JP2009545824A - プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアおよびそのプラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを製作するための方法およびシステム - Google Patents

Abstract

プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するための方法が提供される。この方法は、複数のコンポーネントのためのコンポーネント仕様を定義することを含む。複数のコンポーネントのそれぞれは、プラズマ処理システムコンポーネントを解析するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する。定義することは、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから複数のコンポーネントを選択し、それによって、その複数のコンポーネントをＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置することを含む。定義することは、予め定義されたプロパティから選択することおよびプロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、複数のコンポーネントのそれぞれのプロパティを指定することをさらに含む。この方法は、定義することの後に、事前にコンパイルすることを必要とせずにブラウザによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で複数のコンポーネントを保存することをさらに含む。
【選択図】図８

Description

本発明は、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアおよびそのプラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを製作するための方法およびシステムに関する。

プラズマ処理の進歩は、半導体産業の成長によってもたらされた。プラズマ処理が発展し続けるとともに、プラズマ処理システムによって収集されたデータを収集および解析するためのカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの必要性が増大している。ここで論議される場合、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、個人、グループ、部門、会社などの特有の必要性を満たすために製作されてもよいソフトウェアアプリケーションを意味する。

カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、様々な理由から製作されることがある。例えば、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、プラズマ処理システムから情報を収集および／または抽出する作業を簡素化するために製作されてもよい。また、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、ＡＴＡＣ検査計画のような手順ガイドラインを提供するために製作されてもよい。また、さらなる例においては、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、反復作業を自動化するために製作されてもよい。

カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを必要とする理由に関係なく、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作する作業は、非プログラマが有していないプログラミングの技能および知識を一般的に必要とする面倒で複雑な作業となることがある。さらに、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを保守および更新する作業は、また、プログラミングの技能および知識を必要とするかもしれない。このために、プラズマ処理環境におけるカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作、保守、および更新する作業は、費用および時間のかかる作業となることがある。

カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作するための方法は、ソフトウェアコードを書くためのテキストエディタをソフトウェアプログラマに使用させることを含んでもよい。ソフトウェアコードが作成されてしまえば、そのソフトウェアコードは、実行可能ファイルが生成される前に、コンパイルされてもよい。この方法は、ソフトウェアプログラマがアプリケーションの設計およびアプリケーションの機能の両方のためにコードを書くことを必要とするかもしれない時間のかかる処理となることがある。一つの例として、生徒に関するデータを収集するための簡単な書式は、ソフトウェアプログラマが、書式の物理的フォーマットを設計するためのコードを書き、その後に、その書式の機能および動作を制御するためのコードを書くことを必要とするかもしれない。

プラズマ処理環境におけるカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを生成するためのさらなる方法は、統合開発環境（ＩＤＥ）に基づくものであってもよい。ＩＤＥは設計エディタとしても知られているが、これは、その他のソフトウェアアプリケーションを開発するのに使用されてもよいソフトウェアを意味する。ＩＤＥは、限定はされないが、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を製作するためのコンポーネント、コードを製作および編集するためのテキストコードエディタ、そして、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）、デバッガ、およびコンパイラの組立てを助けるためのツールを含んでもよい。ＩＤＥの例には、限定はされないが、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（登録商標） Ｖｉｓｕａｌ Ｓｔｕｄｉｏ、Ｂｏｒｌａｎｄ（登録商標） Ｄｅｌｐｈｉ、およびＮａｔｉｏｎａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ（商標） ＬａｂＶＩＥＷが含まれる。ＩＤＥによって、ソフトウェアアプリケーションのためのプログラムコードを製作する作業を簡素化することができる。一つの例は、ＧＵＩのためのコードおよびソフトウェアアプリケーションの機能のためのコードを書く代わりに、ＩＤＥは、プログラマがＧＵＩを製作するための作業を簡素化するのに使用してもよいコンポーネントを有してもよい。しかしながら、ＩＤＥを使用するとしても、ソフトウェアアプリケーションの製作者は、依然として、ＧＵＩの機能を定義するコードを書くための技能および知識を有していなければならない。

説明を助けるために、図１は、プラズマ処理環境におけるカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを開発するための簡単な開発サイクルを示す。最初のステップ１０２において、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの必要性が確認されてもよい。例えば、検査計画を製作するためのソフトウェアアプリケーションを検査者が必要とするかもしれない状況を考える。次のステップ１０４において、プログラマは、ソフトウェアアプリケーションを製作する処理を開始するのにＩＤＥ（例えば、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（登録商標） Ｖｉｓｕａｌ Ｓｔｕｄｉｏ、Ｂｏｒｌａｎｄ（登録商標） Ｄｅｌｐｈｉ、およびＮａｔｉｏｎａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ（商標） ＬａｂＶＩＥＷ）を使用してもよい。

次のステップ１０６において、プログラマはソフトウェアアプリケーションのためのＧＵＩを設計してもよい。一つの例においては、書式のためのＧＵＩを製作するために、プログラマは、コンポーネント（テキストボックス、リストボックス、チェックボックスなどのような）をＩＤＥに追加して、書式のためのレイアウトを製作してもよい。

次のステップ１０８において、プログラマはソフトウェアアプリケーションのためのコードを書いてもよい。コードは、限定はされないが、ロード仕様を定義すること、機能のシーケンスを定義すること、論理基準を定義すること、テーブルを識別すること、およびデータエントリーをハンドリングするためのコードを含んでもよい。

次のステップ１１０において、プログラマは潜在的なバグを識別するために、また実行可能ファイルを生成するために、コードをコンパイルしてもよい。

次のステップ１１２において、方法はコードがバグを含むかどうかを決定してもよい。コードはプログラマによって書かれるので、コードには人為的な誤り（例えば、バグ）が入り込む可能性がある。一つの例においては、プログラマがデータを収集するための書式を製作していれば、プログラマは、書式によって収集されたデータを記憶するであろうテーブルおよびテーブルフィールドの名前を知らなければならない。テーブル情報をコード内に書き込むとき、プログラマは、テーブルフィールドのスペルを間違えるかもしれず、コード内に潜在的なバグをもたらすことになる。

もしコードがバグを含むならば、次のステップ１１４において、方法は警告を提供してもよい。この警告を受け取ることによって、プログラマは、コードを再びコンパイルするための次のステップ１１０に戻る前に、コードをデバッグして修正を実行しなければならない。ステップ１１０〜ステップ１１４は、すべてのバグが識別されるまで反復されてもよい。

さらなるバグが識別されなければ、次のステップ１１６において、実行可能ファイルが生成されてもよい。

次のステップ１１８において、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、エンドユーザに分散配置されてもよい。一つの例においては、プログラマが、検査者のためのソフトウェアアプリケーションを製作するのを完了してしまえば、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、配備されてもよい。

カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作するＩＤＥ方法は、非プログラマが有していない技能および知識を必要とすることがある。さらに、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションへの変更は、コード変更を必要とすることがあり、コードを再コンパイルすることを必要とすることもある。一つの例においては、プログラマは、エンドユーザの要求を理解していないかもしれず、そのために、ソフトウェアアプリケーションを製作することは、そのソフトウェアアプリケーションへの変更を必要とするかもしれない。変更を実施するために、新しいコードが書かれなければならず、また、そのコードは再コンパイルされなければならない。

本発明は、一実施形態において、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するための方法に関する。この方法は、複数のコンポーネントのためのコンポーネント仕様を定義することを含む。複数のコンポーネントのそれぞれは、プラズマ処理システムコンポーネントを解析するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する。定義することは、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから複数のコンポーネントを選択し、それによって、その複数のコンポーネントをＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置することを含む。定義することは、予め定義されたプロパティから選択することおよびプロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、複数のコンポーネントのそれぞれのプロパティを指定することをさらに含む。この方法は、定義することの後に、事前にコンパイルすることを必要とせずにブラウザによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で複数のコンポーネントを保存することをさらに含む。

さらなる実施形態においては、本発明は、プログラム記憶媒体内に含まれるコンピュータ可読コードを有するそのプログラム記憶媒体を備える製品に関する。コンピュータ可読コードは、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するように構成される。この製品は、複数のコンポーネントのためのコンポーネント仕様をユーザが定義するのを助けるためのコンピュータ可読コードを含む。複数のコンポーネントのそれぞれは、プラズマ処理システムコンポーネントを解析するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する。コンポーネント仕様を定義するのを助けるためのコンピュータ可読コードは、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから複数のコンポーネントを選択し、それによって、その複数のコンポーネントをＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置するためのコンピュータ可読コードを含む。コンポーネント仕様を定義するのを助けるためのコンピュータ可読コードは、予め定義されたプロパティから選択することおよびプロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、複数のコンポーネントのそれぞれのプロパティを指定するためのコンピュータ可読コードをさらに含む。この製品は、定義することの後に、事前にコンパイルすることを必要とせずにブラウザによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で複数のコンポーネントを保存するためのコンピュータ可読コードをさらに含む。

またさらなる実施形態においては、本発明は、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するための構成体に関する。この構成体は、複数のコンポーネントを含む。複数のコンポーネントのそれぞれは、コンポーネント仕様を定義するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する。複数のコンポーネントは、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから選択可能であり、それによって、複数のコンポーネントは、選択された後に、ＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置される。複数のコンポーネントのそれぞれのプロパティは、予め定義されたプロパティから選択することおよびプロパティのためのパラメータを定義することの中の少なくとも１つを実行することによって、設定可能である。この構成体は、ランタイムローダをさらに含む。ランタイムローダは、事前にコンパイルすることを必要とせずにランタイムローダによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で保存された複数のコンポーネントを実行するように構成される。

上述した発明の概要は、ここで開示される本発明の多くの実施形態の中のほんの１つに関するものであり、また、添付の特許請求の範囲に記載される本発明の範囲を限定しようとするものではない。本発明のこれらのおよびその他の特徴が、添付の図面を参照して、以下の発明を実施するための形態においてより詳細に説明される。

本発明が、限定するものではない例として、添付の図面に示され、それらの図面において、類似する符号は、類似する構成要素を指示する。

カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションのための簡単な開発サイクルを示す図である。 本発明の一実施形態において、ＶＩＤＥＡを用いたカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションのための簡単な開発サイクルを示す図である。 本発明の一実施形態において、ＶＩＤＥＡユーザインタフェースの例を示す図である。 本発明の一実施形態において、エディタ内にコンポーネントを備えたＶＩＤＥＡユーザインタフェースの例を示す図である。 本発明の一実施形態において、コンポーネントがＶＩＤＥＡ環境においてどのようにして定義されるかという例を示す図である。 本発明の一実施形態において、ＸＭＬファイルの例を示す図である。 本発明の一実施形態において、実行中のカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの例を示す図である。 本発明の一実施形態において、全体的なＶＩＤＥＡ環境を示すブロック図である。

ここで、添付の図面に示される本発明のいくつかの実施形態に関連して、本発明をより詳細に説明する。以下の説明においては、本発明が完全に理解されるように、多くの具体的な詳細が説明される。しかしながら当業者には、本発明が、これらの具体的な詳細のいくつか、またはすべてを備えることなく実施されてもよいことは明らかなことである。場合によっては、良く知られている処理ステップおよび／または構造は、本発明を不必要に不明瞭なものにしないように、詳細には説明されない。

方法および技術を含む様々な実施形態が以下で説明される。本発明は、本発明による技術の実施形態を実行するためのコンピュータ可読命令が記憶されたコンピュータ可読媒体を含む製品を包含してもよいことに留意すべきである。コンピュータ可読媒体は、例えば、コンピュータ可読コードを記憶するための半導体コンピュータ可読媒体、磁気的コンピュータ可読媒体、光磁気的コンピュータ可読媒体、光学的コンピュータ可読媒体、または、その他の形態のコンピュータ可読媒体を含んでもよい。さらに本発明は、本発明の実施形態を実施するための機器を包含してもよい。そのような機器は、本発明の実施形態に関連する作業を実行するための専用回路および／またはプログラマブル回路を含んでもよい。そのような機器の例は、適切にプログラムされていれば、汎用コンピュータおよび／または専用コンピュータ装置を含んでもよく、また、本発明の実施形態に関連する様々な作業に適合されたコンピュータ／コンピュータ装置と専用回路／プログラマブル回路とを組み合わせたものを含んでもよい。

本発明の一態様において、本発明人は、視覚的なＩＤＥ環境を提供することによって、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作、保守、および更新する処理を簡素化することをここで実現した。従来技術とは異なり、本発明人は、機能を追加または削除するように設定可能な複数のコンポーネント内にコードが組み込まれなければならないことを実現した。

本発明の実施形態によれば、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）が提供され、このアーキテクチャにおいては、コンポーネントおよびコンポーネントプロパティは、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを製作するように操作されてもよい。本発明の実施形態は、また、拡張可能マークアップ言語（ＸＭＬ）ファイルのようなマークアップ言語として保存されるべきコンポーネントのレイアウト設計およびコンポーネントプロパティの値を提供する。本発明の実施形態は、ランタイムローダによって実行されるべきＸＭＬファイルをさらに提供する。ここで説明される場合、ランタイムローダはファイルを読み出してＸＭＬを実行するソフトウェアを意味する。

本発明の一実施形態においては、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーション（例えば、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェア）が製作、保守、および更新されてもよいＶＩＤＥＡ環境が提供される。本発明の一実施形態においては、方法はＶＩＤＥＡの実施に対して使用可能である。例えば、ユーザが検査計画ソフトウェアアプリケーションを製作したい状況を考える。ＶＩＤＥＡを使用することによって、ユーザは、複数のレイアウト（例えば、検査設計レイアウト、レシピ設計レイアウトなど）を製作してもよい。一つの例においては、ユーザは、検査計画ソフトウェアアプリケーションのための検査設計レイアウトを製作してもよい。一実施形態においては、ユーザは、レイアウトを製作するためのＩＤＥに複数のコンポーネント（テキストボックス、リストボックス、チェックボックスなどのような）を追加することによって（例えば、コンポーネントをエディタ上にドラッグ＆ドロップすることによって）、レイアウトを製作してもよい。

従来技術とは異なり、ユーザは、コンポーネントを定義するためのコードをプログラムしなくてもよい。ＶＩＤＥＡによれば、ユーザは、プログラミング知識を備えずに、実行可能なカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作することができる。一実施形態においては、ユーザはコンポーネント仕様（例えば、機能）を定義してもよい。それぞれのコンポーネントを設定することによって、機能は、限定はされないが、コンポーネントの物理的な特徴を定義すること、ロード仕様を定義すること、機能のシーケンスを定義すること、論理基準を定義すること、テーブルを識別すること、およびデータエントリーをハンドリングするためのコードを含んでもよい。設定可能なそれぞれのコンポーネントは、パラメータを定義するためのルールに関連づけられてもよいので、コンパイラによってプログラムをデバッグする作業は除去されてもよい。

さらに別の実施形態においては、ＶＩＤＥＡは、外部データを内部に取り込むことによって、コンポーネントを設定することができてもよい。一つの例においては、ＶＩＤＥＡは、複数のデータベースにアクセスし、ユーザが選択することができるフィールドのリストを提供してもよい。別の例においては、ＶＩＤＥＡは、ツール上に記憶されたデータにアクセスしてもよい。外部データを組み込むことによって、ＶＩＤＥＡは、コンポーネントを設定するときに外部データにアクセスするための動的方法をユーザに提供してもよい。したがって、ＶＩＤＥＡは、ユーザが外部データを検索する必要性を除去することができる。

検査設計レイアウトが最終決定されてしまえば、一実施形態においては、ユーザはソフトウェアアプリケーションをＸＭＬファイルとして保存してもよい。従来技術とは異なり、ＶＩＤＥＡによって製作されたファイルは、プログラムをデバッグするための、および／または実行可能ファイルを生成するためのコンパイラを必要としない。本発明の一実施形態においては、ＶＩＤＥＡ環境はランタイムローダを提供してもよく、そのランタイムローダは、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを実行するのに使用されてもよい。ランタイムローダは、エンドユーザが使用するためのＧＵＩインタフェースを組み立てるために、ＸＭＬファイルを読み込んでもよい。ランタイムローダは、複数の異なるソフトウェアアプリケーション（例えば、検査設計、レポート設計、レシピ設計、設定設計など）をロードするのに使用されてもよい。一実施形態においては、同じレイアウトデータが異なる目的に使用されてもよい。一つの例においては、検査設計レイアウトを備えたＸＭＬファイルは、検査計画を生成するのに使用されてもよい。同じＸＭＬファイルが、検査計画によって収集されたデータのレポートを提供するのに使用されてもよい。

図面および以下の説明を参照することによって、本発明の特徴および利点をよりよく理解することができる。

図２は、本発明の一実施形態において、ＶＩＤＥＡを用いたカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションのための簡単な開発サイクルを示す。図２のステップがどのように適用されるかを説明するために、図３〜図７が、図２と並行して説明される。図３〜図７に示される例は、自動検査＆特性評価（ＡＴＡＣ）に特有なものである。

最初のステップ２０２において、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの必要性が確認されてもよい。

次のステップ２０４において、ユーザは、ソフトウェアアプリケーションを製作する処理を開始するのにＶＩＤＥＡを使用してもよい。一実施形態においては、ユーザはプログラマであってもよく、あるいはプログラマでなくてもよい。

図３は、本発明の一実施形態において、ＶＩＤＥＡユーザインタフェースの例を示す。一実施形態においては、ＶＩＤＥＡは、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（登録商標）によって提供されるようなオープンソース設計者ホストライブラリーを含んでもよい。ＶＩＤＥＡは、エディタ３０２、コンポーネントボックス３０４、およびプロパティボックス３０６を含んでもよい。

次のステップ２０６において、ユーザはソフトウェアアプリケーションのためのＧＵＩを設計してもよい。一つの例においては、書式のためのＧＵＩを製作するために、プログラマは書式のためのレイアウトを製作するために、コンポーネント（テキストボックス、リストボックス、チェックボックスなどのような）をＩＤＥに追加してもよい。

図４は、本発明の一実施形態について、コンポーネントをエディタ内に備えたＶＩＤＥＡユーザインタフェースの例を示す。一つの例においては、ユーザは、コンポーネント４０８（すなわち、ＡｔａｃＣｏｍｂｏＢｏｘ）をコンポーネントボックス４０４からエディタ４０２までドラッグすることによって、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの製作を開始してもよい。

次のステップ２０８において、ユーザは、プロパティ（例えば、パラメータ）を操作および／または選択することによって、それぞれのコンポーネントを設定してもよい。図５は、本発明の一実施形態において、コンポーネントがＶＩＤＥＡ環境内においてどのように定義されるかという例を示す。エディタ５０２は、コンポーネントボックス５０４からドラッグされた複数のコンポーネントを含んでもよい。一つの例においては、テキストボックス（５２０、５２２、５２４、および５２６）は、コンポーネントボックス５０４からのＡｔａｃＴｅｘｔＢｏｘの例であり、またラベル（５３０、５３２、５３４、５３６、５３８、５４０、５４２、５４４、および５４６）は、コンポーネントボックス５０４からのＡｔａｃＬａｂｅｌの例である。それぞれのコンポーネントが、エディタ５０２上に置かれると、それぞれのコンポーネントは、ＧＵＩのための所望のレイアウトを製作するために、エディタ５０２上であちこちに動かされてもよい。

所望のレイアウトのコンポーネントごとに、それぞれのコンポーネントのための機能が定義されてもよい。一つの例においては、ユーザはコンポーネントごとにプロパティをプロパティボックス５０６内に設定してもよい。一実施形態においては、ユーザは予め定義されたリスト（例えば、ドロップダウンリスト）からプロパティを選択することによって、それぞれのコンポーネントを設定してもよい。予め定義されたリストは、人為的な誤り（例えば、タイプミス）および欲求不満（例えば、テーブルフィールドの場所を思い出すことができない）を最小限に抑制するのに使用されてもよい。別の実施形態においては、ユーザは、プロパティを操作することによって（例えば、パラメータを入力することによって）、それぞれのコンポーネントを設定してもよい。設定されてもよいプロパティは、限定はされないが、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能を含んでもよい。

一実施形態においては、コンポーネントのユーザインタフェース機能が設定されてもよい。例えば、ＡＴＡＣ検査計画が設計される状況を考える。ユーザは、視覚的に魅力的な設計レイアウトを製作するために、それぞれのコンポーネントの異なる物理的特徴を設定してもよい。操作されてもよい物理的特徴は、限定はされないが、フォントサイズ、フォントの色、背景の色、テキストアライメント、枠線の色などを含んでもよい。

一実施形態においては、コンポーネントの入力／出力機能が設定されてもよい。一実施形態においては、コンポーネントの入力／出力機能は、外部ソースからのデータに関連づけられてもよい。外部ソースからのデータは、一実施形態において、データベースおよび／または外部装置（例えば、ガスボンベ収納箱、プロセスモジュールなど）から取り込まれてもよい。一つの例においては、ユーザは、テーブルのリストおよび／またはテーブルフィールドのリストから選択してもよく（データフィールドリスト５５０からわかるように）、それによって、コンポーネントのデータ入力／出力をテーブルに関連づけることを可能にする。別の例においては、ＶＩＤＥＡは、プラズマ処理システムに関するデータを取り出してもよく、それによって、ユーザが処理チャンバの条件を定義するのを可能にする。外部環境に接続することによって、ＶＩＤＥＡは、外部ソースからデータを動的に取り出し、コンポーネントのプロパティを設定するのを助けるかもしれない情報をユーザに提供してもよい。

一実施形態においては、コンポーネントの論理演算機能が設定されてもよい。一つの例においては、定義されてもよい論理演算機能は、ＡＴＡＣ検査計画を実行するためのシーケンス（例えば、データベースから検査仕様を取り出す前に検査される部分を識別する）である。別の例においては、ＡＴＡＣ検査計画の一部分を実行するための判断基準（例えば、ｉｆ−ｅｌｓｅ条件、ｄｏ−ｗｈｉｌｅループなど）が定義されてもよい。さらに別の例においては、データ（例えば、収集されたデータ、手入力されたデータ、外部ソースから取り出されたデータなど）をハンドリングするためのコードが、定義されてもよい。

次のステップ２１０において、レイアウト設計およびコンポーネントプロパティは、ＸＭＬファイルとして保存されてもよい。この方法は、プログラムをデバッグするための、および／または実行可能ファイルを生成するためのコンパイラを必要としない。ＸＭＬファイルの例として図６を参照されたい。

次のステップ２１２において、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションは、エンドユーザに分散配置されてもよい。図７は、本発明の一実施形態において、実行中のカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの例を示す。

ＶＩＤＥＡは、プログラミング知識を必要としなくてもよく、また最小限の訓練時間しか必要としないので、ユーザは日常使用を満たすためのカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作するために、ＶＩＤＥＡを容易に使用することができる。さらに、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションへの変更および／または更新は、面倒なプログラミング変更および／または再コンパイルを必要とせずに容易に実行することができる。

図８は、本発明の一実施形態において、全体的ＶＩＤＥＡ環境を説明するブロック図を示す。全体的ＶＩＤＥＡ環境は、２つの部分、すなわちＶＩＤＥＡ部分８９０とランタイムローダ部分８９２とに分割されてもよい。ＶＩＤＥＡ部分８９０は、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作、保守、および／または更新することに関連するブロック図を示す。ランタイムローダ部分８９２は、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを実行することに関連するブロック図を示す。

ＶＩＤＥＡ部分８９０は、ＶＩＤＥＡ８０２を含んでもよく、そのＶＩＤＥＡ８０２は、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションを製作するために起動されてもよい。ＶＩＤＥＡ８０２によって、ユーザは、コンポーネントをエディタ上にドラッグ＆ドロップすることによって、ＧＵＩのための設計をレイアウトすることができる。ユーザはまた、それぞれのコンポーネントの機能を定義するために、それぞれのコンポーネントごとのプロパティを設定することができる。一実施形態においては、ＶＩＤＥＡは、データベース情報８１２および／または外部装置８１４（例えば、プラズマ処理ツール、家電製品、電子装置など）に関するデータを取り出すために、外部環境８１０に接続されてもよい。ＧＵＩのレイアウトが完了すれば、ユーザは、ＸＭＬファイルを生成するためにその情報を保存してもよい。一つの例においては、検査設計レイアウトは、ＸＭＬファイル８０４として保存されてもよい。別の例においては、レシピ設計レイアウトは、ＸＭＬファイル８０６として保存されてもよい。

ランタイムローダ部分８９２は、ランタイムローダ８２０を含んでもよく、そのランタイムローダ８２０は、エンドユーザが使用するためのＧＵＩインタフェース８２２を再構成するために、ＸＭＬファイル（例えば、８０４および／または８０６）を読み込むことができる。一実施形態においては、エンドユーザは、カスタマイズされたユーザインタフェースを製作した人と同一の人であってもよい。ランタイムローダ８２０は、様々なアプリケーション（例えば、検査設計、レポート設計、レシピ設計、設定設計など）をロードするのに使用されてもよい。言い換えれば、ランタイムローダ８２０は、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションがＸＭＬフォーマットで保存されてさえいれば、あらゆる種類のカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションをロードするのに使用することができる。

一実施形態においては、同じレイアウトデータが、異なる目的に使用されてもよい。言い換えれば、ＧＵＩインタフェース８２２が再構成されると、ＧＵＩインタフェース８２２をどのようにして使用することができるかを決定する機会をエンドユーザに提供することができる。一つの例においては、検査設計レイアウトを備えたＸＭＬファイル８０４は、ある部分を検査するときにエンドユーザにガイダンスを提供してもよい検査計画８３２を生成し、そして、その検査結果を収集および記憶するのに使用されてもよい。検査設計レイアウトを備えた同じＸＭＬファイル８０４は、検査計画および収集されたデータのレポート８３４を提供するのに使用されてもよい。さらに、検査設計レイアウトを備えた同じＸＭＬファイル８０４は、ＰＤＦレポート８３６を生成するのに使用されてもよく、そのＰＤＦレポート８３６は保存され、および／または他のユーザと共有されてもよい。別の例においては、レシピ設計レイアウトを備えたＸＭＬファイル８０６は、設定ファイル８４２を生成するのに使用されてもよく、その設定ファイル８４２は、基板を処理するためのツールを設定するために、プラズマ処理ツール上にロードされてもよい。この場合も同様に、レシピ設計レイアウトを備えた同じＸＭＬファイル８０６は、レポート８４４および／またはＰＤＦレポート８４６を提供するのに使用されてもよい。

本発明の実施形態からわかるように、ＶＩＤＥＡは、プログラミング技能および／または知識をユーザが必要としない簡単な視覚的ＩＤＥを提供する。カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションの製作を簡素化することによって、製作処理はここで、アプリケーション要件を理解しているユーザに提供される。さらに、カスタマイズされたソフトウェアアプリケーションへの変更および／または更新は、デバッグおよび／またはコンパイルを実行することを必要とせずに、容易に実施することができる。したがって、ＶＩＤＥＡは、高い諸経費を排除することができ、かつ、開発時間を削減することができる。

本発明が、いくつかの好ましい実施形態に関して説明されたが、それらの実施形態が変更されたもの、置換されたもの、および等価なものが存在し、それらは本発明の範囲内に含まれる。また便宜上ここに、発明の名称、発明の概要、および要約書が提供されるが、ここに記載される特許請求の範囲を解釈するのに使用されるべきではない。また、本発明の方法および機器を実施する多くの別法が存在することにも注意されたい。様々な例がここに提供されたが、これらの例は具体例として提供されたものであり、かつ、本発明を限定しようとするものではない。さらに、本出願においては、“ｎ”個のアイテムの集合は、集合内に存在する０かまたはそれよりも多いアイテムを意味する。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の精神および範囲内に存在するすべてのそのような変更されたもの、置換されたもの、および等価なものを含むと解釈されるべきである。

Claims (20)

1. プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するための方法であって、
   視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから複数のコンポーネントを選択し、それによって、前記複数のコンポーネントを前記ＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置することと、
   予め定義されたプロパティから選択することおよび前記プロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、前記複数のコンポーネントのそれぞれのプロパティを指定することと、
   を含む、前記複数のコンポーネントのそれぞれが、プラズマ処理システムコンポーネントを解析するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する前記複数のコンポーネントのためのコンポーネント仕様を定義することと、
   前記コンポーネント仕様を定義することの後に、事前にコンパイルすることを必要とせずにブラウザによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で前記複数のコンポーネントを保存することと、
   を備える方法。
2. 前記コンポーネントパネルから前記複数のコンポーネントを選択することが、前記複数のコンポーネントを統合設計エディタ上にドラッグ＆ドロップすることを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記複数のコンポーネントのための前記予め定義されたプロパティが、外部ソースによって定義される、請求項１に記載の方法。
4. 前記外部ソースが、データベースである、請求項３に記載の方法。
5. 前記外部ソースが、外部装置である、請求項３に記載の方法。
6. 前記マークアップ言語が、拡張可能マークアップ言語である、請求項１に記載の方法。
7. 前記ブラウザが、ランタイムローダである、請求項１に記載の方法。
8. コンピュータ可読コードが、プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するように構成された、プログラム記憶媒体内に含まれる前記コンピュータ可読コードを有する前記プログラム記憶媒体を備える製品であって、
   視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから複数のコンポーネントを選択し、それによって、前記複数のコンポーネントを前記ＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置するためのコンピュータ可読コードと、
   予め定義されたプロパティから選択することおよび前記プロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、前記複数のコンポーネントのそれぞれの前記プロパティを指定するためのコンピュータ可読コードと、
   を含む、前記複数のコンポーネントのそれぞれが、プラズマ処理システムコンポーネントを解析するために、ユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する前記複数のコンポーネントのためのコンポーネント仕様をユーザが定義するのを助けるためのコンピュータ可読コードと、
   前記コンポーネント仕様を定義することの後に、事前にコンパイルすることを必要とせずにブラウザによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で前記複数のコンポーネントを保存するためのコンピュータ可読コードと、
   を備える製品。
9. 前記コンポーネントパネルから前記複数のコンポーネントを選択するための前記コンピュータ可読コードが、前記複数のコンポーネントを統合設計エディタ上にドラッグ＆ドロップするためのコンピュータ可読コードを含む、請求項８に記載の製品。
10. 前記複数のコンポーネントのための前記予め定義されたプロパティが、外部ソースによって定義される、請求項８に記載の製品。
11. 前記外部ソースが、データベースである、請求項１０に記載の製品。
12. 前記外部ソースが、外部装置である、請求項１０に記載の製品。
13. 前記マークアップ言語が、拡張可能マークアップ言語である、請求項８に記載の製品。
14. 前記ブラウザが、ランタイムローダである、請求項８に記載の方法。
15. プラズマ処理システムコンポーネント解析ソフトウェアを生成するためのコンピュータ装置であって、
    複数のコンポーネントのそれぞれが、コンポーネント仕様を定義するためのユーザインタフェース機能、論理演算機能、入力機能、および出力機能の中の少なくとも１つを実施する前記複数のコンポーネント、
    を備え、
    前記複数のコンポーネントが、視覚的統合設計エディタアーキテクチャ（ＶＩＤＥＡ）のコンポーネントパネルから選択可能であり、それによって、選択された後に、前記複数のコンポーネントを前記ＶＩＤＥＡにおけるレイアウトフォーマット内に配置し、
    予め定義されたプロパティから選択することおよび前記プロパティのためのパラメータを定義することのうちの少なくとも１つを実行することによって、前記複数のコンポーネントのそれぞれの前記プロパティが設定可能であり、
    前記装置が、さらに、
    前記複数のコンポーネントを実行するように構成されたランタイムローダであって、前記複数のコンポーネントが、事前にコンパイルすることを必要とせずに前記ランタイムローダによって実行可能であるように構成されたマークアップ言語で保存されるランタイムローダと、
    前記複数のコンポーネントに関する作業を実行する回路と、
    を備える装置。
16. 前記複数のコンポーネントが、前記複数のコンポーネントを統合設計エディタ上にドラッグ＆ドロップすることによって、前記コンポーネントパネルから選択可能である、請求項１５に記載のコンピュータ装置。
17. 前記複数のコンポーネントのための前記予め定義されたプロパティが、外部ソースによって定義される請求項１５に記載のコンピュータ装置。
18. 前記外部ソースが、データベースである請求項１７に記載のコンピュータ装置。
19. 前記外部ソースが、外部装置である請求項１７に記載のコンピュータ装置。
20. 前記マークアップ言語が、拡張可能マークアップ言語である請求項１５に記載のコンピュータ装置。

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