JP2010003966A - 集積回路装置の設計方法及び製造方法並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】ライブラリ開発工数を低減することができる集積回路装置の設計方法及び製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の集積回路装置の設計方法は、第1〜第Nの異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成し(ステップS20)、ライブラリを用いて論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成し(ステップS30)、論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンに基づいて論理回路を含む集積回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する(ステップS40)。ステップS30において、論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの論理セルと第mの電流供給セルを用いて回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する。
【選択図】図7
【解決手段】本発明の集積回路装置の設計方法は、第1〜第Nの異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成し(ステップS20)、ライブラリを用いて論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成し(ステップS30)、論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンに基づいて論理回路を含む集積回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する(ステップS40)。ステップS30において、論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの論理セルと第mの電流供給セルを用いて回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する。
【選択図】図7
Description
本発明は、集積回路装置の設計方法及び製造方法並びに電子機器に関する。
集積回路装置(LSI)のデジタル化が進み大規模多機能なデジタル回路(論理回路)の設計が必要とされている。そして、設計工数を削減するために基本的な複数の論理の各々を実現するようにあらかじめ設計された複数の論理セルを用いて論理回路を設計する手法が広く知られている。この設計手法においては、複数の論理セルの遅延情報や配置配線情報等の特性情報を含む各種ライブラリを用いて、設計対象の論理回路に対して論理検証やタイミング検証、レイアウトパターン作成(配置配線)等が行われる。
特開平11−45942号公報
特開平10−294371号公報
ライブラリに含まれる論理セルの特性情報は、各論理セルの回路接続情報と、レイアウトパターンから抽出した寄生抵抗及び寄生容量に基づく回路シミュレーションの実行結果から作成される。従って、論理セルの種類が多いほどライブラリの開発工数が増加する。そして、製造プロセスの微細化に伴い、論理セルの高速動作とレイアウト面積の低減の要求を満たすべく、論理は等価で電流供給能力が異なる多種類の論理セルが作成されており、ライブラリの開発工数が増加している。さらに、近年の製造プロセスの多様化、複雑化に伴い、多数の製造プロセス毎に異なるライブラリを作成する必要が生じており、ライブラリの開発工数がますます増加する傾向にある。
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、ライブラリ開発工数を低減することができる集積回路装置の設計方法及び製造方法並びに電子機器を提供することを目的とする。
(1)本発明は、
論理回路を含む集積回路装置の設計方法であって、
第1〜第N(N≧2)の異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と、第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第M(M≧2)の電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成するライブラリ作成ステップと、
前記ライブラリを用いて前記論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する論理設計ステップと、
前記論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンに基づいて、前記論理回路を含む集積回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する全体回路作成ステップと、を含み、
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの前記論理セルと第mの前記電流供給セルを用いて論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンを作成することを特徴とする。
論理回路を含む集積回路装置の設計方法であって、
第1〜第N(N≧2)の異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と、第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第M(M≧2)の電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成するライブラリ作成ステップと、
前記ライブラリを用いて前記論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する論理設計ステップと、
前記論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンに基づいて、前記論理回路を含む集積回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する全体回路作成ステップと、を含み、
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの前記論理セルと第mの前記電流供給セルを用いて論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンを作成することを特徴とする。
ライブラリは、1つであってもよいし複数であってもよく、例えば、論理合成用ライブラリ、論理シミュレーション用ライブラリ、自動配置配線用ライブラリであってもよい。
論理セルの特性情報及び電流供給セルの特性情報は、ライブラリの使用目的に応じて必要とされる論理セル及び電流供給セルの特性に関する情報であればよい。例えば、論理合成用ライブラリに含まれる特性情報は、入力ゲート容量、ファンアウト数、レイアウトサイズ等の情報であってもよい。また、例えば、論理シミュレーション用ライブラリに含まれる特性情報は、セルの出力信号の論理に関する情報(論理情報)やセルを伝搬する信号の遅延に関する情報(遅延情報)等であってもよい。また、例えば、自動配置配線用ライブラリに含まれる特性情報は、レイアウト形状やポート位置等の情報であってもよい。
論理セルは、入力端子に入力された信号に対する所定の論理を有する信号を出力端子から出力するセルである。所定の論理は、NANDやNOR等の基本論理であってもよいし、AND−ORや選択論理等の複合論理であってもよいし、所定の条件で入力信号を記憶する記憶論理であってもよい。
電流供給セルは、その出力端子に接続された信号線の電圧レベルを変化させるための電流を供給するセルである。電流供給セルの電流供給能力は供給可能な当該電流の量であり、例えば、出力トランジスタのチャネル長(ゲート長)及びチャネル幅(ゲート幅)、並列接続される出力トランジスタの数により決定されるようにしてもよい。また、電流供給セルの出力論理は特に限定されないが、例えば、バッファ論理やインバータ論理であってもよい。
本発明によれば、論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの論理セルと第mの電流供給セルを用いて論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンが作成される。従って、各種ライブラリは、第1〜第Nの異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と、第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルの特性情報を含めばよい。すなわち、本発明によれば、N種類の論理のいずれか及びM種類の電流供給能力のいずれかを有するN×M種類の論理回路を実現するために最低限N+M種類のセルがあればよいので、ライブラリの開発工数及び記憶容量を大幅に削減することができる。
また、本発明によれば、ライブラリの作成対象となるセルの数が大幅に減るので、電流供給セルの種類を従来よりも増やすことにより、電流供給能力をより細かく選択できるようにすることができる。
さらに、本発明により、論理回路セルに電流供給能力を含まない構成にすることにより、各々の論理回路セルのレイアウトパターンが小さくできるので、前記論理設計ステップにおいて、論理回路接続情報に基づいてレイアウトパターンを作成する場合に、論理セルおよび電流供給セルの配置の自由度が向上し、レイアウトパターンの面積縮小による製品開発コストの削減や、セル間を接続するメタル配線の短縮による製品の特性向上を図ることができる。
(2)本発明の集積回路装置の設計方法は、
前記ライブラリ作成ステップにおいて、
第n(1≦n≦N)の論理を有する論理セルの特性情報として第nの前記論理セルの特性情報のみを含むように前記ライブラリを作成するようにしてもよい。
前記ライブラリ作成ステップにおいて、
第n(1≦n≦N)の論理を有する論理セルの特性情報として第nの前記論理セルの特性情報のみを含むように前記ライブラリを作成するようにしてもよい。
本発明によれば、第n(1≦n≦N)の論理を有する論理セルは第nの論理セルのみであるので、ライブラリ作成対象の論理セルはN種類のみである。従って、本発明によれば、ライブラリの開発工数及び記憶容量を大幅に削減することができる。
(3)本発明の集積回路装置の設計方法において、
前記第1〜第Mの電流供給セルは、第1〜第Mの電流供給回路をそれぞれ含み、
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ複数の前記第1の電流供給回路を含み、それぞれバルク層において前記複数の第1の電流供給回路のレイアウトパターンが並んで配置されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
前記第1〜第Mの電流供給セルは、第1〜第Mの電流供給回路をそれぞれ含み、
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ複数の前記第1の電流供給回路を含み、それぞれバルク層において前記複数の第1の電流供給回路のレイアウトパターンが並んで配置されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
バルク層は、メタル配線層及びコンタクト層よりも下位の層であり、例えば、基板、拡散層、ポリシリコン配線層を含む。
(4)本発明の集積回路装置の設計方法において、
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ前記複数の第1の電流供給回路がメタル配線により接続されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ前記複数の第1の電流供給回路がメタル配線により接続されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
本発明によれば、第2〜第Mの電流供給セルにそれぞれ含まれる第2〜第Mの電流供給回路は、バルク層において第1の電流供給セルに含まれる第1の電流供給回路が複数個並んで配置され、当該複数個の第1の電流供給回路はメタル配線で接続されたレイアウトパターンを有する。そのため、設計対象の論理回路の配置配線後のレイアウトにおけるセルの未配置領域に、第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを複数個並べて配置しておけば、バルク層におけるレイアウトパターンを変更することなくメタル配線層及びコンタクト層のレイアウトパターンを追加するだけで、第2〜第Mの電流供給セルの少なくとも一部を当該未配置領域に追加することができる。従って、設計対象の論理回路の一部の電流供給セルの種類が変更された場合や新たに電流供給セルが追加された場合でも、電流供給セルを配置するために論理セルの配置をやり直す必要がなくなり、設計工数を削減することができる。また、フォトマスクの作製後に電流供給セルを変更又は追加する場合でもバルク層のレイアウトパターンを変更しなくて済むので作製し直すフォトマスクの枚数を減らすことができ、製品開発の工数及びコストを削減することができる。
(5)本発明の集積回路装置の設計方法において、
前記第1の電流供給回路は、2つの電源供給線の間に並列に接続された複数のインバータ回路を含み、当該複数のインバータ回路の入力同士がポリシリコン配線により接続されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
前記第1の電流供給回路は、2つの電源供給線の間に並列に接続された複数のインバータ回路を含み、当該複数のインバータ回路の入力同士がポリシリコン配線により接続されたレイアウトパターンを有するようにしてもよい。
本発明によれば、第1〜第Mの電流供給セルに含まれる1つ又は複数の第1の電流供給回路に含まれる複数のインバータ回路の入力同士はポリシリコン配線により接続されるので、当該インバータ回路の入力同士をメタル1層配線で接続した場合には必要となるコンタクトの配置領域が不要である。従って、本発明によれば、第1〜第Mの電流供給セルのレイアウト面積を小さくすることができる。
(6)本発明の集積回路装置の設計方法は、
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路の前記回路接続情報に基づいて前記論理セル及び前記電流供給セルを配置した後、前記論理セル及び前記電流供給セルが配置されていない未配置領域に少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを作成し、前記論理回路の前記回路接続情報において少なくとも1つの前記電流供給セルが追加された場合には、少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを用いて、追加された前記電流供給セルを前記未配置領域に配置するようにしてもよい。
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路の前記回路接続情報に基づいて前記論理セル及び前記電流供給セルを配置した後、前記論理セル及び前記電流供給セルが配置されていない未配置領域に少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを作成し、前記論理回路の前記回路接続情報において少なくとも1つの前記電流供給セルが追加された場合には、少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを用いて、追加された前記電流供給セルを前記未配置領域に配置するようにしてもよい。
本発明によれば、バルク層におけるレイアウトパターンを変更することなく、追加された電流供給セルを当該未配置領域に配置することができる。従って、追加された電流供給セルを配置するために論理セルの配置をやり直す必要がなくなり、設計工数を削減することができる。また、フォトマスクの作製後に電流供給セルを追加する場合でもバルク層のレイアウトパターンを変更しなくて済むので作製し直すフォトマスクの枚数を減らすことができ、製品開発の工数及びコストを削減することができる。
(7)本発明は、
上記のいずれかに記載の設計方法によって前記集積回路装置のレイアウトパターンを作成するステップと、
前記レイアウトパターンが描画されたフォトマスクを作成するステップと、
前記フォトマスクを用いて集積回路を半導体基板に形成するステップと、を含むことを特徴とする集積回路装置の製造方法である。
上記のいずれかに記載の設計方法によって前記集積回路装置のレイアウトパターンを作成するステップと、
前記レイアウトパターンが描画されたフォトマスクを作成するステップと、
前記フォトマスクを用いて集積回路を半導体基板に形成するステップと、を含むことを特徴とする集積回路装置の製造方法である。
(8)本発明は、
上記に記載の集積回路装置の製造方法によって製造された集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器である。
上記に記載の集積回路装置の製造方法によって製造された集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器である。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.ライブラリの構成
図1は、本実施形態の集積回路装置の設計方法におけるライブラリの構成について説明するための図である。
図1は、本実施形態の集積回路装置の設計方法におけるライブラリの構成について説明するための図である。
本実施形態の集積回路装置の設計方法に用いられるライブラリは1つであってもよいし複数であってもよい。例えば、本実施形態の集積回路装置の設計方法において、論理合成用ライブラリ10、論理シミュレーション用ライブラリ20、自動配置配線用ライブラリ30等の複数のライブラリを含むライブラリ群1を用いるようにしてもよい。
論理合成用ライブラリ10は、論理セル1(第1の論理セルの一例)、論理セル2(第2の論理セルの一例)、論理セル3(第3の論理セルの一例)、・・・に関する特性をそれぞれ含む論理セル1特性情報12−1、論理セル2特性情報12−2、論理セル3特性情報12−3、・・・を含む。論理セル1特性情報12−1、論理セル2特性情報12−2、論理セル3特性情報12−3、・・・はそれぞれ、例えば、論理セル1、論理セル2、論理セル3、・・・の入力ゲート容量、ファンアウト数、レイアウトサイズ等の情報である。
また、論理合成用ライブラリ10は、電流供給セル1(第1の電流供給セルの一例)、電流供給セル2(第2の電流供給セルの一例)、電流供給セル3(第3の電流供給セルの一例)、・・・に関する特性をそれぞれ含む電流供給セル1特性情報14−1、電流供給セル2特性情報14−2、電流供給セル3特性情報14−3、・・・を含む。電流供給セル1特性情報14−1、電流供給セル2特性情報14−2、電流供給セル3特性情報14−3、・・・はそれぞれ、例えば、電流供給セル1、電流供給セル2、電流供給セル3、・・・の入力ゲート容量、ファンアウト数、レイアウトサイズ等の情報である。
既存の論理合成ツールにより、論理合成用ライブラリ10に含まれる論理セルの特性情報や電流供給セルの特性情報が読み込まれ、集積回路装置に含まれる論理回路の回路接続情報(ネットリスト)が生成される。
論理シミュレーション用ライブラリ20は、論理セル1特性情報22−1、論理セル2特性情報22−2、論理セル3特性情報22−3、・・・を含む。論理セル1特性情報22−1、論理セル2特性情報22−2、論理セル3特性情報22−3、・・・はそれぞれ、例えば、論理セル1、論理セル2、論理セル3、・・・の出力信号の論理に関する情報(論理情報)やセルを伝搬する信号の遅延に関する情報(遅延情報)等である。
また、論理シミュレーション用ライブラリ20は、電流供給セル1特性情報24−1、電流供給セル2特性情報24−2、電流供給セル3特性情報24−3、・・・を含む。電流供給セル1特性情報24−1、電流供給セル2特性情報24−2、電流供給セル3特性情報24−3、・・・はそれぞれ、例えば、電流供給セル1、電流供給セル2、電流供給セル3、・・・の論理情報や遅延情報等である。
既存の論理シミュレーションツールにより、論理シミュレーション用ライブラリ20に含まれる論理セルの特性情報や電流供給セルの特性情報が読み込まれ、集積回路装置に含まれる論理回路の回路接続情報(ネットリスト)の論理シミュレーションが実行される。
自動配置配線用ライブラリ30は、論理セル1特性情報32−1、論理セル2特性情報32−2、論理セル3特性情報32−3、・・・を含む。論理セル1特性情報32−1、論理セル2特性情報32−2、論理セル3特性情報32−3、・・・はそれぞれ、例えば、論理セル1、論理セル2、論理セル3、・・・のレイアウト形状やポート位置等の情報である。
また、自動配置配線用ライブラリ30は、電流供給セル1特性情報34−1、電流供給セル2特性情報34−2、電流供給セル3特性情報34−3、・・・を含む。電流供給セル1特性情報34−1、電流供給セル2特性情報34−2、電流供給セル3特性情報34−3、・・・はそれぞれ、例えば、電流供給セル1、電流供給セル2、電流供給セル3、・・・のレイアウト形状やポート位置等の情報である。
既存の自動配置配線ツールにより、自動配置配線用ライブラリ30に含まれる論理セルの特性情報や電流供給セルの特性情報が読み込まれ、集積回路装置に含まれる論理回路の回路接続情報(ネットリスト)に対応するレイアウトパターンが生成される。
ここで、設計に使用するセルの種類が多いほど各種ライブラリに含まれる特性情報が多くなる。すなわち、セルの種類が多いほどより多くの特性情報を作成しなければならない。また、セルの特性情報を作成するためにはセルのトランジスタレベルの回路接続情報とレイアウトパターンが必要となるため、セルの種類が多いほどより多くの回路接続情報とレイアウトパターンを作成しなければならない。そのため、セルの種類が多いほどライブラリの開発工数が増加する。
従来の集積回路装置の設計方法では、各論理セルが論理回路部分と電流供給回路部分を含んでいたため、同一論理を有し異なる電流供給能力を有する複数の論理セルが使用されていた。例えば、2入力NAND論理を実現する論理セルとして、電流供給能力が1倍、2倍、3倍、・・・の複数種類の2入力NANDセルが使用されていた。そのため、N種類の論理とM種類の電流供給能力のすべての組み合わせを実現するためには、N×M種類の論理セルが必要であった。
一方、本実施形態の集積回路装置の設計方法では、従来の論理セルにおける論理回路部分に対応する論理セルと、従来の論理セルにおける電流回路部分に対応する電流供給セルが使用される。すなわち、N種類の論理をそれぞれ有するN種類の論理セルと、M種類の電流供給能力をそれぞれ有するM種類の電流供給セルを組み合わせてM×N種類の論理回路を実現する。従って、ライブラリ作成対象のセルはN+M種類で済むため、ライブラリの開発工数を大幅に削減することができる。
2.ライブラリ作成対象のセル
図2は、本実施形態の集積回路装置の設計方法におけるライブラリの作成対象となるセル(ライブラリ作成対象セル)について説明するための図である。
図2は、本実施形態の集積回路装置の設計方法におけるライブラリの作成対象となるセル(ライブラリ作成対象セル)について説明するための図である。
ライブラリ作成対象セルは、論理セル群40と電流供給セル群50に分けられる。さらに、論理セル群40は基本論理セル群42、複合論理セル群44、記憶論理セル群46に分けられるようにしてもよい。
基本論理セル群42には、例えば、インバータセル(INV)、バッファセル(BUF)、2入力NANDセル(NAND2)、2入力NORセル(NOR2)、2入力EXNORセル(EXNOR2)、3入力NANDセル(NAND3)、3入力NORセル(NOR3)、3入力EXNORセル(EXNOR3)、2入力ANDセル(AND2)、2入力ORセル(OR2)、2入力EXORセル(EXOR2)、3入力ANDセル(AND3)、3入力ORセル(OR3)、3入力EXORセル(EXOR3)、・・・等の基本論理を実現するセルが含まれる。
複合論理セル群44には、例えば、2入力マルチプレクサセル(MUX2)、3入力マルチプレクサセル(MUX3)、4入力マルチプレクサセル(MUX4)、2入力AND論理の出力を2入力OR論理の一方の入力とする論理セル(ANDOR2)等の複合論理を実現するセルが含まれる。
記憶論理セル群46には、例えば、Dフリップフロップセル(DFF)、リセット端子付きDフリップフロップセル(DFFR)、イネーブル端子付きDフリップフロップセル(DFFE)、反転出力端子付きDフリップフロップセル(DFFN)、SRフリップフロップセル(SRFF)、JKフリップフロップセル(JKFF)、Dラッチセル(DLATCH)等の記憶論理を実現するセルが含まれる。
電流供給セル群50には、例えば、基本となる電流(基本電流)を供給する電流供給セル1(DRV1)、基本電流の2倍の電流を供給する電流供給セル2(DRV2)、基本電流の3倍の電流を供給する電流供給セル3(DRV3)、基本電流の4倍の電流を供給する電流供給セル4(DRV4)等のセルが含まれる。
ここで、論理セル群40に含まれる複数の論理セルは第1〜第N(N≧2)の異なる論理を実現することが目的であり、論理セル群40には電流供給能力のみが異なり同一論理を有する複数種類の論理セルが含まれないようにするのが好ましい。
本実施形態によれば、電流供給セル群50に含まれる電流供給セルは第1〜第M(M≧2)の異なる電流供給能力を有するので、論理セル群40に含まれる複数の論理セルの電流供給能力は電流供給セルを駆動できる大きさであればよい。従って、論理セル群40に含まれる論理セルの各々のレイアウト面積を比較的小さくすることができる。
また、本実施形態によれば、ライブラリ作成対象の論理セルの数が大幅に削減されるので、電流供給能力をより細かく選択できるように電流供給セルの種類を多くしてもよい。例えば、従来は基本電流の1倍、2倍、4倍、8倍の電流供給能力を有する論理セルのみを作成していた場合でも、本実施形態によれば基本電流の1倍、2倍、3倍、・・・、8倍の電流供給能力を有する8種類の電流供給セルを作成することができる。
図3(A)〜図3(C)は、第1の論理セルの一例として2入力NANDセルについて説明するための図である。
NANDセル60は、図3(A)のシンボルで表現され、2つの入力端子A、Bにそれぞれ入力された2つの信号のNAND論理の信号を出力端子Cから出力するように機能する。
図3(B)は、NANDセル60のトランジスタレベルの回路図(回路接続情報)を示す図である。NANDセル60は、2つのPMOSトランジスタ62、64と2つのNMOSトランジスタ66、68を含んで構成されている。
PMOSトランジスタ62のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子A、VDD電源供給線、出力端子Cに接続されている。PMOSトランジスタ64のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子B、VDD電源供給線、出力端子Cに接続されている。すなわち、PMOSトランジスタ62、64はVDD電源供給線と出力端子Cの間に並列に接続されている。
NMOSトランジスタ66のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子A、NMOSトランジスタ68のドレイン、出力端子Cに接続されている。NMOSトランジスタ68のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子B、VSS電源供給線、NMOSトランジスタ66のソースに接続されている。すなわち、NMOSトランジスタ66、68は出力端子CとVSS電源供給線の間に直列に接続されている。
従って、入力端子A、Bに入力された2つの信号の少なくとも一方がローレベルの電圧の時は、PMOSトランジスタ62、64の少なくとも一方がオンしNMOSトランジスタ66、68の少なくとも一方がオフするので出力端子CはVDD電源供給線に電気的に接続され、出力端子Cからハイレベルの電圧の信号が出力される。一方、入力端子A、Bに入力された2つの信号がともにハイレベルの電圧の時は、PMOSトランジスタ62、64はともにオフしNMOSトランジスタ66、68はともにオンするので出力端子CはVSS電源供給線に電気的に接続され、出力端子Cからローレベルの電圧の信号が出力される。NANDセル60は、以上の動作により2入力NAND論理を実現することができる。
図3(C)は、NANDセル60のレイアウトパターンを示す図である。NANDセル60のレイアウトパターンは、2つのポリシリコン配線70−1〜70−2、P型拡散領域72、N型拡散領域74、3つのメタル1層配線76−1〜76−3、5つのコンタクト78−1〜78−5を含む。
図3(B)に示す2つのPMOSトランジスタ62、64は、それぞれポリシリコン配線70−1、70−2とP型拡散領域72により形成されるトランジスタに対応する。また、図3(B)に示す2つのNMOSトランジスタ66、68は、それぞれポリシリコン配線70−1、70−2とN型拡散領域74により形成されるトランジスタに対応する。
メタル1層配線76−1はVDD電源供給線であり、コンタクト78−1、78−2はメタル1層配線76−1とP型拡散領域72を接続する。コンタクト78−3はメタル1層配線76−2とP型拡散領域72を接続する。コンタクト78−4はメタル1層配線76−2とN型拡散領域74を接続する。メタル1層配線76−3はVSS電源供給線であり、コンタクト78−5はメタル1層配線76−3とN型拡散領域74を接続する。
NANDセル60は、2入力NAND論理を実現すればよく電流供給能力が小さくてもよいので、出力端子Cに接続される信号線に電流を供給するための専用回路を含んでいない。従って、NANDセル60のレイアウトパターンの面積を小さくすることができる。
図4(A)〜図4(C)は、第2の論理セルの一例として2入力NORセルについて説明するための図である。
NORセル80は、図4(A)のシンボルで表現され、2つの入力端子A、Bにそれぞれ入力された2つの信号のNOR論理の信号を出力端子Cから出力するように機能する。
図4(B)は、NORセル80のトランジスタレベルの回路図(回路接続情報)を示す図である。NORセル80は、2つのPMOSトランジスタ82、84と2つのNMOSトランジスタ86、88を含んで構成されている。
PMOSトランジスタ82のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子B、VDD電源供給線、PMOSトランジスタ84のソースに接続されている。PMOSトランジスタ84のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子A、PMOSトランジスタ82のドレイン、出力端子Cに接続されている。すなわち、PMOSトランジスタ82、84はVDD電源供給線と出力端子Cの間に直列に接続されている。
NMOSトランジスタ86のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子A、VSS電源供給線、出力端子Cに接続されている。NMOSトランジスタ88のゲート、ソース、ドレインはそれぞれ入力端子B、VSS電源供給線、出力端子Cに接続されている。すなわち、NMOSトランジスタ86、88は出力端子CとVSS電源供給線の間に並列に接続されている。
従って、入力端子A、Bに入力された2つの信号の少なくとも一方がハイレベルの電圧の時は、NMOSトランジスタ86、88の少なくとも一方がオンしPMOSトランジスタ82、84の少なくとも一方がオフするので出力端子CはVSS電源供給線に電気的に接続され、出力端子Cからローレベルの電圧の信号が出力される。一方、入力端子A、Bに入力された2つの信号がともにローレベルの電圧の時は、NMOSトランジスタ86、88はともにオフしPMOSトランジスタ82、84はともにオンするので出力端子CはVDD電源供給線に電気的に接続され、出力端子Cからハイレベルの電圧の信号が出力される。NORセル80は、以上の動作により2入力NOR論理を実現することができる。
図4(C)は、NORセル80のレイアウトパターンを示す図である。NORセル80のレイアウトパターンは、2つのポリシリコン配線90−1〜90−2、P型拡散領域92、N型拡散領域94、3つのメタル1層配線96−1〜96−3、5つのコンタクト98−1〜98−5を含む。
図4(B)に示す2つのPMOSトランジスタ82、84は、それぞれポリシリコン配線90−1、90−2とP型拡散領域92により形成されるトランジスタに対応する。また、図4(B)に示す2つのNMOSトランジスタ86、88は、それぞれポリシリコン配線90−1、90−2とN型拡散領域94により形成されるトランジスタに対応する。
メタル1層配線96−1はVDD電源供給線であり、コンタクト98−1はメタル1層配線96−1とP型拡散領域92を接続する。コンタクト98−2はメタル1層配線96−2とP型拡散領域92を接続する。コンタクト98−3はメタル1層配線96−2とN型拡散領域94を接続する。メタル1層配線96−3はVSS電源供給線であり、コンタクト98−4、98−5はメタル1層配線96−3とN型拡散領域94を接続する。
NORセル80は、2入力NOR論理を実現すればよく電流供給能力が小さくてもよいので、出力端子Cに接続される信号線に電流を供給するための専用回路を含んでいない。従って、NORセル80のレイアウトパターンの面積を小さくすることができる。
図5(A)〜図5(C)は、第1の電流供給セルの一例として基本電流を供給する電流供給セルについて説明するための図である。
DRV1セル100は、図5(A)のシンボルで表現され、入力端子INに入力された信号のバッファ論理の信号を出力端子OUTに出力するとともに、出力端子OUTに接続された信号線に基本電流を供給するように機能する。
図5(B)は、DRV1セル100のトランジスタレベルの回路図(回路接続情報)を示す図である。DRV1セル100は、インバータ回路110と電流供給回路120を含んで構成されている。
インバータ回路110は、PMOSトランジスタ112とNMOSトランジスタ114を含み、PMOSトランジスタ112のゲート、ソースはそれぞれ入力端子IN、VDD電源供給線に接続され、NMOSトランジスタ114のゲート、ソースはそれぞれ入力端子IN、VSS電源供給線に接続され、PMOSトランジスタ112のドレインとNMOSトランジスタ114のドレインが信号線116に接続されている。インバータ回路110は、入力端子INから入力された信号のインバータ論理の信号を信号線116に出力する。
電源供給回路120は、第1の電源供給回路に対応し、2つのPMOSトランジスタ122、124と2つのNMOSトランジスタ126、128を含んで構成されている。PMOSトランジスタ122、124のゲート、ソースはそれぞれ信号線116、VDD電源供給線に接続され、NMOSトランジスタ126、128のゲート、ソースはそれぞれ信号線116、VSS電源供給線に接続されている。そして、PMOSトランジスタ122、124、NMOSトランジスタ126、128のドレインは出力端子OUTに接続されている。すなわち、電源供給回路120は、VDD電源供給線とVSS電源供給線の間に並列に接続された2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ122とNMOSトランジスタ126により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ124とNMOSトランジスタ128により構成されるインバータ回路)を含んで構成されている。
従って、入力端子INに入力された信号がローレベルの電圧の時は、信号線116の信号(インバータ回路110の出力)の電圧はハイレベルになり、NMOSトランジスタ126、128がオンしPMOSトランジスタ122、124がオフするので出力端子OUTはVSS電源供給線に電気的に接続され、出力端子OUTからローレベルの電圧の信号が出力される。一方、入力端子INに入力された信号がハイレベルの電圧の時は、信号線116の信号(インバータ回路110の出力)の電圧はローレベルになり、PMOSトランジスタ122、124がオンしNMOSトランジスタ126、128がオフするので出力端子OUTはVDD電源供給線に電気的に接続され、出力端子OUTからハイレベルの電圧の信号が出力される。
ここで、入力端子INに入力される信号がハイレベルからローレベルに遷移すれば、出力端子OUTから出力される信号もハイレベルからローレベルに遷移する。この遷移期間において、NMOSトランジスタ126、128が同時にオンすることにより、出力端子OUTからVSS電源供給線に基本電流が流れる。逆に、入力端子INに入力される信号がローレベルからハイレベルに遷移すれば、出力端子OUTから出力される信号もローレベルからハイレベルに遷移する。この遷移期間において、PMOSトランジスタ122、124が同時にオンすることにより、VDD電源供給線から出力端子OUTに基本電流が流れる。
DRV1セル100は、以上の動作により、基本電流を供給する電流供給セルとして機能することができる。なお、DRV1セル100は、入力端子INから入力される信号のバッファ論理の信号を出力端子OUTから出力させるためにインバータ回路110を含んでいるが、インバータ回路110を含まなくてもよい。すなわち、DRV1セル100は、電流供給回路120のみで構成され、入力端子INに入力された信号のインバータ論理の信号を出力端子OUTに出力するとともに、出力端子OUTに接続された信号線に基本電流を供給するように機能するようにしてもよい。
図5(C)は、DRV1セル100のレイアウトパターンを示す図である。DRV1セル100のレイアウトパターンは、4つのポリシリコン配線130−1〜130−4、P型拡散領域132、N型拡散領域134、5つのメタル1層配線136−1〜136−5、10個のコンタクト138−1〜138−10を含む。
図5(B)に示すインバータ回路110に含まれるPMOSトランジスタ112は、ポリシリコン配線130−1とP型拡散領域132により形成されるトランジスタに対応する。また、図5(B)に示すインバータ回路110に含まれるNMOSトランジスタ114は、ポリシリコン配線130−1とN型拡散領域134により形成されるトランジスタに対応する。
また、図5(B)に示す電源供給回路120に含まれる2つのPMOSトランジスタ122、124は、それぞれポリシリコン配線130−2、130−3とP型拡散領域132により形成されるトランジスタに対応する。また、図5(B)に示す電源供給回路120に含まれる2つのNMOSトランジスタ126、128は、それぞれポリシリコン配線130−2、130−3とN型拡散領域134により形成されるトランジスタに対応する。ここで、ポリシリコン配線130−2、130−3はポリシリコン配線130−4で接続されている。
メタル1層配線136−1はVDD電源供給線であり、コンタクト138−1、138−2はメタル1層配線136−1とP型拡散領域132を接続する。コンタクト138−3はメタル1層配線136−3とP型拡散領域132を接続する。コンタクト138−4はメタル1層配線136−4とP型拡散領域132を接続する。コンタクト138−5はメタル1層配線136−2とポリシリコン配線130−1を接続する。コンタクト138−6はメタル1層配線136−3とポリシリコン配線130−2、130−3、130−4を接続する。コンタクト138−7はメタル1層配線136−3とN型拡散領域134を接続する。コンタクト138−8はメタル1層配線136−4とN型拡散領域134を接続する。メタル1層配線136−5はVSS電源供給線であり、コンタクト138−9、138−10はメタル1層配線136−5とN型拡散領域134を接続する。
DRV1セル100のレイアウトパターンは、電流供給回路120に含まれる2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ122とNMOSトランジスタ126により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ124とNMOSトランジスタ128により構成されるインバータ回路)の入力同士がメタル1層配線ではなくポリシリコン配線130−4により接続されている。従って、他のメタル1層配線の配線領域を確保できるので、DRV1セル100のレイアウトパターンの面積を小さくすることができる。
図6(A)〜図6(C)は、第2の電流供給セルの一例として基本電流の2倍の電流を供給する電流供給セルについて説明するための図である。
DRV2セル140は、図6(A)のシンボルで表現され、入力端子INに入力された信号のバッファ論理の信号を出力端子OUTに出力するとともに、出力端子OUTに接続された信号線に基本電流の2倍の電流を供給するように機能する。
図6(B)は、DRV2セル140のトランジスタレベルの回路図(回路接続情報)を示す図である。DRV2セル140は、インバータ回路150と電流供給回路160を含んで構成されている。
インバータ回路150は、PMOSトランジスタ152とNMOSトランジスタ154を含み、PMOSトランジスタ152のゲート、ソースはそれぞれ入力端子IN、VDD電源供給線に接続され、NMOSトランジスタ154のゲート、ソースはそれぞれ入力端子IN、VSS電源供給線に接続され、PMOSトランジスタ152のドレインとNMOSトランジスタ154のドレインが信号線156に接続されている。インバータ回路150は、入力端子INから入力された信号のインバータ論理の信号を信号線156に出力する。
電源供給回路160は、第2の電源供給回路に対応し、それぞれ基本電流を供給する2つの電源供給回路160−1、160−2を含む。電流供給回路160−1、160−2は、図5(B)に示した電流供給回路120(第1の電源供給回路)と同じ構成である。
すなわち、電源供給回路160−1は、2つのPMOSトランジスタ162−1、164−1と2つのNMOSトランジスタ166−1、168−1を含んで構成されている。PMOSトランジスタ162−1、164−1のゲート、ソースはそれぞれ信号線156、VDD電源供給線に接続され、NMOSトランジスタ166−1、168−1のゲート、ソースはそれぞれ信号線156、VSS電源供給線に接続されている。そして、PMOSトランジスタ162−1、164−1、NMOSトランジスタ166−1、168−1のドレインは出力端子OUTに接続されている。すなわち、電源供給回路160−1は、VDD電源供給線とVSS電源供給線の間に並列に接続された2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ162−1とNMOSトランジスタ166−1により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ164−1とNMOSトランジスタ168−1により構成されるインバータ回路)を含んで構成されている。
また、電源供給回路160−2は、2つのPMOSトランジスタ162−2、164−2と2つのNMOSトランジスタ166−2、168−2を含んで構成されている。PMOSトランジスタ162−2、164−2のゲート、ソースはそれぞれ信号線156、VDD電源供給線に接続され、NMOSトランジスタ166−2、168−2のゲート、ソースはそれぞれ信号線156、VSS電源供給線に接続されている。そして、PMOSトランジスタ162−2、164−2、NMOSトランジスタ166−2、168−2のドレインは出力端子OUTに接続されている。すなわち、電源供給回路160−2は、VDD電源供給線とVSS電源供給線の間に並列に接続された2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ162−2とNMOSトランジスタ166−2により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ164−2とNMOSトランジスタ168−2により構成されるインバータ回路)を含んで構成されている。
従って、入力端子INに入力された信号がローレベルの電圧の時は、信号線156の信号(インバータ回路150の出力)の電圧はハイレベルになり、NMOSトランジスタ166―1、168−1、166−2、168−2がオンしPMOSトランジスタ162−1、164−1、162−2、164−2がオフするので出力端子OUTはVSS電源供給線に電気的に接続され、出力端子OUTからローレベルの電圧の信号が出力される。一方、入力端子INに入力された信号がハイレベルの電圧の時は、信号線156の信号(インバータ回路150の出力)の電圧はローレベルになり、PMOSトランジスタ162−1、164−1、162−2、164−2がオンしNMOSトランジスタ166―1、168−1、166−2、168−2がオフするので出力端子OUTはVDD電源供給線に電気的に接続され、出力端子OUTからハイレベルの電圧の信号が出力される。
ここで、入力端子INに入力される信号がハイレベルからローレベルに遷移すれば、出力端子OUTから出力される信号もハイレベルからローレベルに遷移する。この遷移期間において、NMOSトランジスタ166―1、168−1、166−2、168−2が同時にオンすることにより、出力端子OUTからVSS電源供給線に基本電流の2倍の電流が流れる。逆に、入力端子INに入力される信号がローレベルからハイレベルに遷移すれば、出力端子OUTから出力される信号もローレベルからハイレベルに遷移する。この遷移期間において、PMOSトランジスタ162−1、164−1、162−2、164−2が同時にオンすることにより、VDD電源供給線から出力端子OUTに基本電流の2倍の電流が流れる。
DRV2セル140は、以上の動作により、基本電流の2倍の電流を供給する電流供給セルとして機能することができる。なお、DRV2セル140は、入力端子INから入力される信号のバッファ論理の信号を出力端子OUTから出力させるためにインバータ回路150を含んでいるが、インバータ回路150を含まなくてもよい。すなわち、DRV2セル140は、電流供給回路160のみで構成され、入力端子INに入力された信号のインバータ論理の信号を出力端子OUTに出力するとともに、出力端子OUTに接続された信号線に基本電流の2倍の電流を供給するように機能するようにしてもよい。
図6(C)は、DRV2セル140のレイアウトパターンを示す図である。DRV2セル140のレイアウトパターンは、7つのポリシリコン配線170−1〜170−7、2つのP型拡散領域172−1、172−2、2つのN型拡散領域174−1、174−2、6つのメタル1層配線176−1〜176−6、18個のコンタクト178−1〜178−18を含む。
図6(B)に示すインバータ回路150に含まれるPMOSトランジスタ152は、ポリシリコン配線170−1とP型拡散領域172−1により形成されるトランジスタに対応する。また、図6(B)に示すインバータ回路150に含まれるNMOSトランジスタ154は、ポリシリコン配線170−1とN型拡散領域174−1により形成されるトランジスタに対応する。
また、図6(B)に示す電源供給回路160−1に含まれる2つのPMOSトランジスタ162−1、164−1は、それぞれポリシリコン配線170−2、170−3とP型拡散領域172−1により形成されるトランジスタに対応する。また、図6(B)に示す電源供給回路160−1に含まれる2つのNMOSトランジスタ166−1、168−1は、それぞれポリシリコン配線170−2、170−3とN型拡散領域174−1により形成されるトランジスタに対応する。ここで、ポリシリコン配線170−2、170−3はポリシリコン配線170−4で接続されている。また、図6(B)に示す電源供給回路160−2に含まれる2つのPMOSトランジスタ162−2、164−2は、それぞれポリシリコン配線170−5、170−6とP型拡散領域172−2により形成されるトランジスタに対応する。また、図6(B)に示す電源供給回路160−2に含まれる2つのNMOSトランジスタ166−2、168−2は、それぞれポリシリコン配線170−5、170−6とN型拡散領域174−2により形成されるトランジスタに対応する。ここで、ポリシリコン配線170−5、170−6はポリシリコン配線170−7で接続されている。
メタル1層配線176−1はVDD電源供給線であり、コンタクト178−1、178−2はメタル1層配線176−1とP型拡散領域172−1を接続する。コンタクト178−3、178−4はメタル1層配線176−1とP型拡散領域172−2を接続する。コンタクト178−5はメタル1層配線176−3とP型拡散領域172−1を接続する。コンタクト178−6はメタル1層配線176−4とP型拡散領域172−1を接続する。コンタクト178−7はメタル1層配線176−4とP型拡散領域172−2を接続する。コンタクト178−8はメタル1層配線176−2とポリシリコン配線170−1を接続する。コンタクト178−9はメタル1層配線176−3とポリシリコン配線170−2、170−3、170−4を接続する。コンタクト178−10はメタル1層配線176−5とポリシリコン配線170−2、170−3、170−4を接続する。コンタクト178−11はメタル1層配線176−5とポリシリコン配線170−5、170−6、170−7を接続する。コンタクト178−12はメタル1層配線176−3とN型拡散領域174−1を接続する。コンタクト178−13はメタル1層配線176−4とN型拡散領域174−1を接続する。コンタクト178−14はメタル1層配線176−4とN型拡散領域174−2を接続する。メタル1層配線176−6はVSS電源供給線であり、コンタクト178−15、178−16はメタル1層配線176−6とN型拡散領域174−1を接続する。コンタクト178−17、178−18はメタル1層配線176−6とN型拡散領域174−2を接続する。
DRV2セル140のレイアウトパターンは、電流供給回路160−1に含まれる2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ162−1とNMOSトランジスタ166−1により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ164−1とNMOSトランジスタ168−1により構成されるインバータ回路)の入力同士がメタル1層配線ではなくポリシリコン配線170−4により接続されている。また、DRV2セル140は、電流供給回路160−2に含まれる2つのインバータ回路(PMOSトランジスタ162−2とNMOSトランジスタ166−2により構成されるインバータ回路とPMOSトランジスタ164−2とNMOSトランジスタ168−2により構成されるインバータ回路)の入力同士がメタル1層配線ではなくポリシリコン配線170−7により接続されている。従って、他のメタル1層配線の配線領域を確保できるので、DRV2セル140のレイアウトパターンの面積を小さくすることができる。
なお、図6(C)に示すDRV2セル140のレイアウトパターンにおいて、インバータ回路150及び電流供給回路160−1のレイアウトパターンは、図5(C)に示したDRV1セル100のレイアウトパターンと同じである。また、電流供給回路160−1と電流供給回路160−2のバルク層のレイアウトパターンは同じである。従って、電流供給回路160−1、160−2のバルク層のレイアウトパターンは、それぞれ図5(C)に示した電流供給回路120のバルク層のレイアウトパターンと同じである。さらに、電流供給回路160−1の入力と電流供給回路160−2の入力は、ポリシリコン配線ではなくメタル1層配線176−5により接続されている。そのため、図6(C)に示すインバータ回路150及び電流供給回路160−1のバルク層におけるレイアウトパターンに対して、メタル1配線層及びコンタクト層のレイアウトパターンを図5(C)のように形成すればDRV1セル100のレイアウトパターンを形成することができる。従って、配置配線後の論理回路のレイアウトにおけるセルの未配置領域に図6(C)のバルク層におけるレイアウトパターンを形成しておけば、メタル1配線層及びコンタクト層のレイアウトパターンを変更するだけで、DRV1セル100又はDRV2セル140のレイアウトパターンを選択的に形成することができる。
3.集積回路装置の設計方法
図7は、本実施形態の集積回路装置の設計方法について説明するためのフローチャート図である。
図7は、本実施形態の集積回路装置の設計方法について説明するためのフローチャート図である。
まず、集積回路装置に含まれる論理回路の設計(論理設計)において使用する、第1〜第N(N≧2)の異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルと第1〜第M(M≧2)の異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルを決定する(ステップS10)。例えば、論理設計において図2に示した論理セル及び電源供給セルを使用することに決定してもよい。
次に、ステップS10で決定した第1〜第Nの論理セルの特性情報と、ステップS10で決定した第1〜第Mの電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成する(ステップS20)。なお、ステップS20はライブラリ作成ステップに対応する。
具体的には、例えば、まず図2に示した論理セル及び電源供給セルの各々について、回路接続情報とレイアウトパターンを作成する。次に、論理セル及び電源供給セルの各々に対して、レイアウトパターンから寄生容量及び寄生抵抗を抽出して回路接続情報に追加する。そして、論理セル及び電源供給セルの各々に対して、寄生容量及び寄生抵抗が追加された回路接続情報に基づいて回路シミュレーションを実行し、その実行結果から特性情報を作成する。
ステップS20において、第n(1≦n≦N)の論理を有する論理セルの特性情報として第nの論理セルの特性情報のみを含むようにライブラリを作成するようにしてもよい。
次に、ステップS20で作成したライブラリを用いて論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する(ステップS30)。論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの論理セルと第mの電流供給セルを用いて回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する。
ここで、ステップS10で決定した論理セル及び電流供給セルの中から回路図エディタ等を用いて必要なセルを人手により選択してセル間の配線を行うことによって論理回路の回路接続情報を作成するようにしてもよい。また、論理回路の機能をハードウェア記述言語で記述したファイル(RTL記述)を論理合成ツールに読み込ませて回路接続情報を論理合成させるようにしてもよい。この場合には、ステップS20において図1で示した論理合成用ライブラリ10を作成し、論理合成用ライブラリ10を用いて論理合成を行う。
また、ステップS10で決定した論理セル及び電流供給セルの中からレイアウトエディタ等を用いて、回路接続情報に含まれるセルを人手により配置してセル間の配線パターンを作成することによって論理回路のレイアウトパターンを作成するようにしてもよい。また、回路接続情報を自動配置配線ツールに読み込ませてレイアウトパターンを自動生成させるようにしてもよい。この場合には、ステップS20において図1で示した自動配置配線用ライブラリ30を作成し、自動配置配線用ライブラリ30を用いて自動配置配線を行う。
さらに、作成した回路接続情報及びレイアウトパターンに基づいて各配線の寄生容量及び寄生抵抗を抽出してSDF(Standard Delay Format)等の遅延情報ファイルを作成し、遅延情報ファイルを読み込んで論理シミュレーションを実行することにより論理回路の論理検証およびタイミング検証を行うにしてもよい。この場合には、ステップS20において図1で示した論理シミュレーション用ライブラリ20を作成し、論理シミュレーション用ライブラリ20を用いて論理シミュレーションを行う。また、遅延情報ファイルを読み込んで論理回路のスタティックタイミング解析を行うようにしてもよい。この場合には、論理合成用ライブラリ10を用いてスタティックタイミング解析を行う。
ステップS30において、論理回路の回路接続情報に基づいて論理セル及び電流供給セルを配置した後、論理セル及び電流供給セルが配置されていない未配置領域に第1の電流供給セルに含まれる第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを少なくとも1つ作成し、論理回路の回路接続情報において少なくとも1つの電流供給セルが追加された場合には、少なくとも1つの第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを用いて、追加された電流供給セルを未配置領域に配置するようにしてもよい。
なお、ステップS30は論理設計ステップに対応する。
最後に、ステップS30で作成した論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンに基づいて、論理回路を含む集積回路(全体回路)の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する(ステップS40)。なお、ステップS40は全体回路作成ステップに対応する。
図8(A)〜図8(D)は、図7のステップS30(論理設計ステップ)において、論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合の回路接続情報の作成方法について説明するための図である。
例えば、論理回路がNAND論理(第1の論理に対応する)と基本電流を供給する電流供給能力(第1の電流供給能力に対応する)を有する回路を含む場合には、図3(A)〜図3(C)に示したNANDセル60(第1の論理セルに対応する)と図5(A)〜図5(C)に示したDRV1セル100(第1の電流供給セルに対応する)を用いて図8(A)に示すNAND1回路を作成する。
また、例えば、論理回路がNAND論理(第1の論理に対応する)と基本電流の2倍の電流を供給する電流供給能力(第2の電流供給能力に対応する)を有する回路を含む場合には、図3(A)〜図3(C)に示したNANDセル60(第1の論理セルに対応する)と図6(A)〜図6(C)に示したDRV2セル140(第2の電流供給セルに対応する)を用いて図8(B)に示すNAND2回路を作成する。
また、例えば、論理回路がNOR論理(第2の論理に対応する)と基本電流を供給する電流供給能力(第1の電流供給能力に対応する)を有する回路を含む場合には、図4(A)〜図4(C)に示したNORセル80(第2の論理セルに対応する)と図5(A)〜図5(C)に示したDRV1セル100(第1の電流供給セルに対応する)を用いて図8(C)に示すNOR1回路を作成する。
また、例えば、論理回路がNOR論理(第2の論理に対応する)と基本電流の2倍の電流を供給する電流供給能力(第2の電流供給能力に対応する)を有する回路を含む場合には、図4(A)〜図4(C)に示したNORセル80(第2の論理セルに対応する)と図6(A)〜図6(C)に示したDRV2セル140(第2の電流供給セルに対応する)を用いて図8(D)に示すNOR2回路を作成する。
従来の集積回路装置の設計手法では、図8(A)〜図8(D)に示すNAND1回路、NAND2回路、NOR1回路、NOR2回路に対応するNAND1セル、NAND2セル、NOR1セル、NOR2セルを使用して論理設計を行っていた。そのため、NAND1セル、NAND2セル、NOR1セル、NOR2セルのように論理及び電流供給能力の少なくとも一方が異なる各論理セルについて、回路接続情報及びレイアウトパターンの作成、回路シミュレーションの実行、特性情報の生成等を行い、ライブラリを作成していた。
一方、本実施形態の集積回路装置の設計手法によれば、図8(A)〜図8(D)に示すNAND1回路とNAND2回路又はNOR1回路とNOR2回路のように論理が同じで電流供給能力が異なる回路を設計する場合には、NANDセル60又はNORセル80のように共通の論理セルが使用される。また、NAND1回路とNOR1回路又はNAND2回路とNOR2回路のように論理が異なり電流供給能力が同じ回路を設計する場合には、DRV1セル100又はDRV2セル140のように共通の電流供給セルが使用される。そのため、NANDセルやNORセルのように論理の異なる論理セルとDRV1セル100やDRV2セル140のように電流供給能力の異なる電流供給セルについて、回路接続情報及びレイアウトパターンの作成、回路シミュレーションの実行、特性情報の生成等を行い、ライブラリを作成すればよい。
図9(A)、図9(B)は、図7のステップS30(論理設計ステップ)において、論理セル及び電流供給セルの未配置領域に作成される電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンについて説明するための図である。
図9(A)に示すように、図7のステップS30(論理設計ステップ)において、論理セル及び電流供給セルの配置配線を行うと、例えば、論理セル又は電流供給セルが配置された既配置領域200−1〜200−6と、論理セル及び電流供給セルが配置されていない未配置領域300−1〜300−3が発生する。そして、通常、未配置領域にはスペアセルとして使用頻度の高い論理セルが配置されたり、ベーシックトランジスタ(規則的に配置したPMOSトランジスタとNMOSトランジスタ)のバルク層におけるレイアウトパターンが作成される。本実施形態の集積回路装置の設計方法では、さらに、図9(B)に示すように、未配置領域300−1〜300−3に、図5(A)〜図5(C)に示したDRV1セル100(第1の電流供給セルに対応する)のバルク層におけるレイアウトパターン100’−1〜100’−3を作成するようにしてもよい。また、未配置領域300−1〜300−3に、DRV1セル100に含まれる電流供給回路120(第1の電流供給回路に対応する)のバルク層におけるレイアウトパターン120’−1〜120’−3を作成するようにしてもよい。ここで、100’−2と120’−1により形成されるレイアウトパターン及び100’−3と120’−3により形成されるレイアウトパターンが、いずれも図6(C)に示したDRV2セル140のレイアウトパターンにおけるバルク層のレイアウトパターンと一致するように、レイアウトパターン100’−2、120’−1、100’−3、120’−3を作成する。さらに、100’−2、120’−1、120’−2により形成されるレイアウトパターンが、DRV1セル100の3倍の電流供給能力を有するDRV3セル(図示しない)のレイアウトパターンにおけるバルク層のレイアウトパターンと一致するように、レイアウトパターン100’−2、120’−1、120’−2を作成する。
こうすることにより、論理回路の回路接続情報の変更に伴い、DRV1セル100が必要になった場合は、図5(C)のメタル1層配線136−1〜136−5及びコンタクト138−1〜138−10を100’−1〜100’−3のレイアウトパターンのいずれかに追加するだけで図5(C)に示したDRV1セル100のレイアウトパターンを作成することができる。また、DRV2セル140が必要になった場合は、図6(C)のメタル1層配線176−1〜176−6及びコンタクト178−1〜178−18を100’−2及び120’−1のレイアウトパターン又は100’−3及び120’−3のレイアウトパターンのいずれかに追加するだけで図6(C)に示したDRV2セル140のレイアウトパターンを作成することができる。また、DRV3セルが必要になった場合は、必要なメタル1層配線及びコンタクトを100’−2、120’−1及び120’−2のレイアウトパターンに追加するだけでDRV3セルのレイアウトパターンを作成することができる。
以上説明したように、本実施形態の集積回路装置の設計方法によれば、論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの論理セルと第mの電流供給セルを用いて論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンが作成される。従って、各種ライブラリは、第1〜第Nの異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と、第1〜第Mの異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルの特性情報を含めばよい。すなわち、本実施形態の集積回路装置の設計方法によれば、N種類の論理のいずれか及びM種類の電流供給能力のいずれかを有するN×M種類の論理回路を実現するために最低限N+M種類のセルがあればよいので、ライブラリの開発工数及び記憶容量を大幅に削減することができる。
また、本実施形態の集積回路装置の設計方法によれば、ライブラリの作成対象となるセルの数が大幅に減るので、電流供給セルの種類を従来よりも増やすことにより、電流供給能力をより細かく選択できるようにすることができる。
また、本実施形態の集積回路装置の設計方法によれば、第2〜第Mの電流供給セルにそれぞれ含まれる第2〜第Mの電流供給回路は、バルク層において第1の電流供給セルに含まれる第1の電流供給回路が複数個並んで配置され、当該複数個の第1の電流供給回路はメタル配線で接続されたレイアウトパターンを有する。そのため、設計対象の論理回路の配置配線後のレイアウトにおけるセルの未配置領域に、第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを複数個並べて配置しておけば、バルク層におけるレイアウトパターンを変更することなくメタル配線層及びコンタクト層のレイアウトパターンを追加するだけで、第2〜第Mの電流供給セルの少なくとも一部を当該未配置領域に追加することができる。従って、設計対象の論理回路の一部の電流供給セルの種類が変更された場合や新たに電流供給セルが追加された場合でも、電流供給セルを配置するために論理セルの配置をやり直す必要がなくなり、設計工数を削減することができる。また、フォトマスクの作製後に電流供給セルを変更又は追加する場合でもバルク層のレイアウトパターンを変更しなくて済むので作製し直すフォトマスクの枚数を減らすことができ、製品開発の工数及びコストを削減することができる。
4.集積回路装置の製造方法
本実施形態の集積回路装置の製造方法は、まず、図7のフローチャートに基づく設計方法によって集積回路のレイアウトパターンを作成する。次に、作成されたレイアウトパターンが描画されたフォトマスクを作成する。最後に、作成したフォトマスクを用いて既存の製造プロセスにより集積回路を半導体基板に形成することにより、集積回路装置を製造する。
本実施形態の集積回路装置の製造方法は、まず、図7のフローチャートに基づく設計方法によって集積回路のレイアウトパターンを作成する。次に、作成されたレイアウトパターンが描画されたフォトマスクを作成する。最後に、作成したフォトマスクを用いて既存の製造プロセスにより集積回路を半導体基板に形成することにより、集積回路装置を製造する。
5.集積回路装置
図10は、本実施の形態の集積回路装置のブロック図の一例である。
図10は、本実施の形態の集積回路装置のブロック図の一例である。
マイクロコンピュータ700は、CPU510、キャッシュメモリ520、ROM710、RAM720、MMU730、LCDコントローラ530、リセット回路540、プログラマブルタイマ550、リアルタイムクロック(RTC)560、DMAコントローラ570、割り込みコントローラ580、通信制御回路590、バスコントローラ600、A/D変換器610、D/A変換器620、入力ポート630、出力ポート640、I/Oポート650、クロック発生装置660、プリスケーラ670、クロック停止制御回路740及びそれらを接続する汎用バス680、専用バス750等、各種ピン690等を含む。
CPU510、MMU730等は、本実施形態の集積回路装置の設計方法において作成されるライブラリを用いて論理設計可能な論理回路である。
マイクロコンピュータ700は、本実施の形態の集積回路装置の製造方法を用いて製造可能な集積回路装置である。
6.電子機器
図11に、本実施の形態の電子機器のブロック図の一例を示す。本電子機器800は、マイクロコンピュータ(集積回路装置)810、入力部820、メモリ830、電源生成部840、LCD850、音出力部860を含む。
図11に、本実施の形態の電子機器のブロック図の一例を示す。本電子機器800は、マイクロコンピュータ(集積回路装置)810、入力部820、メモリ830、電源生成部840、LCD850、音出力部860を含む。
ここで、入力部820は、種々のデータを入力するためのものである。マイクロコンピュータ810は、この入力部820により入力されたデータに基づいて種々の処理を行うことになる。メモリ830は、マイクロコンピュータ810などの作業領域となるものである。電源生成部840は、電子機器800で使用される各種電源を生成するためのものである。LCD850は、電子機器が表示する各種の画像(文字、アイコン、グラフィック等)を出力するためのものである。
音出力部860は、電子機器800が出力する各種の音(音声、ゲーム音等)を出力するためのものであり、その機能は、スピーカなどのハードウェアにより実現できる。
図12(A)に、電子機器の1つである携帯電話950の外観図の例を示す。この携帯電話950は、入力部として機能するダイヤルボタン952や、電話番号や名前やアイコンなどを表示するLCD954や、音出力部として機能し音声を出力するスピーカ956を備える。
図12(B)に、電子機器の1つである携帯型ゲーム装置960の外観図の例を示す。この携帯型ゲーム装置960は、入力部として機能する操作ボタン962、十字キー964や、ゲーム画像を表示するLCD966や、音出力部として機能しゲーム音を出力するスピーカ968を備える。
図12(C)に、電子機器の1つであるパーソナルコンピュータ970の外観図の例を示す。このパーソナルコンピュータ970は、入力部として機能するキーボード972や、文字、数字、グラフィックなどを表示するLCD974、音出力部976を備える。
本実施の形態の集積回路装置を図12(A)〜図12(C)の電子機器に組み込むことにより、コストパフォーマンスの高い電子機器を短期間で提供することができる。
なお、本実施形態を利用できる電子機器としては、図12(A)〜図12(C)に示すもの以外にも、携帯型情報端末、ページャー、電子卓上計算機、タッチパネルを備えた装置、プロジェクタ、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置等の種々の電子機器を考えることができる
なお、本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
なお、本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1 ライブラリ群、10 論理合成用ライブラリ、20 論理シミュレーション用ライブラリ、30 自動配置配線用ライブラリ、40 論理セル群、42 基本論理セル群、44 複合論理セル群、46 記憶論理セル群、50 電流供給セル群、60 NANDセル、62 PMOSトランジスタ、64 PMOSトランジスタ、66 NMOSトランジスタ、68 NMOSトランジスタ、70−1〜70−2 ポリシリコン配線、72 P型拡散領域、74 N型拡散領域、76−1〜76−3 メタル1層配線、78−1〜78−5 コンタクト、80 NORセル、82 PMOSトランジスタ、84 PMOSトランジスタ、86 NMOSトランジスタ、88 NMOSトランジスタ、90−1〜90−2 ポリシリコン配線、92 P型拡散領域、94 N型拡散領域、96−1〜96−3 メタル1層配線、98−1〜98−5 コンタクト、100 DRV1セル、110 インバータ回路、112 PMOSトランジスタ、114 NMOSトランジスタ、116 信号線、120 電流供給回路、122 PMOSトランジスタ、124 PMOSトランジスタ、126 NMOSトランジスタ、128 NMOSトランジスタ、130−1〜130−4 ポリシリコン配線、132 P型拡散領域、134 N型拡散領域、136−1〜136−5 メタル1層配線、138−1〜138−10 コンタクト、140 DRV2セル、150 インバータ回路、152 PMOSトランジスタ、154 NMOSトランジスタ、156 信号線、160 電流供給回路、162−1〜162−2 PMOSトランジスタ、164−1〜164−2 PMOSトランジスタ、166−1〜166−2 NMOSトランジスタ、168−1〜168−2 NMOSトランジスタ、170−1〜170−7 ポリシリコン配線、172−1〜172−2 P型拡散領域、174−1〜174−2 N型拡散領域、176−1〜176−6 メタル1層配線、178−1〜178−18 コンタクト、200−1〜200−6 既配置領域、300−1〜300−3 未配置領域、510 CPU、520 キャッシュメモリ、530 LCDコントローラ、540 リセット回路、550 プログラマブルタイマ、560 リアルタイムクロック(RTC)、570 DMAコントローラ、580 割り込みコントローラ、590 通信制御回路、600 バスコントローラ、610 A/D変換器、620 D/A変換器、630 入力ポート、640 出力ポート、650 I/Oポート、660 クロック発生装置、670 プリスケーラ、680 汎用バス、690 各種ピン、700 マイクロコンピュータ(集積回路装置)、710 ROM、720 RAM、730 MMU、740 クロック停止制御回路、750 専用バス、800 電子機器、810 マイクロコンピュータ(集積回路装置)、820 入力部、830 メモリ、840 電源生成部、850 LCD、860 音出力部、950 携帯電話、952 ダイヤルボタン、954 LCD、956 スピーカ、960 携帯型ゲーム装置、962 操作ボタン、964 十字キー、966 LCD、968 スピーカ、970 パーソナルコンピュータ、972 キーボード、974 LCD、976 音出力部
Claims (8)
- 論理回路を含む集積回路装置の設計方法であって、
第1〜第N(N≧2)の異なる論理をそれぞれ有する第1〜第Nの論理セルの特性情報と、第1〜第M(M≧2)の異なる電流供給能力をそれぞれ有する第1〜第Mの電流供給セルの特性情報とを含むライブラリを作成するライブラリ作成ステップと、
前記ライブラリを用いて前記論理回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する論理設計ステップと、
前記論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンに基づいて、前記論理回路を含む集積回路の回路接続情報及びレイアウトパターンを作成する全体回路作成ステップと、を含み、
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路が第n(1≦n≦N)の論理と第m(1≦m≦M)の電流供給能力を有する回路を含む場合には、第nの前記論理セルと第mの前記電流供給セルを用いて論理回路の前記回路接続情報及び前記レイアウトパターンを作成することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項1において、
前記ライブラリ作成ステップにおいて、
第n(1≦n≦N)の論理を有する論理セルの特性情報として第nの前記論理セルの特性情報のみを含むように前記ライブラリを作成することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項1又は2において、
前記第1〜第Mの電流供給セルは、第1〜第Mの電流供給回路をそれぞれ含み、
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ複数の前記第1の電流供給回路を含み、それぞれバルク層において前記複数の第1の電流供給回路のレイアウトパターンが並んで配置されたレイアウトパターンを有することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項3において、
前記第2〜第Mの電流供給回路は、それぞれ前記複数の第1の電流供給回路がメタル配線により接続されたレイアウトパターンを有することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項3又は4において、
前記第1の電流供給回路は、2つの電源供給線の間に並列に接続された複数のインバータ回路を含み、当該複数のインバータ回路の入力同士がポリシリコン配線により接続されたレイアウトパターンを有することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項3乃至5のいずれかにおいて、
前記論理設計ステップにおいて、
前記論理回路の前記回路接続情報に基づいて前記論理セル及び前記電流供給セルを配置した後、前記論理セル及び前記電流供給セルが配置されていない未配置領域に少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを作成し、前記論理回路の前記回路接続情報において少なくとも1つの前記電流供給セルが追加された場合には、少なくとも1つの前記第1の電流供給回路のバルク層におけるレイアウトパターンを用いて、追加された前記電流供給セルを前記未配置領域に配置することを特徴とする集積回路装置の設計方法。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の設計方法によって前記集積回路のレイアウトパターンを作成するステップと、
前記レイアウトパターンが描画されたフォトマスクを作成するステップと、
前記フォトマスクを用いて前記集積回路を半導体基板に形成するステップと、を含むことを特徴とする集積回路装置の製造方法。 - 請求項7に記載の集積回路装置の製造方法によって製造された集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器。
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JP2008163280A JP2010003966A (ja) | 2008-06-23 | 2008-06-23 | 集積回路装置の設計方法及び製造方法並びに電子機器 |
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JP2019216289A (ja) * | 2019-10-01 | 2019-12-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
-
2008
- 2008-06-23 JP JP2008163280A patent/JP2010003966A/ja not_active Withdrawn
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