JP2009537990A - 折曲ヒートシンクを有するフリップチップmlp - Google Patents
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Abstract
露出した頂部エミッタパッド及び露出した底部ソースパッドを有する無端子モールドパッケージ(MLP)を含む半導体パッケージアセンブリである。折曲ヒートシンクが当該MLPの当該露出した頂部エミッタパッドに軟質はんだ取り付けプロセスで取り付けられる。当該折曲ヒートシンクは、サイズにおいて当該MLPとほぼ同様の広がりをもちかつ電気的熱的に当該MLPの当該頂部エミッタパッドとコンタクトしていて、当該MLPの当該底部表面に向かって当該プレーナメンバとほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを有する。これらのヒートシンクリードはプリント回路(PC)基板とのエミッタ接続を形成する。
Description
本願は、米国仮特許出願番号第60/802,182号(出願日2006年5月19日)の利益を主張し、当該仮特許出願の内容は参照することで本明細書に含まれている。「Dual Side Cooling Integrated Transistor Module and Methods of Manufacture」と題し、代理人整理番号第3021710号(17732.62870.00)である関連する出願についても参照される。
本発明は、全体として半導体パッケージ及びそのようなパッケージを製造する方法に関し、特に、折り曲げられた(以下折曲と称する)ヒートシンクを有するフリップチップ無端子モールドパッケージ(MLP)並びにその様なフリップチップMLPの製造方法及び使用方法に関する。
パワーモジュールパッケージは、高い抵抗及びノイズの源となるワイヤボンディングを一般的に使用している。ワイヤボンディングを使用した接続の数が著しく増加すると、抵抗の増加、信号遅延及び信号妨害の問題が将来のパワーモジュールの更なる能率及び集積度を制限する。MLP及びフリップチップ技術は向上したパッケージングデザインをもたらしてきた。米国特許第6,507,120 B2号(特許発行日2003年1月14日、発明者Lo氏他)及び米国特許第6,867,072 B1号(特許発行日2005年3月15日、発明者shiu氏他)はフリップチップ及びモールディング技術を開示し、それらは従来のワイヤボンディング技術を越える改良である。米国特許6,891,256 B2号(特許発行日2005年5月5日、発明者Joshi氏他)は、有端子モールドパッケージ内の薄くて熱的に向上したフリップチップを開示しており、これは意図する応用に適している。しかし、当該パッケージは特定の欠点、すなわち有端子モールドパッケージが無端子モールドパッケージよりも多くのスペースを占有すること、ヒートシンクが有端子パッケージに対してのみデザインされており、無端子パッケージに対してはデザインされていないこと及びヒートシンク取り付けが明確に規定されていない(チップは露出したドレインに接続され、ペースト塗布またはプリントがその様なチップの取り付けに使用されることのみ特定されている。)という欠点を有する。
ワイヤボンド技術を使用した現在のMLPパッケージデザインでは、パワーデバイスが収容されている場合、性能は電気的及び熱的特性に関して競争力がない。ソース上のチップボンディング及びゲート上のワイヤボンドを有するMLPの生産は、コストと時間がかかりかつ長いプロセスフロー(ダイ取り付け、チップ取り付け及びワイヤボンド)を必要とする。
従って、電気的及び熱的特性に関して競争力があり、パッケージ製造にさらにシンプルで低コスト及び冗長なプロセスがより少ないプロセスを使用しかつ冷却の問題を効果的に解決するMLPタイプのパッケージのフリップチップパワーデバイスが必要である。
本発明によれば、これらの問題の解決策が提供されかつこれらの要求が充足される。
本発明の特徴によれば、
半導体パッケージアセンブリであって、
露出した上側表面及び下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、当該MLPの当該露出した上側表面に取り付けられた折曲ヒートシンクと、を含み、当該折曲ヒートシンクはサイズにおいて当該MLPとほぼ同様の広がりを有しかつ当該MLPの当該上側表面と接続しているプレーナメンバを含み、当該下側表面に向かって当該プレーナメンバとほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを含むことを特徴とするアセンブリが提供される。
半導体パッケージアセンブリであって、
露出した上側表面及び下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、当該MLPの当該露出した上側表面に取り付けられた折曲ヒートシンクと、を含み、当該折曲ヒートシンクはサイズにおいて当該MLPとほぼ同様の広がりを有しかつ当該MLPの当該上側表面と接続しているプレーナメンバを含み、当該下側表面に向かって当該プレーナメンバとほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを含むことを特徴とするアセンブリが提供される。
本発明の他の特徴によれば、
半導体パッケージアセンブリであって、露出した上側表面及び下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、
当該MLPの当該露出した上側表面に取り付けられ、折り畳まれているヒートシンクと、を含み、当該折曲ヒートシンクはサイズにおいて当該MLPとほぼ同様の広がりを有しかつ当該MLPの当該上側表面と接続しているプレーナメンバを含み、当該下側表面に向かって当該プレーナメンバとほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを含み、当該MLPは当該露出した上側表面にドレインを有するパワーフリップチップMOSFETを含み、当該ヒートシンクは当該ドレインに取り付けられ、当該ヒートシンクの当該1つまたは複数のリードはドレインリードとして機能することを特徴とするアセンブリが提供される。
半導体パッケージアセンブリであって、露出した上側表面及び下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、
当該MLPの当該露出した上側表面に取り付けられ、折り畳まれているヒートシンクと、を含み、当該折曲ヒートシンクはサイズにおいて当該MLPとほぼ同様の広がりを有しかつ当該MLPの当該上側表面と接続しているプレーナメンバを含み、当該下側表面に向かって当該プレーナメンバとほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを含み、当該MLPは当該露出した上側表面にドレインを有するパワーフリップチップMOSFETを含み、当該ヒートシンクは当該ドレインに取り付けられ、当該ヒートシンクの当該1つまたは複数のリードはドレインリードとして機能することを特徴とするアセンブリが提供される。
本発明のさらに他の特徴によれば、
半導体パッケージアセンブリの製造方法であって、
ダイアタッチパッド、ゲートリード、1つまたは複数のソースリード及び1つまたは複数の非接続リードを有し、ハーフエッチングされたリードフレームをテープ上に形成するステップと、
パワーMOSFETを当該リードフレームの当該ダイアタッチパッドにフリップチップ取り付けするステップと、
当該リードフレームと取り付けられたパワーMOSFETを当該テープ上にモールディングして、当該パワーMOSFETの当該ドレインを露出させるステップと、
当該テープ上で当該モールディングされたリードフレーム及びパワーMOSFETをソーイングすることで無端子モールドパッケージ(MLP)を形成するステップと、
プレーナメンバ及び当該プレーナメンバからほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを有するヒートシンクを提供するステップと、
ソーイングされたMLPを当該テープからピックアップし、当該MLPを当該折曲ヒートシンクにはんだ付けして、当該非接続リード近傍において当該ヒートシンクが当該露出したドレイン及び当該ヒートシンクリード端と接触するステップと、を含むことを特徴とする方法が提供される。
半導体パッケージアセンブリの製造方法であって、
ダイアタッチパッド、ゲートリード、1つまたは複数のソースリード及び1つまたは複数の非接続リードを有し、ハーフエッチングされたリードフレームをテープ上に形成するステップと、
パワーMOSFETを当該リードフレームの当該ダイアタッチパッドにフリップチップ取り付けするステップと、
当該リードフレームと取り付けられたパワーMOSFETを当該テープ上にモールディングして、当該パワーMOSFETの当該ドレインを露出させるステップと、
当該テープ上で当該モールディングされたリードフレーム及びパワーMOSFETをソーイングすることで無端子モールドパッケージ(MLP)を形成するステップと、
プレーナメンバ及び当該プレーナメンバからほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを有するヒートシンクを提供するステップと、
ソーイングされたMLPを当該テープからピックアップし、当該MLPを当該折曲ヒートシンクにはんだ付けして、当該非接続リード近傍において当該ヒートシンクが当該露出したドレイン及び当該ヒートシンクリード端と接触するステップと、を含むことを特徴とする方法が提供される。
上述した特徴及び他の特徴、特性、利点及び本発明は、全体として添付図とともに行われる以下のさらに詳細な説明によって良く理解されるであろう。
明確化ため及び必要ならば適切さのため、参照番号は対応する特徴を示すために複数の図において繰り返し使用されることが理解されるべきである。また、図中の様々な要素の相対的なサイズは、本発明をさらに明確に示すために一部の場合において実際とは異なっている。
図1A及び図1Bは、本発明に従った折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10の実施例を示している。図示されているように、フリップチップパワーMLPデバイス12が折曲ヒートシンク14に取り付けられている。デバイス12はモールディング材料内にカプセル化(包容)されたパワー半導体デバイス及びリードフレームを含む。デバイス12は、ソースパッド16、3つのソースランドすなわちリード18、ゲートリード20及び非接続の4つのリード22をデバイス12の底部側上に有する。ドレイン領域24(図5Aないし図5Cに示されている)はデバイス12の頂部側において露出している。モールディング材料26は、ソースパッド16、ソースリード18、ゲートリード20、非接続リード22及びドレイン領域24の周囲に形成される。折曲ヒートシンク14は、デバイス12の頂部領域とほぼ同様の広がりを有するプレーナメンバ28と、メンバ28とほぼ垂直に伸長しかつデバイス12の非接続リード22を有する側部に沿って伸長する折曲リード30とを含む。折曲ヒートシンク14は、銅、アルミニウム、導電性ポリマ等のような電気的及び熱的伝導性を有する材料であってもよい。折曲ヒートシンク14は電気的及び熱的にドレイン領域24と取り付けられており、折曲リード30はフリップチップがマウントされているプリント回路(PC)基板とのエミッタ接続を形成する。
図1Bから分かるように、当該折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10はSO−8パッケージのフットプリントを有していてもよい。このことは、ソースランド18及びゲートランド20の長さが、非接続ランド22の幅、折曲リード30の幅及び非接続ランド22と折曲リード30との間のギャップの合計と同一であるが故に可能である。
図2は、折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10の形成に使用されるハーフエッチングされたリードフレーム40の上方概念斜視図である。当該図においては、モールディング実施の間の一連のプロセス中にリードフレーム40の独立した要素を所定の位置に保持するタイバーは示していない。リードフレーム40は、リードリードフレーム40をアレイ内に結合するタイバーを有するリードフレームのアレイの1つである。ソースパッド16はソースリード18に取り付けられ、ゲートバッド46はゲートリード20に取り付けられる。
図3A、図3B及び図3Cは、図2のリードフレームに異なったサイズの半導体ダイ50、52及び54を加えたものの上方概念斜視図であり、当該ダイはソースパッド16及びゲートバッド46に各々取り付けられており、当該ダイはパワーMOSFETでもよい。半導体ダイ50、52及び54ははんだボールコンタクトを有していてもよく、はんだペースト及びはんだリフローを使用してリードフレーム40に取り付けられてもよい。
図4は、図3Aに示された半導体ダイ50をリードフレーム40に取り付けるモールディング後のリードフレーム40のアレイ58の上面図である。半導体ダイ50の背面60は、図4において見ることができる。ライン62は、個々のフリップチップMLPデバイス12の個片化(singulation)に使用する水平及び垂直ソーイング(sawing)を示している。
図5A、図5B及び図5Cは、図3A、図3B及び図3Cに各々示されている半導体ダイ50、52及び54の各々とのモールディング後のリードフレーム40の上方から見た斜視図である。図5Aにおいて、半導体ダイ50の底部60はフリップチップMLPデバイス12の頂部領域の相当部分を占め、それによってデバイス12と折曲ヒートシンク14との取り付けのための大きな領域を提供する。しかし、図3B及び図3Cに各々示されている半導体ダイ52及び54は、著しく減少した折曲ヒートシンク14との取り付けのための領域を提供する。プリント可能かつはんだ付け可能な材料70及び72の領域は、図5A及び図5Bにおけるモールド材料の頂部に各々設けられ、MLPデバイス12と折曲ヒートシンク14との結合を向上する。
図6は、製造ステップの図であって、フリップチップMLPデバイス12を折曲ヒートシンク14に取り付ける本発明の1実施例で用いられる。図6に示されているように、フリップチップMLPデバイス12はコンベヤベルト80上を移動する。ピックロッド82は、電気的試験に合格したフリップチップMLPデバイス12を矢印84によって示されているようにハンドリングデバイス(図示せず)内へ移動させる。同時に、軟質はんだディスペンサー86は、ディスペンサー88からの軟質はんだワイヤが溶融するのに十分なほど熱せられた後に、軟質はんだを折曲ヒートシンク14のプレーナメンバ28の底部上に押し出す。適切な量の軟質はんだ90が折曲ヒートシンク14上に溶融された後、フリップチップMLPデバイス12は折曲ヒートシンク14と矢印86に示されているようにアラインメントされ、当該2つのピースは互いに圧せられてフリップチップMLPデバイス12と折曲ヒートシンク14とがはんだ付けされ、矢印92によって示されるように折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10を形成する。はんだクリームに比べて軟質はんだの使用ははんだ付けプロセスを容易にし、当該ワイヤ溶融及び取り付けが同じ機械で行われる。ピックアップ中にアラインメントが50.8μm(2ミル)の移動精度で制御される故に良好なアラインメントが達成され、はんだの空隙は最小限となる。しかし、はんだクリームプロセスにおいては、当該ペーストはプリンタまたはステンシルでプリントされる必要があり、リフローマシンが必要で、ダイが回転する傾向のあるリフロープロセスの間にアラインメントが影響を受け、リフロー中に空隙生成を制御するのは困難である。なぜなら、フラックスの内容物がリフロー中にトラップされるからである。軟質はんだ取り付けプロセスは、この様なはんだクリーム取り付けプロセスの問題を回避する。
図7は、図1A及び図1Bに示された折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10の側部から見た断面図であり、第1及び第2はんだペースト領域104及び106上に取り付けられている。当該ペースト領域はPC基板上の第1及び第2導電トラック108及び110の各々の上に設けられている。図7において明らかなように、非接続ランド22及び折曲リード30の底部は平坦で、はんだペースト領域106上に配置されている。
図8は、はんだペースト領域104及び106がリフローされた後の図7を示している。図8から明らかなように、はんだペースト領域106のはんだ110は、非接続リード22と、折曲リード30と、導電トラック110との間の電気的及び熱的な接続を形成する。非接続ランド22の幅及び折曲リード30の幅を合計したものがソースランド18及びゲートランド22の幅よりも小さいが、非接続ランド22及び折曲リード30側のはんだ116の研磨によって、ソース及びゲートランド18、20と導電トラック104とのはんだ接続と同程度の導電トラック106とのはんだ接続が施される。さらに、折曲ヒートシンク14の折曲リード30に隣接する非接続ランド22は、折曲ヒートシンクを有するフリップチップMLP10のPC基板112へのはんだ付けの間の折曲リード30の周囲の過度なはんだ付けを防止する。
図9は、図7及び図8の折曲ヒートシンクの折曲リードがギャップ122によって示されているように短くされていることを除いて、図7の側部から見た断面図と同じである。1つの実施例において、ギャップ122は約30μmであり、折曲ヒートシンク118の折曲リード120と導電トラック110とのさらに信頼性のあるはんだ接続を提供する。この特定の実施例に使用するためには、はんだペースト116はリフロー前に約150μmの高さであることが好ましい。
図10は、はんだペースト104及び116がリフローされた後の図9を示している。折曲リード120の端と導電トラック110との間のギャップの故に、リフローされたはんだ116は折曲リード120の底部に十分に付着する。
本発明は、特定の好ましい実施例を具体的に参照して具体的に記述されているが、変形及び変更は本発明の趣旨及び範囲内で達成され得ることが理解されるべきである。
Claims (9)
- 半導体パッケージアセンブリであって、
露出した上側表面と下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、
前記MLPの前記上側表面に取り付けられた折曲ヒートシンクと、を有し、
前記折曲ヒートシンクは、サイズにおいて前記MLPとほぼ同様の広がりをもちかつ前記MLPの前記上側表面と接触したプレーナメンバと、前記下側表面に向かって前記プレーナメンバとほぼ垂直に伸長した1つまたは複数のリードとを含むことを特徴とするアセンブリ。 - 請求項1記載のアセンブリであって、前記ヒートシンクは前記MLPに軟質はんだによって取り付けられていることを特徴とするアセンブリ。
- 半導体パッケージアセンブリであって、
露出した上側表面と下側表面を有する無端子モールドパッケージ(MLP)と、
前記MLPの前記上側表面に取り付けられた折曲ヒートシンクと、を有し、
前記折曲ヒートシンクは、サイズにおいて前記MLPとほぼ同様の広がりをもちかつ前記MLPの前記上側表面と接触したプレーナメンバを含み、前記下側表面に向かって前記プレーナメンバとほぼ垂直に伸長した1つまたは複数のリード含み、前記MLPは前記露出した上側表面にドレインを有するパワーフリップチップMOSFETを含み、前記ヒートシンクは前記ドレインに取り付けられ、前記ヒートシンクの前記1つまたは複数のリードはドレインリードとして機能することを特徴とするアセンブリ。 - 請求項3記載のアセンブリであって、前記ヒートシンクは前記MLPに軟質はんだによって取り付けられていることを特徴とするアセンブリ。
- 請求項3記載のアセンブリであって、前記MLPの前記露出した上側表面ははんだ付け不可領域を有し、前記領域ははんだ付け可能なポリマのプリントによって形成されることを特徴とするアセンブリ。
- 請求項3記載のアセンブリであって、前記MLPは前記ヒートシンクの前記ドレインリードに隣り合う1つまたは複数の非接続リードを有し、それらは前記折曲ヒートシンクとともにはんだ付けされ、前記アセンブリはプリント回路基板にはんだ付けされていることを特徴とするアセンブリ。
- 請求項3記載のアセンブリであって、前記ヒートシンクリードの端は前記MLPの前記下側表面と同一平面内にあることを特徴とするアセンブリ。
- 請求項3記載のアセンブリであって、前記ヒートシンクリードの前記端は前記MLPの下側表面まで至らずに前記アセンブリがプリント回路基板にはんだ付けされるときに前記リードのはんだ接続が向上することを特徴とするアセンブリ。
- 半導体パッケージアセンブリを製造する方法であって、
ダイアタッチパッド、ゲートリード、1つまたは複数のソースリード及び1つまたは複数の非接続リードを有するハーフエッチングされたリードフレームをテープ上に形成するステップと、
パワーMOSFETを前記リードフレームの前記ダイアタッチパッドにフリップチップ取り付けするステップと、
前記リードフレームと取り付けられたパワーMOSFETを前記テープ上にモールディングして前記パワーMOSFETの前記ドレインを露出させるステップと、
前記テープ上の前記モールディングされたリードフレーム及びパワーMOSFETをソーイング(sawing)することで無端子モールドパッケージ(MLP)を形成するステップと、
プレーナメンバ及び前記プレーナメンバからほぼ垂直に伸長する1つまたは複数のリードを有するヒートシンクを設けるステップと、
ソーイングされたMLPを前記テープからピックアップし、前記MLPを前記折曲ヒートシンクにはんだ付けして、前記ヒートシンクが前記非接続リードの近傍において前記露出したドレイン及び前記ヒートシンクリード端と接触するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
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