、周知のZIF(Zero Insertion Force)コネクタの機構を利用したものである。異方導電性シート20を利用することにより、接続のやり直しが簡単な接続構造体Cが得られる。   Next, as shown in FIG. 6B, the lock portion 55 is rotated around the shaft 56 to press the FPC 83 against the RCB. As a result, the penetrating conductive member 22 of the anisotropic conductive sheet 20 comes into contact with the mating conductor 61 on the rigid substrate 60, and both are conducted. The distal end portion of the lock portion 55 is locked to both arm portions (not shown) extending to the side of the support portion 52 at the lowest position. Further, the locking of the lock portion 55 is provided so as to be releasable by well-known and conventional means. This structure utilizes a known ZIF (Zero Insertion Force) connector mechanism. By using the anisotropic conductive sheet 20, a connection structure C that can be easily reconnected is obtained.

本実施の形態では、異方導電性シート20をFPCに貼り付けて、本発明の基板体を構成している。これにより、配線板やコネクタの挟ピッチ化に適した基板体が得られる。なお、本実施の形態においても、実施の形態1と同様の好ましい形態を採用することができる。   In the present embodiment, the anisotropic conductive sheet 20 is attached to the FPC to constitute the substrate body of the present invention. As a result, a substrate body suitable for pinching a wiring board or connector can be obtained. In the present embodiment also, a preferable form similar to that in Embodiment 1 can be adopted.

上記各実施の形態の構造は、例示にすぎず、本発明の範囲はこれらの記載の範囲に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載と、その記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。   The structures of the above embodiments are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to the scope of these descriptions. The scope of the present invention includes the description of the scope of claims, meaning equivalent to the description, and all modifications within the scope.

本発明は、半導体集積回路や各種デバイスなどの電子部品の試験,検査、あるいは各種配線板や電子部品の接続に利用することができる。   The present invention can be used for testing and inspection of electronic components such as semiconductor integrated circuits and various devices, or connection of various wiring boards and electronic components.

本発明の実施の形態1に係る検査装置の断面図である。It is sectional drawing of the inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る基板体の裏面図である。It is a reverse view of the board | substrate body which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る基板体の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the board | substrate body which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る基板体の斜視図である。It is a perspective view of the substrate body concerning Embodiment 1 of the present invention. 実施の形態1における相手側導体と基板側導体との間に異方導電性シートを挟んだ状態を拡大して示す平面図である。3 is an enlarged plan view showing a state in which an anisotropic conductive sheet is sandwiched between a mating conductor and a substrate-side conductor in Embodiment 1. FIG. (a),(b)は、本発明の実施の形態2に係る接続構造体Cの接続前、および接続後の構造を示す断面図である。(A), (b) is sectional drawing which shows the structure before the connection of the connection structure C which concerns on Embodiment 2 of this invention, and after a connection. 従来の相手側導体と基板側導体との間に異方導電性シートを挟んだ状態を上方から見た平面図である。It is the top view which looked at the state which pinched | interposed the anisotropic conductive sheet between the conventional other party conductor and the board | substrate side conductor from the upper direction. 図7における電極間のピッチをさらに小さくした場合の平面図である。FIG. 8 is a plan view when the pitch between the electrodes in FIG. 7 is further reduced.

符号の説明Explanation of symbols

A 検査装置
B 基板体
C 接続構造体
11 基板
12 裏面電極
13 外部電極
14 配線
15 基板側導体
16 嵌合部材
17 スルーホール導通部
20 異方導電性シート
21 フレーム板
22 貫通導電部材
25 バネ式プローブピン
26 位置決めピン
31 FPC
32 コネクタ
33 相手側導体
40 バネ式プローブピン
40a 配線
41 下側治具
42 可動治具
43 上側治具
44 支柱
45 ハンドル
47 バネ部材
50 リジッド基板
51 相手側導体
52 支持部
55 ロック部
56 軸
60 フレキシブル基板
61 基板側導体
A Inspection apparatus B Substrate body C Connection structure 11 Substrate 12 Back electrode 13 External electrode 14 Wiring 15 Substrate side conductor 16 Fitting member 17 Through-hole conducting portion 20 Anisotropic conductive sheet 21 Frame plate 22 Through conductive member 25 Spring type probe Pin 26 Positioning pin 31 FPC
32 connector 33 mating conductor 40 spring type probe pin 40a wiring 41 lower jig 42 movable jig 43 upper jig 44 support 45 handle 47 spring member 50 rigid substrate 51 mating conductor 52 support section 55 locking section 56 shaft 60 flexible Substrate 61 Substrate side conductor

Claims (4)

基板側導体が形成された基板と、
前記基板上に取り付けられた異方導電性シートと、
前記異方導電性シートの前記基板への取付位置を位置決めする位置決め機構と、
を備え、
前記異方導電性シートには、前記基板側導体が配置された領域ごとに分散して配置された,少なくとも1つの貫通導電部材が設けられている、基板体。
A substrate on which a substrate-side conductor is formed;
An anisotropic conductive sheet attached on the substrate;
A positioning mechanism for positioning the mounting position of the anisotropic conductive sheet on the substrate;
With
A substrate body, wherein the anisotropic conductive sheet is provided with at least one penetrating conductive member that is dispersed and arranged in each region where the substrate-side conductor is disposed.
請求項1記載の基板体において、
前記各貫通導電部材は、少なくとも一部で前記基板側導体に接触している、基板体。
The substrate body according to claim 1,
Each said through-conductive member is a board | substrate body which is contacting the said board | substrate side conductor at least in part.
請求項1または2記載の基板体において、
前記少なくとも1つの貫通導電部材は、複数個ずつ設けられて、貫通導電部材群となっている、基板体。
The substrate body according to claim 1 or 2,
A substrate body in which a plurality of the at least one penetrating conductive member are provided to form a penetrating conductive member group.
請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の基板体において、
前記異方導電性シートは、
複数の微細孔を有する多孔質樹脂からなる基材と、
前記基材の前記各微細孔内を含む表面領域に形成された無電解めっき層と、
を備えている、基板体。
In the board | substrate body as described in any one of Claims 1-3,
The anisotropic conductive sheet is
A substrate made of a porous resin having a plurality of micropores;
An electroless plating layer formed in a surface region including the inside of each micropore of the substrate;
A substrate body comprising:
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