JP2009521813A - 歪み薄膜の緩和方法 - Google Patents
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Abstract
---接触面として知られている主自由面を具備し、ポリマーの熱膨張率が薄膜のそれよりも大きいポリマー層を有する中間支持体を提供するステップと、
---歪み薄膜の接触面とポリマー層の接触面とを接着して接触させるステップと、
---初期支持体(9)を取り除くことによって、しわの形成によって薄膜(8)の緩和を引き起こし、薄膜の第一の主面を露呈させるステップと、
---緩和させられた薄膜(8)を伸ばして、しわを取り除くために、ポリマー層(2)の温度を増加させるステップと、
---受け入れ基板(10)の一つの面で薄膜(8)の第一の主面を固定するステップと、
---受け入れ基板と一体になった緩和させられた薄膜を得るために、中間支持体を取り除くステップ。
Description
接触面として知られる主自由面を有するポリマー層を備えた中間支持体を提供し、ここで、ポリマーの熱膨張率は歪み薄膜のそれより大きく、
歪み薄膜の接触面とポリマー層の接触面を接着して接触させ、
初期支持体を取り除き、それにより、しわの形成により薄膜の緩和を引き起こし、薄膜の第一の主面を露呈させ、
緩和された薄膜を伸ばしてしわを取り除くために、ポリマー層の温度を増加し、
受け入れ基板の一つの面で薄膜の第一の主面を固定し、
中間支持体を取り除いて、前記受け入れ基板と一体になった緩和された薄膜を得る。
歪み層8はポリマー層2に対向する。構造体7は、中間支持体6で固定される。この固定は、予め歪み層に沈着したポリマーの膜の重合によって得ることができる。それは、分子結合によって得られてもよい。
歪み層8は、InP基板9に圧力により0.8%に歪まされたInGaAsからなっても良い。この歪み層はInP基板にIn0,65Ga0,35Asからなる30nmの厚さの層の分子噴射エピタキシーによって得られてもよい。InGaAsの厚さは臨界の厚さ、つまり、InGaAsの層が緩和し始まる(転位などを形成することによって)厚さ以下に保たれなければならない。InGaAsの歪み層とInP基板の間に、例えば、In0,53Ga0,47Asの層とInPの層(通常は各障壁層は約200nmの厚みを有する)とをInP上に積み重ねることによって、InPの格子パラメータを保持する障壁層が設けられることが有利である。層8の厚さは、およそ100 A であっても良く、例えば0.8%の圧縮歪みを得るために30 nmの厚さであっても良い。層8の厚さは、歪みに依存する。層8は、中間支持体6、例えば、歪み層にスピンコーターによって沈着され、数十μmの厚さ(例えば、40μm)を持つPDMSの薄膜によって、基板1と4が除去された後に得られたPDMSの層(2 mm)に接着されても良い。この結合フィルムは室温で48時間重合されても良い。緩和を得るために、InGaAsとInPの障壁層が用いられた場合に、InPの基板9はHCLの溶液によって、選択的に化学的にエッチングされても良い。InP基板は、HCL:H2O (3:1)の溶液で選択的にエッチングされ、それから、InGaAs層はH2 SO4 : H2 O2 : H2 O (1:1:10)の溶液で選択的にエッチングされ、その後、InPの障壁層は同様の溶液でエッチングされる。
Claims (18)
- 初期支持体の第一の主面によって固定される歪み薄膜(8)を緩和する方法であって、前記薄膜の第二の主面は接触面として知られ、前記方法は、以下の連続するステップを有している:
---接触面として知られている主自由面を具備し、ポリマーの熱膨張率が薄膜(8)のそれよりも大きいポリマー層(2)を有する中間支持体(6)を提供するステップと、
---前記歪み薄膜(8)の接触面と前記ポリマー層(2)の接触面とを接着して接触させるステップと、
---初期支持体(9)を取り除くことによって、しわの形成によって薄膜(8)の緩和を引き起こし、前記薄膜の第一の主面を露呈させるステップと、
---緩和させられた薄膜(8)を伸ばして、しわを取り除くために、ポリマー層(2)の温度を増加させるステップと、
---受け入れ基板(10)の一つの面で前記薄膜(8)の第一の主面を固定するステップと、
---前記受け入れ基板と一体になった緩和させられた薄膜を得るために、中間支持体を取り除くステップ。 - 中間支持体を供給するステップは、基板(1)に液体状態の前記ポリマーの層の沈着及びその後の重合を備えること特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ポリマーの層の沈着は樹脂の表面膜で覆われた基板(1)の一つの面上で行われることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記液体状態のポリマーは、前記ポリマーの層の位置決め用のスペーサを有する基板の一つの面上に沈着させられることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 位置決め用のスペーサ(3)は前記ポリマー層(2)におけるポリマーと同じポリマーで形成されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記の基板(1)に沈着した液体状態のポリマー層(2)は、液体状態のポリマー層(2)の自由面と平坦化基板(4)の一面とを接触させることによって平坦化されることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか一項に記載の方法。
- 平坦化基板(4)の前記一面は樹脂のフィルム(5)を有することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 平坦化基板(4)は前記重合の後に除去されることを特徴とする請求項6又は7に記載の方法。
- 平坦化基板(4)はポリマー層(2)と平坦化基板(4)の間に挿入されたブレードで分離を行うことによって除去されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 基板(1)は重合の後に除去されることを特徴とする請求項2乃至9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ポリマー層(2)に使われるポリマーはポリジメチルシロキサン(PDMS)であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。
- 歪み薄膜(8)の接触面とポリマー層(2)の接触面の間に介在されたポリマーの膜の重合、または、分子結合によって、その二つの接触面が接着され、接触させられることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の方法。
- 初期支持体(9)は化学的にまたは機械的に除去されることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の方法。
- 薄膜(8)の第一の主面の受け入れ基板(10)の一つの面での固定は、分子結合によって行われることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の方法。
- 中間支持体(6)の除去は、初めに中間支持体から基板(1)を除去し、そして、ポリマー層(2)を除去することによって行われることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載の方法。
- 中間支持体の基板(1)は、ポリマー層(2)とそれ自身の間に挿入されたブレードで分離することによって除去されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- ポリマー層(2)は、機械的にまたは化学的に除去されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 歪み薄膜(8)は、第二の半導体材料からなる初期支持体(9)にヘテロエピタキシーによって得られた第一の半導体材料からなる層であることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか一項に記載の方法。
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